CN2132973Y - 激光表面粗糙度检查仪 - Google Patents

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Abstract

本实用新型是激光非接触式表面粗糙度检查仪, 它由半导体激光器、光电元件组、放大器、计算机、显 示器等组成,通过测量从被测表面反射回来的散射光 的分布,由计算机分析光电元件组接收的信号,准确 地显示表面粗糙度,具有结构简单、体积小、重量轻、 便携带的特点、工作寿命长、测量精度高、元件性能价 格比低,特别适用于精密加工工件表面的测量,是生 产车间实现快速、无损测量的理想用具。

Description

本实用新型涉及表面粗糙度的检查仪器,特别是激光非接触式检测装置。
表面粗糙度是一项基本几何量,粗糙度数值大小严重影响机械工作性能。现代加工工业要求,在生产现场对加工表面进行快速、无损地检测,传统的触针式仪器已无法满足这些要求,近年来在已发展的表面粗糙度非接触式测量中,激光散射法是比较具有实用价值的一种方法,采用He-Nc激光管作为光源,体积大、寿命短、仪器笨重,从测量原理上看,在很大程度上是测量表面的反光能力,即光泽度而不是粗糙度,难以准确地反映被测体表面粗糙度。
本实用新型的目的是提供一种激光表面粗糙度检查仪,用以测量从被测表面反射回来的散射光的分布,确定表面粗糙度。
本实用新型包括半导体激光器1、光电元件组7、放大器8、A/D转换器9、计算机10、显示器11等,其特征在于半导体激光器1下面依次设置聚光镜2、光栏3、分光镜4、物镜5;在分光镜4侧面设置光电元件组7;由光电元件组7得到的光信号经放大器8放大,A/D转换器9转换输入计算机10,处理后由显示器11显示。
本实用新型的原理是这样的:当半导体激光器1发出光线后,进入被测件表面6反射到光电元件组7(光电池或光电二极管)上,从被测表面反射回来的散射光存在不同的分布,这种分布与粗糙度参数Rq存在固定关系,从而能得出被测表面粗糙度数值,散射光分布由光电元件接收得到散射分布序列:I1、I2…Ii…In,其中Ii表示第i个元件接收到的光强值,n为接收元件个数。
令Pi=Ii/
Figure 922166749_IMG2
Pi为分布频率,并且
Figure 922166749_IMG3
=1分布=阶矩S=∑(i- i)2·Pi,其中, i= 1/(n)
Figure 922166749_IMG4
S值与粗糙度参数Ra(或Rq)值成单调关系,测得S值便可以决定粗糙度Ra值,为便于实际应用,由已知Ra值的粗糙度样板进行定标。据此由计算机处理的数值,即为被显示的表面粗糙度实值。
本实用新型具有结构简单、体积小、重量轻、便于携带的特点,由于采用半导体激光器作为光源,工作寿命长,可达1万小时;其红外线光波波长大,有利于提高测量精度,器件性能价格比低,特别适用于精密加工(磨、精磨、研磨)工件表面的测量,是生产车间实现快速、无损测量的理想用具,宜于推广应用。
本实用新型附图为结构示意图。其中半导体激光器1、聚光镜2、光栏3、分光镜4、物镜5、被测件6、光电元件组7、放大器8、A/D转换器9、计算机10、显示器11。
实施例:
半导体激光器为2LR205、光电池组2CR161,计算机MCS51系列单片机。

Claims (2)

1、一种激光表面粗糙度检查仪,包括半导体激光器1、光电元件组7、放大器8、A/D转换器9、计算机10、显示器11等,其特征在于半导体激光器1下面依次设置聚光镜2、光栏3、分光镜4、物镜5;在分光镜4侧面设置光电元件组7;由光电元件组7得到的光电信号经放大器8放大,A/D转换器9转换输入计算机10,处理后由显示器11显示。
2、根据权利要求1所述的检查仪,其特征在于光电元件组7是由光电池组或光电二极管组组成的,接收散射光的分布。
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