CN213238805U - 一种平行差电子测量仪 - Google Patents
一种平行差电子测量仪 Download PDFInfo
- Publication number
- CN213238805U CN213238805U CN202022614574.1U CN202022614574U CN213238805U CN 213238805 U CN213238805 U CN 213238805U CN 202022614574 U CN202022614574 U CN 202022614574U CN 213238805 U CN213238805 U CN 213238805U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- spectroscope
- main body
- measuring instrument
- light source
- adjustable support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种平行差电子测量仪，包括主体，所述主体连接镜管一端，所述镜管另一端安装有大口径物镜，所述镜管下方连接二维可调支架，所述大口径物镜连接分光镜，所述分光镜两侧开有分光孔，所述分光孔正对反射介质。本装置可实时显示十字光标的位置，并通过十字光标的位置计算出两个反射面的平行度误差，实现了高精度非接触式测量。
Description
技术领域
本实用新型涉及平行差测量技术领域，具体涉及一种平行差电子测量仪。
背景技术
自准直仪，亦称“自准直光管”、“光学平直度检查仪”，是一种利用光的自准直原理将角度测量转换为线性测量的一种计量仪器。它广泛用于小角度测量、平板的平面度测量、导轨的平直度与平行度测量等方面。但自准直仪仅能测量平直度等，而不能精确的测量在同一直线两个相对面的平行度，即两个向对面的平行差，而这种高精度的平行差测量在很多行业都有应用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种平行差电子测量仪，以解决上述背景技术中提出的问题。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种平行差电子测量仪，包括主体，所述主体连接镜管一端，所述镜管另一端安装有大口径物镜，所述镜管下方连接二维可调支架，所述大口径物镜连接分光镜，所述分光镜两侧开有分光孔，所述分光孔正对反射介质；
所述主体包括LED光源，所述LED光源前侧设有十字分划板，所述十字分划板前侧设有分光镜Ⅰ，所述分光镜Ⅰ一侧设有光电探测器，另一侧设有镜管，所述LED光源、十字分划板、分光镜Ⅰ和光电探测器均固定于主体外壳内部，所述主体外壳连接镜管。
优选地，所述分划板正对LED光源，所述分光镜Ⅰ正对十字分划板。
优选地，所述二维可调支架上设有左右调节螺杆和俯仰调节旋钮，所述俯仰调节旋钮位于二维可调支架端部，所述左右调节螺杆位于二维可调支架两侧。
优选地，所述大口径物镜为大口径、长焦距消色差物镜。
本实用新型的技术效果和优点：本装置可实时显示十字光标的位置，并通过十字光标的位置计算出两个反射面的平行度误差，实现了高精度非接触式测量。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图中：1-主体，2-镜管，3-大口径物镜，4-二维可调支架，5-分光镜，6-分光孔，7-反射介质，8-LED光源，9-十字分划板，10-分光镜Ⅰ，11-光电探测器，12-主体外壳，13-左右调节螺杆，14-俯仰调节旋钮。
具体实施方式
为了使本实用新型的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型，在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接或是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以两个元件内部的连通。
实施例1
如图1所示的一种平行差电子测量仪，包括主体1，所述主体1连接镜管2一端，所述镜管2另一端安装有大口径物镜3，所述镜管2下方连接二维可调支架4，所述大口径物镜3连接分光镜5，所述分光镜5两侧开有分光孔6，所述分光孔6正对反射介质7；
所述主体包括LED光源8，所述LED光源8前侧设有十字分划板9，所述十字分划板9前侧设有分光镜Ⅰ10，所述分光镜Ⅰ10一侧设有光电探测器11，另一侧设有镜管12，所述LED光源8、十字分划板9、分光镜Ⅰ10和光电探测器11均固定于主体外壳12内部，所述主体外壳12连接镜管2。
实施例2
如图1所示的一种平行差电子测量仪，包括主体1，所述主体1连接镜管2一端，所述镜管2另一端安装有大口径物镜3，所述大口径物镜3为大口径、长焦距消色差物镜，所述镜管2下方连接二维可调支架4，所述大口径物镜3连接分光镜5，所述分光镜5两侧开有分光孔6，所述分光孔6正对反射介质7；
所述主体包括LED光源8，所述LED光源8前侧正对十字分划板9，所述十字分划板9前侧正对分光镜Ⅰ10，所述分光镜Ⅰ10一侧设有光电探测器11，另一侧设有镜管12，所述LED光源8、十字分划板9、分光镜Ⅰ10和光电探测器11均固定于主体外壳12内部，所述主体外壳12连接镜管2；
所述二维可调支架4上设有左右调节螺杆13和俯仰调节旋钮14，所述俯仰调节旋钮14位于二维可调支架4端部，所述左右调节螺杆13位于二维可调支架4两侧。
