CN212794571U - 硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及晶圆加工设备领域。硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，包括抽风箱、废蜡收集桶、一根主滴蜡管以及三根副滴蜡管，主滴蜡管的下端连接有一PVC伸缩管，PVC伸缩管伸入废蜡收集桶内，废蜡收集桶位于密封箱体内；主滴蜡管位于密封箱体内且位于废蜡收集桶上方的区域开设有一缺口，缺口与一沟槽长度方向上的一端对接联通，沟槽的上端开口；所有的副滴蜡管的下端开口正对沟槽的上端开口，且副滴蜡管的下端开口伸入沟槽的上端开口。本专利通过沟槽使得三个副滴蜡管与主滴蜡管联通，废蜡收集桶放置于密封箱体内，使用PVC伸缩管在密封箱体内与废蜡收集桶联通，提高三个副滴蜡管的抽风效果，不影响滴蜡和废蜡的收集。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工设备领域，具体是涂蜡抽风箱。
背景技术
抛光机在对硅片进行抛光时，会有涂蜡工序，在抛光时会通过一根主滴蜡管以及三根副滴蜡管与抛光机的内腔联通，进而实现蜡的收集以及抽风，避免抛光机内硅片所处的环境内蜡颗粒的悬浮影响后期硅片的平整度。
现有技术中进行排风废蜡收集时，一根主滴蜡管以及三根副滴蜡管均与抛光机的排蜡沟槽导通，三根副滴蜡管的顶部高于主滴蜡管的顶部，一根主滴蜡管将蜡引入废蜡桶内，其余三根副滴蜡管连接至抽风箱，抽风箱再连接设备排风管道。
上述结构主要存有如下缺陷：1)三根副滴蜡管与一根主滴蜡管分离，抽风效果下降；2)由于蜡气化作用下三根副滴蜡管存在蜡残留，流入抽风箱，使得抽风箱难以清理。
实用新型内容
针对现有技术存在的问题，本实用新型提供硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，以解决以上至少一个技术问题。
为了达到上述目的，本实用新型提供了硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，包括抽风箱、废蜡收集桶、一根主滴蜡管以及三根副滴蜡管，其特征在于，所述抽风箱是一密封箱体，所述抽风箱的侧壁上开设有一用于连接排风管路的排风口；
所述主滴蜡管的下端连接有一PVC伸缩管，所述PVC伸缩管伸入废蜡收集桶内，所述废蜡收集桶位于所述密封箱体内；
所述主滴蜡管位于所述密封箱体内且位于所述废蜡收集桶上方的区域开设有一缺口，所述缺口与一沟槽长度方向上的一端对接联通，所述沟槽长度方向上的另一端固定有端部封口的挡板，所述沟槽的上端开口；
所有的副滴蜡管的下端开口正对所述沟槽的上端开口，且所述副滴蜡管的下端开口伸入所述沟槽的上端开口。
本专利通过沟槽使得三个副滴蜡管与主滴蜡管联通，废蜡收集桶放置于密封箱体内，使用PVC伸缩管在密封箱体内与废蜡收集桶联通，提高三个副滴蜡管的抽风效果，不影响滴蜡和废蜡的收集。由于抽风箱为密封箱体，抽风打开后使密封箱体一直处于负压状态，有利于设备内部降尘及废弃排放。
进一步优选的，所述密封箱体包括一前端开口的主箱以及封闭前端开口的不锈钢门，所述不锈钢门接触主箱的前端开口处固定有密封垫。
便于保证密封性。
进一步优选的，所述不锈钢门上开设有一竖直设置的条状开口，所述条状开口上安装有一可视窗。
便于观察废蜡收集桶的液位。
进一步优选地，所述沟槽的后侧设有向上延伸的安装板，所述安装板安装在所述密封箱体的后侧的内壁上。
便于沟槽与主滴蜡管连接时，通过安装板实现沟槽的预定位。
所述安装板的顶部与密封箱体的顶部内壁相抵。
进一步优选地，所述沟槽端部与所述主滴蜡管的缺口处焊接相连。
进一步优选地，所述沟槽的端部伸入所述缺口，且沟槽的端部与所述主滴蜡管的内壁存有用于滴蜡的通道。
进一步优选地，所述三根副滴蜡管以及一根主滴蜡管从左至右依次排布；
所述沟槽的导流方向为从左至右倾斜向下。
便于蜡经过沟槽导流至废蜡收集桶。
进一步优选的，所述密封箱体的顶部设有四个接口，四个接口分别用于连接一根主滴蜡管以及三根副滴蜡管；
所述接口处安装有抱箍。
防止加工时遇热变形脱落。通过抱箍实现一根主滴蜡管以及三根副滴蜡管的固定。
进一步优选地，所述副滴蜡管的下端与所述沟槽的内壁之间的间距为25mm-35mm。
便于蜡的导流至废蜡收集桶。
进一步优选地，所述排风口位于所述密封箱体的下端部，且所述排风口低于所述沟槽。
便于排风。
附图说明
图1为本实用新型的局部结构示意图；
图2为本实用新型的前视图；
图3为本实用新型主滴蜡管与沟槽连接状态下的局部结构示意图。
其中：1为主箱，2为不锈钢门，3为废蜡收集桶，4为主滴蜡管，5为副滴蜡管，6为沟槽，7为PVC伸缩管，8为可视窗，9为安装板。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
