CN213266785U - 一种拆装方便的籽晶杆 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种拆装方便的籽晶杆，涉及半导体晶体生长设备技术领域，包括籽晶杆，所述籽晶杆的内部放置有籽晶柱，所述籽晶杆靠近籽晶柱一端的外侧固定套接有限位套，所述籽晶杆外侧远离限位套的一端固定套接有限定套，本实用新型的有益效果为：该拆装方便的籽晶杆，通过设置有滑动弹簧、移动套以及连接柱，操作人员推动移动套向限定套方向移动，使得移动套内部与连接柱的一端接触位置的内径逐步增大，从而使得卡紧弹簧拉动卡紧柱向移动套方向移动，使得卡紧柱带动卡板向移动套方向移动，使得固定在卡板之间的籽晶柱能够从籽晶杆内部取出，使得籽晶柱能够方便的从籽晶杆内部取出，大大提高了本籽晶杆的实用性。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体晶体生长设备技术领域，具体为一种拆装方便的籽晶杆。
背景技术
提拉炉生长晶体所使用的籽晶杆,通常是将籽晶一端打孔或者用锉刀在籽晶一端磨出一个槽,使用销子将籽晶和籽晶杆贯穿在一起,从而将籽晶和籽晶杆连接固定在一起。但是在将籽晶从籽晶杆上拆卸下来时，需要先将销子拆卸下来，但是销子在拆卸时容易出现卡死的现象，从而导致籽晶拆卸较为麻烦。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种拆装方便的籽晶杆，解决了上述背景技术中提出的问题。
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种拆装方便的籽晶杆，包括籽晶杆，所述籽晶杆的内部放置有籽晶柱，所述籽晶杆靠近籽晶柱一端的外侧固定套接有限位套，所述籽晶杆外侧远离限位套的一端固定套接有限定套，所述籽晶杆的外侧且位于限定套与限位套之间滑动套接有滑动弹簧，所述滑动弹簧远离限位套的一端与限定套的一侧固定连接，所述滑动弹簧远离限定套的一侧固定连接有移动套，所述移动套滑动套接在籽晶杆的外侧，所述籽晶杆的内部靠近移动套的一侧均开设有移动槽，所述移动槽的内部滑动连接有卡紧柱，所述卡紧柱远离限定套的一侧固定连接有连接柱，所述连接柱远离卡紧柱的一端延伸至移动套的内部，所述移动槽的内部且位于连接柱的外侧滑动连接有卡紧弹簧，所述卡紧柱远离移动套的一端均延伸至籽晶杆的内腔，所述卡紧柱的一端固定连接有卡板，所述籽晶柱位于卡板之间。
优选的，所述限位套的顶部开设有连接槽，所述连接槽的内部放置有连接块，所述连接块的顶部与移动套的底端固定连接，所述限位套的一侧开设有滑槽，所述限位套的内部且位于滑槽的一侧开设有固定槽，所述滑槽的内部滑动连接有滑块，所述固定槽的内部滑动连接有固定柱，所述滑块靠近连接块的一端延伸至固定槽的内部，所述滑块的一端与固定柱的一侧固定连接，所述固定槽的内腔且位于滑块的外侧滑动连接有固定弹簧，所述连接块靠近卡槽的一侧开设有卡槽，所述固定柱远离滑块的一端延伸至卡槽的内部。
优选的，所述卡槽的形状大小与固定柱远离滑块一端的形状大小相匹配。
优选的，所述连接槽的内径大于连接块的直径。
优选的，所述滑块远离固定槽的一侧开设有扣槽。
优选的，所述移动套靠近滑动弹簧的一端的内径小于移动套靠近限位套一端的内径。
本实用新型提供了一种拆装方便的籽晶杆，具备以下有益效果：
1、该拆装方便的籽晶杆，通过设置有滑动弹簧、移动套以及连接柱，操作人员推动移动套向限定套方向移动，使得移动套内部与连接柱的一端接触位置的内径逐步增大，从而使得卡紧弹簧拉动卡紧柱向移动套方向移动，使得卡紧柱带动卡板向移动套方向移动，使得固定在卡板之间的籽晶柱能够从籽晶杆内部取出，使得籽晶柱能够方便的从籽晶杆内部取出，大大提高了本籽晶杆的实用性。
2、该拆装方便的籽晶杆，通过设置有固定弹簧、固定柱以及卡槽，当连接块移动到连接槽内部时，然后操作人员松开滑块，此时固定弹簧推动固定柱向卡槽内部移动，同时固定柱带动滑块在滑槽内部滑动，然后固定柱远离滑块的一端伸入至卡槽内部，将连接块固定在连接槽的内部，使得籽晶柱能够较为稳固的固定在籽晶杆内部，防止籽晶柱在使用时从籽晶杆内部脱落，造成生产事故的发生。
附图说明
图1为本实用新型内部结构示意图；
图2为本实用新型图1的A部放大图；
图3为本实用新型图1的B部放大图。
