CN212960901U - 一种应用于mocvd新型液态源汽化系统的保护装置 - Google Patents
一种应用于mocvd新型液态源汽化系统的保护装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN212960901U CN212960901U CN202021840309.9U CN202021840309U CN212960901U CN 212960901 U CN212960901 U CN 212960901U CN 202021840309 U CN202021840309 U CN 202021840309U CN 212960901 U CN212960901 U CN 212960901U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pipeline
- liquid source
- manual
- control valve
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型为了解输送管路温度高和MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的问题，提出一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，在管路和管路支路上设置手动调节阀，当气动调节阀出现故障的时候可以使用手动调节阀进行手动调节，在蒸发器的蒸发器管路上设置绝热盒，起到对外的保护作用的同时还起到了保温作用，防止液态源蒸气在输送过程中的冷凝。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体领域，较为具体的，涉及到一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置。
背景技术
近年来，液态源MOCVD已作为一种新方法应用于制备金属氧化物薄膜，它能够很好地避免了多源输送面临的复杂性问题，在太阳能电池、微电子半导体工艺制程中，液态源以生产效率高，成膜特性好，气压小，不易泄露等优点，广泛应用于扩散、氧化、化学气相沉积等工艺。
为了防止气化后的液态源不遇冷液化的问题，需要使得输送管路保持在一定的高温，而且MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料，管路的设计上需要考虑到众多安全隐患。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型为了解输送管路温度高和MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的问题，提出一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，在管路上设置手动调节阀，当气动调节阀出现故障的时候可以使用手动调节阀进行手动调节，在蒸发器3的蒸发器管路4上设置绝热盒8，起到对外的保护作用的同时还起到了保温作用，防止液态源蒸气在输送过程中的冷凝。
一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，包括：载气管路1、液态源管路2、蒸发器3、蒸发器管路4、绝热盒8和工艺室5，载气管路1连接蒸发器3，蒸发器3连接蒸发器管路4，蒸发器管路4连接工艺室5，液态源管路2连接蒸发器3，其特征在于：液态源管路2上设有第一气动调节阀14和第一手动调节阀9，液态源管路2的支路上设有第三手动调节阀，通过液态源管路2的支路连接第一手动调节阀9和第三手动调节阀，载气管路1上设有第二气动调节阀15和第二手动调节阀10，载气管路1的支路上设有第四手动调节阀，通过载气管路1的支路连接第二手动调节阀10和第四手动调节阀，蒸发器管路4外围设有绝热盒8。
进一步的，第一气动调节阀14的输入端和输出端各设有第一手动调节阀9，正常情况下，第一手动调节阀9为打开状态，第三手动调节阀为关闭状态，当第一气动调节阀14出现故障的时候，打开第三手动调节阀，液态源可以从液态源管路2的支路进入到蒸发器3，对第一气动调节阀14进行检修，使得蒸发器3和工艺室5不会因为第一气动调节阀14进行检修而停止工作。
进一步的，第二气动调节阀15的输入端和输出端各设有第二手动调节阀10，正常情况下，第二手动调节阀10为打开状态，第四手动调节阀为关闭状态，当第二气动调节阀15出现故障的时候，打开第四手动调节阀，载气可以从载气管路1的支路进入到蒸发器3，对第二气动调节阀15进行检修，使得蒸发器3和工艺室5不会因为第二气动调节阀15进行检修而停止工作。
进一步的，载气管路1上设有气体质量流量控制器6，液态源管路2上设有液体质量流量控制器7。
进一步的，绝热盒8的材质为泡沫塑料材质。
进一步的，载气管路1、液态源管路2、蒸发器3和蒸发器管路4的材质为不锈钢，防止管道出现急剧变小或不通畅的情况，以避免载气或者液态源蒸气压缩冷凝现象。
进一步的，蒸发器3内部设有液位监测控制器，通过液位监测控制器控制液态源的补液量。
进一步的，载气管路1上设有温度传感器11和压力传感器12，用于观测载气的情况。
进一步的，液态源管道处设有液体检漏阀13，通过液体检漏阀13来检测液态源管道密闭性。
本实用新型的有益效果：本实用新型为了解输送管路温度高和MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的问题，提出一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，在管路和管路支路上设置手动调节阀，当气动调节阀出现故障的时候可以使用手动调节阀进行手动调节，在蒸发器3的蒸发器管路4上设置绝热盒8，起到对外的保护作用的同时还起到了保温作用，防止液态源蒸气在输送过程中的冷凝。
附图说明
图1为本实用新型的应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置的结构示意图。
主要元件符号说明
| 载气管路 | 1 |
| 液态源管路 | 2 |
| 蒸发器 | 3 |
| 蒸发器管路 | 4 |
| 工艺室 | 5 |
| 气体质量流量控制器 | 6 |
| 液体质量流量控制器 | 7 |
| 绝热盒 | 8 |
| 第一手动调节阀 | 9 |
| 第二手动调节阀 | 10 |
| 温度传感器 | 11 |
| 压力传感器 | 12 |
| 液体检漏阀 | 13 |
| 第一气动调节阀 | 14 |
| 第二气动调节阀 | 15 |
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。
具体实施方式
如图1所示，为本实用新型的应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置的结构示意图。
一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，包括：载气管路1、液态源管路2、蒸发器3、蒸发器管路4、绝热盒8和工艺室5，载气管路1连接蒸发器3，蒸发器3连接蒸发器管路4，蒸发器管路4连接工艺室5，液态源管路2连接蒸发器3，其特征在于：液态源管路2上设有第一气动调节阀14和第一手动调节阀9，液态源管路2的支路上设有第三手动调节阀，通过液态源管路2的支路连接第一手动调节阀9和第三手动调节阀，载气管路1上设有第二气动调节阀15和第二手动调节阀10，载气管路1的支路上设有第四手动调节阀，通过载气管路1的支路连接第二手动调节阀10和第四手动调节阀，蒸发器管路4外围设有绝热盒8。
所述第一气动调节阀14的输入端和输出端各设有第一手动调节阀9，正常情况下，第一手动调节阀9为打开状态，第三手动调节阀为关闭状态，当第一气动调节阀14出现故障的时候，打开第三手动调节阀，液态源可以从液态源管路2的支路进入到蒸发器3，对第一气动调节阀14进行检修，使得蒸发器3和工艺室5不会因为第一气动调节阀14进行检修而停止工作。
所述第二气动调节阀15的输入端和输出端各设有第二手动调节阀10，正常情况下，第二手动调节阀10为打开状态，第四手动调节阀为关闭状态，当第二气动调节阀15出现故障的时候，打开第四手动调节阀，载气可以从载气管路1的支路进入到蒸发器3，对第二气动调节阀15进行检修，使得蒸发器3和工艺室5不会因为第二气动调节阀15进行检修而停止工作。
所述载气管路1、液态源管路2、蒸发器3和蒸发器管路4的材质为不锈钢，防止管道出现急剧变小或不通畅的情况，以避免载气或者液态源蒸气压缩冷凝现象。
所述蒸发器3内部设有液位监测控制器，通过液位监测控制器控制液态源的补液量。
所述载气管路1上设有温度传感器11和压力传感器12，用于观测载气的情况。
所述液态源管道处设有液体检漏阀13，通过液体检漏阀13来检测液态源管道密闭性。
本实用新型的有益效果：本实用新型为了解输送管路温度高和MOCVD生长使用的源是易燃、易爆、毒性很大的问题，提出一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，在管路和管路支路上设置手动调节阀，当气动调节阀出现故障的时候可以使用手动调节阀进行手动调节，在蒸发器3的蒸发器管路4上设置绝热盒8，起到对外的保护作用的同时还起到了保温作用，防止液态源蒸气在输送过程中的冷凝。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，包括：载气管路(1)、液态源管路(2)、蒸发器(3)、蒸发器管路(4)、绝热盒(8)和工艺室(5)，载气管路(1)连接蒸发器(3)，蒸发器(3)连接蒸发器管路(4)，蒸发器管路(4)连接工艺室(5)，液态源管路(2)连接蒸发器(3)，其特征在于：液态源管路(2)上设有第一气动调节阀(14)和第一手动调节阀(9)，液态源管路(2)的支路上设有第三手动调节阀，通过液态源管路(2)的支路连接第一手动调节阀(9)和第三手动调节阀，载气管路(1)上设有第二气动调节阀(15)和第二手动调节阀(10)，载气管路(1)的支路上设有第四手动调节阀，通过载气管路(1)的支路连接第二手动调节阀(10)和第四手动调节阀，蒸发器管路(4)外围设有绝热盒(8)。
2.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，其特征在于：第一气动调节阀(14)的输入端和输出端各设有第一手动调节阀(9)，正常情况下，第一手动调节阀(9)为打开状态，第三手动调节阀为关闭状态，当第一气动调节阀(14)出现故障的时候，打开第三手动调节阀，液态源可以从液态源管路(2)的支路进入到蒸发器(3)。
3.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，其特征在于：第二气动调节阀(15)的输入端和输出端各设有第二手动调节阀(10)，正常情况下，第二手动调节阀(10)为打开状态，第四手动调节阀为关闭状态，当第二气动调节阀(15)出现故障的时候，打开第四手动调节阀，载气可以从载气管路(1)的支路进入到蒸发器(3)。
4.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，其特征在于：第一气动调节阀(14)的输入端设有第一手动调节阀(9)，当第一气动调节阀(14)出现故障的时候可以采用第一手动调节阀(9)手动调节流量。
5.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，其特征在于：第二气动调节阀(15)的输入端设有第二手动调节阀(10)，当第二气动调节阀(15)出现故障的时候可以采用第二手动调节阀(10)手动调节流量。
6.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，其特征在于：载气管路(1)上设有气体质量流量控制器(6)，液态源管路(2)上设有液体质量流量控制器(7)。
7.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，其特征在于：绝热盒(8)的材质为泡沫塑料材质。
8.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，其特征在于：载气管路(1)、液态源管路(2)、蒸发器(3)和蒸发器管路(4)的材质为不锈钢。
9.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，其特征在于：蒸发器(3)内部设有液位监测控制器，载气管路(1)上设有温度传感器(11)和压力传感器(12)。
10.如权利要求1所述的应用于MOCVD新型液态源汽化系统的保护装置，其特征在于：液态源管道处设有液体检漏阀(13)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021840309.9U CN212960901U (zh) | 2020-08-28 | 2020-08-28 | 一种应用于mocvd新型液态源汽化系统的保护装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021840309.9U CN212960901U (zh) | 2020-08-28 | 2020-08-28 | 一种应用于mocvd新型液态源汽化系统的保护装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN212960901U true CN212960901U (zh) | 2021-04-13 |
Family
ID=75361160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202021840309.9U Active CN212960901U (zh) | 2020-08-28 | 2020-08-28 | 一种应用于mocvd新型液态源汽化系统的保护装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN212960901U (zh) |
-
2020
- 2020-08-28 CN CN202021840309.9U patent/CN212960901U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20110056571A1 (en) | Methods and systems for reducing pressure of natural gas and methods and systems of delivering natural gas | |
| US2984978A (en) | Fuel system for supplying gaseous fuel to internal combustion engines | |
| CN212960901U (zh) | 一种应用于mocvd新型液态源汽化系统的保护装置 | |
| CN102537656A (zh) | 液化天然气独立供气装置 | |
| CN103615657A (zh) | Lng动力船舶的天然气传输系统 | |
| JP2013032839A (ja) | 移動式容器 | |
| GB1003769A (en) | Improvements relating to conditioning apparatus for a gaseous medium | |
| EP0148751B1 (en) | A process for the generation of a cold gas | |
| CN202580627U (zh) | 液化天然气加气撬 | |
| US4419114A (en) | System and method for converting wellhead gas to liquefied petroleum gases (LPG) | |
| CN1350178A (zh) | 吸收式制冷机的渗漏检测和定位以及除氢电池的检验 | |
| CN102338652A (zh) | 差压式防冻液位计 | |
| CN115898710A (zh) | 无凝水双壁管液化天然气燃气供应系统 | |
| CN212299524U (zh) | 一种co2气体安全泄放的制冷装置 | |
| CN213018869U (zh) | 液化天然气储罐自动调压降温系统 | |
| CN208794039U (zh) | 一种lng气化站 | |
| CN105865520A (zh) | 一种研究超临界co2管道放空特性的实验装置及方法 | |
| CN218237092U (zh) | Bog回收撬调压管路 | |
| CN217275713U (zh) | 密封气加热装置和低温密封排放汽化加热系统 | |
| CN104460759B (zh) | 一种低温液体贮罐恒温机构 | |
| CN113858576A (zh) | 一种abs挤出机脱挥回收方法及回收系统 | |
| CN213065556U (zh) | 一种应用于mocvd新型液态源汽化系统的控制装置 | |
| US20240353064A1 (en) | Method and an apparatus for preventing the emission of harmful gases into atmosphere | |
| CN219673441U (zh) | 用于高压气体管道调压阀的除霜装置和高压气体管道系统 | |
| CN205618967U (zh) | 无水氟化氢低温储存设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |