CN213375993U - 一种硅片加工行业污水再生回用处理系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种硅片加工行业污水再生回用处理系统，其包括预处理系统和反渗透处理系统，反渗透处理系统包括反渗透膜装置，反渗透膜装置的进水端设置有进水管道，反渗透膜装置的出水端设置有产水管道，预处理系统的出水端设置有第一管道，从第一管道中流出的水能够进入进水管道中，再生回用处理系统还包括第二管道，第二管道的一端与第一管道连通，第二管道的另一端与预处理系统连通，再生回用处理系统还包括设于第一管道上的硅在线检测仪；避免在膜表面形成硅垢使得渗透膜的性能发生衰减，大大增加反渗透膜的使用寿命。

Description

一种硅片加工行业污水再生回用处理系统

技术领域

本实用新型涉及一种硅片加工行业污水再生回用处理系统。

背景技术

太阳能电池面板或芯片的制作，需要对晶锭或晶棒进行切割制成硅片。在切割过程中，一部分晶锭或晶棒被切磨为高纯硅粉进入切割污水中；硅片经过切割后还需进行研磨、倒角、抛光、清洗等工序。在研磨、倒角、抛光、清洗等工序中会使用氢氟酸、硝酸、硫酸、盐酸、氨水、HSS研磨液、清洗剂等数种化学药剂对硅片进行处理，由于各种化学试剂的加入，使得污水中杂质复杂多样。另外，氢氟酸、硝酸等酸对硅片有蚀刻作用，使得污水中的硅不仅包含晶体态的硅还包含离子态的硅。

现有技术中，硅片加工过程中污水的处理一般包括调节工序、反应工序、澄清工序、过滤工序、反渗透处理工序。其中，调节工序：硅片加工过程中产生的污水进入调节池使污水水质均化；反应工序：将均化后的污水进行化学反应，先后在污水中加入液氯、氢氧化钙与污水中的氨氮、氟等反应，去除污水中的氨氮、氟等物质；澄清工序：将反应后的污水通入沉淀池进行沉淀；过滤工序：澄清工序中的上层清液进入过滤池进行过滤；反渗透处理工序：过滤后的污水进入反渗透膜装置进行膜处理。通过以上工序，进而得到回用水。

实践中，在利用反渗透技术处理污水生产再生水时，反渗透膜的正常使用寿命仅为2年，有些情况下，膜的使用寿命只有1~1.5年，甚至只有半年。如此，污水处理成本明显较高，而且更换反渗透膜给实际操作带来不便，降低污水处理效率。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种硅片加工行业污水再生回用处理系统。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的一种技术方案是：

一种硅片加工行业污水再生回用处理系统，其包括预处理系统和反渗透处理系统，反渗透处理系统包括反渗透膜装置，反渗透膜装置的进水端设置有进水管道，反渗透膜装置的出水端设置有产水管道，预处理系统的出水端设置有第一管道，从第一管道中流出的水能够进入进水管道中，再生回用处理系统还包括第二管道，第二管道的一端与第一管道连通，第二管道的另一端与预处理系统连通，再生回用处理系统还包括设于第一管道上的硅在线检测仪。

优选地，第一管道上设置有输送泵。

优选地，输送泵设于硅在线检测仪的下游。

优选地，第二管道与第一管道的连接处位于输送泵的下游。

优选地，第二管道与第一管道的连接处设置有三通阀。

优选地，再生回用处理系统还包括设于产水管道上的比例阀。

优选地，再生回用处理系统还包括PLC控制器，PLC控制器与三通阀、硅在线检测仪、比例阀信号连接。

优选地，再生回用处理系统还包括设于进水管道与第一管道之间的过渡池。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的硅片加工行业污水再生回用处理系统，通过在第一管道上设置硅在线检测仪，并设置第二管道，在硅在线检测仪检测到硅浓度超过限定范围（50-150ppm）时，阻止硅超标的废水进入反渗透膜装置，并使硅超标的废水经过第二管道回流至预处理系统中进行重新处理，降低硅浓度之后再进入反渗透膜装置，从而避免在膜表面形成硅垢使得渗透膜的性能发生衰减，大大增加反渗透膜的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型再生回用处理系统的整体结构示意图；

其中：10、预处理系统；20、反渗透膜装置；30、过渡池；a1、硅在线检测仪；a2、输送泵；a3、三通阀；a4、比例阀；a100、PLC控制器；g1、第一管道；g2、第二管道；g3、进水管道；g4、出水管道。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围作出更为清楚明确的界定。