本实用新型工艺流程和工作原理为：LED光源8照亮十字分划板9，经过分光镜Ⅰ10和大口径物镜3后变成平行光，平行光再经过分光镜5，使本该向前无限延伸的平行光被分成垂直于原来光路的两束平行光，通过分光孔6分别向大口径物镜3的左右两侧无限延伸，当两束光分别投射到反射介质时会被反射，再经分光镜5、大口径物镜3、分光镜Ⅰ10，最终反射回光电探测器11，通过PC机或其他显示设备可以显示出光电探测器捕捉到的十字分划板，分别向左右无限投射的两束十字分划板被反射回光电探测器11以后，显示器上面会显示两个十字像，如果两个十字像重合就说明两个反射面互相平行，如果两个十字像不重合，就说明两个反射面不是很平行，有一定的误差，通过测量两个十字中心的距离可以计算出两个反射面的平行度误差。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种平行差电子测量仪，包括主体，其特征在于：所述主体连接镜管一端，所述镜管另一端安装有大口径物镜，所述镜管下方连接二维可调支架，所述大口径物镜连接分光镜，所述分光镜两侧开有分光孔，所述分光孔正对反射介质；
所述主体包括LED光源，所述LED光源前侧设有十字分划板，所述十字分划板前侧设有分光镜Ⅰ，所述分光镜Ⅰ一侧设有光电探测器，另一侧设有镜管，所述LED光源、十字分划板、分光镜Ⅰ和光电探测器均固定于主体外壳内部，所述主体外壳连接镜管。
2.根据权利要求1所述的一种平行差电子测量仪，其特征在于：所述分划板正对LED光源，所述分光镜Ⅰ正对十字分划板。
3.根据权利要求1所述的一种平行差电子测量仪，其特征在于：所述二维可调支架上设有左右调节螺杆和俯仰调节旋钮，所述俯仰调节旋钮位于二维可调支架端部，所述左右调节螺杆位于二维可调支架两侧。
4.根据权利要求1所述的一种平行差电子测量仪，其特征在于：所述大口径物镜为大口径、长焦距消色差物镜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022614574.1U CN213238805U (zh) | 2020-11-12 | 2020-11-12 | 一种平行差电子测量仪 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022614574.1U CN213238805U (zh) | 2020-11-12 | 2020-11-12 | 一种平行差电子测量仪 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213238805U true CN213238805U (zh) | 2021-05-18 |
Family
ID=75882015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202022614574.1U Active CN213238805U (zh) | 2020-11-12 | 2020-11-12 | 一种平行差电子测量仪 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213238805U (zh) |
-
2020
- 2020-11-12 CN CN202022614574.1U patent/CN213238805U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20060279743A1 (en) | Measuring device and method for determining relative positions of a positioning stage configured to be moveable in at least one direction | |
| CN103542813B (zh) | 一种基于边界微分和环境光自校准的激光测径仪 | |
| CN103983214A (zh) | 一种利用无衍射光测量导轨四自由度运动误差的装置 | |
| CN106767545A (zh) | 一种高精度高空间分辨角度测量仪及角度测量方法 | |
| CN105157601A (zh) | 单相机三维影像测量仪 | |
| CN101614523A (zh) | 一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪 | |
| CN103925890B (zh) | 一种基于光束畸变的三维角度测量系统 | |
| CN111735401A (zh) | 一种针对大尺寸物体的高精度厚度测量方法及装置 | |
| WO2018000943A1 (zh) | 一种凹柱面及柱面发散镜的检测方法及装置 | |
| CN112161565A (zh) | 一种高精度激光投影视觉三维测量系统 | |
| US10989524B2 (en) | Asymmetric optical interference measurement method and apparatus | |
| CN113091653B (zh) | 基于五棱镜测量直线导轨角自由度误差的装置及方法 | |
| CN101614526A (zh) | 测量厚度和折射率的双共焦方法及测量装置 | |
| CN213238805U (zh) | 一种平行差电子测量仪 | |
| CN209706766U (zh) | 逆哈特曼光路晶圆表面粗糙度测量装置 | |
| CN110186654B (zh) | 一种纵向分辨率测试装置 | |
| CN104748699A (zh) | 光学测量系统及方法 | |
| CN103900495A (zh) | 一种基于条纹反射的大口径镜面面形检测方法及装置 | |
| US3068743A (en) | Optical apparatus for measuring small distances | |
| CN107677219B (zh) | 一种平面平行度测量装置及测量方法 | |
| CN110044280A (zh) | 一种侧焦线法激光三角测厚仪及方法 | |
| CN105758333A (zh) | 一种长程光学表面面形检测仪 | |
| CN213238804U (zh) | 一种远工作距离光电自准直仪 | |
| JP2721812B2 (ja) | 表面形状測定方法 | |
| CN108180934B (zh) | 一种光纤传感装置的检测装置及检测方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |