CN212962702U - 一种氮气加热板 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出了一种氮气加热板，包括防护外壳，所述防护外壳内设有叠置的两个定位板体，所述定位板体表面设有连续的S形通气槽，两个所述定位板体的S形通气槽形成气路，所述S形通气槽之间设有若干加热棒槽，所述加热棒槽内设有加热棒，所述加热棒伸于所述防护外壳端部，所述防护外壳与所述定位板体之间设有隔热机构，通过在板体内直接开通气槽形成气路，大大降低制造难度，并且设置了隔热机构，在加热过程中能够有效将热量集中在定位板体处，保证对氮气加热的高效性，此外设置成板形的结构，减小了整体体积，能够适用于安装在晶圆干燥设备上，结构简洁易加工。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆清洗设备领域，尤其涉及氮气加热板。
背景技术
晶圆的清洗和烘干是半导体器件生产中必不可少的工艺要求。目前行业内普遍采用的烘干方式是将氮气加热后用来烘干晶圆。加热氮气所采用的技术方案为：将氮气通入一个一端装有加热器件，另一端用闷盖堵起来的空心管内；氮气输入口开在空心管上靠近固定加热器件的一端；在靠近闷盖的一端设有安装孔，用于安装喷嘴；就如专利公告号为：CN209819883U的实用新型专利公开的用于晶圆干燥工艺中的高纯氮气加热器，其结构极为圆筒形结构，并且内部有极为复杂的加热管道，加热管道为U形等结构的加工成本是较高的，且结构大，配套小型设备时不宜使用便捷度不高，并且热量易流失，导致氮气加热效率较低。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型提出了一种氮气加热板，包括防护外壳，所述防护外壳内设有叠置的两个定位板体，所述定位板体表面设有连续的S形通气槽，两个所述定位板体的S形通气槽形成气路，所述S形通气槽之间设有若干加热棒槽，所述加热棒槽内设有加热棒，所述加热棒伸于所述防护外壳端部，所述防护外壳与所述定位板体之间设有隔热机构。
优选的，所述防护外壳端部设有插口，所述插口与所述S形通气槽对应。
优选的，所述隔热机构包括设置于所述定位板体和所述防护外壳之间的聚醚醚酮块，所述聚醚醚酮块和定位板体和防护外壳之间的间隙内设有玻璃纤维布。
优选的，所述防护外壳与定位板体的面之间设有玻璃纤维布。
优选的，所述S形通气槽口部设有半圆形槽，所述半圆形槽内设有密封环，所述密封环由聚醚醚酮制成。
优选的，所述定位板体之间通过若干螺钉锁紧固定。
本实用新型提出的氮气加热板有以下有益效果：通过在板体内直接开通气槽形成气路，大大降低制造难度，并且设置了隔热机构，在加热过程中能够有效将热量集中在定位板体处，保证对氮气加热的高效性，此外设置成板形的结构，减小了整体体积，能够适用于安装在晶圆干燥设备上，结构简洁易加工。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本实用新型的立体结构示意图；
图2为本实用新型的防护外壳内的示意图；
图3为本实用新型的定位板体内的示意图；
图4为本实用新型的剖视图；
其中，1、防护外壳；2、定位板体；3、S形通气槽；4、加热棒槽；5、加热棒；6、隔热机构；7、半圆形槽；8、密封环。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
如图1所示，本实用新型提出了一种氮气加热板，包括防护外壳1，所述防护外壳1内设有叠置的两个定位板体2，所述定位板体2周围设有若干螺钉孔，通过螺钉能够将两组定位板体2固定连接，所述定位板体2表面设有连续的S形通气槽3，两个所述定位板体2的S形通气槽3形成气路，S形通气槽3的两边有平面，贴合时能够保证S形通气槽3的密封性，所述S形通气槽3之间设有若干加热棒槽4，所述加热棒槽4内设有加热棒5，加热棒槽4中插入加热棒5，加热棒5与加热棒槽4贴紧密，两个定位板体2能够对加热棒5夹紧定位，并且加热棒5的热量能够传递装置定位板体2，而定位板体2可以直接加热通入定位板体2内的氮气，加热效果较为均衡且高效，所述加热棒5伸于所述防护外壳1端部，防护外壳1设置在定位板体2外部，能够防止过高的温度影响使用者使用，提高安全性，且所述防护外壳1与所述定位板体2之间设有隔热机构6，隔热机构6能够减少热量流失保证热量集中在定位板体2上，并且防止防护外壳1温度升高，具体的说：所述隔热机构6包括设置于所述定位板体2和所述防护外壳1之间的聚醚醚酮块，所述聚醚醚酮块和定位板体2和防护外壳1之间的间隙内设有玻璃纤维布，聚醚醚酮块在两者之间紧密贴合，若有部分间隙，如电阻穿过处以及进气口位置处难以贴合的地方，则使用玻璃限位部填充，防止热量流失。另外，由于定位板体2与防护外壳1的各自平面时相互贴合的，需要保证内部的紧凑性，所以为了防止定位板体2与防护外壳1之间的热传递，在平面之间设置玻璃纤维布，可设置多层，来减少热量流失，且方式防护外壳1过烫。
本装置使用时，是将进气口插于S形通气槽3内，所在所述防护外壳1端部设有插口，所述插口与所述S形通气槽3对应，进气管穿过插口插于S形进气槽后，向内通气，而为了保证放置在口部漏气，在所述S形通气槽3口部设有半圆形槽7，所述半圆形槽7内设有密封环8，所述密封环8由聚醚醚酮制成，密封环8内嵌在S形通气槽3内实现定位，密封环8能够提高与进气管的密封性，并且聚醚醚酮具有较好的耐高温性能，不会因为高温变形。
对实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (6)
1.一种氮气加热板，其特征在于，包括防护外壳，所述防护外壳内设有叠置的两个定位板体，所述定位板体表面设有连续的S形通气槽，两个所述定位板体的S形通气槽形成气路，所述S形通气槽之间设有若干加热棒槽，所述加热棒槽内设有加热棒，所述加热棒伸于所述防护外壳端部，所述防护外壳与所述定位板体之间设有隔热机构。
2.根据权利要求1所述的氮气加热板，其特征在于，所述防护外壳端部设有插口，所述插口与所述S形通气槽对应。
3.根据权利要求1所述的氮气加热板，其特征在于，所述隔热机构包括设置于所述定位板体和所述防护外壳之间的聚醚醚酮块，所述聚醚醚酮块和定位板体和防护外壳之间的间隙内设有玻璃纤维布。
4.根据权利要求1所述的氮气加热板，其特征在于，所述防护外壳与定位板体的面之间设有玻璃纤维布。
5.根据权利要求1所述的氮气加热板，其特征在于，所述S形通气槽口部设有半圆形槽，所述半圆形槽内设有密封环，所述密封环由聚醚醚酮制成。
6.根据权利要求1所述的氮气加热板，其特征在于，所述定位板体之间通过若干螺钉锁紧固定。
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