CN213034993U - 一种新型脆硬材料切片机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型脆硬材料切片机构,涉及脆硬材料加工技术领域。本实用新型包括加工工件和工件底板,加工工件通过胶水和玻璃垫板固定在工件底板的底部,还包括有第一固定板和第二固定板,第一固定板的内部固定有三个第三连接轴,且三个第三连接轴呈等腰三角形形状,第三连接轴的一端转动连接有第二连接轴;第二固定板的内部且与第二连接轴相对应位置固定有第一连接轴,第二固定板的一端固定有轴承箱。本实用新型通过第二连接轴与导轮以及第一连接轴和导轮的配合,使得装置在使用时能够根据不同尺寸规格要求的硅片对导轮进行更换,使得装置能够切割多种尺寸要求的硅片,从而大大提升了设备的使用范围。
Description
技术领域
本实用新型属于脆硬材料加工技术领域,特别是涉及一种新型脆硬材料切片机构。
背景技术
硅片厚度是影响生产力的一个因素,它关系到每个硅块所生产出的硅片数量,超薄的硅片给线锯技术提出了额外的挑战,因为其生产过程要困难得多,除了硅片的机械脆性以外,如果线锯工艺没有精密控制,细微的裂纹和弯曲都会对产品良率产生负面影响,超薄硅片线锯系统必须可以对工艺线性、切割线速度和压力以及切割冷却液进行精密控制,但是现有装置在使用时只能对单一尺寸的硅片进行切割,使得设备的使用范围较小。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种新型脆硬材料切片机构,以解决了现有的问题:但是现有装置在使用时只能对单一尺寸的硅片进行切割,使得设备的使用范围较小。
为解决上述技术问题,本实用新型是通过以下技术方案实现的:
本实用新型为一种新型脆硬材料切片机构,包括加工工件和工件底板,所述加工工件通过胶水和玻璃垫板固定在工件底板的底部,还包括有第一固定板和第二固定板,所述第一固定板的内部固定有三个第三连接轴,且三个所述第三连接轴呈等腰三角形形状,所述第三连接轴的一端转动连接有第二连接轴;
所述第二固定板的内部且与第二连接轴相对应位置固定有第一连接轴,所述第二固定板的一端固定有轴承箱,所述轴承箱的一端固定有伺服电机,所述伺服电机与第一连接轴通过联轴器转动连接;
第一连接轴的一端设置有联轴器,所述第一连接轴的一端且位于联轴器的外侧固定有轴承箱,所述联轴器的一端卡接在伺服电机的输出端;
所述第一连接轴和第二连接轴之间还设置有一可拆卸的导轮。
进一步地,所述导轮有两种规格,分别为184mm-194mm和210mm-220mm。
进一步地,所述第二固定板的内部且与第一连接轴相对应的位置安装有轴承,所述第一连接轴与第二固定板转动连接。
进一步地,所述第一固定板和第二固定板之间且位于加工工件的正下方还设置有废屑收集槽。
进一步地,所述第一连接轴与导轮的一端、第二连接轴和导轮的另一端均通过螺栓固定。
进一步地,所述第三连接轴与第一固定板通过固定螺钉固定。
本实用新型具有以下有益效果:
本实用新型通过第二连接轴与导轮以及第一连接轴和导轮的配合,使得装置在使用时能够根据不同尺寸规格要求的硅片对导轮进行更换,使得装置能够切割多种尺寸要求的硅片,从而大大提升了设备的使用范围。
当然,实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型整体的连接结构示意图;
图2为本实用新型整体的侧视图;
图3为本实用新型整体的仰视图;
图4为本实用新型不同加工工件对应下的不同切割方式装配结构示意图。
附图中,各标号所代表的部件列表如下:
1、伺服电机;2、轴承箱;3、导轮;4、工件底板;5、加工工件;6、第一连接轴;7、废屑收集槽;8、联轴器;9、第二连接轴;10、第三连接轴;11、第一固定板;12、第二固定板;13、固定螺钉。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4所示,本实用新型为一种新型脆硬材料切片机构,包括加工工件5和工件底板4,加工工件5通过胶水和玻璃垫板固定在工件底板4的底部,还包括有第一固定板11和第二固定板12,第一固定板11和第二固定板12之间且位于加工工件5的正下方还设置有废屑收集槽7,使得硅片切割时产生的废屑能够进行收集,第一固定板11的内部固定有三个第三连接轴10,第三连接轴10与第一固定板11通过固定螺钉13固定,使得第三连接轴10在工作时不会脱落,且三个第三连接轴10呈等腰三角形形状,第三连接轴10的一端转动连接有第二连接轴9;
第二固定板12的内部且与第二连接轴9相对应位置固定有第一连接轴6,第二固定板12的内部且与第一连接轴6相对应的位置安装有轴承,第一连接轴6与第二固定板12转动连接,使得第一连接轴6能够更加便捷的转动,第二固定板12的一端固定有轴承箱2,轴承箱2的一端固定有伺服电机1,伺服电机1与第一连接轴6通过联轴器8转动连接;
第一连接轴6的一端设置有联轴器8,第一连接轴6的一端且位于联轴器8的外侧固定有轴承箱2,联轴器8的一端卡接在伺服电机1的输出端;
第一连接轴6和第二连接轴9之间还设置有一可拆卸的导轮3,第一连接轴6与导轮3的一端、第二连接轴9和导轮3的另一端均通过螺栓固定,使得装置在使用时能够根据不同尺寸的硅片进行更换导轮3,导轮3有两种规格,分别为184mm-194mm和210mm-220mm,使得装置在使用时能够通过不同直径的导轮3对不同规格的脆硬材料进行切割。
