CN213184223U - 晶圆制造装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶圆制造装置。该晶圆制造装置包括安装座，安装座用于承载晶圆；第一移动组件，第一移动组件包括第一支撑板和第一直线电机模组，安装座安装于第一支撑板背离第一直线电机模组的一侧，第一直线电机模组用于驱动第一支撑板沿第一方向移动；第二移动组件，第二移动组件包括第二支撑板和第二直线电机模组，第一移动组件安装于第二支撑板背离第二直线电机模组的一侧，第二直线电机模组用于驱动第二支撑板沿第二方向移动。本实用新型提供的晶圆制造装置通过直线电机模组分别驱动晶圆沿第一方向移动和第二方向移动，以便与晶圆制造中机械手互相配合拾取置于晶圆上的芯片等工作，实现晶圆的高速、高精度移动，减小占用空间。

Description

晶圆制造装置

技术领域

本实用新型涉及半导体封装技术领域，特别是涉及晶圆制造装置。

背景技术

晶圆是半导体封装测试行业常见的芯片“形态”，是最常见的一种半导体材料。芯片通常是粘贴载蓝膜上，蓝膜粘贴在晶圆环上，然后装入固晶机，进行芯片绑定的工作。一般分为6英寸、8英寸、12英寸规格不等，现在常见的是8寸晶圆，但是12晶圆也越来越多。晶圆装载在固晶机上时，需要进行自动的扩膜(扩晶)动作以及在整体工作平面上移动，才能使得芯片可以被拾取头吸取、执行对位和固晶工作。因此，晶圆工作台需要配合视觉影像和拾取芯片的捡料头一起工作，要实现在平面上可以运动，也要对晶圆可以执行旋转运动(Theta)和自动扩模的动作。常见的晶圆工作台通常结构比较复杂，也存在精度和速度不能满足高速高精度固晶机的要求等问题。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有技术中晶圆制作结构比较复杂，且精度和速度不能满足固晶机要求的技术问题，提供一种晶圆制造装置。

一种晶圆制造装置，包括：

安装座，所述安装座用于承载晶圆；

第一移动组件，所述第一移动组件包括第一支撑板和第一直线电机模组，所述安装座安装于所述第一支撑板背离所述第一直线电机模组的一侧，所述第一直线电机模组用于驱动所述第一支撑板沿第一方向移动，所述安装座与所述第一支撑板同步移动；

第二移动组件，所述第二移动组件包括第二支撑板和第二直线电机模组，所述第一移动组件安装于所述第二支撑板背离所述第二直线电机模组的一侧，所述第二直线电机模组用于驱动所述第二支撑板沿第二方向移动，所述第一移动组件与所述第二支撑板同步移动；

所述第一方向与所述第二方向垂直设置。

在其中一个实施例中，所述第一移动组件还包括至少两个沿所述第二方向间隔布置的第一导轨，所述第一直线电机模组设置于其中一个所述第一导轨沿所述第二方向的一侧，所述第一支撑板滑动连接于所述第一导轨；

和/或，所述第二移动组件还包括至少两个沿所述第一方向间隔布置的第二导轨，所述第二直线电机模组设置于其中一个所述第一导轨沿所述第一方向的一侧，所述第二支撑板滑动连接于所述第二导轨。

在其中一个实施例中，所述第一直线电机模组包括第一直线电机和第一滑块，所述第一直线电机的动力输出端与所述第一滑块传动连接，所述第一滑块固接于所述第一支撑板背离所述安装座的一侧；

和/或，所述第二直线电机模组包括第二直线电机和第二滑块，所述第二直线电机的动力输出端与所述第二滑块传动连接，所述第二滑块固接于所述第二支撑板背离所述第一支撑板的一侧。

在其中一个实施例中，所述晶圆制造装置还包括第三移动组件；

所述安装座包括第一压台和第二压台，所述第二压台安装于所述第一支撑板，所述第一压台安装于所述第二压台背离所述第一支撑板的一侧；

所述第三移动组件的动力输出端与所述第一压台传动连接，所述第三移动组件用于驱动所述第一压台相对所述第二压台沿第三方向移动，所述第二压台和所述第一压台能够互相靠近以拉紧蓝膜；

所述第三方向为竖直方向，所述第一方向和所述第二方向均与所述第三方向垂直。

在其中一个实施例中，所述第三移动组件包括第一驱动件、第一齿轮、第二齿轮和调节件；

所述第一驱动件的动力输出端与所述第一齿轮传动连接，所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合传动，所述第二齿轮套设于所述调节件，所述调节件与所述第一压台螺纹连接，且所述第一压台能够相对所述调节件沿所述第三方向移动。

在其中一个实施例中，所述调节件的数量为多个，多个所述调节件沿所述第一压台的周向间隔布置；

所述第三移动组件还包括第一传动带和多个传动轮；每个所述调节件套设有一个所述传动轮，且多个所述传动轮共同张紧所述第一传动带；每个所述调节件和与之对应的所述传动轮同步转动。

在其中一个实施例中，所述第三移动组件还包括多个第一张紧轮，多个所述第一张紧轮沿第一压台的周向间隔布置，且每个所述第一张紧轮能够沿所述第一压台的径向移动，以调节所述第一传动带的张紧度。

在其中一个实施例中，所述第三移动组件还包括第一带轮、第二带轮和第二传动带，所述第一带轮与所述第一驱动件的动力输出端传动连接，所述第一带轮和所述第二带轮能够将所述第二传动带张紧，所述第一带轮通过所述第二传动带带动所述第二带轮转动，所述第一齿轮与所述第二带轮同步转动。

在其中一个实施例中，所述晶圆制造装置还包括旋转驱动组件，所述旋转驱动组件安装于所述第一支撑板，且所述旋转驱动组件用于驱动所述安装座沿所述安装座的周向转动。

在其中一个实施例中，所述旋转驱动组件包括第二驱动件、第一传动轮和第三传动带；

所述第二驱动件的动力输出端与所述第一传动轮传动连接，所述第三传动带张紧于所述第一传动轮与所述安装座之间，所述第一传动轮通过所述第三传动带带动所述安装座转动。

在其中一个实施例中，所述旋转驱动组件还包括第二张紧轮、轮座和调节柱；

所述第二张紧轮转动安装于所述轮座，所述轮座滑动连接于所述第一支撑板，所述调节柱用于将所述轮座相对所述第一支撑板锁止。

本实用新型提供的晶圆制造装置，包括安装座，安装座用于承载晶圆；第一移动组件，第一移动组件包括第一支撑板和第一直线电机模组，安装座安装于第一支撑板背离第一直线电机模组的一侧，第一直线电机模组用于驱动第一支撑板沿第一方向移动，安装座与第一支撑板同步移动；第二移动组件，第二移动组件包括第二支撑板和第二直线电机模组，第一移动组件安装于第二支撑板背离第二直线电机模组的一侧，第二直线电机模组用于驱动第二支撑板沿第二方向移动，第一移动组件与第二支撑板同步移动；第一方向与第二方向垂直设置。本实用新型提供的晶圆制造装置通过第一直线电机模组和第二直线电机模组分别驱动安装座晶圆沿第一方向移动和第二方向移动，安装座带动晶圆同步移动，以便于与晶圆制造中机械手互相配合，以便拾取置于晶圆上的芯片等工作，实现了晶圆的高速、高精度移动，且占用空间小，结构简单。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的晶圆制造装置的示意图；

图2为本实用新型实施例提供的晶圆制造装置中第一移动组件和第二移动组件配合的示意图；

图3为本实用新型实施例提供的晶圆制造装置中安装座置于第一支撑板的示意图；

图4为本实用新型实施例提供的晶圆制造装置中安装座置于第一支撑板的俯视图；

图5为本实用新型实施例提供的晶圆制造装置中安装座置于第一支撑板的局部示意图；

图6为图5中A处的局部放大图。

图标：100-安装座；110-第一压台；120-第二压台；121-旋转环；200-第一移动组件；210-第一支撑板；220-第一直线电机模组；221-第一直线电机；222-第一滑块；230-第一导轨；240-第一移动块；250-第一触板；260-第一光电开关；300-第二移动组件；310-第二支撑板；320-第二直线电机模组；321-第二直线电机；330-第二导轨；340-第二移动块；350-第二触板；360-第二光电开关；400-第三移动组件；410-第一驱动件；411-第一机座；420-第一齿轮；430-第二齿轮；440-调节件；450-第一传动带；460-传动轮；470-第一张紧轮；480-第二带轮；490-第二传动带；500-旋转驱动组件；510-第二驱动件；520-第一传动轮；530-第三传动带；540-第二张紧轮；550-轮座；560-凸块；570-第二机座；600-开关；610-第三光电开关；620-第四光电开关；700-工作台。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

参阅图1和图2，图1为本实用新型实施例提供的晶圆制造装置的示意图；图2为本实用新型实施例提供的晶圆制造装置中第一移动组件200和第二移动组件300配合的示意图；本实用新型一实施例提供了的一种晶圆制造装置，包括安装座100，安装座100用于承载晶圆；第一移动组件200，第一移动组件200包括第一支撑板210和第一直线电机模组220，安装座100安装于第一支撑板210背离第一直线电机模组220的一侧，第一直线电机模组220用于驱动第一支撑板210沿第一方向移动，安装座100与第一支撑板210同步移动；第二移动组件300，第二移动组件300包括第二支撑板310和第二直线电机模组320，第一移动组件200安装于第二支撑板310背离第二直线电机模组320的一侧，第二直线电机模组320用于驱动第二支撑板310沿第二方向移动，第一移动组件200与第二支撑板310同步移动；第一方向与第二方向垂直设置。本实用新型通过第一直线电机模组220和第二直线电机模组320分别驱动晶圆分别沿第一方向和第二方向移动，实现了晶圆的高速高精度移动，且占用空间小，结构简单。

进一步地，安装座100包括第一压台110和第二压台120，第二压台120固设于第一支撑板210，第一压台110安装于第二压台120背离第一支撑板210的一侧，晶圆放置于第二压台120与第一压台110之间，其中第一压台110可相对第二压台120靠近和远离。

需要说明的是，晶圆一般分为6英寸、8英寸、12英寸等规格，现在常见的是8英寸晶圆，但是12英寸晶圆也越来越多，本申请以适配12英寸为例进行说明，但并不以此为限。

参阅图1，在本实施例中，定义第一方向为XX’方向，第二方向为YY’方向，第三方向为ZZ’方向，为了便于表述，以下均以第一方向、第二方向、第三方向进行描述。

参阅图2，在一实施例中，第一移动组件200还包括两个沿第二方向间隔布置的第一导轨230，第一直线电机模组220设置于其中一个第一导轨230沿第二方向的一侧，第一支撑板210滑动连接于第一导轨230；第二移动组件300还包括两个沿第一方向间隔布置的第二导轨330，第二直线电机模组320设置于其中一个第二导轨330沿第一方向的一侧，第二支撑板310滑动连接于第二导轨330。

需要说明的是，晶圆制造装置还包括工作台700，第二导轨330固设于工作台700，第一导轨230固设于第二支撑板310。

其中，第一导轨230和第二导轨330的数量除了两个，也可以是三个、四个等等，多个第一导轨230沿第二方向间隔设置于第二支撑板310，多个第二导轨330沿第一方向间隔设置于工作台700。

继续参阅图2，在一实施例中，第一直线电机模组220包括第一直线电机221和第一滑块222，第一直线电机221的动力输出端与第一滑块222传动连接，第一滑块222固接于第一支撑板210背离安装座100的一侧，第一直线电机221用于驱动第一滑块222带动第一支撑板210沿第一方向移动；第二直线电机模组320包括第二直线电机321和第二滑块，第二直线电机321的动力输出端与第二滑块传动连接，第二滑块固接于第二支撑板310背离第一支撑板210的一侧,第二直线电机321用于驱动第二滑块带动第二支撑板310沿第二方向移动。

进一步地，第一导轨230上滑设一个第一移动块240，第一移动块240固接于第一支撑板210背离安装座100的一侧，第一移动块240的顶面与第一滑块222的顶面平齐，以便于稳定的支撑第一支撑板210，当第一直线电机模组220驱动第一滑块222沿第一方向移动时，第一移动块240与第一滑块222同步移动，用于支撑第一支撑板210，增加第一支撑板210在沿第一方向滑动过程中的平稳性；第二导轨330上滑设一个第二移动块340，第二移动块340固接于第二支撑板310背离安装座100的一侧，第二移动块340的顶面与第二滑块的顶面平齐，以便于稳定的支撑第二支撑板310。当第二直线电机模组320驱动第二滑块沿第二方向移动时，第二移动块340与第二滑块同步移动，用于支撑第二支撑板310，增加第二支撑板310在沿第一方向滑动过程中的平稳性。

在又一实施例中，第一移动块240的数量为两个，滑设于第一导轨230上沿第一方向间隔布置，并且固接于第一支撑板210背离安装座100的一侧，以便于稳定的支撑第一支撑板210。当然，第一移动块240的数量也可以是三个、四个等，其只要能够实现对第一支撑板210的支撑且能够在第一导轨230上滑动即可。第二移动块340的数量为两个，滑设于第二导轨330上沿第二方向间隔布置，并且固接于第二支撑板310背离安装座100的一侧。当然，第二移动块340的数量也可以是三个、四个等，其只要能够实现对第二支撑板310的支撑且能够在第二导轨330上滑动即可。

需要说明的是，第一移动组件200和第二移动组件300都是通过直线电机驱动，进而实现晶圆分别沿第一方向和第二方向移动。在现有技术中，对于12英寸晶圆来说，如果仍然采用丝杆模组和马达驱动，整个晶圆制作装置占用的空间会比较大。而在本实施例中使用直线电机，不仅缩减整个装置占用的空间，而且使得晶圆制作装置的运动高精度要求也可以得到保证。

参阅图1和图2，在一实施例中，第一移动组件200还包括第一触板250和第一光电开关260，第一触板250固设于第一支撑板210，第一光电开关260固设于第二支撑板310，第一触板250与第一光电开关260配合实现对第一支撑板210在沿第一方向移动的限位。例如，当第一触板250移动至第一光电开关260时，触发第一光电开关260，能够向该晶圆制造装置的控制系统发送触发信号，控制系统接收到信号处理分析，能够向第一直线电机221发送指令，使得第一直线电机221停止工作，或者使得第一直线电机221反向驱动，促使第一滑块222反向移动，第一支撑板210带动安装座100与第一滑块222同步移动。第二移动组件300还包括第二触板350和第二光电开关360，第二触板350固设于第二支撑板310，第二光电开关360固设于工作台700，第二触板350与第二光电开关360配合实现对第二支撑板310在沿第二方向移动的限位。例如，当第二触板350移动至第二光电开关360时，触发第二光电开关360，能够向该晶圆制造装置的控制系统发送触发信号，控制系统接收到信号处理分析，能够向第二直线电机321发送指令，使得第二直线电机321停止工作，或者使得第二直线电机321反向驱动，促使第二滑块反向移动，第二支撑板310带动安装座100与第二滑块同步移动。

参阅图3和图4，图3为本实用新型实施例提供的晶圆制造装置中安装座100置于第一支撑板210的示意图；图4为本实用新型实施例提供的晶圆制造装置中安装座100置于第一支撑板210的俯视图。在一实施例中，第三移动组件400的动力输出端与第一压台110传动连接，第三移动组件400用于驱动第一压台110相对第二压台120沿第三方向移动，第二压台120和第一压台110能够互相靠近以拉紧蓝膜。

需要说明的是，蓝膜覆盖于晶圆上，蓝膜半径大于第二压台120与第一压台110的半径，使得蓝膜的边缘能够伸出第二压台120的边缘，此时第一压台110与第二压台120配合夹紧蓝膜的边缘，随着第二压台110下移，实现对蓝膜的绷紧，进而实现扩膜。通过对晶圆上的蓝膜进行扩膜，从而增加晶圆的透光亮度，便于捡料头对芯片的拾取。

其中，第一支撑板210中间设置有圆形通孔，安装座100设置在该通孔处。

参阅图3-图6，图5为本实用新型实施例提供的晶圆制造装置中安装座100置于第一支撑板210的局部示意图；图6为图5中A处的局部放大图。在一实施例中，第三移动组件400包括第一驱动件410、第一齿轮420、第二齿轮430和调节件440；第一驱动件410的动力输出端与第一齿轮420传动连接，第二齿轮430与第一齿轮420啮合传动，第二齿轮430套设于调节件440，调节件440与第一压台110螺纹连接，且第一压台110能够相对调节件440沿第三方向移动。其中第一驱动件410通过第一机座411固定于第二支撑板310。优选地，第一驱动件410采用电机。

需要说明的是，第一齿轮420与第二齿轮430均为锥齿轮，二者垂直啮合，提高了传动效率，且结构紧凑，使用寿命长。其中，第二齿轮430设置有中心通孔，调节件440的轴线、中心通孔的轴线以及第二齿轮430的轴线重合，调节件440穿过中心通孔转动连接于第二压台120，且调节件440远离第二压台120的一端螺纹旋接于第一压台110，以便于第一压台110在调节件440沿调节件440的轴线转动时相对调节件440沿第三方下移，以实现晶圆的扩膜操作。

继续参阅图3-图6，调节件440的数量为多个，多个调节件440沿第一压台110的周向间隔布置。其中第三移动组件400还包括第一传动带450和多个传动轮460，每个调节件440套设有一个传动轮460，且多个传动轮460共同张紧第一传动带450。

优选地，本实施例中调节件440的数量为六个，对应的传动轮460的数量为六个，一个调节件440对应套设一个传动轮460，六个传动轮460共同张紧第一传动带450。

进一步地，传动轮460设置有中心通孔，调节件440的轴线、中心通孔的轴线以及传动轮460的轴线重合，且多个调节件440远离第二压台120的一端螺纹旋接于第一压台110，以便于第一压台110在多个调节件440沿调节件440的轴线转动时相对调节件440沿第三方向上移或下移，以实现晶圆的扩膜操作。另外，多个调节件440在第二压台120上沿第二压台120周向间隔均匀布置，使得第一压台110在沿第三方向移动过程中更加平稳。

优选地，调节件440可以为螺杆，螺杆通过螺纹与第一压台110连接，多个螺杆使得第一压台110均匀地在第三方向运动，保证扩膜的均匀性。

参阅图3、图5和图6，在一实施例中，第三移动组件400还包括多个第一张紧轮470，多个第一张紧轮470绕第二压台120的周向间隔布置，且每个第一张紧轮470能够沿第二压台120的径向移动，以调节第一传动带450的张紧度。

其中，每个传动轮460侧设有一个第一张紧轮470，第一传动带450穿于每个传动轮460与第一张紧轮470之间，使得第一传动带450张紧。同时，第二压台120上设有多个滑槽，第一张紧轮470滑设于滑槽内，可相对于第二压台120沿第二压台120轴向运动。当第一张紧轮470相对第二压台120的轴线靠近时，第一张紧轮470对第一传动带450拉力增加，第一传动带450与传动轮460之间张紧力增加，使得第一传动带450与传动轮460之间摩擦力增加，第一压台110沿第三方向的运动更加平稳；当第一传动带450与传动轮460摩擦过大时，将第一张紧轮470相对第二压台120轴线远离，使得第一张紧轮470对第一传动带450拉力减小，第一传动带450与传动轮460之间张紧力减小，使得第一传动带450与传动轮460之间摩擦力减小，降低发生转动卡死的问题。

参阅图5和图6，在一实施例中，第三移动组件400还包括第一带轮、第二带轮480和第二传动带490，第一带轮与第一驱动件410的动力输出端传动连接，第一带轮和第二带轮480能够将第二传动带490张紧。第一带轮安装于电机的电机轴，与电机同轴转动，由于第二传动带490与第一带轮和第二带轮480之间的摩擦力，第一带轮在电机的驱动下通过第二传动带490带动第二带轮480转动，其中第一齿轮420与第二带轮480同步转动。

需要说明的是，第一齿轮420与第二带轮480可以是固定连接，也可以是一体成型，只要能实现第一齿轮420与第二带轮480同步转动即可。

参阅图1、图3和图4，在一实施例中，晶圆制造装置还包括旋转驱动组件500，旋转驱动组件500安装于第一支撑板210，且旋转驱动组件500用于驱动安装座100沿安装座100的周向转动。

