CN213059210U - 一种连续不间断的光刻机放料装置 - Google Patents

Abstract

一种连续不间断的光刻机放料装置，包括光刻机、输送机台、上输送装置和下输送装置；其中，所述光刻机放料盒包括放料板一、放料板二、挡板一、挡板二和底部支撑板，所述放料板一、放料板二、挡板一、挡板二和底部支撑板构成上端开口的矩形盒状结构，所述放料板一和放料板二对称设置，并且放料板一和放料板二的相对面上设有一组放料槽，所述一组放料槽沿竖直方向平行设置。本实用新型的连续不间断的光刻机放料装置，除了能够通过上输送装置和下输送装置能够轮流进行光刻机放料盒的输送外，使用此光刻机放料盒，可满足全自动化光刻机的全自动工作流程，实现光刻机自动化作业，对于厚度很小的基板（硅片/陶瓷片）也有很大程度的保护作用。

Description

一种连续不间断的光刻机放料装置

技术领域

本实用新型属于机械基础件及制造技术领域，具体地，涉及一种连续不间断的光刻机放料装置。

背景技术

光刻机（Mask Aligner) 又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

根据操作的简便性，光刻机一般分为三种，手动、半自动、全自动。

1、手动光刻机多通过手调旋钮改变其X、Y轴及θ角度完成对准，精度不高。

2、半自动光刻机可借助电荷耦合元件进行对准。

3、全自动光刻机多用程序控制基板的上、下载及曝光时长等，可满足工厂批量生产的需求。

在现在的生产制造企业中，面对大批量生产，多采用全自动光刻机。光刻机最核心的部件之一是紫外光源，硅片的光刻也是主要通过紫外光实现。由于紫外光容易对人体造成损害，光刻机外通常设有保护柜，光刻的过程通常在保护柜内进行。但是，现有的光刻机通常在每次检测前都需要打开柜门以放入原料，再关上柜门进行光刻操作，在光刻操作完成后需要重新打开柜门，取出已光刻好的硅片，再将待光刻的原料放入，并重复以上操作，操作麻烦，并且光刻机不能连续进行作业。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的目的是提供一种连续不间断的光刻机放料装置，解决了现有技术中由于具有上料和开门取料放料的过程，因此光刻机只能间歇进行硅片的光刻的问题，降低了企业的工作效率，不利于企业的生产竞争。

技术方案：本实用新型提供了一种连续不间断的光刻机放料装置，包括光刻机、输送机台、上输送装置和下输送装置，所述输送机台的一端设置在光刻机的内部，并且输送机台的另一端延伸出光刻机外部，所述上输送装置和下输送装置均沿输送机台的长度方向设置在输送机台上，并且上输送装置和下输送装置的一端位于光刻机内，所述上输送装置位于下输送装置的正上方，所述上输送装置和下输送装置上均设有若干光刻机放料盒；其中，所述光刻机放料盒包括放料板一、放料板二、挡板一、挡板二和底部支撑板，所述放料板一、放料板二、挡板一和挡板二的截面为矩形，并且放料板一、放料板二、挡板一和挡板二均固定设置在底部支撑板上，所述放料板一、放料板二、挡板一、挡板二和底部支撑板构成上端开口的矩形盒状结构，所述放料板一和放料板二对称设置，并且放料板一和放料板二的相对面上设有一组放料槽，所述一组放料槽沿竖直方向平行设置。本实用新型的连续不间断的光刻机放料装置，除了能够通过上输送装置和下输送装置能够轮流进行光刻机放料盒的输送外，使用此光刻机放料盒，可满足全自动化光刻机的全自动工作流程，实现光刻机自动化作业，对于厚度很小的基板（硅片/陶瓷片）也有很大程度的保护作用。玻璃材质的放料盒，表面粗糙度低，可减少基板表面磨损，也可通过分隔栏实现对基板（硅片/陶瓷片）的无效区域接触装架，提高良品率。

进一步的，上述的连续不间断的光刻机放料装置，所述放料槽的截面为等腰梯形。

进一步的，上述的连续不间断的光刻机放料装置，所述挡板一和挡板二沿竖直方向的高度小于放料板一和放料板二沿竖直方向的高度。

进一步的，上述的连续不间断的光刻机放料装置，所述上输送装置和下输送装置均包括输送驱动组件、传动单元一、传动单元二和输送小车，所述输送驱动组件设置在输送机台上，并且输送驱动组件位于输送机台的一端，所述传动单元一和传动单元二分别设置在输送机台两侧的内壁上，所述输送小车分别和传动单元一和传动单元二连接，所述输送小车和输送机台滚动连接。

进一步的，上述的连续不间断的光刻机放料装置，所述输送机台两侧的内壁上分别设有上导轨支撑板和下导轨支撑板，所述下导轨支撑板位于上导轨支撑板的正下方，所述上导轨支撑板上设有上导轨，所述下导轨支撑板上设有下导轨，所述输送小车的下端部设有一组滚轮，所述上输送装置上的一组滚轮和上导轨滚动连接，所述下输送装置上的一组滚轮和下导轨滚动连接。

进一步的，上述的连续不间断的光刻机放料装置，所述输送驱动组件包括驱动电机、驱动减速机、转轴一和两个转轴一支撑座，所述驱动电机、驱动减速机和两个转轴一支撑座均固定设置在输送机台上，所述转轴一设置在两个转轴一支撑座上，并且转轴一和驱动减速机连接，所述驱动减速机和驱动电机连接，所述传动单元一和传动单元二均和转轴一连接。

进一步的，上述的连续不间断的光刻机放料装置，所述传动单元一和传动单元二均包括主动轮、从动轮和传动链条，所述从动轮设置在输送机台上，所述主动轮通过键和转轴一连接，所述传动链条套设在主动轮和从动轮上，所述传动链条远离输送机台的端面上设有导向块。

进一步的，上述的连续不间断的光刻机放料装置，所述输送小车靠近输送机台的两侧壁上均设有两个固定块，所述导向块设置在两个固定块之间。

进一步的，上述的连续不间断的光刻机放料装置，所述输送机台的两侧的内壁上设有一组链条支撑板，所述链条支撑板内设有滑槽，所述传动链条设置在滑槽内。

进一步的，上述的连续不间断的光刻机放料装置，所述滑槽的两端部均设有倒角。

上述技术方案可以看出，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型所述的连续不间断的光刻机放料装置，设计的光刻机放料盒能够保证全自动光刻机生产效率高、对准精度高，在有序放置基板的同时可保护基板（硅片/陶瓷片）不受损伤，减少基板（硅片/陶瓷片）的报废率，提高生产效率和良率；通过设置的上下上输送装置和下输送装置结构，能够在其中一个输送进入光刻机时，另外一个输送装置将光刻完毕的产品输出，从而进行连续不间断的生产，提高了生产效率。

附图说明

图1为本实用新型所述光刻机放料盒的结构示意图；

图2为本实用新型所述连续不间断的光刻机放料装置的结构示意图；

图3为本实用新型所述上输送装置和下输送装置的结构示意图；

图4为本实用新型所述上输送装置和下输送装置的主视图；

图5为本实用新型所述输送驱动组件的结构示意图；

图6为本实用新型图3中A处的局部放大图。

图中：光刻机1、输送机台2、上导轨支撑板21、下导轨支撑板22、上导轨23、下导轨24、链条支撑板25、滑槽251、倒角252、上输送装置3、输送驱动组件31、驱动电机311、驱动减速机312、转轴一313、转轴一支撑座314、传动单元一32、主动轮321、从动轮322、传动链条323、导向块324、传动单元二33、输送小车34、滚轮341、固定块342、下输送装置4、光刻机放料盒5、放料板一51、放料板二52、挡板一53、挡板二54、底部支撑板55、放料槽56。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

实施例一

如图2所示的连续不间断的光刻机放料装置，包括光刻机1、输送机台2、上输送装置3和下输送装置4，所述输送机台2的一端设置在光刻机1的内部，并且输送机台2的另一端延伸出光刻机1外部，所述上输送装置3和下输送装置4均沿输送机台2的长度方向设置在输送机台2上，并且上输送装置3和下输送装置4的一端位于光刻机1内，所述上输送装置3位于下输送装置4的正上方，所述上输送装置3和下输送装置4上均设有若干光刻机放料盒5；其中，如图1所示的光刻机放料盒5包括放料板一51、放料板二52、挡板一53、挡板二54和底部支撑板55，所述放料板一51、放料板二52、挡板一53和挡板二54的截面为矩形，并且放料板一51、放料板二52、挡板一53和挡板二54均固定设置在底部支撑板55上，所述放料板一51、放料板二52、挡板一53、挡板二54和底部支撑板55构成上端开口的矩形盒状结构，所述放料板一51和放料板二52对称设置，并且放料板一51和放料板二52的相对面上设有一组放料槽56，所述一组放料槽56沿竖直方向平行设置。所述放料槽56的截面为等腰梯形。所述挡板一53和挡板二54沿竖直方向的高度小于放料板一51和放料板二52沿竖直方向的高度。

本实用新型的光刻机放料盒5使用时，将涂好光刻胶的基板（硅片/陶瓷片）依次均匀摆放到放料盒中，将放料盒置入光刻机内，全自动光刻机自动对放料盒内的基板（硅片/陶瓷片）逐个有序上载，依次光刻后再逐个有序下载，满足光刻机的全自动化工作流程。

实施例二

如图3-6所示的上输送装置3和下输送装置4均包括输送驱动组件31、传动单元一32、传动单元二33和输送小车34，所述输送驱动组件31设置在输送机台2上，并且输送驱动组件31位于输送机台2的一端，所述传动单元一32和传动单元二33分别设置在输送机台2两侧的内壁上，所述输送小车34分别和传动单元一32和传动单元二33连接，所述输送小车34和输送机台2滚动连接。

其中，所述输送机台2两侧的内壁上分别设有上导轨支撑板21和下导轨支撑板22，所述下导轨支撑板22位于上导轨支撑板21的正下方，所述上导轨支撑板21上设有上导轨23，所述下导轨支撑板22上设有下导轨24，所述输送小车34的下端部设有一组滚轮341，所述上输送装置3上的一组滚轮341和上导轨23滚动连接，所述下输送装置4上的一组滚轮341和下导轨24滚动连接。

此外，所述输送驱动组件31包括驱动电机311、驱动减速机312、转轴一313和两个转轴一支撑座314，所述驱动电机311、驱动减速机312和两个转轴一支撑座314均固定设置在输送机台2上，所述转轴一313设置在两个转轴一支撑座314上，并且转轴一313和驱动减速机312连接，所述驱动减速机312和驱动电机311连接，所述传动单元一32和传动单元二33均和转轴一313连接。所述传动单元一32和传动单元二33均包括主动轮321、从动轮322和传动链条323，所述从动轮322设置在输送机台2上，所述主动轮321通过键和转轴一313连接，所述传动链条323套设在主动轮321和从动轮322上，所述传动链条323远离输送机台2的端面上设有导向块324。所述输送小车34靠近输送机台2的两侧壁上均设有两个固定块342，所述导向块324设置在两个固定块342之间。

另外，所述输送机台2的两侧的内壁上设有一组链条支撑板25，所述链条支撑板25内设有滑槽251，所述传动链条323设置在滑槽251内。所述滑槽251的两端部均设有倒角252。

上述上输送装置3和下输送装置4的工作原理为：

当上输送装置3上料时，下输送装置4在光刻机内进行光刻，光刻完毕，光刻机的柜门打开，下输送装置4将光刻完毕的产品输送出光刻机，同时上输送装置3将待光刻的产品输送进入光刻机，同时进行，然后光刻机的柜门关闭，上输送装置3在光刻机内进行光刻，下输送装置4进行卸料，不断重复上述过程，能够保证生产的连续性。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种连续不间断的光刻机放料装置，其特征在于：包括光刻机（1）、输送机台（2）、上输送装置（3）和下输送装置（4），所述输送机台（2）的一端设置在光刻机（1）的内部，并且输送机台（2）的另一端延伸出光刻机（1）外部，所述上输送装置（3）和下输送装置（4）均沿输送机台（2）的长度方向设置在输送机台（2）上，并且上输送装置（3）和下输送装置（4）的一端位于光刻机（1）内，所述上输送装置（3）位于下输送装置（4）的正上方，所述上输送装置（3）和下输送装置（4）上均设有若干光刻机放料盒（5）；

其中，所述光刻机放料盒（5）包括放料板一（51）、放料板二（52）、挡板一（53）、挡板二（54）和底部支撑板（55），所述放料板一（51）、放料板二（52）、挡板一（53）和挡板二（54）的截面为矩形，并且放料板一（51）、放料板二（52）、挡板一（53）和挡板二（54）均固定设置在底部支撑板（55）上，所述放料板一（51）、放料板二（52）、挡板一（53）、挡板二（54）和底部支撑板（55）构成上端开口的矩形盒状结构，所述放料板一（51）和放料板二（52）对称设置，并且放料板一（51）和放料板二（52）的相对面上设有一组放料槽（56），所述一组放料槽（56）沿竖直方向平行设置。

2.根据权利要求1所述的连续不间断的光刻机放料装置，其特征在于：所述放料槽（56）的截面为等腰梯形。

3.根据权利要求1所述的连续不间断的光刻机放料装置，其特征在于：所述挡板一（53）和挡板二（54）沿竖直方向的高度小于放料板一（51）和放料板二（52）沿竖直方向的高度。

4.根据权利要求1所述的连续不间断的光刻机放料装置，其特征在于：所述上输送装置（3）和下输送装置（4）均包括输送驱动组件（31）、传动单元一（32）、传动单元二（33）和输送小车（34），所述输送驱动组件（31）设置在输送机台（2）上，并且输送驱动组件（31）位于输送机台（2）的一端，所述传动单元一（32）和传动单元二（33）分别设置在输送机台（2）两侧的内壁上，所述输送小车（34）分别和传动单元一（32）和传动单元二（33）连接，所述输送小车（34）和输送机台（2）滚动连接。

5.根据权利要求4所述的连续不间断的光刻机放料装置，其特征在于：所述输送机台（2）两侧的内壁上分别设有上导轨支撑板（21）和下导轨支撑板（22），所述下导轨支撑板（22）位于上导轨支撑板（21）的正下方，所述上导轨支撑板（21）上设有上导轨（23），所述下导轨支撑板（22）上设有下导轨（24），所述输送小车（34）的下端部设有一组滚轮（341），所述上输送装置（3）上的一组滚轮（341）和上导轨（23）滚动连接，所述下输送装置（4）上的一组滚轮（341）和下导轨（24）滚动连接。

6.根据权利要求4所述的连续不间断的光刻机放料装置，其特征在于：所述输送驱动组件（31）包括驱动电机（311）、驱动减速机（312）、转轴一（313）和两个转轴一支撑座（314），所述驱动电机（311）、驱动减速机（312）和两个转轴一支撑座（314）均固定设置在输送机台（2）上，所述转轴一（313）设置在两个转轴一支撑座（314）上，并且转轴一（313）和驱动减速机（312）连接，所述驱动减速机（312）和驱动电机（311）连接，所述传动单元一（32）和传动单元二（33）均和转轴一（313）连接。

7.根据权利要求6所述的连续不间断的光刻机放料装置，其特征在于：所述传动单元一（32）和传动单元二（33）均包括主动轮（321）、从动轮（322）和传动链条（323），所述从动轮（322）设置在输送机台（2）上，所述主动轮（321）通过键和转轴一（313）连接，所述传动链条（323）套设在主动轮（321）和从动轮（322）上，所述传动链条（323）远离输送机台（2）的端面上设有导向块（324）。

8.根据权利要求7所述的连续不间断的光刻机放料装置，其特征在于：所述输送小车（34）靠近输送机台（2）的两侧壁上均设有两个固定块（342），所述导向块（324）设置在两个固定块（342）之间。

9.根据权利要求8所述的连续不间断的光刻机放料装置，其特征在于：所述输送机台（2）的两侧的内壁上设有一组链条支撑板（25），所述链条支撑板（25）内设有滑槽（251），所述传动链条（323）设置在滑槽（251）内。

10.根据权利要求9所述的连续不间断的光刻机放料装置，其特征在于：所述滑槽（251）的两端部均设有倒角（252）。

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