CN213296412U - 一种用于电镜室的被动减振隔振地基结构 - Google Patents

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CN213296412U CN202021960613.7U CN202021960613U CN213296412U CN 213296412 U CN213296412 U CN 213296412U CN 202021960613 U CN202021960613 U CN 202021960613U CN 213296412 U CN213296412 U CN 213296412U
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陈海鹏
沈凯捷
左金龙
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Shanghai Covance Integrated Microelectronics Co ltd
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Shanghai Fuyi Instrument Equipment Co ltd
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Abstract

本案涉及一种用于电镜室的被动减振隔振地基结构,包括U型结构素土夯实层,在其内壁侧面设置有隔振层,在其底部设置有第一混凝土层并延伸至所述隔振层表面并将其包覆;在第一混凝土层的表面还依次铺设有防水层、第二混凝土层、金属屏蔽层、第三混凝土层、水泥自流平层和橡胶地板层。本案中层与层之间设计合理,相互配合,并依靠隔振层的变形吸收、消耗电镜室周围振动波传递的能量,减少振动能量直接向上部传递,从而达到减振隔振的效果;在第三混凝土层表面铺设水泥自流平层,增加地面刚性,有效避免了电镜室内因人员走动可能产生的振动影响;同时地表为橡胶地板层,易于铺设、清洗和保养,且还具有抗静电、防潮、阻燃等的作用。

Description

一种用于电镜室的被动减振隔振地基结构
技术领域
本实用新型属于减振隔振领域,具体为一种用于电镜室的被动减振隔振地基结构。
背景技术
透射电镜等高精密仪器广泛应用于各大高校、研究院等的精密测量,若要获得高分辨图像等测试数据,对安装电镜环境的要求十分严格。磁场干扰和振动是直接影响仪器分辨率的两个主要因素。
目前减振是工程上防止振动危害的主要手段,安装主动减振系统装置和加大电镜室基础质量是常用的两种减振措施。但主动减振装置不能完全解决所有低频段的振动问题,因此加大电镜室的基础质量,在设计、施工合理的情况下是目前解决电镜等精密仪器振动最为经济、可靠的技术手段。
发明内容
针对现有技术中的不足之处,本案提供了一种用于电镜室的被动减振隔振地基结构,采用增大混凝土基础层设计的方案,能够有效吸收和隔绝外部振动,达到电镜主机设备减振隔振的技术要求。
一种用于电镜室的被动减振隔振地基结构,包括有素土夯实层,其呈U 型结构;在所述素土夯实层的内壁侧面设置有隔振层,在所述素土夯实层的底部设置有第一混凝土层,所述第一混凝土层延伸至所述隔振层表面并将其包覆;在所述第一混凝土层的表面还依次铺设有防水层、第二混凝土层、金属屏蔽层、第三混凝土层、水泥自流平层和橡胶地板层。
优选地,所述隔振层为挤塑板隔振层。
优选地,所述第一混凝土层和第二混凝土层的厚度均为80~150mm。
优选地,所述防水层为聚氨酯防水层。
优选地,所述金属屏蔽层为铝板或硅钢板层,其厚度为5~7mm。
优选地,所述第三混凝土层的厚度为400~600mm。
优选地,所述水泥自流平层的厚度为2~3mm。
优选地,所述橡胶地板的厚度为2~3mm。
本实用新型的有益效果是:本实用新型通过对现有电镜室地基结构的改进,加大了电镜室的基础质量,混凝土层与各功能性层与层之间设计合理,相互配合,并依靠隔振层的变形吸收、消耗电镜室周围振动波传递的能量,达到减振隔振的效果;地表铺设水泥自流平层,其上铺设橡胶地板层,增加地面刚性,有效避免了电镜室内因人员走动可能产生的振动影响,且还具有抗静电、防潮、阻燃等的作用。
附图说明
图1为本发明实施例中的用于电镜室的被动减振隔振地基结构的剖面图。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型做进一步的详细说明,以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
如图1所示,该用于电镜室的被动减振隔振地基的结构为,在底部设有素土夯实层1,其呈U型结构用于夯实地基;在所述素土夯实层1的内壁侧面设置有隔振层2,在所述素土夯实层1的底部设置有第一混凝土层3并延伸至所述隔振层2表面并将其包覆;在所述第一混凝土层3的表面依次铺设有防水层4、第二混凝土层5、金属屏蔽层6、第三混凝土层7、水泥自流平层8和橡胶地板层9。
其中,所述隔振层2优选为挤塑板隔振层。
其中,所述第一混凝土层3和第二混凝土层5的厚度均为80~150mm,作为防水层的垫层和保护层。
其中,所述防水层4为聚氨酯防水层。
其中,所述金属屏蔽层6优选为硅钢板层,其厚度优选为5~7mm。
其中,所述第三混凝土层7的厚度为400~600mm。
其中,所述水泥自流平层8的厚度为2~3mm。
其中,所述橡胶地板的厚度为2~3mm。
上述结合构成本实用新型的用于电镜室的被动减振隔振地基结构,在此地基上可放置大型电镜仪器A。地基中铺设有防水层4和金属屏蔽层6用于防水和磁屏蔽;地基中铺设第一混凝土层3、第二混凝土层5和第三混凝土层7分别作为缓冲垫层、防水保护层和减振基础层;此外隔振层2设置在素土夯实层1和第一混凝土3之间,依靠隔振层2的变形吸收、消耗电镜室周围振动波传递的能量,减少振动能量直接向上部传递,从而达到减振隔振的效果;在第三混凝土层7的表面铺设水泥自流平层8,增加了地面刚性,有效避免了电镜室内因人员走动可能产生的振动影响;同时地表为橡胶地板层 9,易于铺设、清洗和保养,且还具有抗静电、防潮、阻燃等的作用。
尽管本实用新型的实施方案已公开如上,但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用,它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域,对于熟悉本领域的人员而言,可容易地实现另外的修改,因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下,本实用新型并不限于特定的细节。

Claims (8)

1.一种用于电镜室的被动减振隔振地基结构,其特征在于,包括有素土夯实层(1),其呈U型结构;在所述素土夯实层(1)的内壁侧面设置有隔振层(2),在所述素土夯实层(1)的底部设置有第一混凝土层(3),所述第一混凝土层(3)延伸至所述隔振层(2)表面并将其包覆;在所述第一混凝土层(3)的表面还依次铺设有防水层(4)、第二混凝土层(5)、金属屏蔽层(6)、第三混凝土层(7)、水泥自流平层(8)和橡胶地板层(9)。
2.如权利要求1所述的用于电镜室的被动减振隔振地基结构,其特征在于,所述隔振层(2)为挤塑板隔振层。
3.如权利要求1所述的用于电镜室的被动减振隔振地基结构,其特征在于,所述第一混凝土层(3)和第二混凝土层(5)的厚度均为80~150mm。
4.如权利要求1所述的用于电镜室的被动减振隔振地基结构,其特征在于,所述防水层(4)为聚氨酯防水层。
5.如权利要求1所述的用于电镜室的被动减振隔振地基结构,其特征在于,所述金属屏蔽层(6)为铝板或硅钢板层,其厚度为5~7mm。
6.如权利要求1所述的用于电镜室的被动减振隔振地基结构,其特征在于,所述第三混凝土层(7)的厚度为400~600mm。
7.如权利要求1所述的用于电镜室的被动减振隔振地基结构,其特征在于,所述水泥自流平层(8)的厚度为2~3mm。
8.如权利要求1所述的用于电镜室的被动减振隔振地基结构,其特征在于,所述橡胶地板的厚度为2~3mm。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN114250880A (zh) * 2021-12-31 2022-03-29 同济大学 一种再生混凝土剪切隔振装置

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