进一步地，旋转驱动组件500包括第二驱动件510、第一传动轮520和第三传动带530；第二压台120外围设有旋转环121，第二驱动件510的动力输出端与第一传动轮520传动连接，第三传动带530张紧于第一传动轮520与第二压台120上的旋转环121之间，第一传动轮520通过第三传动带530带动第二压台120转动。

优选地，第二驱动件510为电机，电机通过第二机座570固定于第一支撑板210，第一传动轮520安装于电机的电机轴，与电机同轴转动，由于第三传动带530与第一传动轮520和旋转环121之间的摩擦力，使得第一传动轮520在电机的驱动下通过第三传动带530带动第二压台120转动。

继续参阅图1、图3和图4，在一实施例中，旋转驱动组件还包括第二张紧轮540、轮座550和调节柱；第二张紧轮540转动安装于轮座550，轮座550滑动连接于第一支撑板210，调节柱用于将轮座550相对第一支撑板210锁止。

进一步地，第一支撑板210固设有凸块560，凸块560上有沿第一方向延伸的滑道，轮座550可沿第一方向在滑道上移动。轮座550上有沿第一方向设置的长孔，调节柱穿设于轮座550上的长孔并通过调紧和调松实现与凸块560固定与相对滑动。

当需要增大第三传动带530的张紧度时，调松调节柱，使轮座550沿第一方向靠近安装座100移动，实现增大第三传动带530张紧度；当需要减小第三传动带530的张紧度时，调紧调节柱，使轮座550沿第一方向远离安装座100移动，实现减小第三传动带530的张紧度。通过调节第三传动带530的张紧度，实现对第三传动带530与旋转环121之间摩擦力的调节，从而实现对安装座100沿周向旋转速度的调节，从而提高晶圆制造装置的工作效率。

优选地，调节柱采用螺钉，但并不以此为限，能实现对轮座550的锁紧即可。

参阅图1，在一实施例中，第三移动组件400还包括第三光电开关610，第三光电开关610固设于第一支撑板210，第三光电开关610用于对第一压台110在沿第三方向移动时进行限位，其工作原理与第一光电开关260相同，故不再轮述。同时，第旋转驱动组件还包括第四光电开关620，第四光电开关620固设于第一支撑板210，第四光电开关620用于对第一压台110在沿沿轴向旋转时进行限位，其工作原理与第一光电开关260相同，故不再轮述。

需要说明的是，晶圆制造装置还包括开关600，用于控制晶圆制造装置启动。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (11)

1.一种晶圆制造装置，其特征在于，所述晶圆制造装置包括：

安装座(100)，所述安装座(100)用于承载晶圆；

第一移动组件(200)，所述第一移动组件(200)包括第一支撑板(210)和第一直线电机模组(220)，所述安装座(100)安装于所述第一支撑板(210)背离所述第一直线电机模组(220)的一侧，所述第一直线电机模组(220)用于驱动所述第一支撑板(210)沿第一方向移动，所述安装座(100)与所述第一支撑板(210)同步移动；

第二移动组件(300)，所述第二移动组件(300)包括第二支撑板(310)和第二直线电机模组(320)，所述第一移动组件(200)安装于所述第二支撑板(310)背离所述第二直线电机模组(320)的一侧，所述第二直线电机模组(320)用于驱动所述第二支撑板(310)沿第二方向移动，所述第一移动组件(200)与所述第二支撑板(310)同步移动；

所述第一方向与所述第二方向垂直设置。

2.根据权利要求1所述的晶圆制造装置，其特征在于，所述第一移动组件(200)还包括至少两个沿所述第二方向间隔布置的第一导轨(230)，所述第一直线电机模组(220)设置于其中一个所述第一导轨(230)沿所述第二方向的一侧，所述第一支撑板(210)滑动连接于所述第一导轨(230)；

和/或，所述第二移动组件(300)还包括至少两个沿所述第一方向间隔布置的第二导轨(330)，所述第二直线电机模组(320)设置于其中一个所述第二导轨(330)沿所述第一方向的一侧，所述第二支撑板(310)滑动连接于所述第二导轨(330)。

3.根据权利要求1所述的晶圆制造装置，其特征在于，所述第一直线电机模组(220)包括第一直线电机(221)和第一滑块(222)，所述第一直线电机(221)的动力输出端与所述第一滑块(222)传动连接，所述第一滑块(222)固接于所述第一支撑板(210)背离所述安装座(100)的一侧；

和/或，所述第二直线电机模组(320)包括第二直线电机(321)和第二滑块(322)，所述第二直线电机(321)的动力输出端与所述第二滑块(322)传动连接，所述第二滑块(322)固接于所述第二支撑板(310)背离所述第一支撑板(210)的一侧。

4.根据权利要求1所述的晶圆制造装置，其特征在于，所述晶圆制造装置还包括第三移动组件(400)；

所述安装座(100)包括第一压台(110)和第二压台(120)，所述第二压台(120)安装于所述第一支撑板(210)，所述第一压台(110)安装于所述第二压台(120)背离所述第一支撑板(210)的一侧；

所述第三移动组件(400)的动力输出端与所述第一压台(110)传动连接，所述第三移动组件(400)用于驱动所述第一压台(110)相对所述第二压台(120)沿第三方向移动，所述第二压台(120)和所述第一压台(110)能够互相靠近以拉紧蓝膜；

所述第三方向为竖直方向，所述第一方向和所述第二方向均与所述第三方向垂直。

5.根据权利要求4所述的晶圆制造装置，其特征在于，所述第三移动组件(400)包括第一驱动件(410)、第一齿轮(420)、第二齿轮(430)和调节件(440)；

所述第一驱动件(410)的动力输出端与所述第一齿轮(420)传动连接，所述第二齿轮(430)与所述第一齿轮(420)啮合传动，所述第二齿轮(430)套设于所述调节件(440)，所述调节件(440)与所述第一压台(110)螺纹连接，且所述第一压台(110)能够相对所述调节件(440)沿所述第三方向移动。

6.根据权利要求5所述的晶圆制造装置，其特征在于，所述调节件(440)的数量为多个，多个所述调节件(440)沿所述第一压台(110)的周向间隔布置；

所述第三移动组件(400)还包括第一传动带(450)和多个传动轮(460)；每个所述调节件(440)套设有一个所述传动轮(460)，且多个所述传动轮(460)共同张紧所述第一传动带(450)；每个所述调节件(440)和与之对应的所述传动轮(460)同步转动。

7.根据权利要求6所述的晶圆制造装置，其特征在于，所述第三移动组件(400)还包括多个第一张紧轮(470)，多个所述第一张紧轮(470)沿第一压台(110)的周向间隔布置，且每个所述第一张紧轮(470)能够沿所述第一压台(110)的径向移动，以调节所述第一传动带(450)的张紧度。

8.根据权利要求5所述的晶圆制造装置，其特征在于，所述第三移动组件(400)还包括第一带轮、第二带轮(480)和第二传动带(490)，所述第一带轮与所述第一驱动件(410)的动力输出端传动连接，所述第一带轮和所述第二带轮(480)能够将所述第二传动带(490)张紧，所述第一带轮通过所述第二传动带(490)带动所述第二带轮(480)转动，所述第一齿轮(420)与所述第二带轮(480)同步转动。

9.根据权利要求1所述的晶圆制造装置，其特征在于，所述晶圆制造装置还包括旋转驱动组件(500)，所述旋转驱动组件(500)安装于所述第一支撑板(210)，且所述旋转驱动组件(500)用于驱动所述安装座(100)沿所述安装座(100)的周向转动。

10.根据权利要求9所述的晶圆制造装置，其特征在于，所述旋转驱动组件(500)包括第二驱动件(510)、第一传动轮(520)和第三传动带(530)；

所述第二驱动件(510)的动力输出端与所述第一传动轮(520)传动连接，所述第三传动带(530)张紧于所述第一传动轮(520)与所述安装座(100)之间，所述第一传动轮(520)通过所述第三传动带(530)带动所述安装座(100)转动。

11.根据权利要求9所述的晶圆制造装置，其特征在于，所述旋转驱动组件(500)还包括第二张紧轮(540)、轮座(550)和调节柱；

所述第二张紧轮(540)转动安装于所述轮座(550)，所述轮座(550)滑动连接于所述第一支撑板(210)，所述调节柱用于将所述轮座(550)相对所述第一支撑板(210)锁止。

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