CN213298680U - 一种减震装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种减震装置，包括壳体以及安装在壳体上的负载平台，壳体对应负载平台的位置设有减震囊膜，壳体内开设有依次连通的第一气室、节流孔和第二气室，第一气室通过减震囊膜密封，第二气室开设有进气口；本实用新型提供的减震装置减震性能好，第一气室通过节流孔与第二气室连通，能够为第一气室的体积变化提供阻尼，从而减小位于减震囊膜上的负载平台受到的振动，进而提高负载平台上的待检电子产品的稳定性，利于检测精度的提升。

Description

一种减震装置

技术领域

本实用新型涉及电子测试设备技术领域，尤其涉及一种减震装置。

背景技术

随着电子制造业的发展，对于下线产品的质量要求也越来越高，因此，在生产过程中，需要对待下线产品进行多项检测，而随着电子产品小型化的发展趋势，电子产品的检测难度也越来越高，在检测过程中，往往需要使用专业的电子检测设备对电子产品进行检测，但凡是电子设备都难免会在运行过程中产生一定的振动，而振动则会对检测平台上的电子产品的检测结果产生影响，因此，为减小振动对于电子产品检验结果的影响，一般会使用弹性气囊或海绵等具有弹性缓冲的部件进行减震，但减震效果不佳，无法有效减小待检产品受振动的影响。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种减震性能好的减震装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种减震装置，包括壳体以及安装在所述壳体上的负载平台，所述壳体对应所述负载平台的位置设有减震囊膜，所述壳体内开设有依次连通的第一气室、节流孔和第二气室，所述第一气室通过所述减震囊膜密封，所述第二气室开设有进气口。

进一步的，所述壳体内还设有内压板，所述内压板一侧形成所述第一气室，另一侧形成所述第二气室，所述节流孔开设于所述内压板上。

进一步的，还包括连通所述第一气室与所述第二气室的节流通道，所述节流通道内设有节流阀。

进一步的，所述内压板与所述壳体连接处设有第一密封件。

进一步的，还包括与所述进气口连通的气压调节组件。

进一步的，所述气压调节组件包括外壳以及设于所述外壳内的调节件，所述外壳内开设有增压腔体与舒压腔体，所述进气口连通所述外壳内部，所述调节件用以控制所述进气口与所述增压腔体或所述舒压腔体的连通。

进一步的，所述气压调节组件还包括用以驱动所述调节件的驱动件，所述驱动件的一端与所述调节件连接，所述驱动件的另一端与所述负载平台连接。

进一步的，所述气压调节组件还包括回位件，所述回位件连接所述外壳与所述调节件。

进一步的，所述外壳内还开设有与所述进气口连通的中转腔体，所述调节件依次贯穿所述舒压腔体、中转腔体和所述增压腔体。

进一步的，还包括设于所述外壳内的第二密封件，所述舒压腔体与所述中转腔体之间以及所述增压腔体与所述中转腔体之间分别设有所述第二密封件。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型提供的减震装置减震性能好，第一气室通过节流孔与第二气室连通，能够为第一气室的体积变化提供阻尼，从而减小位于减震囊膜上的负载平台受到的振动，进而提高负载平台上的待检电子产品的稳定性，利于检测精度的提升。

附图说明

图1为本实用新型实施例一的减震装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例一的负载平台处于压力平衡状态时气压调节组件的结构示意图；

图3为本实用新型实施例一的负载平台压力过大时气压调节组件的结构示意图；

图4为本实用新型实施例一的负载平台压力过小时气压调节组件的结构示意图；

标号说明：

1、壳体；11、第一气室；12、第二气室；13、进气口；14、节流通道；15、节流阀；2、减震囊膜；3、负载平台；4、内压板；41、节流孔；42、第一密封件；5、外壳；51、舒压腔体；52、中转腔体；53、增压腔体；54、增压气口；55、出气口；6、调节件；61、连通槽；7、驱动件；8、回位件；9、第二密封件。

具体实施方式

为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。

请参照图1至图4，一种减震装置，包括壳体1以及安装在所述壳体1上的负载平台3，所述壳体1对应所述负载平台3的位置设有减震囊膜2，所述壳体1内开设有依次连通的第一气室11、节流孔41和第二气室12，所述第一气室11通过所述减震囊膜2密封，所述第二气室12开设有进气口13。

本实用新型的有益效果在于：第一气室11通过节流孔41与第二气室12连通，能够为第一气室11的体积变化提供阻尼，从而减小位于减震囊膜2上的负载平台3受到的振动，进而提高负载平台3上的待检电子产品的稳定性，利于检测精度的提升。

进一步的，所述壳体1内还设有内压板4，所述内压板4一侧形成所述第一气室11，另一侧形成所述第二气室12，所述节流孔41开设于所述内压板4上。

由上述描述可知，所述内压板4能够将所述第一气室11与所述第二气室12分隔开来，所述内压板4上的所述节流孔41能够限制所述第一气室11与所述第二气室12之间的气体流量，从而使得所述第一气室11的体积变化具有阻尼感。

进一步的，还包括连通所述第一气室11与所述第二气室12的节流通道14，所述节流通道14内设有节流阀15。

由上述描述可知，所述节流阀15用以控制所述第一气室11与所述第二气室12之间的气体流量大小，进而调节第一气室11的体积变化的阻尼大小。

进一步的，所述内压板4与所述壳体1连接处设有第一密封件42。

由上述描述可知，所述第一密封件42能够确保所述第一气室11与所述第二气室12之间的密封性。

进一步的，还包括与所述进气口13连通的气压调节组件。

由上述描述可知，所述气压调节组件能够对所述第二气室12内的气压进行调节，进而可根据设备的固有振动频率对气压大小进行调整。

进一步的，所述气压调节组件包括外壳5以及设于所述外壳5内的调节件6，所述外壳5内开设有增压腔体53与舒压腔体51，所述进气口13连通所述外壳5内部，所述调节件6用以控制所述进气口13与所述增压腔体53或所述舒压腔体51的连通。

由上述描述可知，所述气压调节组件结构简单，且便于调节，通过调节所述调节件6的位置即可实现对所述第二气室12增压或舒压。

进一步的，所述气压调节组件还包括用以驱动所述调节件6的驱动件7，所述驱动件7的一端与所述调节件6连接，所述驱动件7的另一端与所述负载平台3连接。

由上述描述可知，所述驱动件7用以驱动所述调节件6，并且所述驱动件7与所述负载平台3连接，可通过感应所述负载平台3的压力进而对壳体1内的气压进行调节。

进一步的，所述气压调节组件还包括回位件8，所述回位件8连接所述外壳5与所述调节件6。

由上述描述可知，所述回位件8便于所述调节件6的自动回位，提升了所述气压调节组件使用的便捷性。

进一步的，所述外壳5内还开设有与所述进气口13连通的中转腔体52，所述调节件6依次贯穿所述舒压腔体51、中转腔体52和所述增压腔体53。

由上述描述可知，所述中转腔体52便于所述进气口13更好地实现与所述舒压腔体51或所述增压腔体53的通断。

进一步的，还包括设于所述外壳5内的第二密封件9，所述舒压腔体51与所述中转腔体52之间以及所述增压腔体53与所述中转腔体52之间分别设有所述第二密封件9。

由上述描述可知，所述第二密封件9能够确保所述中转腔体52与所述增压腔体53以及所述舒压腔体51之间的密封性。

实施例一

请参照图1至图4，本实用新型的实施例一为：一种减震装置，适用于半导体行业的检测设备，包括壳体1以及安装在所述壳体1上的负载平台3，所述负载平台3用于搭载待检测的电子产品，所述壳体1对应所述负载平台3的位置设有减震囊膜2，所述壳体1内开设有依次连通的第一气室11、节流孔41和第二气室12，所述第一气室11通过所述减震囊膜2密封，所述第二气室12开设有进气口13；具体的，所述节流孔41的横截面积与所述第二气室12的横截面积的比值为1.3*10^﹣5，所述第二气室12内填充有高压空气，高压空气经所述节流孔41进入所述第一气室11内，随着空气的进入，所述第一气室11的体积增大，从而驱使所述减震囊膜2将所述负载平台3支撑起来，进而达到减震的效果。

在本实施例中，所述第二气室12呈鼓形状，如此，能够增大所述第二气室12与所述第一气室11的体积占比，进而最大限度地加强减震效果。

优选的，所述壳体1内还设有内压板4，所述内压板4一侧形成所述第一气室11，另一侧形成所述第二气室12，所述内压板4上还开设有连通所述第一气室11与所述第二气室12的节流孔41，容易理解的，所述内压板4能够将所述第一气室11与所述第二气室12分隔开来，所述内压板4上的所述节流孔41能够限制所述第一气室11与所述第二气室12之间的气体流量，从而使得所述减震囊膜2的形变具有阻尼感。

具体的，还包括连通所述第一气室11与所述第二气室12的节流通道14，所述节流通道14内设有节流阀15，所述节流阀15用以控制所述第一气室11与所述第二气室12之间的节流孔41内的气体流量大小，从而调节减震囊膜2形变过程中的阻尼大小，如此，便可根据半导体设备的固有振动频率对所述减震囊膜2的形变阻尼进行调节，进而使得减震效果达到最佳。更具体的，所述内压板4与所述壳体1连接处设有第一密封件42，所述第一密封件42能够确保所述第一气室11与所述第二气室12之间的密封性。

优选的，还包括与所述进气口13连通的气压调节组件，所述气压调节组件能够对所述第二气室12内的气压进行调节，进而可根据设备的固有振动频率对气压大小进行调整。

具体的，所述气压调节组件包括外壳5以及设于所述外壳5内的调节件6，所述外壳5内开设有增压腔体53与舒压腔体51，所述进气口13连通所述外壳5内部，所述调节件6用以控制所述进气口13与所述增压腔体53或所述舒压腔体51的连通，更具体的，所述外壳5上开设有连通所述舒压腔体51与所述壳体1外部的出气口55，所述外壳5上还开设有连通所述增压腔体53的增压气口54，通过所述增压气口54向所述增压腔体53内填充高压空气，容易理解的，所述气压调节组件结构简单，且便于调节，通过调节所述调节件6的位置即可实现对所述第二气室12增压或舒压。

在本实施例中，所述气压调节组件还包括用以驱动所述调节件6的驱动件7，所述驱动件7的一端与所述调节件6连接，所述驱动件7的另一端与所述负载平台3连接，所述驱动件7用以驱动所述调节件6，并且所述驱动件7与所述负载平台3连接，可通过感应所述负载平台3的压力进而对壳体1内的气压进行调节；具体的，为提升所述气压调节组件使用的便捷性，所述气压调节组件还包括回位件8，所述回位件8连接所述外壳5与所述调节件6，在本实施例中，所述回位件8为压缩弹簧，容易理解的，所述压缩弹簧便于所述调节件6自动进行回位。

为提升所述气压调节组件功能表现的稳定性，所述外壳5内还开设有与所述进气口13连通的中转腔体52，所述调节件6依次贯穿所述舒压腔体51、中转腔体52和所述增压腔体53，容易理解的，所述中转腔体52便于所述进气口13更好地实现与所述舒压腔体51或所述增压腔体53的通断；具体的，还包括设于所述外壳5内的第二密封件9，所述舒压腔体51与所述中转腔体52之间以及所述增压腔体53与所述中转腔体52之间分别设有所述第二密封件9，所述第二密封件9套接于所述调节件6上，更具体的，所述调节件6沿所述外壳5的轴向方向可滑动，所述调节件6上开设有连通槽61，当所述调节件6发生行程变化时，所述连通槽61的位置也会变化。

在本实施例中，所述气压调节件6的工作原理为：

请结合图1和图2，当所述负载平台3处于压力平衡状态时，所述驱动件7抵触所述调节件6，使得所述连通槽61完全位于中转腔体52内，此时，所述气压调节组件不向所述第二气室12内输送高压空气也不会将所述第二气室12内的高压空气排出；

请结合图1和图3，当所述负载平台3压力过大时，会使所述驱动件7下压，进而推动所述调节件6下移，当所述连通槽61位于所述中转腔体52与所述增压腔体53之间的第二密封件9的套接孔位置时，所述增压腔体53内的高压空气会依次经所述连通槽61、中转腔体52、和所述壳体1上的进气口13进入所述第二气室12，从而对所述壳体1内的空气进行补充，使得所述第一气室11的体积增大，进而使得所述减震囊膜2将所述负载平台3慢慢支撑起来，此时，所述驱动件7受到的来自所述负载平台3的压力也会减小，在所述回位件8的作用下，所述调节件6会跟随所述驱动件7上升，当所述调节件6上升至其连通槽61完全位于所述中转腔体52的位置时，所述负载平台3达到压力平衡状态。

请结合图1和图4，当所述负载平台3的压力过小时，所述驱动件7会原理所述调节件6，在所述回位件8的作用下，所述调节件6会上升，当所述调节件6上的所述连通槽61位于所述中转腔体52与所述舒压腔体51之间的第二密封件9的套接孔位置，所述第二气室12内的高压空气会依次经所述进气口13、中转腔体52、舒压腔体51和所述出气口55排出，使得所述第一气室11的体积慢慢减小，进而使得所述减震囊膜2对所述负载平台3的支撑力慢慢减小，此时，所述驱动件7受到的来自所述负载平台3的压力会慢慢增大，进而推动所述调节件6下压，当所述调节件6下压至其连通槽61完全位于所述中转腔体52的位置时，所述负载平台3达到压力平衡状态。

综上所述，本实用新型提供的减震装置减震性能好，更够根据设备的固有振动频率进行适应性调整，从而确保减震效果达到最佳状态。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种减震装置，其特征在于，包括壳体以及安装在所述壳体上的负载平台，所述壳体对应所述负载平台的位置设有减震囊膜，所述壳体内开设有依次连通的第一气室、节流孔和第二气室，所述第一气室通过所述减震囊膜密封，所述第二气室开设有进气口。

2.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，所述壳体内还设有内压板，所述内压板一侧形成所述第一气室，另一侧形成所述第二气室，所述节流孔开设于所述内压板上。

3.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，所述壳体内还开设有还包括连通所述第一气室与所述第二气室的节流通道，所述节流通道内设有节流阀。

4.根据权利要求2所述的减震装置，其特征在于，所述内压板与所述壳体连接处设有第一密封件。

5.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，还包括与所述进气口连通的气压调节组件。

6.根据权利要求5所述的减震装置，其特征在于，所述气压调节组件包括外壳以及设于所述外壳内的调节件，所述外壳内开设有增压腔体与舒压腔体，所述进气口连通所述外壳内部，所述调节件用以控制所述进气口与所述增压腔体或所述舒压腔体的连通。

7.根据权利要求6所述的减震装置，其特征在于，所述气压调节组件还包括用以驱动所述调节件的驱动件，所述驱动件的一端与所述调节件连接，所述驱动件的另一端与所述负载平台连接。

8.根据权利要求6或7所述的减震装置，其特征在于，所述气压调节组件还包括回位件，所述回位件连接所述外壳与所述调节件。

9.根据权利要求6所述的减震装置，其特征在于，所述外壳内还开设有与所述进气口连通的中转腔体，所述调节件依次贯穿所述舒压腔体、中转腔体和所述增压腔体。

10.根据权利要求9所述的减震装置，其特征在于，还包括设于所述外壳内的第二密封件，所述舒压腔体与所述中转腔体之间以及所述增压腔体与所述中转腔体之间分别设有所述第二密封件。

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