如图1所示，一种硅片加工行业污水再生回用处理系统，其包括预处理系统10和反渗透处理系统，反渗透处理系统包括反渗透膜装置20，反渗透膜装置20的进水端设置有进水管道g3，反渗透膜装置20的出水端设置有产水管道g4，预处理系统10的出水端设置有第一管道g1，从第一管道g1中流出的水能够进入进水管道g3中，再生回用处理系统还包括第二管道g2，第二管道g2的一端与第一管道g1连通，第二管道g2的另一端与预处理系统10连通，再生回用处理系统还包括设于第一管道g1上的硅在线检测仪a1。再生回用处理系统还包括设于进水管道g3与第一管道g1之间的过渡池30。

过渡池30的使用可以起到暂存作用，在预处理系统10排出的废水不达标时，反渗透膜装置20依然可以继续进行废水处理工作，不会造成生产间断，提供经济效益。

本例中，第一管道g1上设置有输送泵a2；输送泵a2设于硅在线检测仪a1的下游，第二管道g2与第一管道g1的连接处位于输送泵a2的下游；第二管道g2与第一管道g1的连接处设置有三通阀a3；即三通阀a3位于硅在线检测仪a1的下游，当硅在线检测仪a1检测到废水中硅浓度超过150ppm时，切换三通阀a3，可以有效阻止硅超标的废水进入过渡池30（从而避免硅超标废水从进水管道g3进入反渗透膜装置20），并将第一管道g1与第二管道g2接通，硅超标的废水重新回流至预处理系统10中;预处理系统10包括依次连通的废水调节池、反应池、澄清池、石英砂滤池、活性炭滤池等设施。

进一步地，再生回用处理系统还包括设于产水管道g4上的比例阀a4。当硅在线检测仪a1监测到废水中硅浓度在50-150ppm之间时，则保持三通阀a3不动，让预处理系统10排出的废水进入过渡池30，并经过进水管道g3进入反渗透膜装置20，这时通过调节比例阀a4的开度，来设置合适的膜运行通量，延长反渗透膜的使用寿命。本例中，按照公式膜通量Y（L/m 2h）= -X硅的浓度（ppm）/20 + 20.5来确定反渗透膜装置20的膜通量，从而确定比例阀a4的开度。

此外，再生回用处理系统还包括PLC控制器a100，PLC控制器a100与三通阀a3、硅在线检测仪a1、比例阀a4信号连接。PLC控制器a100根据硅在线检测仪a1的检测情况，来控制三通阀a3与比例阀a4的动作。通过PLC控制器a100达到自动化控制的目的，提供生产效率。

综上所述，本实用新型的硅片加工行业污水再生回用处理系统，通过在第一管道上设置硅在线检测仪，并设置第二管道，在硅在线检测仪检测到硅浓度超过限定范围（50-150ppm）时，阻止硅超标的废水进入反渗透膜装置，并使硅超标的废水经过第二管道回流至预处理系统中进行重新处理，从而避免在膜表面形成硅垢使得渗透膜的性能发生衰减，大大增加反渗透膜的使用寿命。

以上对本实用新型做了详尽的描述，其目的在于让熟悉此领域技术的人士能够了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，且本实用新型不限于上述的实施例，凡根据本实用新型的精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种硅片加工行业污水再生回用处理系统，其包括预处理系统和反渗透处理系统，所述反渗透处理系统包括反渗透膜装置，所述反渗透膜装置的进水端设置有进水管道，所述反渗透膜装置的出水端设置有产水管道，其特征在于：所述预处理系统的出水端设置有第一管道，从所述第一管道中流出的水能够进入所述进水管道中，所述再生回用处理系统还包括第二管道，所述第二管道的一端与所述第一管道连通，所述第二管道的另一端与所述预处理系统连通，所述再生回用处理系统还包括设于所述第一管道上的硅在线检测仪。

2.根据权利要求1所述的硅片加工行业污水再生回用处理系统，其特征在于:所述第一管道上设置有输送泵。

3.根据权利要求2所述的硅片加工行业污水再生回用处理系统，其特征在于:所述输送泵设于所述硅在线检测仪的下游。

4.根据权利要求3所述的硅片加工行业污水再生回用处理系统，其特征在于:所述第二管道与所述第一管道的连接处位于所述输送泵的下游。

5.根据权利要求4所述的硅片加工行业污水再生回用处理系统，其特征在于: 所述第二管道与所述第一管道的连接处设置有三通阀。

6.根据权利要求5所述的硅片加工行业污水再生回用处理系统，其特征在于: 所述再生回用处理系统还包括设于所述产水管道上的比例阀。

7.根据权利要求6所述的硅片加工行业污水再生回用处理系统，其特征在于:所述再生回用处理系统还包括PLC控制器，所述PLC控制器与所述三通阀、硅在线检测仪、比例阀信号连接。

8.根据权利要求1所述的硅片加工行业污水再生回用处理系统，其特征在于:所述再生回用处理系统还包括设于所述进水管道与所述第一管道之间的过渡池。

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