参见图1至图3，硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，包括抽风箱、废蜡收集桶3、一根主滴蜡管4以及三根副滴蜡管5，抽风箱是一密封箱体，抽风箱的侧壁上开设有一用于连接排风管路的排风口；主滴蜡管4的下端连接有一PVC伸缩管7，PVC伸缩管7伸入废蜡收集桶3内，废蜡收集桶3位于密封箱体内；主滴蜡管4位于密封箱体内且位于废蜡收集桶3上方的区域开设有一缺口，缺口与一沟槽6长度方向上的一端对接联通，沟槽6长度方向上的另一端固定有端部封口的挡板，沟槽的上端开口；所有的副滴蜡管5的下端开口正对沟槽6的上端开口，且副滴蜡管5的下端开口伸入沟槽6的上端开口。本专利通过沟槽6使得三个副滴蜡管5与主滴蜡管4联通，废蜡收集桶3放置于密封箱体内，使用PVC伸缩管7在密封箱体内与废蜡收集桶3联通，提高三个副滴蜡管5的抽风效果，不影响滴蜡和废蜡的收集。由于抽风箱为密封箱体，抽风打开后使密封箱体一直处于负压状态，有利于设备内部降尘及废弃排放。
一根主滴蜡管以及三根副滴蜡管均与抛光机的排蜡沟槽导通，三根副滴蜡管的顶部高于主滴蜡管的顶部。
缺口可以是半圆形缺口。沟槽可以是一弧形槽。
密封箱体包括一前端开口的主箱1以及封闭前端开口的不锈钢门2，不锈钢门2接触主箱的前端开口处固定有密封垫。便于保证密封性。不锈钢门上开设有一竖直设置的条状开口，条状开口上安装有一可视窗8。便于观察废蜡收集桶3的液位。
沟槽6的后侧设有向上延伸的安装板9，安装板安装在密封箱体的后侧的内壁上。可以是，安装板通过螺钉可拆卸安装在密封箱体的后侧的内壁上。便于沟槽6与主滴蜡管4连接时，通过安装板实现沟槽6的预定位。
沟槽6端部与主滴蜡管4的缺口处焊接相连。或者，沟槽6的端部伸入缺口，且沟槽6的端部与主滴蜡管4的内壁存有用于滴蜡的通道。
三根副滴蜡管5以及一根主滴蜡管4从左至右依次排布。沟槽6的导流方向可以为从左至右倾斜向下。便于蜡经过沟槽6导流至废蜡收集桶3。
密封箱体的顶部设有四个接口，四个接口分别用于连接一根主滴蜡管4以及三根副滴蜡管5；接口处安装有抱箍。防止加工时遇热变形脱落。
副滴蜡管5的下端与沟槽6的内壁之间的间距为25mm-35mm。便于蜡的导流至废蜡收集桶3。
以上仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，包括抽风箱、废蜡收集桶、一根主滴蜡管以及三根副滴蜡管，其特征在于，所述抽风箱是一密封箱体，所述抽风箱的侧壁上开设有一用于连接排风管路的排风口；
所述主滴蜡管的下端连接有一PVC伸缩管，所述PVC伸缩管伸入废蜡收集桶内，所述废蜡收集桶位于所述密封箱体内；
所述主滴蜡管位于所述密封箱体内且位于所述废蜡收集桶上方的区域开设有一缺口，所述缺口与一沟槽长度方向上的一端对接联通，所述沟槽长度方向上的另一端固定有端部封口的挡板，所述沟槽的上端开口；
所有的副滴蜡管的下端开口正对所述沟槽的上端开口，且所述副滴蜡管的下端开口伸入所述沟槽的上端开口。
2.根据权利要求1所述的硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，其特征在于：所述密封箱体包括一前端开口的主箱以及封闭前端开口的不锈钢门，所述不锈钢门接触主箱的前端开口处固定有密封垫。
3.根据权利要求2所述的硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，其特征在于：所述不锈钢门上开设有一竖直设置的条状开口，所述条状开口上安装有一可视窗。
4.根据权利要求1所述的硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，其特征在于：所述沟槽的后侧设有向上延伸的安装板，所述安装板通过螺钉可拆卸安装在所述密封箱体的后侧的内壁上。
5.根据权利要求1所述的硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，其特征在于：所述沟槽端部与所述主滴蜡管的缺口处焊接相连。
6.根据权利要求4所述的硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，其特征在于：所述沟槽的端部伸入所述缺口，且沟槽的端部与所述主滴蜡管的内壁存有用于滴蜡的通道。
7.根据权利要求1所述的硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，其特征在于：所述三根副滴蜡管以及一根主滴蜡管从左至右依次排布；
所述沟槽的导流方向为从左至右倾斜向下。
8.根据权利要求1所述的硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，其特征在于：所述密封箱体的顶部设有四个接口，四个接口分别用于连接一根主滴蜡管以及三根副滴蜡管；
所述接口处安装有抱箍。
9.根据权利要求1所述的硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，其特征在于：所述副滴蜡管的下端与所述沟槽的内壁之间的间距为25mm-35mm。
10.根据权利要求1所述的硅片抛光涂蜡后废蜡回收装置，其特征在于：所述排风口位于所述密封箱体的下端部，且所述排风口低于所述沟槽。
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| CN212794571U true CN212794571U (zh) | 2021-03-26 |
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2020
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