CN213361157U - 一种晶圆清洗水槽用快速排水阀 - Google Patents
一种晶圆清洗水槽用快速排水阀 Download PDFInfo
- Publication number
- CN213361157U CN213361157U CN202022256588.0U CN202022256588U CN213361157U CN 213361157 U CN213361157 U CN 213361157U CN 202022256588 U CN202022256588 U CN 202022256588U CN 213361157 U CN213361157 U CN 213361157U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- valve body
- piece
- valve
- driving assembly
- drain valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Fluid-Driven Valves (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种晶圆清洗水槽用快速排水阀，包括阀体、密封圈、堵孔件、驱动组件以及定位件；所述阀体上设置有安装面和水道，所述密封圈通过安装面与阀体连接，所述安装面位于阀体的两端，所述堵孔件和驱动组件均位于水道内，所述堵孔件与其中一个安装面位置相对应，所述堵孔件通过驱动组件与阀体连接，所述驱动组件通过连接条与阀体连接，所述驱动组件上设置有进气管和出气管，所述堵孔件通过定位件与驱动组件连接。本实用新型提供一种晶圆清洗水槽用快速排水阀，降低了设备成本，减少了阀门占用的空间，减少了电能的消耗，节约了生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及排水领域，具体涉及一种晶圆清洗水槽用快速排水阀。
背景技术
晶圆在清洗的过程中需要多次换水，在换水的过程中需要尽量的将清洗槽内的水快速排出。
现在常用的快速排水的方式是使用水泵抽水，或者使用大型阀门，使用水泵排水所需设备成本高，大型阀门的中部阀孔通常比较小，如果达到要求的排水速度阀门的体积会特别大，大型阀门占用空间大。
实用新型内容
本实用新型的目的是：提供一种晶圆清洗水槽用快速排水阀，解决以上问题。
为了实现上述目的，本实用新型提供如下的技术方案：
一种晶圆清洗水槽用快速排水阀，包括阀体、密封圈、堵孔件、驱动组件以及定位件；所述阀体上设置有安装面和水道，所述密封圈通过安装面与阀体连接，所述安装面位于阀体的两端，所述堵孔件和驱动组件均位于水道内，所述堵孔件与其中一个安装面位置相对应，所述堵孔件通过驱动组件与阀体连接，所述驱动组件通过连接条与阀体连接，所述驱动组件上设置有进气管和出气管，所述堵孔件通过定位件与驱动组件连接。
进一步的，所述水道位于阀体的中部，所述堵孔件上设置有密封件，所述驱动组件上设置有活塞件和缸体，所述进气管和出气管均与驱动组件连通。
进一步的，所述水道贯通阀体，所述缸体通过连接条与阀体连接，所述堵孔件通过活塞件与缸体活动连接，所述缸体上设置有腔体。
进一步的，所述水道具体呈圆柱形，所述缸体通过连接条与水道连接，所述堵孔件通过定位件与活塞件连接，所述活塞件尺寸较大的一端具体位于腔体内。
进一步的，所述缸体的外侧通过连接条与水道的侧壁连接，所述堵孔件通过活塞件与腔体活动连接，所述腔体分别与进气管和出气管连通。
本实用新型的有益效果为：提供一种晶圆清洗水槽用快速排水阀，通过阀体、密封圈、堵孔件、驱动组件以及定位件相互配合使用，实现气动驱动小尺寸快速排水阀快速排水的效果，降低了设备成本，减少了阀门占用的空间，减少了电能的消耗，节约了生产成本。
附图说明
图1为本实用新型一种晶圆清洗水槽用快速排水阀的整体结构轴测图。
图2为本实用新型一种晶圆清洗水槽用快速排水阀的另一整体结构轴测图。
图3为本实用新型一种晶圆清洗水槽用快速排水阀的整体结构剖视图。
图中：1、阀体；2、安装面；3、密封圈；4、水道；5、连接条；6、堵孔件；7、进气管；8、出气管；9、驱动组件；91、活塞件；92、缸体；93、腔体；10、定位件。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型作进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
参考图1至图3，一种晶圆清洗水槽用快速排水阀，包括阀体1、密封圈3、堵孔件6、驱动组件9以及定位件10；所述阀体1上设置有安装面2和水道4，所述密封圈3通过安装面2与阀体1连接，所述安装面2位于阀体1的两端，用于分别和清洗槽和接水槽连接，所述堵孔件6和驱动组件9均位于水道4内，所述堵孔件6用于将清洗槽内的排水孔堵住，所述堵孔件6与其中一个安装面2位置相对应，所述堵孔件6通过驱动组件9与阀体1连接，用于带动堵孔件6运动，实现排水和堵孔的步骤，所述驱动组件9通过连接条5与阀体1连接，所述驱动组件9上设置有进气管7和出气管8，用于控制驱动组件9运动，所述堵孔件6通过定位件10与驱动组件9连接。
所述水道4位于阀体1的中部，用于充当排水时的通道，所述堵孔件6上设置有密封件，所述驱动组件9上设置有活塞件91和缸体92，所述进气管7和出气管8均与驱动组件9连通。
所述水道4贯通阀体1，所述缸体92通过连接条5与阀体1连接，所述堵孔件6通过活塞件91与缸体92活动连接，用于带动堵孔件6运动，实现排水和堵孔的步骤，所述缸体92上设置有腔体93。
所述水道4具体呈圆柱形，所述缸体92通过连接条5与水道4连接，所述堵孔件6通过定位件10与活塞件91连接，所述活塞件91尺寸较大的一端具体位于腔体93内。
所述缸体92的外侧通过连接条5与水道4的侧壁连接，所述堵孔件6通过活塞件91与腔体93活动连接，所述腔体93分别与进气管7和出气管8连通，用于通过通气和断气进而带动活塞件91运动，进而带动堵孔件6运动。
本实用新型的工作原理为：当快速排水阀开始工作前，将快速排水阀安装在清洗槽下方；当需要排水时外部控制系统向进气管7通气，并向出气管8抽气使活塞件91带动堵孔件6远离清洗槽，进而清洗槽内的水从水道4内快速的排出，当清洗槽内的水全部排出后外部控制系统向出气管8内通气，同时向进气管7内抽气，在此过程中活塞件91向上运动带动堵孔件6将清洗槽内的孔堵住，重复上述工序直到工作结束。
上述实施例用于对本实用新型作进一步的说明，但并不将本实用新型局限于这些具体实施方式。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应理解为在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种晶圆清洗水槽用快速排水阀，其特征在于：包括阀体(1)、密封圈(3)、堵孔件(6)、驱动组件(9)以及定位件(10)；所述阀体(1)上设置有安装面(2)和水道(4)，所述密封圈(3)通过安装面(2)与阀体(1)连接，所述安装面(2)位于阀体(1)的两端，所述堵孔件(6)和驱动组件(9)均位于水道(4)内，所述堵孔件(6)与其中一个安装面(2)位置相对应，所述堵孔件(6)通过驱动组件(9)与阀体(1)连接，所述驱动组件(9)通过连接条(5)与阀体(1)连接，所述驱动组件(9)上设置有进气管(7)和出气管(8)，所述堵孔件(6)通过定位件(10)与驱动组件(9)连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗水槽用快速排水阀，其特征在于：所述水道(4)位于阀体(1)的中部，所述堵孔件(6)上设置有密封件，所述驱动组件(9)上设置有活塞件(91)和缸体(92)，所述进气管(7)和出气管(8)均与驱动组件(9)连通。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗水槽用快速排水阀，其特征在于：所述水道(4)贯通阀体(1)，所述缸体(92)通过连接条(5)与阀体(1)连接，所述堵孔件(6)通过活塞件(91)与缸体(92)活动连接，所述缸体(92)上设置有腔体(93)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗水槽用快速排水阀，其特征在于：所述水道(4)具体呈圆柱形，所述缸体(92)通过连接条(5)与水道(4)连接，所述堵孔件(6)通过定位件(10)与活塞件(91)连接，所述活塞件(91)尺寸较大的一端具体位于腔体(93)内。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗水槽用快速排水阀，其特征在于：所述缸体(92)的外侧通过连接条(5)与水道(4)的侧壁连接，所述堵孔件(6)通过活塞件(91)与腔体(93)活动连接，所述腔体(93)分别与进气管(7)和出气管(8)连通。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022256588.0U CN213361157U (zh) | 2020-10-12 | 2020-10-12 | 一种晶圆清洗水槽用快速排水阀 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022256588.0U CN213361157U (zh) | 2020-10-12 | 2020-10-12 | 一种晶圆清洗水槽用快速排水阀 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213361157U true CN213361157U (zh) | 2021-06-04 |
Family
ID=76127585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202022256588.0U Active CN213361157U (zh) | 2020-10-12 | 2020-10-12 | 一种晶圆清洗水槽用快速排水阀 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213361157U (zh) |
-
2020
- 2020-10-12 CN CN202022256588.0U patent/CN213361157U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN213361157U (zh) | 一种晶圆清洗水槽用快速排水阀 | |
| CN101502823B (zh) | 无气喷涂机 | |
| CN115992894A (zh) | 一种室外无堵塞真空污水阀及其工作方法 | |
| CN111576569A (zh) | 一种冲洗按钮及真空马桶 | |
| CN103711193A (zh) | 抽真空的虹吸式马桶及其冲水方法 | |
| CN113047904B (zh) | 一种正负压自动放水器 | |
| CN204099656U (zh) | 一种气动换向阀 | |
| CN219888377U (zh) | 一种便于更换液压油的液压油箱 | |
| CN105114672A (zh) | 新型阀门 | |
| CN111609177A (zh) | 高压水阀及其洗扫车用水路控制系统 | |
| CN107190828A (zh) | 一种冲水延时系统及其延时控制阀 | |
| CN211082429U (zh) | 一种气路自锁的两位三通换向阀 | |
| CN203463278U (zh) | 组合阀 | |
| CN201427094Y (zh) | 无气喷涂机 | |
| CN205225601U (zh) | 压缩空气动力源配比泵 | |
| CN205101198U (zh) | 一种树脂生产中真空泵用水路装置 | |
| CN103486019B (zh) | 组合阀 | |
| CN211314679U (zh) | 一种自动抽液泵 | |
| CN207076704U (zh) | 一种点胶阀用清洗装置 | |
| CN205062916U (zh) | 一种内置气囊的无塔供水装置 | |
| CN210949101U (zh) | 一种具有过滤功能的水泵 | |
| CN112443478A (zh) | 一种智能环保型气动隔膜泵 | |
| CN214742488U (zh) | 一种船用液压阀门可拆卸式过滤结构 | |
| CN203335934U (zh) | 一种轴承清洗机的溢流阀 | |
| CN200968334Y (zh) | 气控复位单控电磁阀 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |