CN213136070U - 一种单晶硅棒滚磨装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种单晶硅棒滚磨装置，包括底架、设置在底架上的单晶硅棒固定装置、设置在底架正上方的顶架、设置在顶架上的液压伸缩缸、设置在液压伸缩缸伸缩端上的固定装置、设置在固定装置上的滚磨柱和设置在固定装置外侧壁上的电机a，所述电机a的输出端与滚磨柱相连接，所述底架包括安装支架a和安装支架b，所述单晶硅棒固定装置包括通过螺纹连接设置在安装支架a上的夹紧件a、设置在安装支架b上的夹紧件b和输出轴与夹紧件b相连接的电机b，通过拧紧夹紧件a对单晶硅棒夹紧，电机b带动单晶硅棒顺时针转动，电机a带动滚磨柱逆时针转动，从而实现对单晶硅棒的全方位滚磨，滚磨效果好。

Description

一种单晶硅棒滚磨装置

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒加工技术领域，具体涉及一种单晶硅棒滚磨装置。

背景技术

单晶硅作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适用于制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数硅材料制成的。硼镓共掺杂直拉单晶硅棒从单晶炉中拉制出来以后需要进行一系列的工序，前期包括截断、开方、圆角研磨和平面研磨等机械加工，中期还需要将单晶硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗等工，后期将硅片进行制绒、扩散、结晶和烧结等工序。

在单晶硅棒的生产过程中，滚磨处理能够有效对单晶硅棒进行外形塑形，现有的生产装置在对单晶硅棒进行滚磨处理时，存在滚磨不全面，滚磨效果差的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅棒滚磨装置，解决上述现有技术的缺陷。

本实用新型通过下述技术方案实现：

一种单晶硅棒滚磨装置，包括底架、设置在底架上的单晶硅棒固定装置、设置在底架正上方的顶架、设置在顶架上的液压伸缩缸、设置在液压伸缩缸伸缩端上的固定装置、设置在固定装置上的滚磨柱和设置在固定装置外侧壁上的电机a，所述电机a的输出端与滚磨柱相连接，所述底架包括分别设置于单晶硅棒两端的安装支架a和安装支架b，所述单晶硅棒与所述滚磨柱相平行，所述单晶硅棒固定装置包括通过螺纹连接设置在安装支架a上的夹紧件a、设置在安装支架b上的夹紧件b和输出轴与夹紧件b相连接的电机b。

通过拧紧夹紧件a对单晶硅棒夹紧，电机b带动单晶硅棒顺时针转动，电机a带动滚磨柱逆时针转动，从而实现对单晶硅棒的全方位滚磨，滚磨效果好。

进一步地，所述底架上设置有废料收集孔，所述废料收集孔位于单晶硅棒的正下方，所述废料收集孔的正下方设置有废料桶，所述底架上设置有支撑脚。

进一步地，所述夹紧件a远离单晶硅棒的一面上设置有用于拧紧单晶硅棒的六边形拧紧孔。

进一步地，所述安装支架b上设置有用于限制夹紧件b沿轴向方向移动的限位槽。

进一步地，所述夹紧件a和夹紧件b相向的一面均为非平面。

进一步地，所述电机a通过螺栓可拆卸式固定在固定装置上，所述电机b通过螺栓可拆卸式固定在底架上。

进一步地，所述废料收集孔上设置有滤网装置，所述废料收集孔为倒锥形

本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

本实用新型一种单晶硅棒滚磨装置，通过拧紧夹紧件a对单晶硅棒夹紧，电机b带动单晶硅棒顺时针转动，电机a带动滚磨柱逆时针转动，从而实现对单晶硅棒的全方位滚磨，滚磨效果好。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型单晶硅棒固定装置结构示意图。

附图中标记及对应的零部件名称：

1-底架，2-顶架，3-液压伸缩缸，4-固定装置，5-滚磨柱，6-电机a，7-单晶硅棒固定装置，8-废料桶，9-单晶硅棒，11-废料收集孔，12-安装支架a，13安装支架b，71-夹紧件a，72-夹紧件b，73-电机b。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本实用新型所保护的范围。

下面结合附图对本实用新型做进一步的描述，但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。

实施例1

如图1-2所示，本实用新型一种单晶硅棒滚磨装置，一种单晶硅棒滚磨装置，包括底架1、设置在底架1上的单晶硅棒固定装置7、设置在底架1正上方的顶架2、设置在顶架2上的液压伸缩缸3、设置在液压伸缩缸3伸缩端上的固定装置4、设置在固定装置4上的滚磨柱5和设置在固定装置4外侧壁上的电机a6，所述电机a6的输出端与滚磨柱5相连接，所述底架1包括分别设置于单晶硅棒9两端的安装支架a12和安装支架b13，所述单晶硅棒9与所述滚磨柱5相平行，所述单晶硅棒固定装置7包括通过螺纹连接设置在安装支架a12上的夹紧件a71、设置在安装支架b13上的夹紧件b72和输出轴与夹紧件b72相连接的电机b73。

通过拧紧夹紧件a71对单晶硅棒9夹紧，电机b73带动单晶硅棒9顺时针转动，电机a6带动滚磨柱5逆时针转动，从而实现对单晶硅棒9的全方位滚磨，滚磨效果好。

实施例2

基于实施例1，所述底架1上设置有废料收集孔11，所述废料收集孔11位于单晶硅棒9的正下方，所述废料收集孔11的正下方设置有废料桶8，所述底架1上设置有支撑脚。

所述夹紧件a71远离单晶硅棒9的一面上设置有用于拧紧单晶硅棒9的六边形拧紧孔。

所述安装支架b13上设置有用于限制夹紧件b72沿轴向方向移动的限位槽。

所述夹紧件a71和夹紧件b72相向的一面均为非平面。

本实用新型一种单晶硅棒滚磨装置，通过拧紧夹紧件a71对单晶硅棒9夹紧，电机b73带动单晶硅棒9顺时针转动，电机a6带动滚磨柱5逆时针转动，从而实现对单晶硅棒9的全方位滚磨，滚磨效果好。

以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种单晶硅棒滚磨装置，包括底架（1）、设置在底架（1）上的单晶硅棒固定装置（7）、设置在底架（1）正上方的顶架（2）、设置在顶架（2）上的液压伸缩缸（3）、设置在液压伸缩缸（3）伸缩端上的固定装置（4）、设置在固定装置（4）上的滚磨柱（5）和设置在固定装置（4）外侧壁上的电机a（6），所述电机a（6）的输出端与滚磨柱（5）相连接，其特征在于，所述底架（1）包括分别设置于单晶硅棒（9）两端的安装支架a（12）和安装支架b（13），所述单晶硅棒（9）与所述滚磨柱（5）相平行，所述单晶硅棒固定装置（7）包括通过螺纹连接设置在安装支架a（12）上的夹紧件a（71）、设置在安装支架b（13）上的夹紧件b（72）和输出轴与夹紧件b（72）相连接的电机b（73）。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒滚磨装置，其特征在于，所述底架（1）上设置有废料收集孔（11），所述废料收集孔（11）位于单晶硅棒（9）的正下方，所述废料收集孔（11）的正下方设置有废料桶（8），所述底架（1）上设置有支撑脚。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒滚磨装置，其特征在于，所述夹紧件a（71）远离单晶硅棒（9）的一面上设置有用于拧紧单晶硅棒（9）的六边形拧紧孔。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒滚磨装置，其特征在于，所述安装支架b（13）上设置有用于限制夹紧件b（72）沿轴向方向移动的限位槽。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒滚磨装置，其特征在于，所述夹紧件a（71）和夹紧件b（72）相向的一面均为非平面。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅棒滚磨装置，其特征在于，所述电机a（6）通过螺栓可拆卸式固定在固定装置（4）上，所述电机b（73）通过螺栓可拆卸式固定在底架（1）上。

7.根据权利要求2所述的一种单晶硅棒滚磨装置，其特征在于，所述废料收集孔（11）上设置有滤网装置，所述废料收集孔（11）为倒锥形。

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