CN2132973Y - 激光表面粗糙度检查仪 - Google Patents
激光表面粗糙度检查仪 Download PDFInfo
- Publication number
- CN2132973Y CN2132973Y CN 92216674 CN92216674U CN2132973Y CN 2132973 Y CN2132973 Y CN 2132973Y CN 92216674 CN92216674 CN 92216674 CN 92216674 U CN92216674 U CN 92216674U CN 2132973 Y CN2132973 Y CN 2132973Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- group
- photovalve
- surface roughness
- laser
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本实用新型是激光非接触式表面粗糙度检查仪,
它由半导体激光器、光电元件组、放大器、计算机、显
示器等组成,通过测量从被测表面反射回来的散射光
的分布,由计算机分析光电元件组接收的信号,准确
地显示表面粗糙度,具有结构简单、体积小、重量轻、
便携带的特点、工作寿命长、测量精度高、元件性能价
格比低,特别适用于精密加工工件表面的测量,是生
产车间实现快速、无损测量的理想用具。
Description
本实用新型涉及表面粗糙度的检查仪器,特别是激光非接触式检测装置。
表面粗糙度是一项基本几何量,粗糙度数值大小严重影响机械工作性能。现代加工工业要求,在生产现场对加工表面进行快速、无损地检测,传统的触针式仪器已无法满足这些要求,近年来在已发展的表面粗糙度非接触式测量中,激光散射法是比较具有实用价值的一种方法,采用He-Nc激光管作为光源,体积大、寿命短、仪器笨重,从测量原理上看,在很大程度上是测量表面的反光能力,即光泽度而不是粗糙度,难以准确地反映被测体表面粗糙度。
本实用新型的目的是提供一种激光表面粗糙度检查仪,用以测量从被测表面反射回来的散射光的分布,确定表面粗糙度。
本实用新型包括半导体激光器1、光电元件组7、放大器8、A/D转换器9、计算机10、显示器11等,其特征在于半导体激光器1下面依次设置聚光镜2、光栏3、分光镜4、物镜5;在分光镜4侧面设置光电元件组7;由光电元件组7得到的光信号经放大器8放大,A/D转换器9转换输入计算机10,处理后由显示器11显示。
本实用新型的原理是这样的:当半导体激光器1发出光线后,进入被测件表面6反射到光电元件组7(光电池或光电二极管)上,从被测表面反射回来的散射光存在不同的分布,这种分布与粗糙度参数Rq存在固定关系,从而能得出被测表面粗糙度数值,散射光分布由光电元件接收得到散射分布序列:I1、I2…Ii…In,其中Ii表示第i个元件接收到的光强值,n为接收元件个数。
S值与粗糙度参数Ra(或Rq)值成单调关系,测得S值便可以决定粗糙度Ra值,为便于实际应用,由已知Ra值的粗糙度样板进行定标。据此由计算机处理的数值,即为被显示的表面粗糙度实值。
本实用新型具有结构简单、体积小、重量轻、便于携带的特点,由于采用半导体激光器作为光源,工作寿命长,可达1万小时;其红外线光波波长大,有利于提高测量精度,器件性能价格比低,特别适用于精密加工(磨、精磨、研磨)工件表面的测量,是生产车间实现快速、无损测量的理想用具,宜于推广应用。
本实用新型附图为结构示意图。其中半导体激光器1、聚光镜2、光栏3、分光镜4、物镜5、被测件6、光电元件组7、放大器8、A/D转换器9、计算机10、显示器11。
实施例:
半导体激光器为2LR205、光电池组2CR161,计算机MCS51系列单片机。
Claims (2)
1、一种激光表面粗糙度检查仪,包括半导体激光器1、光电元件组7、放大器8、A/D转换器9、计算机10、显示器11等,其特征在于半导体激光器1下面依次设置聚光镜2、光栏3、分光镜4、物镜5;在分光镜4侧面设置光电元件组7;由光电元件组7得到的光电信号经放大器8放大,A/D转换器9转换输入计算机10,处理后由显示器11显示。
2、根据权利要求1所述的检查仪,其特征在于光电元件组7是由光电池组或光电二极管组组成的,接收散射光的分布。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 92216674 CN2132973Y (zh) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 激光表面粗糙度检查仪 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 92216674 CN2132973Y (zh) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 激光表面粗糙度检查仪 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN2132973Y true CN2132973Y (zh) | 1993-05-12 |
Family
ID=33764754
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 92216674 Expired - Fee Related CN2132973Y (zh) | 1992-08-05 | 1992-08-05 | 激光表面粗糙度检查仪 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN2132973Y (zh) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1322309C (zh) * | 2005-08-09 | 2007-06-20 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 表面粗糙度非接触测量系统 |
CN100394162C (zh) * | 2003-01-23 | 2008-06-11 | 友达光电股份有限公司 | 分析薄膜表面粗糙度的方法 |
CN101865680A (zh) * | 2010-05-25 | 2010-10-20 | 富美科技有限公司 | 一种磁辊表面粗糙度测量系统 |
CN101675333B (zh) * | 2007-04-26 | 2011-04-06 | 西克Ivp股份公司 | 机器视觉系统中确定散射光量的方法和设备 |
CN104019773A (zh) * | 2014-06-06 | 2014-09-03 | 东莞市瀛通电线有限公司 | 一种线材表面粗糙度测量方法及实施该方法的设备 |
CN105066914A (zh) * | 2015-08-05 | 2015-11-18 | 贵州大学 | 快速分辨金属零件表面光洁度的方法及装置 |
CN107186675A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-09-22 | 淮海工学院 | 轻质耐高压薄壁铝合金桶探伤及电器设备检修车 |
CN107283371A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-10-24 | 岳睿 | 携带表面粗糙度检测仪的电器装置检测车 |
CN107309549A (zh) * | 2016-11-11 | 2017-11-03 | 熊云峰 | 精密加工 |
CN109283796A (zh) * | 2017-07-21 | 2019-01-29 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种光刻仿真系统 |
-
1992
- 1992-08-05 CN CN 92216674 patent/CN2132973Y/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100394162C (zh) * | 2003-01-23 | 2008-06-11 | 友达光电股份有限公司 | 分析薄膜表面粗糙度的方法 |
CN1322309C (zh) * | 2005-08-09 | 2007-06-20 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 表面粗糙度非接触测量系统 |
CN101675333B (zh) * | 2007-04-26 | 2011-04-06 | 西克Ivp股份公司 | 机器视觉系统中确定散射光量的方法和设备 |
CN101865680A (zh) * | 2010-05-25 | 2010-10-20 | 富美科技有限公司 | 一种磁辊表面粗糙度测量系统 |
CN104019773A (zh) * | 2014-06-06 | 2014-09-03 | 东莞市瀛通电线有限公司 | 一种线材表面粗糙度测量方法及实施该方法的设备 |
CN104019773B (zh) * | 2014-06-06 | 2017-10-13 | 东莞市瀛通电线有限公司 | 一种线材表面粗糙度测量方法及实施该方法的设备 |
CN105066914A (zh) * | 2015-08-05 | 2015-11-18 | 贵州大学 | 快速分辨金属零件表面光洁度的方法及装置 |
CN107309549A (zh) * | 2016-11-11 | 2017-11-03 | 熊云峰 | 精密加工 |
CN107186675A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-09-22 | 淮海工学院 | 轻质耐高压薄壁铝合金桶探伤及电器设备检修车 |
CN107283371A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-10-24 | 岳睿 | 携带表面粗糙度检测仪的电器装置检测车 |
CN109283796A (zh) * | 2017-07-21 | 2019-01-29 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种光刻仿真系统 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN2132973Y (zh) | 激光表面粗糙度检查仪 | |
CN110470231B (zh) | 一种透明物体厚度激光测量方法和系统 | |
CN105547201B (zh) | 平面度测量装置 | |
CN105953739B (zh) | 一种基于激光照射强度变化的横向形变测量系统及方法 | |
CN100427880C (zh) | 光学玻璃粗糙度实时检测装置和方法 | |
CN103868476B (zh) | 基于光电无损检测的管状物内孔直线度自动检测系统及检测方法 | |
CN113280728A (zh) | 光谱共焦位移传感器 | |
CN113175884B (zh) | 一种光谱共焦测量系统的标定装置及标定方法 | |
CN207487615U (zh) | 手机盖板玻璃质量检测装置 | |
CN108592829A (zh) | 一种非接触测量深孔内表面粗糙度的测量装置和方法 | |
CN101865680A (zh) | 一种磁辊表面粗糙度测量系统 | |
US4836031A (en) | Method and apparatus for measuring deformations of test samples in testing machines | |
CN202974199U (zh) | 一种研磨棒直径测量仪 | |
CN201615890U (zh) | 非接触平板玻璃表面探伤装置 | |
CN112595493B (zh) | 一种激光损伤阈值和非线性吸收的共靶面测量装置和方法 | |
CN103292980B (zh) | 光电探测器直线度和面响应均匀性的测量装置 | |
Arecchi et al. | A fast versatile optical profilometer | |
Tong et al. | The research of screw thread parameter measurement based on position sensitive detector and laser | |
CN202229741U (zh) | 陶瓷制品光洁度激光测量装置 | |
CN1014091B (zh) | 激光扫描测粗糙度的方法及测量仪 | |
CN215003464U (zh) | 一种激光传感器面差尺 | |
CN203203560U (zh) | 晶体重量尺寸自动测量装置 | |
CN210198331U (zh) | 一种基于激光散射法的表面粗糙度测量仪 | |
US6914683B1 (en) | Measurement of small, periodic undulations in surfaces | |
CN204988888U (zh) | 一种用于金属材料疲劳损伤测试的系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C19 | Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |