CN212808697U - 一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合装置，包括光波导芯片，光波导芯片设至少两个光波导输出端口，每一个光波导输出端口均通过输出侧光纤模块耦合连接一根输出光纤，输出侧光纤模块上开设数量大于或等于光波导输出端口的数量的第一开口，每一个第一开口承载一根输出光纤；相邻的光波导输出端口的中心间距记为D1，对应的相邻的第一开口之间的中心间距记为D2，设置D1不小于D2，解决了现有技术中单芯光纤模块不适用于多端口的铌酸锂光波导分路器件的制备的技术问题，达到了实现多个光波导输出端口与输出光纤的低损耗连接，简化含有至少两个光波导输出端口的铌酸锂集成光学器件的耦合粘接工艺，提升可靠性和生产效率，降低制造成本的技术效果。

Description

一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合装置

技术领域

本申请涉及光纤传感和通信技术领域，尤其涉及一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构。

背景技术

铌酸锂是一种集电光、声光、压电、非线性光学等多种性质于一体的晶体材料，是制备电光调制器、声光调制器、非线性波长转换器、量子纠缠光源等集成光学器件的常见材料选择之一。基于光波导的铌酸锂集成光学器件，如相位调制器、强度调制器、CATV调制器等，在光纤通信、光纤传感、微波光纤链路、量子通信等领域有着十分广泛的应用。

在现有技术中，铌酸锂集成光学器件多采用光纤模块进行光波导与光纤之间的耦合粘接。光纤模块一般是将光纤放置于预先制作有开口的晶体块中，使用胶水将光纤固定于开口中，经过研磨抛光后形成为光纤模块。开口可以是晶体块表面形成的方形、V形、半圆形等形状的沟槽，也可以是晶体块内部形成的圆形等形状的通孔。

对于光波导输入端或输出端仅有一个波导端口的集成光学器件，使用仅有一个开口的晶体块制得的单芯光纤模块可以方便地进行光波导与光纤之间的耦合粘接。对于含有两个光波导端口(即双端口)的铌酸锂集成光学器件，现有技术一般采用两个单纤光纤模块进行耦合粘接。现有技术方案虽然可以实现含有两个光波导端口的集成光学器件的耦合粘接，并且具有透射光谱宽、耦合损耗低、工艺成熟等优点，但是也存在着如下几方面问题：

(1)使用两个单纤进行双端口的铌酸锂集成光学器件的耦合粘接时，容易因为某个端口的光纤耦合效果不佳而导致的器件分光比例或插入损耗的明显变化，造成器件性能水平的下降；

(2)使用单纤光纤模块需要进行多次的光纤耦合方可完成含有双端口的铌酸锂集成光学器件的封装，独立的光纤耦合点越多，越容易造成器件可靠性的下降以及因为操作复杂而导致的制造成本增加；

(3)由于光纤模块晶体尺寸的限制，使用单芯光纤模块很难实现波导端口数大于两个的铌酸锂集成光学器件的光纤耦合粘接，例如含有多个分支结构的的1*N光波导分路器。

因此，亟需研发一种适用于多端口的铌酸锂光波导分路器的制备用的光波导与光纤耦合结构。

实用新型内容

为了解决上述现有的单芯光纤模块难以适用于多端口的铌酸锂光波导分路器的制备的技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本申请提供一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构。

第一方面，本申请提供了一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，包括：光波导芯片，所述光波导芯片设有至少两个光波导输出端口，每一个所述光波导输出端口分别耦合连接有一根输出光纤，每一根所述输出光纤与所述光波导输出端口连接的一端承载于同一个输出侧光纤模块上，所述输出侧光纤模块上对应的开设有分别用于承载每一根所述输出光纤的第一开口；相邻的所述光波导输出端口的中心间距记为D1，相邻的所述第一开口之间的中心间距记为D2，设置D1不小于D2。

可选的，相邻的所述光波导输出端口的中心间距D1与对应的相邻的所述第一开口之间的中心间距D2之间的差值不大于10μm，即D1﹣10μm≤D2。

可选的，所述光波导芯片的光波导输出端口的数量大于两个时，各个所述光波导输出端口等间距排布，对应的所述输出侧光纤模块上的各个所述第一开口之间的中心间距也均相等。

可选的，所述光波导芯片还设有至少一个光波导输入端口，每一个所述光波导输入端口分别耦合连接有一根输入光纤，每一根所述输入光纤与所述光波导输入端口连接的一端承载于同一个输入侧光纤模块上，所述输入侧光纤模块上对应的开设有分别用于承载每一根所述输入光纤的第二开口；当所述光波导输入端口的数量至少为两个时，相邻的所述光波导输入端口的中心间距记为D3，相邻的所述第二开口之间的中心间距记为D4，设置D3不小于D4。

可选的，相邻的所述光波导输入端口的中心间距D3与对应的相邻的所述第二开口之间的中心间距D4之间的差值不大于10μm，即D3﹣10μm≤D4。

可选的，所述光波导芯片的光波导输入端口的数量大于两个时，各个所述光波导输入端口等间距排布，对应的所述输入侧光纤模块上的各个所述第二开口之间的中心间距也均相等。

可选的，相邻的所述第一开口之间的中心间距D2为81μm或127μm或250μm或400μm；相邻的所述第二开口之间的中心间距为81μm或127μm或250μm或400μm。

本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：

(1)本申请实施例提供的一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，设置输出侧光纤模块上开设有数量大于或等于光波导输出端口的数量的第一开口，每一个第一开口承载一根输出光纤，输出侧光纤模块与光波导芯片的一次粘接就可以实现多个光波导端口和多根输出光纤的耦合连接，相对于现有技术中一个光波导输出端口通过一个单芯光纤模块与输出光纤之间耦合粘接，可以减少粘接次数，大幅简化含有两个或多个光波导输出端口的铌酸锂集成光学器件的耦合粘接工艺，提升器件可靠性，提高生产效率，降低制造成本；

(2)本申请实施例提供的一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，结构简单，设计方便，相邻的光波导输出端口的中心间距D1可以根据对应的输出侧光纤模块上的相邻的第一开口之间的中心间距D2的大小而灵活设置，且D1不小于D2，实现多个光波导输出端口与输出光纤的低损耗连接。

(3)使得含有多个分支结构的铌酸锂光波导分路器的光纤耦合粘接成为可能，有利于实现光开关、光量子随机游走芯片等多端口器件的制备。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1A为现有技术中直条光波导结构与光纤的耦合结构示意图；

图1B为现有技术中MZ干涉仪型光波导结构与光纤的耦合结构示意图；

图1C为现有技术中Y分支光波导结构与光纤的耦合结构示意图；

图1D为现有技术中CATV调制器光波导与光纤的耦合结构示意图；

图2A为现有技术中单芯光纤模块的结构示意图；

图2B为现有技术中单芯光纤模块的另一种结构示意图；

图3为本申请实施例提供的一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构的结构示意图；

图4为本申请实施例提供的输出侧光纤模块与输出光纤的连接示意图；

图5为本申请实施例提供的CATV调制器光波导与光纤耦合结构的示意图；

图6为本申请实施例提供的一种多芯光纤模块的结构示意图；

图7为本申请实施例提供的3×3铌酸锂光分路器与多芯光纤模块的耦合结构示意图。

图8为本申请实施例提供的1×4铌酸锂光分路器与多芯光纤模块的耦合结构示意图。

图标：

100、单芯光纤模块；200、光纤；300、光波导结构；400、晶体块；500、光纤通道；1、光波导芯片；2、光波导输出端口；3、输出侧光纤模块；4、输出光纤；5、第一开口；6、光波导输入端口；7、输入光纤；1、光波导芯片。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

铌酸锂是一种集电光、声光、压电、非线性光学等多种性质于一体的晶体材料，是制备电光调制器、声光调制器、非线性波长转换器、量子纠缠光源等集成光学器件的常见材料选择之一。基于光波导的铌酸锂集成光学器件，如相位调制器、强度调制器、CATV调制器等，在光纤通信、光纤传感、微波光纤链路、量子通信等领域有着十分广泛的应用。

在现有技术中，铌酸锂集成光学器件多采用光纤模块进行光波导与光纤之间的耦合粘接。光纤模块一般是将光纤放置于预先制作有开口的晶体块中，使用胶水将光纤固定于开口中，形成光纤模块。开口可以是晶体块表面形成的方形、V形、半圆形等形状的沟槽，也可以是晶体块内部形成的圆形等形状的通孔。

对于光波导输入端或输出端仅有一个波导端口的集成光学器件，使用仅有一个开口的晶体块制得的单芯光纤模块可以方便地进行光波导与光纤之间的耦合粘接。对于含有两个光波导端口(即双端口)的铌酸锂集成光学器件，现有技术一般采用两个单纤光纤模块进行耦合粘接。现有技术方案虽然可以实现含有两个光波导端口的集成光学器件的耦合粘接，并且具有透射光谱宽、耦合损耗低、工艺成熟等优点，但是也存在着如下几方面问题：

(1)使用两个单纤光行双端口的铌酸锂集成光学器件的耦合粘接时，容易因为某个端口的光纤耦合效果不佳而导致的器件分光比例或插入损耗的明显变化，造成器件性能水平的下降；

(2)使用单纤光纤模块需要进行多次的光纤耦合方可完成含有双端口的铌酸锂集成光学器件的封装，独立的光纤耦合点越多，越容易造成器件可靠性的下降以及因为操作复杂而导致的成本增加；

(3)由于光纤模块晶体尺寸的限制，使用单芯光纤模块很难实现波导端口数大于两个的铌酸锂集成光学器件的光纤耦合粘接，例如含有多个分支结构的的1*N光波导分路器。因此，亟需研发一种适用于多端口的铌酸锂光波导分路器件的制备的铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，基于此，本申请实施例提供一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，可以实现光波导输出端口与输出光纤的低损耗连接，简化含有两个或多个光波导输出端口的铌酸锂集成光学器件的耦合粘接工艺，提升可靠性，提高效率，降低制造成本。

具体的，在现有铌酸锂集成光学器件中，光波导的结构及基于此的典型集成光学器件主要有如下一些类型：(1)直条光波导，可用于制作相位调制器；(2)MZ干涉仪型光波导，可用于制作强度调制器；(3)Y分支光波导，可用于制作Y波导调制器；(4)定向耦合器型光波导，可用于制作定向耦合器型强度调制器、CATV调制器等；(5)N个输入或输出端口的N*N光分路器，可用于制作保偏光分路器、光开关、双Y波导调制器、光量子随机游走芯片等。

下面介绍现有技术中铌酸锂集成光学器件的几种典型光波导结构与光纤的耦合结构，其中，图1A～图1D所示分别为直条光波导、MZ干涉仪型光波导、Y分支光波导和CATV调制器光波导。在现有技术中，上述几种典型光波导结构300一般是采用单芯光纤模块100耦合连接光纤200，单芯光纤模块100的基本结构如图2A和图2B所示。在单芯光纤模块中，起到光纤载体作用的晶体块400含有一个光纤通道500，此光纤通道可以是形成于晶体块表面的方形、V形或半圆形等形状的沟槽(如图1A所示)，也可以是形成于晶体块内部(如圆形晶体块圆心处)的通孔(如图1B所示)。沟槽或通孔形式的光纤通道用于放置光纤，在光纤通道与光纤的缝隙处填充满胶水(如紫外固化胶水)并使用一定的固化条件(如紫外灯曝光照射固化)使胶水充分固化，实现光纤与晶体块的固定。将光纤端面及其所在的晶体块端面进行精密的研磨抛光后，可用于与光波导进行低损耗、宽光谱、高可靠性地耦合粘接。

单纤光纤模块中的晶体块一般是方形、长方形或圆形，其宽度或圆形直径一般在1mm以上。因此，对于输入端或输出端含有两个以上的光波导端口数量的铌酸锂集成光学器件，相邻光波导之间的间距则需不小于1mm，这便会极大地增加了光波导分路器结构中的分支结构长度，导致含有多端口的铌酸锂光波导分路器件的实用价值的降低。

为了便于理解，下面对本申请实施例提供的一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构进行详细介绍，参见图3至图5，第一方面，本申请提供了一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，包括：光波导芯片1，光波导芯片1设有至少两个光波导输出端口2，每一个光波导输出端口2分别耦合连接有一根输出光纤4，每一根输出光纤4与光波导输出端口连接的一端承载于同一个输出侧光纤模块3上，输出侧光纤模块3上对应的开设有分别用于承载每一根输出光纤4的第一开口5；相邻的光波导输出端口2的中心间距记为D1，相邻的第一开口5之间的中心间距记为D2，设置D1不小于D2。

这里，光波导芯片1可以采用可用于制作光波导结构的晶体材料，如铌酸锂(LiNbO3)、钽酸锂(LiTaO3)、磷酸氧钛钾(KTP)等。为降低光波导的传输损耗，用于制作光波导芯片1的晶体材料一般选择光学级质量。

这里，光波导芯片1的表面可以设有若干光波导，光波导可以采用钛扩散、锌扩散、氧化锌扩散、退火质子交换、精密光学切割等常规的铌酸锂光波导制备工艺制得，光波导的形状可以是直条、MZ干涉仪、Y分支、定向耦合器等。

这里，其中，输出侧光纤模块3是输出光纤4的载体，起到了增加光输出光纤4与光波导之间的耦合粘接面积的作用，有利于提升器件的稳定性和可靠性。输出侧光纤模块3的组成材料可以是铌酸锂、钽酸锂、硅、玻璃、石英、红宝石等常见的晶体材料中的一种，其形状可以是方形、长方形、圆形等其中一种。

第一开口5用于将输出光纤4放置于输出侧光纤模块3中，第一开口5可以是形成于输出侧光纤模块3表面的方形、V形、半圆形等形状的沟槽，也可以是形成于输出侧光纤模块3内部(如圆形晶体块圆心处沿径向方向)的通孔。输出光纤4放置于第一开口5中之后，在第一开口5与输出光纤4的缝隙处填充满胶水(如紫外固化胶水)并使用一定的固化条件(如紫外灯曝光照射固化)使胶水充分固化，实现输出光纤4与输出侧光纤模块3的固定。将输出光纤4的端面及其所在的输出侧光纤模块3的端面进行精密的研磨抛光后，得到输出侧光纤模块3。

这里，相邻的第一开口5的中心之间的中心间距可以为D2，作为一个示例，D2一般在60μm～500μm。放置于第一开口5中的输出光纤4可以是普通的单模光纤，也可以是保偏的单模光纤。对于保偏单模光纤，其慢轴方向(即保偏光纤猫眼连线方向)一般与输出侧光纤模块3的上表面平面成一定的对轴角度，例如0°、45°或90°等典型的角度。

这里，设置相邻的光波导输出端口2的中心间距D1大于对应的相邻的第一开口5之间的中心间距D2，是因为实际使用中，光波导芯片1和输出侧光纤模块3之间存在一定角度差值，若设置D1等于D2，容易造成光波导分路器对准误差的增大，导致光分路器插入损耗的增加，为了减小角度差值带来的插入损耗的增加，设置D1不小于D2，具体的作为一个示例，若角度差值为θ，即光波导芯片1的角度α与输出侧光纤模块3的角度β差值为θ，那么，具体的D1和D2之间的差值设置可以根据勾股定理推导得出，即令D1除以角度α的余弦值所得的商等于D2除以角度β的余弦值的商，在实际使用中，当D2一定时，D1的值就可以按上述方法得出。

本申请实施例提供的一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，设置输出侧光纤模块3上开设有数量大于或等于光波导输出端口2的数量的第一开口5，每一个第一开口5承载一根输出光纤4，输出侧光纤模块3与光波导芯片1的一次粘接就可以实现多个光波导端口和多根输出光纤4的耦合连接，相对于现有技术中一个光波导输出端口2通过一个单芯光纤模块与输出光纤4之间耦合粘接，可以减少粘接次数，大幅简化含有两个或多个光波导端口的铌酸锂集成光学器件的耦合粘接工艺，提升器件可靠性，提高效率，降低制造成本；

本申请实施例提供的一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，结构简单，设计方便，相邻的光波导输出端口2的中心间距D1可以根据对应的输出侧光纤模块3上的相邻的第一开口5之间的中心间距D2的大小而灵活设置，且D1不小于D2，实现多个光波导输出端口2与输出光纤4的低损耗连接，还可以提升光波导元件光学指标的稳定性，尤其可以改善在高温和低温的温度循环过程中的分光比例或插入损耗等光学指标的稳定性；还可以使得含有多个分支结构的铌酸锂光波导分路器的光纤耦合粘接成为可能，有利于实现光开关、光量子随机游走芯片等多端口器件的制备。

在本申请的一些具体实施例中，相邻的光波导输出端口2的中心间距D1与对应的相邻的第一开口5之间的中心间距D2之间的差值不大于10μm，即D1﹣10μm≤D2。

在本申请的一些具体实施例中，光波导芯片1的光波导输出端口2的数量大于两个时，各个光波导输出端口2等间距排布，对应的输出侧光纤模块3上的各个第一开口5之间的中心间距均相等。

在本申请的一些具体实施例中，光波导芯片1还设有至少一个光波导输入端口6，每一个光波导输入端口6分别耦合连接有一根输入光纤7，每一根输入光纤7与光波导输入端口6连接的一端承载于同一个输入侧光纤模块上，输入侧光纤模块上对应的开设有分别用于承载每一根输入光纤7的第二开口；当光波导输入端口6的数量至少为两个时，相邻的光波导输入端口6的中心间距记为D3，相邻的第二开口之间的中心间距记为D4，设置D3不小于D4。

在本申请的一些具体实施例中，相邻的光波导输入端口6的中心间距D3与对应的相邻的第二开口之间的中心间距D4之间的差值不大于10μm，即D3﹣10μm≤D4。

在本申请的一些具体实施例中，光波导芯片1的光波导输入端口6的数量大于两个时，各个光波导输入端口6等间距排布，对应的输入侧光纤模块上的各个第二开口之间的中心间距均相等。

这里，光波导芯片1的输入端的光波导输入端口6、输入侧光纤模块、输入光纤7、第二开口的原理可以参考上述光波导芯片1的输出端的光波导输出端口2、输出侧光纤模块3、输出光纤4、第一开口5，这里不做赘述，即光波导芯片1的输入端和输出端设有多个光波导端口时，输入端光波导端口和输入侧光纤模块的连接设置原理，与输出端光波导端口和输出侧光纤模块3的连接设置原理一致。

在本申请的一些具体实施例中，相邻的第一开口5之间的中心间距D2为81μm或127μm或250μm或400μm；相邻的第二开口D4之间的中心间距为81μm或127μm或250μm或400μm。

这里，结合上述示例所描述的，为了便于理解，可以参考图4和图6，其中图4所示为由两个开口构成的双芯光纤模块，图6所示为由多个开口构成的多芯光纤模块。上述的双芯光纤模块和多芯光纤模块均可以作为输出侧光纤模块或输入侧光纤模块。作为示例，图4和图6中的开口采用的是V形沟槽。

下面为了便于理解，下面对现有技术中常见的铌酸锂集成光学器件的几种典型光波导结构采用本申请实施例提供的铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构与光纤进行耦合连接的具体方式进行简单说明，可以参见图3，图3所示的本申请实施例提供的一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构的结构示意图，为Y分支光波导与双芯光纤模块的耦合结构；参见图5，图5所示的本申请实施例提供的铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构的另一种结构示意图，为CATV调制器光波导与双芯光纤模块的耦合结构示意图；参见图7，图7所示为3×3的铌酸锂光耦合器结构与多芯光纤模块的耦合结构，具体的，3×3的光波导耦合器结构，其输入端和输出端均含有三个光波导端口，相应的多芯光纤模块为含有三个开口的三芯光纤模块；参加图8，图8所示为1×4的铌酸锂光耦合器结构与多芯光纤模块的耦合结构。这里，对于图3和图5所提供的两个示例，光波导分路器的输出端含有两个光波导输出端口，两个光波导输出端口的中心间距为D1，两个光波导输出端口通过同一个开设有两个第一开口的输出侧光纤模块分别耦合连接有一根输出光纤4，两个第一开口之间的中心间距为D2，D2与D1之间的差值不大于10μm，即D1﹣10μm≤D2。同样的，对于图7和图8所提供的示例，对于输出端含有两个以上光波导输出端口端口的分路器件，或是输入端和输出端均含有两个及以上的光波导端口的分路器件，也需满足D1﹣10μm≤D2。

需要说明的是，下述具体实施方式中的描述仅是优选了部分典型的铌酸锂光波导分路器结构，但并不构成对本实用新型实施范围的限制。无论是在铌酸锂块状体材料晶体还是铌酸锂单晶薄膜中制作的任何铌酸锂光波导分路器结构，本实用新型所提出的光纤耦合结构均是适用的，因此本领域技术人员容易想到的针对晶体材料或光波导结构的各种变换形式均应在本实用新型的保护范围内。

需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本实用新型的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所申请的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (7)

1.一种铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，其特征在于，包括：光波导芯片，所述光波导芯片设有至少两个光波导输出端口，每一个所述光波导输出端口分别耦合连接有一根输出光纤，每一根所述输出光纤与所述光波导输出端口连接的一端承载于同一个输出侧光纤模块上，所述输出侧光纤模块上对应的开设有分别用于承载每一根所述输出光纤的第一开口；相邻的所述光波导输出端口的中心间距记为D1，相邻的所述第一开口之间的中心间距记为D2，设置D1不小于D2。

2.根据权利要求1所述的铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，其特征在于，相邻的所述光波导输出端口的中心间距D1与相邻的所述第一开口之间的中心间距D2之间的差值不大于10μm，即D1﹣10μm≤D2。

3.根据权利要求2所述的铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，其特征在于，所述光波导芯片的光波导输出端口的数量大于两个时，各个所述光波导输出端口等间距排布，对应的所述输出侧光纤模块上的各个所述第一开口之间的中心间距也均相等。

4.根据权利要求3所述的铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，其特征在于，所述光波导芯片还设有至少一个光波导输入端口，每一个所述光波导输入端口分别耦合连接有一根输入光纤，每一根所述输入光纤与所述光波导输入端口连接的一端承载于同一个输入侧光纤模块上，所述输入侧光纤模块上对应的开设有分别用于承载每一根所述输入光纤的第二开口；当所述光波导输入端口的数量至少为两个时，相邻的所述光波导输入端口的中心间距记为D3，相邻的所述第二开口之间的中心间距记为D4，设置D3不小于D4。

5.根据权利要求4所述的铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，其特征在于，相邻的所述光波导输入端口的中心间距D3与对应的相邻的所述第二开口之间的中心间距D4之间的差值不大于10μm，即D3﹣10μm≤D4。

6.根据权利要求5所述的铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，其特征在于，所述光波导芯片的光波导输入端口的数量大于两个时，各个所述光波导输入端口等间距排布，对应的所述输入侧光纤模块上的各个所述第二开口之间的中心间距也均相等。

7.根据权利要求6所述的铌酸锂光分路器用光波导与光纤耦合结构，其特征在于，相邻的所述第一开口之间的中心间距D2为81μm或127μm或250μm或400μm；相邻的所述第二开口之间的中心间距为81μm或127μm或250μm或400μm。

Images