CN213316677U - 一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置，具体涉及半导体设备清洗技术领域，包括防护壳，所述防护壳的顶部前端设置有挡板，且防护壳的前端两内侧壁位于挡板的内侧位置处活动连接有透明有机玻璃，所述透明有机玻璃的底端连接有限位横杆，所述限位横杆的两端部靠近防护壳的内壁位置处均安装有第一磁铁块，所述挡板的底部对应第一磁铁块的上方位置处安装有第二磁铁块，所述防护壳的内部靠近透明有机玻璃的下方一侧位置处安装有操作台，所述操作台的底部安装有废液箱。本实用新型在使用时，方便对对清洗箱进行卡紧固定处理，且能够根据清洗箱的大小进行自动调节，清洗效果良好，同时，提高了清洗过程中清洗箱的放置稳定性。

Description

一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置

技术领域

本实用新型涉及半导体设备清洗技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置。

背景技术

在去除湿法工艺中对半导体设备放置在清洗箱的内部进行清洗后，其清洗箱的内壁会附着一些残留物，长时间不清理会对导致后续清洗的半导体设备不彻底，因此，在对半导体设备清洗后，需要对清洗箱的内壁残留物进行冲洗。

现有的对清洗箱内壁的清洗装置在使用时，由于水冲压力较大，易使得清洗箱放置时稳定性较差，且冲洗方式不佳。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置，在使用时，方便对对清洗箱进行卡紧固定处理，且能够根据清洗箱的大小进行自动调节，清洗效果良好，同时，提高了清洗过程中清洗箱的放置稳定性，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置，包括防护壳，所述防护壳的顶部前端设置有挡板，且防护壳的前端两内侧壁位于挡板的内侧位置处活动连接有透明有机玻璃，所述透明有机玻璃的底端连接有限位横杆，所述限位横杆的两端部靠近防护壳的内壁位置处均安装有第一磁铁块，所述挡板的底部对应第一磁铁块的上方位置处安装有第二磁铁块，所述防护壳的内部靠近透明有机玻璃的下方一侧位置处安装有操作台，所述操作台的底部安装有废液箱，且操作台的顶部位于废液箱的上方安装有清洗箱，所述操作台的顶端位于清洗箱的两侧均安装有卡位机构，所述操作台的顶端位于清洗箱的一侧安装有水泵，所述防护壳的外侧靠近水泵所在的一侧设置有水箱，所述水泵的进水端与水箱的内部之间连通有抽水管，且水泵的出水端连接有出水管，所述挡板的内部位于清洗箱的上方位置处安装有清洗机构，所述出水管的一端与清洗机构的顶部连接，所述防护壳的顶端位于出水管的底部位置处安装有第一定滑轮，且防护壳的顶端靠近清洗机构的上方位置处安装有第二定滑轮；

所述卡位机构包括固定连接在操作台顶端的固定板，所述固定板的内侧靠近清洗箱的外侧位置处设置有活动卡板，所述活动卡板与固定板的内侧壁之间连接有若干个弹簧，且活动卡板的端部向外张开呈喇叭口结构；

所述清洗机构包括靠近清洗箱上方设置有的水腔，所述水腔的呈中空的圆盘形结构，且水腔的边缘处均与安装有喷头，所述水腔的中部顶端连接有升降架，所述升降架的外壁设置有齿牙，所述防护壳的内部靠近升降架的外侧位置处啮合连接有齿轮，所述齿轮的中轴部连接有伺服电机，所述出水管的一端穿过升降架的底部与水腔的内部连通，所述防护壳的顶部内壁靠近升降架的一侧固定连接有固定杆，所述升降架的外壁靠近固定杆所在的一侧设置有T型卡块，所述固定杆的外壁对应T型卡块的外部沿竖直方向上设置有T型滑槽。

在一个优选地实施方式中，所述防护壳的内侧壁位于限位横杆的两端部沿竖直方向上均设置有滑轨，所述限位横杆与防护壳的内侧壁之间通过滑轨滑动连接。

在一个优选地实施方式中，所述清洗箱的底部设置有排液阀，所述操作台的顶部对应排液阀的外部设置有通孔。

在一个优选地实施方式中，所述固定板的底部与操作台的顶端之间通过螺栓固定连接。

在一个优选地实施方式中，所述弹簧的两端部均设置有金属片，金属片与活动卡板和固定板的外壁之间均通过螺钉固定连接。

在一个优选地实施方式中，所述水泵的底部与操作台的顶部之间通过螺栓固定连接。

在一个优选地实施方式中，所述第一定滑轮和第二定滑轮的底部均与防护壳的顶端之间均通过螺栓固定连接。

在一个优选地实施方式中，所述防护壳的内壁对应齿轮的中轴杆端部位置处安装有轴承座，所述齿轮的中轴杆与伺服电机的转子部同轴连接。

本实用新型的技术效果和优点：

1、在使用时，首先将清洗箱放置在操作台上的两个卡位机构之间，由于卡位机构的活动卡板的端部向外张开呈喇叭口结构，方便了清洗箱的放置，且在清洗箱放置后，卡位机构能够根据清洗箱的大小进行弹簧的压缩和伸张，从而对清洗箱进行卡紧固定处理，提高对清洗箱的内壁清洗过程中清洗箱的放置稳定性；

2、通过设置清洗机构，方便对清洗箱的内壁进行高效清洗，其水源通过水泵从外部水箱抽出，在对清洗箱的内壁清洗时，首先确定好清洗箱的位置，然后，起到伺服电机带动齿轮转动，从而使升降架带动水腔下降，在水腔下降至清洗箱的内部后，开启喷头对清洗箱的内壁进行冲洗，冲洗后产生的废液流入废液箱的内部，方便后续处理，清洗结束后，伺服电机的转子反转带动齿轮反转，从而控制升降架上升，升降架在升降过程中，通过设置的T型卡块在固定杆外壁的T型滑槽内部滑动，提高了升降架升降时的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的外部结构示意图。

图2为本实用新型的内部结构示意图。

图3为本实用新型中卡位机构的安装结构示意图。

图4为本实用新型中清洗机构的安装结构示意图。

图5为本实用新型中喷头的安装结构示意图。

图6为本实用新型中T型卡块与固定杆连接处的结构示意图。

附图标记为：1、防护壳；2、挡板；3、透明有机玻璃；4、限位横杆；5、第一磁铁块；6、第二磁铁块；7、操作台；8、废液箱；9、清洗箱；10、卡位机构；11、水泵；12、水箱；13、抽水管；14、出水管；15、第一定滑轮；16、清洗机构；17、第二定滑轮；101、固定板；102、弹簧；103、活动卡板；161、水腔；162、喷头；163、升降架；164、齿牙；165、齿轮；166、伺服电机；167、固定杆；168、T型卡块；169、T型滑槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如附图1-6所示的一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置，包括防护壳1，防护壳1的顶部前端设置有挡板2，且防护壳1的前端两内侧壁位于挡板2的内侧位置处活动连接有透明有机玻璃3，透明有机玻璃3的底端连接有限位横杆4，限位横杆4的两端部靠近防护壳1的内壁位置处均安装有第一磁铁块5，挡板2的底部对应第一磁铁块5的上方位置处安装有第二磁铁块6，防护壳1的内部靠近透明有机玻璃3的下方一侧位置处安装有操作台7，操作台7的底部安装有废液箱8，且操作台7的顶部位于废液箱8的上方安装有清洗箱9，操作台7的顶端位于清洗箱9的两侧均安装有卡位机构10，操作台7的顶端位于清洗箱9的一侧安装有水泵11，防护壳1的外侧靠近水泵11所在的一侧设置有水箱12，水泵11的进水端与水箱12的内部之间连通有抽水管13，且水泵11的出水端连接有出水管14，挡板2的内部位于清洗箱9的上方位置处安装有清洗机构16，出水管14的一端与清洗机构16的顶部连接，防护壳1的顶端位于出水管14的底部位置处安装有第一定滑轮15，且防护壳1的顶端靠近清洗机构16的上方位置处安装有第二定滑轮17；

卡位机构10包括固定连接在操作台7顶端的固定板101，固定板101的内侧靠近清洗箱9的外侧位置处设置有活动卡板103，活动卡板103与固定板101的内侧壁之间连接有若干个弹簧102，且活动卡板103的端部向外张开呈喇叭口结构；

清洗机构16包括靠近清洗箱9上方设置有的水腔161，水腔161的呈中空的圆盘形结构，且水腔161的边缘处均与安装有喷头162，水腔161的中部顶端连接有升降架163，升降架163的外壁设置有齿牙164，防护壳1的内部靠近升降架163的外侧位置处啮合连接有齿轮165，齿轮165的中轴部连接有伺服电机166，出水管14的一端穿过升降架163的底部与水腔161的内部连通，防护壳1的顶部内壁靠近升降架163的一侧固定连接有固定杆167，升降架163的外壁靠近固定杆167所在的一侧设置有T型卡块168，固定杆167的外壁对应T型卡块168的外部沿竖直方向上设置有T型滑槽169。

如附图1所示，防护壳1的内侧壁位于限位横杆4的两端部沿竖直方向上均设置有滑轨，限位横杆4与防护壳1的内侧壁之间通过滑轨滑动连接，便于限位横杆4的稳定升降，进而便于带动透明有机玻璃3进行升降。

如附图2所示，清洗箱9的底部设置有排液阀，操作台7的顶部对应排液阀的外部设置有通孔，便于在对清洗箱9的内壁进行清洗后，废液能够流入废液箱8的内部。

如附图3所示，固定板101的底部与操作台7的顶端之间通过螺栓固定连接，便于固定板101的连接固定。

如附图3所示，弹簧102的两端部均设置有金属片，金属片与活动卡板103和固定板101的外壁之间均通过螺钉固定连接，便于弹簧102的连接。

如附图1-5所示，水泵11的底部与操作台7的顶部之间通过螺栓固定连接，便于水泵11的安装固定。

如附图1-2所示，第一定滑轮15和第二定滑轮17的底部均与防护壳1的顶端之间均通过螺栓固定连接，便于第一定滑轮15和第二定滑轮17的安装固定。

如附图2所示，防护壳1的内壁对应齿轮165的中轴杆端部位置处安装有轴承座，齿轮165的中轴杆与伺服电机166的转子部同轴连接，便于齿轮165的稳定转动。

本实用新型工作原理：本实用新型在使用时，首先将清洗箱9放置在操作台7上的两个卡位机构10之间，由于卡位机构10的活动卡板103的端部向外张开呈喇叭口结构，方便了清洗箱9的放置，且在清洗箱9放置后，卡位机构10能够根据清洗箱9的大小进行弹簧102的压缩和伸张，从而对清洗箱9进行卡紧固定处理，提高对清洗箱9的内壁清洗过程中清洗箱9的放置稳定性；设置的清洗机构16，其水源通过水泵11从外部水箱12抽出，在对清洗箱9的内壁清洗时，首先确定好清洗箱9的位置，然后，起到伺服电机166带动齿轮165转动，从而使升降架163带动水腔161下降，在水腔161下降至清洗箱9的内部后，开启喷头162对清洗箱9的内壁进行冲洗，冲洗后产生的废液流入废液箱8的内部，方便后续处理，清洗结束后，伺服电机166的转子反转带动齿轮165反转，从而控制升降架163上升，升降架163在升降过程中，通过设置的T型卡块168在固定杆167外壁的T型滑槽169内部滑动，提高了升降架163升降时的稳定性。

最后应说明的几点是：首先，在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；

其次：本实用新型公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本实用新型同一实施例及不同实施例可以相互组合；

最后：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置，包括防护壳(1)，其特征在于：所述防护壳(1)的顶部前端设置有挡板(2)，且防护壳(1)的前端两内侧壁位于挡板(2)的内侧位置处活动连接有透明有机玻璃(3)，所述透明有机玻璃(3)的底端连接有限位横杆(4)，所述限位横杆(4)的两端部靠近防护壳(1)的内壁位置处均安装有第一磁铁块(5)，所述挡板(2)的底部对应第一磁铁块(5)的上方位置处安装有第二磁铁块(6)，所述防护壳(1)的内部靠近透明有机玻璃(3)的下方一侧位置处安装有操作台(7)，所述操作台(7)的底部安装有废液箱(8)，且操作台(7)的顶部位于废液箱(8)的上方安装有清洗箱(9)，所述操作台(7)的顶端位于清洗箱(9)的两侧均安装有卡位机构(10)，所述操作台(7)的顶端位于清洗箱(9)的一侧安装有水泵(11)，所述防护壳(1)的外侧靠近水泵(11)所在的一侧设置有水箱(12)，所述水泵(11)的进水端与水箱(12)的内部之间连通有抽水管(13)，且水泵(11)的出水端连接有出水管(14)，所述挡板(2)的内部位于清洗箱(9)的上方位置处安装有清洗机构(16)，所述出水管(14)的一端与清洗机构(16)的顶部连接，所述防护壳(1)的顶端位于出水管(14)的底部位置处安装有第一定滑轮(15)，且防护壳(1)的顶端靠近清洗机构(16)的上方位置处安装有第二定滑轮(17)；

所述卡位机构(10)包括固定连接在操作台(7)顶端的固定板(101)，所述固定板(101)的内侧靠近清洗箱(9)的外侧位置处设置有活动卡板(103)，所述活动卡板(103)与固定板(101)的内侧壁之间连接有若干个弹簧(102)，且活动卡板(103)的端部向外张开呈喇叭口结构；

所述清洗机构(16)包括靠近清洗箱(9)上方设置有的水腔(161)，所述水腔(161)的呈中空的圆盘形结构，且水腔(161)的边缘处均与安装有喷头(162)，所述水腔(161)的中部顶端连接有升降架(163)，所述升降架(163)的外壁设置有齿牙(164)，所述防护壳(1)的内部靠近升降架(163)的外侧位置处啮合连接有齿轮(165)，所述齿轮(165)的中轴部连接有伺服电机(166)，所述出水管(14)的一端穿过升降架(163)的底部与水腔(161)的内部连通，所述防护壳(1)的顶部内壁靠近升降架(163)的一侧固定连接有固定杆(167)，所述升降架(163)的外壁靠近固定杆(167)所在的一侧设置有T型卡块(168)，所述固定杆(167)的外壁对应T型卡块(168)的外部沿竖直方向上设置有T型滑槽(169)。

2.根据权利要求1所述的一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置，其特征在于：所述防护壳(1)的内侧壁位于限位横杆(4)的两端部沿竖直方向上均设置有滑轨，所述限位横杆(4)与防护壳(1)的内侧壁之间通过滑轨滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置，其特征在于：所述清洗箱(9)的底部设置有排液阀，所述操作台(7)的顶部对应排液阀的外部设置有通孔。

4.根据权利要求1所述的一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置，其特征在于：所述固定板(101)的底部与操作台(7)的顶端之间通过螺栓固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置，其特征在于：所述弹簧(102)的两端部均设置有金属片，金属片与活动卡板(103)和固定板(101)的外壁之间均通过螺钉固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置，其特征在于：所述水泵(11)的底部与操作台(7)的顶部之间通过螺栓固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置，其特征在于：所述第一定滑轮(15)和第二定滑轮(17)的底部均与防护壳(1)的顶端之间均通过螺栓固定连接。

8.根据权利要求1所述的一种去除湿法工艺腔体内壁残留物的清洗装置，其特征在于：所述防护壳(1)的内壁对应齿轮(165)的中轴杆端部位置处安装有轴承座，所述齿轮(165)的中轴杆与伺服电机(166)的转子部同轴连接。

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