CN213366524U - 一种刻蚀机夹具基座 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种刻蚀机夹具基座，包括底座，所述底座的左右两侧皆设置有螺纹柱，两个所述螺纹柱的底部皆通过内嵌轴承与底座的内壁活动连接，两个所述螺纹柱的表面皆套设有螺纹套，两个所述螺纹柱的中部设置有移动压板，两个所述螺纹套的表面皆与移动压板的表面固定连接，所述移动压板的顶部设置有夹持装置，所述夹持装置内部的底部开设有条槽，所述条槽内壁的上下两端皆设置有齿条，两个所述齿条的中部设置有齿轮，所述齿轮表面均匀设置有齿块，两个所述齿条的表面皆均匀设置有齿块，所述齿轮表面的齿块与两个所述齿条表面的齿块交错分布。本实用新型可以使得工作人员将多组硅片叠放整齐。
Description
技术领域
本实用新型涉及刻蚀机夹具技术领域，具体为一种刻蚀机夹具基座。
背景技术
在晶体硅太阳能电池生产过程中的等离子刻蚀工艺中，等离子刻蚀机装片用的夹具需要把刻蚀的硅片叠放在一起并压紧，使硅片与硅片之间没有间隙，用以确保等离子刻蚀机的辉光刻蚀只能够去除掉硅片边缘的PN结。
现有的等离子刻蚀机夹具基座上的硅片一般将多组硅片放置到夹座后，通过人工将多组硅片整理整齐后，通过顶部的活动压板固定，在人工叠放的时候，由于人工整理硅片存在一定的误差，导致硅片不能叠放整齐的情况发生，从而使得硅片边缘处刻蚀不均匀的现象发生，影响硅片生产的质量。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种刻蚀机夹具基座，以解决现有的刻蚀机夹具在人工叠放硅片时容易将硅片叠放不整齐的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种刻蚀机夹具基座，包括底座，所述底座的左右两侧皆设置有螺纹柱，两个所述螺纹柱的底部皆通过内嵌轴承与底座的内壁活动连接，两个所述螺纹柱的表面皆套设有螺纹套，两个所述螺纹柱的中部设置有移动压板，两个所述螺纹套的表面皆与移动压板的表面固定连接，所述移动压板的顶部设置有夹持装置，所述夹持装置内腔的底部开设有条槽，所述条槽内壁的上下两端皆设置有齿条，两个所述齿条的中部设置有齿轮，所述齿轮表面均匀设置有齿块，以及两个所述齿条的相对侧表面皆均匀设置有齿块，所述齿轮表面的齿块与两个所述齿条表面的齿块交错分布，顶部所述齿条的右侧固定连接有第一移动板，所述第一移动板的右侧穿过夹持装置的内壁延伸至夹持装置的外部，底部所述齿条的左侧固定连接有第二移动板，所述第二移动板的左侧穿过夹持装置的内壁延伸至夹持装置的外部，所述夹持装置内腔的顶部开设有杆槽，所述杆槽的中部贯穿插设有螺纹杆，所述螺纹杆的表面通过内嵌轴承与杆槽的内壁活动连接，所述夹持装置顶部的前后两端皆固定连接有固定板，两个所述固定板的内部皆开设有第二移动槽，两个所述第二移动槽的内部皆设置有第二移动块，所述螺纹杆表面的前后两端皆套接有夹板，两个所述夹板的顶部皆与两个第二移动块的表面固定连接，所述条槽的后端开设有开口，所述开口的内部设置有插杆，所述插杆的后端穿过开口并延伸至夹持装置的外部，所述插杆的前端穿过开口并延伸至条槽的内部，所述插杆的前端通过内嵌轴承与条槽的内壁活动连接，所述齿轮的中心位置与插杆的表面固定连接，所述插杆的后端固定连接有第一捏柄，所述螺纹杆的后端固定连接有第二捏柄。
优选的，所述条槽的上下两侧皆开设有第一移动槽，两个所述第一移动槽的内部皆设置有第一移动块，两个所述第一移动块的表面皆与两个齿条的表面固定连接。
优选的，所述第一移动板的底部呈矩形设置，所述第一移动板底部的宽度宽于顶部。
优选的，所述第二移动板的底部呈矩形设置，所述第二移动板底部的宽度宽于顶部。
优选的，所述第一捏柄的表面胶合有第一橡胶垫，所述第一橡胶垫上开设有多组防滑纹。
优选的，所述第二捏柄的表面胶合有第二橡胶垫，所述第二橡胶垫上亦开设有多组防滑纹。
优选的，两个所述夹板的底部皆呈矩形设置，所述夹板底部的宽度宽于顶部。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：当人员将多组硅片放置到底座的顶部后，依次转动第二捏柄与第一捏柄，使得两个夹板和第一移动板与第二移动板向相互靠近的方向移动，夹持住硅片的四周，使得多组硅片叠放整齐，这样的话，就避免了人员手动整理硅片时出现误差，导致后续在刻蚀时，硅片四周边缘处刻蚀不均匀的现象发生，从而影响硅片生产的质量，提高了硅片生产的合格率，提高了该装置的实际实用性。
附图说明
图1为本实用新型正视图的结构示意图；
图2为本实用新型侧视图的结构示意图；
图3为本实用新型中夹持装置的正视剖面示意图；
图4为本实用新型中夹持装置的侧视剖面示意图；
图5为本实用新型中图3中A处的结构放大示意图；
图6为本实用新型中图4中B处的结构放大示意图。
图中：1、底座；2、螺纹柱；3、螺纹套；4、移动压板；5、夹持装置；6、条槽；7、齿条；8、齿轮；9、第一移动板；10、第二移动板；11、第一移动槽；12、第一移动块；13、杆槽；14、螺纹杆；15、固定板；16、第二移动槽；17、第二移动块；18、夹板；19、开口；20、插杆；21、第一捏柄；22、第二捏柄。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-6，本实用新型提供一种技术方案：一种刻蚀机夹具基座，包括底座1，所述底座1的左右两侧皆设置有螺纹柱2，两个所述螺纹柱2的底部皆通过内嵌轴承与底座1的内壁活动连接，两个所述螺纹柱2的表面皆套设有螺纹套3，两个所述螺纹柱2的中部设置有移动压板4，两个所述螺纹套3的表面皆与移动压板4的表面固定连接，所述移动压板4的顶部设置有夹持装置5，所述夹持装置5内腔的底部开设有条槽6，所述条槽6内壁的上下两端皆设置有齿条7，两个所述齿条7的中部设置有齿轮8，所述齿轮8表面均匀设置有齿块，以及两个所述齿条7的相对侧表面皆均匀设置有齿块，所述齿轮8表面的齿块与两个所述齿条7表面的齿块交错分布，顶部所述齿条7的右侧固定连接有第一移动板9，所述第一移动板9的右侧穿过夹持装置5的内壁延伸至夹持装置5的外部，底部所述齿条7的左侧固定连接有第二移动板10，所述第二移动板10的左侧穿过夹持装置5的内壁延伸至夹持装置5的外部，所述夹持装置5内腔的顶部开设有杆槽13，所述杆槽13的中部贯穿插设有螺纹杆14，所述螺纹杆14的表面通过内嵌轴承与杆槽13的内壁活动连接，所述夹持装置5顶部的前后两端皆固定连接有固定板15，两个所述固定板15的内部皆开设有第二移动槽16，两个所述第二移动槽16的内部皆设置有第二移动块17，所述螺纹杆14表面的前后两端皆套接有夹板18，两个所述夹板18的顶部皆与两个第二移动块17的表面固定连接，所述条槽6的后端开设有开口19，所述开口19的内部设置有插杆20，所述插杆20的后端穿过开口19并延伸至夹持装置5的外部，所述插杆20的前端穿过开口19并延伸至条槽6的内部，所述插杆20的前端通过内嵌轴承与条槽6的内壁活动连接，所述齿轮8的中心位置·与插杆20的表面固定连接，所述插杆20的后端固定连接有第一捏柄21，所述螺纹杆14的后端固定连接有第二捏柄22。
进一步的，所述条槽6的上下两侧皆开设有第一移动槽11，两个所述第一移动槽11的内部皆设置有第一移动块12，两个所述第一移动块12的表面皆与两个齿条7的表面固定连接。当人员转动第一捏柄21，使得插杆20做圆周运动时，带动齿轮8做圆周运动，在齿轮8表面的齿块与齿条7表面的齿块的啮合作用下，使得第一移动板9与第二移动板10向相互靠近的方向移动，在齿条7移动的过程中，限制齿条7的运动轨迹，防止齿条7在运动的过程中发生偏移。
进一步的，所述第一移动板9的底部呈矩形设置，所述第一移动板9底部的宽度宽于顶部，所述第二移动板10的底部呈矩形设置，所述第二移动板10底部的宽度宽于顶部，当第一移动板9与第二移动板10向相互靠近的方向移动时，第一移动板9与第二移动板10底部的表面不会与夹持装置5的表面相互抵触。
进一步的，所述第一捏柄21的表面胶合有第一橡胶垫，所述第一橡胶垫上开设有多组防滑纹，当人员用手指捏住第一捏柄21时，增大人员手指与第一捏柄21之间的摩擦力，使得人员能够将第一捏柄21捏持的更加稳固。
进一步的，所述第二捏柄22的表面胶合有第二橡胶垫，所述第二橡胶垫上亦开设有多组防滑纹，当人员用手指捏住第二捏柄22时，增大人员手指与第二捏柄22之间的摩擦力，使得人员能够将第二捏柄22捏持的更加稳固。
进一步的，两个所述夹板18的底部皆呈矩形设置，所述夹板18底部的宽度宽于顶部，当两个夹板18向相互靠近的方向移动时，夹板18的表面不会与夹持装置5的表面相互抵触。