本实施例的一个具体应用为:当装置需要对158mmx158mm到188mmx188mm规格尺寸的硅片进行切割时,将直径为210mm-220mm的两个导轮3通过螺钉安装的方式安装在顶部两个第一连接轴6和第二连接轴9之间,然后将金刚线以环形多圈的形式卷绕在顶部两个直径为210mm-220mm导轮3的表面,然后通过伺服电机1与外部电源的电连,使得伺服电机1得电并通过联轴器8带动第一连接轴6进行旋转,从而使得第一连接轴6带动导轮3进行旋转,进而对加工工件5进行切割,从而使得装置的稳定性更高,清理维护简单,当装置需要对188mmx188mm到210mmx210mm规格尺寸的硅片进行切割时,将两个直径为210mm-220mm的导轮3拆卸后,将直径为184mm-194mm的三个导轮3通过螺钉安装的方式安装在三个第一连接轴6和第二连接轴9之间,然后通过将金刚线以三角形多圈的形式卷绕在三个导轮3的表面,然后重复上述动作对加工工件5进行切割,进而避免了切大工件时导轮3中心距过大造成的“线弓”和张力不稳定,从而导致切片良率降低,设备断线率升高和切制速度慢等问题,另由于切割大工件时采用的是三个小导轮3,其转动惯量更小,在导轮3加减速的过程中电机负荷更小;且由于三导轮3呈“等腰三角形”分布,故金刚线在导轮3上转向时的包角减小能一定程度上降低金刚线的疲劳,从面降低金刚线疲劳引起的断线率。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然,根据本说明书的内容,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用,从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
Claims (6)
1.一种新型脆硬材料切片机构,包括加工工件(5)和工件底板(4),所述加工工件(5)通过胶水和玻璃垫板固定在工件底板(4)的底部,其特征在于:还包括有第一固定板(11)和第二固定板(12),所述第一固定板(11)的内部固定有三个第三连接轴(10),且三个所述第三连接轴(10)呈等腰三角形形状,所述第三连接轴(10)的一端转动连接有第二连接轴(9);
所述第二固定板(12)的内部且与第二连接轴(9)相对应位置固定有第一连接轴(6),所述第二固定板(12)的一端固定有轴承箱(2),所述轴承箱(2)的一端固定有伺服电机(1),所述伺服电机(1)与第一连接轴(6)通过联轴器(8)转动连接;
第一连接轴(6)的一端设置有联轴器(8),所述第一连接轴(6)的一端且位于联轴器(8)的外侧固定有轴承箱(2),所述联轴器(8)的一端卡接在伺服电机(1)的输出端;
所述第一连接轴(6)和第二连接轴(9)之间还设置有一可拆卸的导轮(3)。
2.根据权利要求1所述的一种新型脆硬材料切片机构,其特征在于,所述导轮(3)有两种规格,分别为184mm-194mm和210mm-220mm。
3.根据权利要求1所述的一种新型脆硬材料切片机构,其特征在于,所述第二固定板(12)的内部且与第一连接轴(6)相对应的位置安装有轴承,所述第一连接轴(6)与第二固定板(12)转动连接。
4.根据权利要求1所述的一种新型脆硬材料切片机构,其特征在于,所述第一固定板(11)和第二固定板(12)之间且位于加工工件(5)的正下方还设置有废屑收集槽(7)。
5.根据权利要求1所述的一种新型脆硬材料切片机构,其特征在于,所述第一连接轴(6)与导轮(3)的一端、第二连接轴(9)和导轮(3)的另一端均通过螺栓固定。
6.根据权利要求1所述的一种新型脆硬材料切片机构,其特征在于,所述第三连接轴(10)与第一固定板(11)通过固定螺钉(13)固定。
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CN202020984328.2U CN213034993U (zh) | 2020-06-02 | 2020-06-02 | 一种新型脆硬材料切片机构 |
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CN202020984328.2U Active CN213034993U (zh) | 2020-06-02 | 2020-06-02 | 一种新型脆硬材料切片机构 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113635466A (zh) * | 2021-08-19 | 2021-11-12 | 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 | 金刚线切片装置 |
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- 2020-06-02 CN CN202020984328.2U patent/CN213034993U/zh active Active
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