CN213235487U - 一种抗振分子泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供的一种抗振分子泵，属于分子泵技术领域，包括：泵体,内部具有贯通的轴孔,轴孔的两端分别连接有第一挡盖和第二挡盖；主轴，外壁上间隔地套接有上径向轴承和下径向轴承，通过上径向轴承和下径向轴承转动连接在轴孔内；上径向轴承的顶端通过第一减振垫与第一挡盖抵接，第一减振垫与上径向轴承的顶端之间设有导热弹片；上径向轴承的外圈与泵体之间设有第二减振垫，第二减振垫与导热弹片抵接；下径向轴承的底端通过缓冲组件与第二挡盖抵接，下径向轴承的外圈与泵体之间设有第三减振垫。本实用新型的第一减振垫、第二减振垫、第三减振垫以及缓冲组件的设置，增强了分子泵轴向与径向的抗振能力，还增强了主轴及上径向轴承的散热能力。

Description

一种抗振分子泵

技术领域

本实用新型涉及分子泵技术领域，具体涉及一种抗振分子泵。

背景技术

涡轮分子泵是一种主流的真空获得设备，具有抽速稳定、节能高效、洁净度高、使用维护简单等优点，广泛用于实验分析、核物理研究、质谱分析、晶体炉设备和分子束外延等领域。

涡轮分子泵是一种通过高速旋转的动叶片将动量传递给气体分子以使气体分子产生定向流动的传输式分子泵，分子泵的转速对抽气性能有着至关重要的作用。但是一些便携式仪器和车载仪器等应用环境十分恶劣，不仅抽气性能要求高，而且振动和冲击强，分子泵必须能够承受很高的环境振动。现有的分子泵不能兼顾抽气性能和抗振动能力，导致性能不足或者易发生故障。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的分子泵不能兼顾抽气性能和抗振动能力，在振动和冲击强的应用环境下容易导致性能不足、易发生故障的缺陷，从而提供一种抗振分子泵。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的抗振分子泵，包括：

泵体,内部具有贯通的轴孔,所述轴孔的两端分别连接有第一挡盖和第二挡盖；

主轴，外壁上间隔地套接有上径向轴承和下径向轴承，通过所述上径向轴承和所述下径向轴承转动连接在所述轴孔内；

所述上径向轴承的顶端通过第一减振垫与所述第一挡盖抵接，所述第一减振垫与所述上径向轴承的顶端之间设有导热弹片；所述上径向轴承的外圈与所述泵体之间设有第二减振垫，所述第二减振垫与所述导热弹片抵接；

所述下径向轴承的底端通过缓冲组件与所述第二挡盖抵接，所述下径向轴承的外圈通过轴承座与所述泵体抵接,所述轴承座与所述下径向轴承之间设有第三减振垫。

作为优选方案，所述缓冲组件包括：

轴承推块，设于所述第二挡盖与所述下径向轴承的底端之间，且与所述轴承座滑动连接，所述轴承推块具有沿所述主轴轴线设置的容纳槽和适于与所述下径向轴承抵接的端面；

弹性件，设置在所述轴承推块的容纳腔内，一端与所述轴承推块连接，另一端与所述第二挡盖连接，提供使所述轴承推块与所述下径向轴承抵接的保持力。

作为优选方案，所述轴承推块的外壁与所述轴承座之间设有第四减振垫。

作为优选方案，所述第四减振垫具有间隔设置的至少两个。

作为优选方案，所述第四减振垫为橡胶材质。

作为优选方案，所述第一减振垫、所述第二减振垫以及所述第三减振垫均为橡胶材质。

作为优选方案，所述主轴为阶梯轴，具有与所述上径向轴承的底端抵接的第一承接面和与所述下径向轴承的顶端抵接的第二承接面。

作为优选方案，还包括：

泵壳；

静片，具有多个，间隔地连接在所述泵壳内；

涡轮转子，通过所述主轴转动设于所述泵壳内，所述涡轮转子的周向上具有多个间隔设置的动片，所述动片与所述静片上下交替设置。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的抗振分子泵，主轴通过上径向轴承和下径向轴承转动的连接在-泵体内，主轴驱动涡轮转子旋转，高速旋转的动片与静片相互配合来实现抽气动作；上径向轴承顶端的第一减振垫与下径向轴承底端的缓冲组件配合，能够对动片和静片的盘间隙进行调整，增大分子泵抵抗振动冲击的能力，避免动片发生形变而剐蹭到静片；上径向轴承顶端与第一减振垫之间的导热弹片，能够将主轴的热量依次经上径向轴承、第一减振垫传导给第一挡盖而进行散热，并且导热弹片能够将因冲击而产生的自身形变传递给第一减振垫进行抵消；第二减振垫和第三减振垫，实现径向弹性支撑，实现径向的减振以及抗磨损；并且第二减振垫与导热弹片接触抵接，实现了对主轴及上径向轴承的进一步散热。上述的抗振分子泵，增强了分子泵在轴向与径向上的抗振能力，同时还增强了主轴以及上径向轴承的散热能力。

2.本实用新型提供的抗振分子泵，轴承推块与弹性件配合，实现了对上径向轴承与下径向轴承的轴向缓冲、减振。

3.本实用新型提供的抗振分子泵，第四减振垫的设置，减小了轴承推块与轴承座的滑动磨损。

4.本实用新型提供的抗振分子泵，第一减振垫、第二减振垫、第三减振垫以及第四减振垫选用橡胶材质，不仅具有弹性，并且耐磨。

5.本实用新型提供的抗振分子泵，第一承接面与第二承接面的设置，使得上径向轴承和下径向轴承连接简单、方便、可靠。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型中提供的轴承座与上径向轴承、下径向轴承之间的连接关系示意图。

图2为图1中A区域的放大视图。

图3为图1中B区域的放大视图。

附图标记说明：

1、轴承座；2、主轴；3、上径向轴承；4、下径向轴承；5、第一承接面；6、第二承接面；7、电机；8、第一减振垫；9、导热弹片；10、第二减振垫；11、第一挡盖；12、第三减振垫；13、第四减振垫；14、第二挡盖；15、弹性件；16、轴承推块；17、泵体；18、轴孔；19、泵座。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实施例提供的抗振分子泵，包括：泵体17、泵座19、轴承座1、主轴2以及涡轮转子，所述泵座19的上方连接有泵壳，所述泵体17位于所述泵壳内；所述泵体17的内部具有贯穿的轴孔18，所述主轴2转动连接在所述轴孔18内；所述泵壳内上下间隔地连接有多个静片，所述涡轮转子通过所述主轴2转动设于所述泵壳内，所述涡轮转子的周向上具有多个间隔设置的动片，所述动片与所述静片上下交替设置。

如图1所示，通过所述上径向轴承3与所述下径向轴承4，实现所述主轴2在轴向方向上的悬浮支撑；所述主轴2为阶梯轴，具有与所述上径向轴承3的底端抵接的第一承接面5和与所述下径向轴承4的顶端抵接的第二承接面6。电机7驱动所述主轴2带动所述涡轮转子高速旋转，高速旋转的动片与静片配合实现抽气动作。所述上径向轴承3通过第一支撑结构连接在所述泵体17的轴孔18内，所述下径向轴承4通过第二支撑结构连接在所述泵体17的轴孔18内。

如图2所示，所述第一支撑结构包括：第一减振垫8、导热弹片9以及第二减振垫10；所述上径向轴承3套设在所述主轴2上，且内圈的底面与所述主轴2的第一承接面5抵接；所述上径向轴承3的上方连接有第一挡盖11，所述第一挡盖11与所述泵体17的上端面连接；所述上径向轴承3的外圈顶面与所述第一挡盖11之间设有导热弹片9，所述导热弹片9向外延伸至与所述泵体17的上端面抵接，所述导热弹片9采用铍青铜；所述导热弹片9不仅具有较高的导热，还具有变形能力；所述第一减振垫8选用橡胶平垫片，一端与所述第一挡盖11抵接，另一端经所述导热弹片9与所述上径向轴承3的外圈顶面抵接；所述导热弹片9与所述第一减振垫8配合，使上径向轴承3与所述第一挡盖11之间形成了第一弹性间隙。所述上径向轴承3的外圈上套设有第二减振垫10，通过所述第二减振垫10与所述轴孔18的内壁抵接，且所述第二减振垫10的上端面与所述导热弹片9抵接，此处所述第二减振垫10采用矩形橡胶圈；所述第二减振垫10的设置，实现了上径向轴承3在径向上的减振缓冲。另外，所述主轴2以及所述上径向轴承3能够通过所述导热弹片9将热量传递给所述第一挡盖11，进而实现散热效果。

如图3所示，所述第二支撑结构包括：轴承座1、缓冲组件、第三减振垫12以及第四减振垫13，所述下径向轴承4通过所述轴承座1与所述泵体17抵接，所述轴承座1套设在所述泵体17的轴孔18内；所述下径向轴承4的内圈顶面与所述主轴2的第二承接面6抵接，所述下径向轴承4的外圈底端通过缓冲组件与第二挡盖14抵接，所述第二挡盖14与所述轴承座1的下端面连接；所述缓冲组件包括：轴承推块16以及弹性件15；所述轴承推块16设置在所述轴承座1的内部，具有沿所述主轴2轴线设置的容纳槽，一端抵接在所述下径向轴承4的外圈底面上，另一端朝向所述第二挡盖14且与所述第二挡盖14之间具有第二弹性间隙；所述轴承推块16的外壁上间隔地套设有两个第四减振垫13，通过所述第四减振垫13与所述轴承座1的内壁抵接；所述弹性件15设置在所述轴承推块16的容纳腔内，一端与所述轴承推块16连接，另一端与所述第二挡盖14连接，提供使所述轴承推块16与所述下径向轴承4抵接的保持力，此处所述弹性件15为弹簧。所述下径向轴承4的外圈与所述轴承座1的内壁之间设有第三减振垫12，此处所述第三减振垫12采用矩形橡胶圈；所述第二减振垫10的设置，实现了下径向轴承4在径向上的减振缓冲。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (8)

1.一种抗振分子泵，其特征在于，包括：

泵体(17),内部具有贯通的轴孔(18),所述轴孔(18)的两端分别连接有第一挡盖(11)和第二挡盖(14)；

主轴(2)，外壁上间隔地套接有上径向轴承(3)和下径向轴承(4)，通过所述上径向轴承(3)和所述下径向轴承(4)转动连接在所述轴孔(18)内；

所述上径向轴承(3)的顶端通过第一减振垫(8)与所述第一挡盖(11)抵接，所述第一减振垫(8)与所述上径向轴承(3)的顶端之间设有导热弹片(9)；所述上径向轴承(3)的外圈与所述泵体(17)之间设有第二减振垫(10)，所述第二减振垫(10)与所述导热弹片(9)抵接；

所述下径向轴承(4)的底端通过缓冲组件与所述第二挡盖(14)抵接，所述下径向轴承(4)的外圈通过轴承座(1)与所述泵体(17)抵接,所述轴承座(1)与所述下径向轴承(4)之间设有第三减振垫(12)。

2.根据权利要求1所述的抗振分子泵，其特征在于，所述缓冲组件包括：

轴承推块(16)，设于所述第二挡盖(14)与所述下径向轴承(4)的底端之间，且与所述轴承座(1)滑动连接，所述轴承推块(16)具有沿所述主轴(2)轴线设置的容纳槽和适于与所述下径向轴承(4)抵接的端面；

弹性件(15)，设置在所述轴承推块(16)的容纳腔内，一端与所述轴承推块(16)连接，另一端与所述第二挡盖(14)连接，提供使所述轴承推块(16)与所述下径向轴承(4)抵接的保持力。

3.根据权利要求2所述的抗振分子泵，其特征在于，所述轴承推块(16)的外壁与所述轴承座(1)之间设有第四减振垫(13)。

4.根据权利要求3所述的抗振分子泵，其特征在于，所述第四减振垫(13)具有间隔设置的至少两个。

5.根据权利要求3所述的抗振分子泵，其特征在于，所述第四减振垫(13)为橡胶材质。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的抗振分子泵，其特征在于，所述第一减振垫(8)、所述第二减振垫(10)以及所述第三减振垫(12)均为橡胶材质。

7.根据权利要求1-5中任一项所述的抗振分子泵，其特征在于，所述主轴(2)为阶梯轴，具有与所述上径向轴承(3)的底端抵接的第一承接面(5)和与所述下径向轴承(4)的顶端抵接的第二承接面(6)。

8.根据权利要求1所述的抗振分子泵，其特征在于，还包括：

泵壳；

静片，具有多个，间隔地连接在所述泵壳内；

涡轮转子，通过所述主轴(2)转动设于所述泵壳内，所述涡轮转子的周向上具有多个间隔设置的动片，所述动片与所述静片上下交替设置。

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