CN213198325U - 一种晶圆切割ccd光学自动定位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆切割CCD光学自动定位装置，包括切割架体、电机、电动升降杆、风扇、电动气压缸和单片机，所述切割架体顶端的两端皆安装有安装架，且安装架的顶端安装有固定座，所述安装架的顶端安装有电机，且电机的输出端通过联轴器安装有贯穿固定座内部的丝杆，所述丝杆的外壁设置有套筒，所述安装架一端侧壁的顶端安装有贯穿套筒内部的连接杆，所述套筒的底端安装有电动升降杆，且电动升降杆的底端安装有安装框，所述安装框的底端安装有风管，且风管内部的底端安装有风扇。该晶圆切割CCD光学自动定位装置，通过螺纹杆在旋转的同时在螺纹孔内部进行往复升降移动，便于使螺纹杆带动挤压板来对晶圆主体进行夹紧固定。

Description

一种晶圆切割CCD光学自动定位装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆切割CCD光学自动定位装置。

背景技术

随着社会的发展，科学的进步，在对电路元件制作时晶圆是必不可少的一种元件，晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，晶圆在加工过程中需要通过CCD切割机进行加工，传统的晶圆切割CCD 光学自动定位装置基本可以满足人们的使用需求，但是依旧存在一定的问题，具体问题如下所述：

1、目前市场上大多数晶圆切割CCD光学自动定位装置，无法自动对晶圆的位置进行定位，同时在对晶圆进行加工过程中，容易产生大量碎屑和粉尘飞入操作人员的口鼻，从而影响身体的健康；

2、目前市场上大多数晶圆切割CCD光学自动定位装置，不便于操作人员对晶圆进行夹紧固定，同时无法对不同规格的晶圆进行夹紧固定，使该装置的实用性能降低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆切割CCD光学自动定位装置，以解决上述背景技术中提出的无法自动对晶圆的位置进行定位、容易产生大量碎屑和粉尘飞入操作人员的口鼻，从而影响身体的健康与无法对不同规格的晶圆进行夹紧固定的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆切割CCD光学自动定位装置，包括切割架体、电机、电动升降杆、风扇、电动气压缸和单片机，所述切割架体顶端的两端皆安装有安装架，且安装架的顶端安装有固定座，所述安装架的顶端安装有电机，且电机的输出端通过联轴器安装有贯穿固定座内部的丝杆，所述丝杆的外壁设置有套筒，所述安装架一端侧壁的顶端安装有贯穿套筒内部的连接杆，所述套筒的底端安装有电动升降杆，且电动升降杆的底端安装有安装框，所述安装框的底端安装有风管，且风管内部的底端安装有风扇，所述安装框的底端安装有切割头，所述切割架体顶端的中间位置处安装有固定板，且固定板的顶端安装有晶圆主体，所述切割架体顶端的两端皆安装有支撑杆。

优选的，所述安装框内部的顶端皆安装有滑轨，且滑轨的内部设置有滑块，所述滑块的底端安装有收纳箱。

优选的，所述收纳箱底端的侧壁安装有铰接座，且铰接座的内部铰接有密封板。

优选的，所述支撑杆的顶端安装有电动气压缸，且电动气压缸的一端安装有安装板，所述安装板的内部开设有螺纹孔。

优选的，所述螺纹孔的内部设置有螺纹杆，且螺纹杆的底端安装有挤压板。

优选的，所述安装架一侧的侧壁安装有控制面板，且安装架内部的顶端安装有单片机，所述控制面板的输出端通过导线与单片机的输入端电连接，且单片机的输出端通过导线与切割头的输入端电连接，所述单片机的输出端通过导线与电机的输入端电连接，且单片机的输出端通过导线与电动升降杆的输入端电连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过安装有控制面板、单片机、切割头、电机、丝杆、套筒和电动升降杆，通过操作人员启动控制面板，使控制面板将信息传输给单片机，并且通过单片机启动电机来带动丝杆旋转，且通过丝杆与套筒螺纹连接，使丝杆在旋转的同时套筒进行往复移动，同时单片机还可以自动控制电动升降杆来带动切割头进行升降，从而便于使该装置可以自动进行定位；

2、同时装置通过安装有风管、风扇、收纳箱、滑轨、滑块和安装框，通过启动风扇，使风扇产生吸力，便于使切割头在加工过程中产生的碎屑和粉尘通过风管进入收纳箱的内部，且通过铰接座和密封板的设计，从而使密封板受到风力打开，便于使灰尘和粉尘进入收纳箱的内部，同时滑轨和滑块的设计，便于使收纳箱通过滑块在滑轨内部移动，从而便于操作人员打开收纳箱对灰尘和粉尘进行收集；

3、同时装置通过安装有电动气压缸、支撑杆、安装板、螺纹杆、螺纹孔和，通过启动电动气压缸带动安装板进行往复移动，且通过螺纹杆与螺纹孔螺纹连接，使螺纹杆在旋转的同时在螺纹孔内部进行往复升降移动，便于使螺纹杆带动挤压板来对晶圆主体进行夹紧固定，从而便于该装置进行加工。

附图说明

图1为本实用新型正视剖视结构示意图；

图2为本实用新型主视结构示意图；

图3为本实用新型图1中B部放大结构示意图；

图4为本实用新型图1中A部放大结构示意图。

图中：1、切割架体；2、安装架；3、固定座；4、电机；5、丝杆；6、套筒；7、连接杆；8、电动升降杆；9、安装框；10、滑轨；11、滑块；12、收纳箱；13、风管；14、风扇；15、铰接座；16、密封板；17、切割头；18、固定板；19、晶圆主体；20、支撑杆；21、电动气压缸；22、安装板；23、螺纹杆；24、螺纹孔；25、挤压板；26、控制面板；27、单片机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种晶圆切割CCD光学自动定位装置，包括切割架体1、电机4、电动升降杆8、风扇14、电动气压缸 21和单片机27，切割架体1顶端的两端皆安装有安装架2；

安装架2一侧的侧壁安装有控制面板26，且安装架2内部的顶端安装有单片机27，该单片机27的型号可以为ZYWYKJ，控制面板26的输出端通过导线与单片机27的输入端电连接，且单片机27的输出端通过导线与切割头17 的输入端电连接，单片机27的输出端通过导线与电机4的输入端电连接，且单片机27的输出端通过导线与电动升降杆8的输入端电连接，便于操作人员通过控制面板26来启动该装置进行对晶圆主体19进行加工；

且安装架2的顶端安装有固定座3，安装架2的顶端安装有电机4，该电机4的型号可以为Y90S-6，且电机4的输出端通过联轴器安装有贯穿固定座 3内部的丝杆5，丝杆5的外壁设置有套筒6，安装架2一端侧壁的顶端安装有贯穿套筒6内部的连接杆7，套筒6的底端安装有电动升降杆8，且电动升降杆8的底端安装有安装框9；

安装框9内部的顶端皆安装有滑轨10，且滑轨10的内部设置有滑块11，滑块11的底端安装有收纳箱12，通过滑轨10和滑块11的相互配合，使收纳箱12可以通过滑块11在滑轨10内部进行往复移动；

收纳箱12底端的侧壁安装有铰接座15，且铰接座15的内部铰接有密封板16，通过密封板16与铰接座15的相互配合，便于使密封板16可以控制收纳箱12进行打开和关闭；

安装框9的底端安装有风管13，且风管13内部的底端安装有风扇14，安装框9的底端安装有切割头17，切割架体1顶端的中间位置处安装有固定板18，且固定板18的顶端安装有晶圆主体19，切割架体1顶端的两端皆安装有支撑杆20；

支撑杆20的顶端安装有电动气压缸21，该电动气压缸21的型号可以为 SC125X25，且电动气压缸21的一端安装有安装板22，安装板22的内部开设有螺纹孔24，通过启动电动气压缸21带动安装板22进行移动调节，从而使该装置可以对不同规格的晶圆主体19进行夹紧固定；

螺纹孔24的内部设置有螺纹杆23，且螺纹杆23的底端安装有挤压板25，通过螺纹杆23与螺纹孔24螺纹连接，使螺纹杆23在旋转的同时在螺纹孔24 内部进行往复升降移动，便于使螺纹杆23带动挤压板25来对晶圆主体19进行限位固定。

工作原理：在使用该晶圆切割CCD光学自动定位装置时，首先通过控制面板26带动单片机27启动电机4，使电机4带动丝杆5旋转，且通过丝杆5 与套筒6螺纹连接，使丝杆5在旋转的同时带动套筒6进行往复移动，同时还可以通过启动电动升降杆8，使电动升降杆8带动安装框9和切割头17进行升降，便于使该装置可以自动进行定位，同时通过启动风扇14，使风管13 产生吸力将该切割架体1在加工过程中产生的碎屑和粉尘吸附进入收纳箱12 的内部，同时风管13产生的风力带动密封板16通过铰接座15发生转动，从而使密封板16可以通过风扇14启动和关闭来对收纳箱12进行打开和关闭，同时还可以通过滑轨10和滑块11的相互配合，便于操作人员拉动收纳箱12 来对碎屑和粉尘进行清理，避免碎屑和粉尘飞入操作人员的口鼻，从而影响身体的健康；

当需要对晶圆主体19进行安装固定时，首先通过启动电动气压缸21，使电动气压缸21带动安装板22进行移动，使安装板22调节到指定位置，然后通过转动螺纹杆23，且通过螺纹杆23与螺纹孔24螺纹连接，使螺纹杆23在旋转的同时在螺纹孔24内部进行往复升降移动，便于使螺纹杆23带动挤压板25来对晶圆主体19进行限位固定，同时还可以对规格不同的晶圆主体19 进行安装固定，从而使该装置的实用性能更高，以上为本实用新型的全部工作原理。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种晶圆切割CCD光学自动定位装置，包括切割架体(1)、电机(4)、电动升降杆(8)、风扇(14)、电动气压缸(21)和单片机(27)，其特征在于：所述切割架体(1)顶端的两端皆安装有安装架(2)，且安装架(2)的顶端安装有固定座(3)，所述安装架(2)的顶端安装有电机(4)，且电机(4)的输出端通过联轴器安装有贯穿固定座(3)内部的丝杆(5)，所述丝杆(5)的外壁设置有套筒(6)，所述安装架(2)一端侧壁的顶端安装有贯穿套筒(6)内部的连接杆(7)，所述套筒(6)的底端安装有电动升降杆(8)，且电动升降杆(8)的底端安装有安装框(9)，所述安装框(9)的底端安装有风管(13)，且风管(13)内部的底端安装有风扇(14)，所述安装框(9)的底端安装有切割头(17)，所述切割架体(1)顶端的中间位置处安装有固定板(18)，且固定板(18)的顶端安装有晶圆主体(19)，所述切割架体(1)顶端的两端皆安装有支撑杆(20)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割CCD光学自动定位装置，其特征在于：所述安装框(9)内部的顶端皆安装有滑轨(10)，且滑轨(10)的内部设置有滑块(11)，所述滑块(11)的底端安装有收纳箱(12)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割CCD光学自动定位装置，其特征在于：所述收纳箱(12)底端的侧壁安装有铰接座(15)，且铰接座(15)的内部铰接有密封板(16)。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割CCD光学自动定位装置，其特征在于：所述支撑杆(20)的顶端安装有电动气压缸(21)，且电动气压缸(21)的一端安装有安装板(22)，所述安装板(22)的内部开设有螺纹孔(24)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆切割CCD光学自动定位装置，其特征在于：所述螺纹孔(24)的内部设置有螺纹杆(23)，且螺纹杆(23)的底端安装有挤压板(25)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割CCD光学自动定位装置，其特征在于：所述安装架(2)一侧的侧壁安装有控制面板(26)，且安装架(2)内部的顶端安装有单片机(27)，所述控制面板(26)的输出端通过导线与单片机(27)的输入端电连接，且单片机(27)的输出端通过导线与切割头(17)的输入端电连接，所述单片机(27)的输出端通过导线与电机(4)的输入端电连接，且单片机(27)的输出端通过导线与电动升降杆(8)的输入端电连接。

Images