图中：1、籽晶杆；2、籽晶柱；3、限定套；4、限位套；5、滑动弹簧； 6、移动套；7、连接槽；8、连接块；9、滑槽；10、滑块；11、固定槽；12、固定柱；13、固定弹簧；14、卡槽；15、连接柱；16、卡紧柱；17、卡板； 18、卡紧弹簧；19、移动槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
请参阅图1至图3，本实用新型提供一种技术方案：一种拆装方便的籽晶杆，包括籽晶杆1，籽晶杆1的内部放置有籽晶柱2，籽晶杆1靠近籽晶柱2 一端的外侧固定套接有限位套4，籽晶杆1外侧远离限位套4的一端固定套接有限定套3，籽晶杆1的外侧且位于限定套3与限位套4之间滑动套接有滑动弹簧5，滑动弹簧5远离限位套4的一端与限定套3的一侧固定连接，滑动弹簧5远离限定套3的一侧固定连接有移动套6，移动套6滑动套接在籽晶杆1的外侧，籽晶杆1的内部靠近移动套6的一侧均开设有移动槽19，移动槽19 的内部滑动连接有卡紧柱16，卡紧柱16远离限定套3的一侧固定连接有连接柱15，连接柱15远离卡紧柱16的一端延伸至移动套6的内部，移动槽19的内部且位于连接柱15的外侧滑动连接有卡紧弹簧18，卡紧柱16远离移动套 6的一端均延伸至籽晶杆1的内腔，卡紧柱16的一端固定连接有卡板17，籽晶柱2位于卡板17之间。
限位套4的顶部开设有连接槽7，连接槽7的内部放置有连接块8，连接块8的顶部与移动套6的底端固定连接，限位套4的一侧开设有滑槽9，限位套4的内部且位于滑槽9的一侧开设有固定槽11，滑槽9的内部滑动连接有滑块10，固定槽11的内部滑动连接有固定柱12，滑块10靠近连接块8的一端延伸至固定槽11的内部，滑块10的一端与固定柱12的一侧固定连接，固定槽11的内腔且位于滑块10的外侧滑动连接有固定弹簧13，连接块8靠近卡槽14的一侧开设有卡槽14，固定柱12远离滑块10的一端延伸至卡槽14 的内部，当连接块8移动到连接槽7的内部时，操作人员松开滑块10，此时固定弹簧13推动固定柱12向卡槽14内部移动，同时固定柱12带动滑块10 在滑槽9内部滑动，然后固定柱12远离滑块10的一端伸入至卡槽14内部，将连接块8固定在连接槽7的内部，使得籽晶柱2能够稳固的固定在籽晶杆1 的内部，防止籽晶柱2在使用时从籽晶杆1内部脱离，卡槽14的形状大小与固定柱12远离滑块10一端的形状大小相匹配，使得籽晶柱2固定在籽晶杆1 的内部更为稳固，防止籽晶柱2在使用时从籽晶杆1内部脱离，连接槽7的内径大于连接块8的直径，使得连接槽7能够移动至连接块8的内部，从而使得固定柱12远离滑块10的一端伸入至卡槽14的内部，将连接块8固定在连接槽7的内部，滑块10远离固定槽11的一侧开设有扣槽，使得操作人员能够方便的拉动滑块10向滑槽9外侧移动，移动套6靠近滑动弹簧5的一端的内径小于移动套6靠近限位套4一端的内径，使得在移动套6向限位套4 移动的过程中，移动套6内部与连接柱15一端接触位置的内径逐步减少，移动套6内壁抵着连接柱15向移动槽19内部方向移动，使得连接柱15能够推动卡紧柱16沿着移动槽19内腔滑动，使得卡紧柱16推动卡板17，使得籽晶柱2固定在卡板17之间。
综上，该拆装方便的籽晶杆，在需要将籽晶柱2从籽晶杆1上取出时，操作人员拉动滑块10，此时滑块10带动固定柱12沿着固定槽11的内腔向滑槽9外侧方向移动，直到使得固定柱12远离滑块10的一端与卡槽14脱离卡接，此时操作人员推动移动套6向限定套3方向移动，使得移动套6内部与连接柱15的一端接触位置的内径逐步增大，从而使得卡紧弹簧18拉动卡紧柱16向移动套6方向移动，使得卡紧柱16带动卡板17向移动套6方向移动，使得固定在卡板17之间的籽晶柱2能够从籽晶杆1内部取出，当需要将籽晶柱2安装籽晶杆1内部时，操作人员将籽晶柱2的一端伸入籽晶杆1底端的内部，此时操作人员松开移动套6，此时滑动弹簧5推动移动套6向限位套4 方向移动，直到使得连接块8移动到连接槽7的内部，在移动套6向限位套4 移动的过程中，移动套6内部与连接柱15一端接触位置的内径逐步减少，移动套6内壁抵着连接柱15向移动槽19内部方向移动，使得连接柱15能够推动卡紧柱16沿着移动槽19内腔滑动，使得卡紧柱16推动卡板17，使得籽晶柱2固定在卡板17之间，然后操作人员松开滑块10，此时固定弹簧13推动固定柱12向卡槽14内部移动，同时固定柱12带动滑块10在滑槽9内部滑动，然后固定柱12远离滑块10的一端伸入至卡槽14内部，将连接块8固定在连接槽7的内部。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种拆装方便的籽晶杆，包括籽晶杆(1)，其特征在于：所述籽晶杆(1)的内部放置有籽晶柱(2)，所述籽晶杆(1)靠近籽晶柱(2)一端的外侧固定套接有限位套(4)，所述籽晶杆(1)外侧远离限位套(4)的一端固定套接有限定套(3)，所述籽晶杆(1)的外侧且位于限定套(3)与限位套(4)之间滑动套接有滑动弹簧(5)，所述滑动弹簧(5)远离限位套(4)的一端与限定套(3)的一侧固定连接，所述滑动弹簧(5)远离限定套(3)的一侧固定连接有移动套(6)，所述移动套(6)滑动套接在籽晶杆(1)的外侧，所述籽晶杆(1)的内部靠近移动套(6)的一侧均开设有移动槽(19)，所述移动槽(19)的内部滑动连接有卡紧柱(16)，所述卡紧柱(16)远离限定套(3)的一侧固定连接有连接柱(15)，所述连接柱(15)远离卡紧柱(16)的一端延伸至移动套(6)的内部，所述移动槽(19)的内部且位于连接柱(15)的外侧滑动连接有卡紧弹簧(18)，所述卡紧柱(16)远离移动套(6)的一端均延伸至籽晶杆(1)的内腔，所述卡紧柱(16)的一端固定连接有卡板(17)，所述籽晶柱(2)位于卡板(17)之间。
2.根据权利要求1所述的一种拆装方便的籽晶杆，其特征在于：所述限位套(4)的顶部开设有连接槽(7)，所述连接槽(7)的内部放置有连接块(8)，所述连接块(8)的顶部与移动套(6)的底端固定连接，所述限位套(4)的一侧开设有滑槽(9)，所述限位套(4)的内部且位于滑槽(9)的一侧开设有固定槽(11)，所述滑槽(9)的内部滑动连接有滑块(10)，所述固定槽(11)的内部滑动连接有固定柱(12)，所述滑块(10)靠近连接块(8)的一端延伸至固定槽(11)的内部，所述滑块(10)的一端与固定柱(12)的一侧固定连接，所述固定槽(11)的内腔且位于滑块(10)的外侧滑动连接有固定弹簧(13)，所述连接块(8)靠近卡槽(14)的一侧开设有卡槽(14)，所述固定柱(12)远离滑块(10)的一端延伸至卡槽(14)的内部。
3.根据权利要求2所述的一种拆装方便的籽晶杆，其特征在于：所述卡槽(14)的形状大小与固定柱(12)远离滑块(10)一端的形状大小相匹配。
4.根据权利要求2所述的一种拆装方便的籽晶杆，其特征在于：所述连接槽(7)的内径大于连接块(8)的直径。
5.根据权利要求2所述的一种拆装方便的籽晶杆，其特征在于：所述滑块(10)远离固定槽(11)的一侧开设有扣槽。
6.根据权利要求1所述的一种拆装方便的籽晶杆，其特征在于：所述移动套(6)靠近滑动弹簧(5)的一端的内径小于移动套(6)靠近限位套(4)一端的内径。
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| CN202021530206.2U CN213266785U (zh) | 2020-07-29 | 2020-07-29 | 一种拆装方便的籽晶杆 |
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| CN202021530206.2U CN213266785U (zh) | 2020-07-29 | 2020-07-29 | 一种拆装方便的籽晶杆 |
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| CN (1) | CN213266785U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114686979A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-07-01 | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 | 可竖移止晃的提拉机构及其使用方法 |
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2020
- 2020-07-29 CN CN202021530206.2U patent/CN213266785U/zh active Active
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