工作原理：当人员需要使用该装置时，首先将多组硅片叠放到底座1的顶部，随后将夹持装置5放置到移动压板4的顶部，使硅片位于两个夹板18与第一移动板9和第二移动板10之间，其次，人员用手指捏住第二捏柄22，使得第二捏柄22转动，第二捏柄22带动螺纹杆14做圆周运动，在螺纹杆14表面两段相互相反的螺纹结构与夹板18内壁与其相配合的螺纹结构的作用下，使得两个夹板18向相互靠近的方向移动，从而使得两个夹板18夹持住硅片的表面，之后，再转动第一捏柄21，使得插杆20做圆周运动，插杆20带动齿轮8做圆周运动，在齿轮8表面的齿块与齿条7表面的齿块的作用下，使得两个齿条7分别向右或向左运动，使得第一移动板9与第二移动板10向相互靠近的方向移动，从而夹持住硅片的表面，硅片便叠放整齐，最后，人员依次反向转动第一捏柄21和第二捏柄22，使得两个夹板18和第一移动板9与第二移动板10向相互远离的方向移动，从而不再夹持住硅片的表面，将夹持装置5从移动压板4顶部取下，随后通过螺纹柱2与螺纹套3之间的螺纹结构，使得移动压板4向下移动直至固定住硅片即可。
本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种刻蚀机夹具基座，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的左右两侧皆设置有螺纹柱(2)，两个所述螺纹柱(2)的底部皆通过内嵌轴承与底座(1)活动连接，两个所述螺纹柱(2)的表面皆套设有螺纹套(3)，两个所述螺纹柱(2)的中部设置有移动压板(4)，两个所述螺纹套(3)的表面皆与移动压板(4)的表面固定连接，所述移动压板(4)的顶部设置有夹持装置(5)，所述夹持装置(5)内腔的底部开设有条槽(6)，所述条槽(6)内壁的上下两端皆设置有齿条(7)，两个所述齿条(7)的中部设置有齿轮(8)，所述齿轮(8)表面均匀设置有齿块，以及两个所述齿条(7)的相对侧表面皆均匀设置有齿块，所述齿轮(8)表面的齿块与两个所述齿条(7)表面的齿块交错分布，顶部所述齿条(7)的右侧固定连接有第一移动板(9)，所述第一移动板(9)的右侧穿过夹持装置(5)的内壁延伸至夹持装置(5)的外部，底部所述齿条(7)的左侧固定连接有第二移动板(10)，所述第二移动板(10)的左侧穿过夹持装置(5)的内壁延伸至夹持装置(5)的外部，所述夹持装置(5)内腔的顶部开设有杆槽(13)，所述杆槽(13)的中部贯穿插设有螺纹杆(14)，所述螺纹杆(14)的表面通过内嵌轴承与杆槽(13)的内壁活动连接，所述夹持装置(5)顶部的前后两端皆固定连接有固定板(15)，两个所述固定板(15)的内部皆开设有第二移动槽(16)，两个所述第二移动槽(16)的内部皆设置有第二移动块(17)，所述螺纹杆(14)表面的前后两端皆套接有夹板(18)，两个所述夹板(18)的顶部皆与两个第二移动块(17)的表面固定连接，所述条槽(6)的后端开设有开口(19)，所述开口(19)的内部设置有插杆(20)，所述插杆(20)的后端穿过开口(19)并延伸至夹持装置(5)的外部，所述插杆(20)的前端穿过开口(19)并延伸至条槽(6)的内部，所述插杆(20)的前端通过内嵌轴承与条槽(6)的内壁活动连接，所述齿轮(8)的中心位置与插杆(20)的表面固定连接，所述插杆(20)的后端固定连接有第一捏柄(21)，所述螺纹杆(14)的后端固定连接有第二捏柄(22)。
2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机夹具基座，其特征在于，所述条槽(6)的上下两侧皆开设有第一移动槽(11)，两个所述第一移动槽(11)的内部皆设置有第一移动块(12)，两个所述第一移动块(12)的表面皆与两个齿条(7)的表面固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种刻蚀机夹具基座，其特征在于，所述第一移动板(9)的底部呈矩形设置，所述第一移动板(9)底部的宽度宽于顶部。
4.根据权利要求1所述的一种刻蚀机夹具基座，其特征在于，所述第二移动板(10)的底部呈矩形设置，所述第二移动板(10)底部的宽度宽于顶部。
5.根据权利要求1所述的一种刻蚀机夹具基座，其特征在于，所述第一捏柄(21)的表面胶合有第一橡胶垫，所述第一橡胶垫上开设有多组防滑纹。
6.根据权利要求1所述的一种刻蚀机夹具基座，其特征在于，所述第二捏柄(22)的表面胶合有第二橡胶垫，所述第二橡胶垫上亦开设有多组防滑纹。
7.根据权利要求1所述的一种刻蚀机夹具基座，其特征在于，两个所述夹板(18)的底部皆呈矩形设置，所述夹板(18)底部的宽度宽于顶部。
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