CN212741508U - 一种用于真空镀膜机内可调角度的百叶窗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于真空镀膜机内可调角度的百叶窗装置，特别涉及真空镀膜设备技术领域。本实用新型包括固定框架、第一安装槽、第二安装槽、第一挡片、第二挡片、第三挡片、主动链轮、中间链轮、从动链轮、链条、转盘，第一固定板、第二固定板、插销，所述主动链轮通过所述链条与所述中间链轮、所述从动链轮传动连接，所述主动链轮轴心处固定有传动轴，所述传动轴一端穿过所述第二安装槽并与所述转盘相连，所述转盘上设有第一固定板，所述固定框架上设有第二固定板，所述插销一端贯穿所述第二固定板并嵌入在所述第一固定板内。调节过程较易控制，方便实现挡板角度的调节，避免影响镀膜工艺的进行。

Description

一种用于真空镀膜机内可调角度的百叶窗装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，特别涉及于一种用于真空镀膜机内可调角度的百叶窗装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

在真空镀膜机的工作中，需要向真空室内充入一定量的工艺气体，并要求真空度稳定在某个值。现有的处理方式一般是通过改变节流截面以控制流体流量，通过气缸改变节流阀中的挡板角度来实现流体流量的控制。现有的摆动气缸虽然有调节挡板角度的作用，但是调节过程不好控制，挡板角度调节不方便，影响镀膜工艺。

实用新型内容

（1）要解决的技术问题

本实用新型提供一种用于真空镀膜机内可调角度的百叶窗装置，克服了现有的摆动气缸虽然有调节挡板角度的作用，但是调节过程不好控制，挡板角度调节不方便，影响镀膜工艺的缺点。

（2）技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于真空镀膜机内可调角度的百叶窗装置，包括固定框架、第一安装槽、第二安装槽、第一挡片、第二挡片、第三挡片、主动链轮、中间链轮、从动链轮、链条、转盘，第一固定板、第二固定板、插销，所述固定框架内设有所述第一安装槽和所述第二安装槽，所述第一安装槽内沿水平方向依次设有所述第一挡片、所述第二挡片、所述第三挡片，所述第一挡片的两端分别固定设有第一转轴，其中一个第一转轴转动连接在所述第一安装槽内壁上，另一个第一转轴穿过所述第一安装槽并延伸至所述第二安装槽内且与主动链轮相连，所述第二挡片的两端分别固定设有第二转轴，其中一个第二转轴转动连接在所述第一安装槽内壁上，另一个第二转轴穿过所述第一安装槽并延伸至所述第二安装槽内且与中间链轮相连，所述第三挡片的两端分别固定设有第三转轴，其中一个第三转轴转动连接在所述第一安装槽内壁上，另一个第三转轴穿过所述第一安装槽并延伸至所述第二安装槽内且与从动链轮相连，所述主动链轮通过所述链条与所述中间链轮、所述从动链轮传动连接，所述主动链轮轴心处固定有传动轴，所述传动轴一端穿过所述第二安装槽并与所述转盘相连，所述转盘上设有第一固定板，所述固定框架上设有第二固定板，所述插销一端贯穿所述第二固定板并嵌入在所述第一固定板内。

优选地，所述第一转轴、所述第二转轴、所述第三转轴均通过轴承转动连接在所述第一安装槽的内壁上。

优选地，所述插销一端贯穿所述第二固定板并连接有所述卡块，所述第一固定板为环状板，所述第一固定板边缘上环形均匀分布有两个以上用于与所述卡块相匹配的卡槽。

优选地，所述插销另一端与所述第一固定板之间设有所述弹簧，所述弹簧套设在所述插销上。

（3）有益效果

本实用新型提供一种用于真空镀膜机内可调角度的百叶窗装置，克服了现有的摆动气缸虽然有调节挡板角度的作用，但是调节过程不好控制，挡板角度调节不方便，影响镀膜工艺的缺点。与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、通过转动转盘带动传动轴转动进而带动主动链轮的转动，通过主动链轮的转动带动链条的传动实现了中间链轮、从动链轮也随之转动进而带动第一挡片、第二挡片、第三挡片的同时转动，调节过程较易控制，方便实现挡板角度的调节。

2、调节完毕后，通过松开插销使得卡块重新嵌入到卡槽内，实现传动轴的锁定，实现了挡片角度的固定。

附图说明

图1为本实用新型的剖面结构示意图。

图2为图1中A处的放大图。

附图标记为：1-固定框架、2-第一安装槽、3-第二安装槽、4-第一挡片、41-第一转轴、5-第二挡片、51-第二转轴、6-第三挡片、61-第三转轴、7-主动链轮、8-中间链轮、9-从动链轮、10-链条、11-转盘、12-第一固定板、121-卡槽、13-第二固定板、14-插销、15-卡块、16-弹簧。

具体实施方式

结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。

如图1、2所示，本实用新型所述的一种用于真空镀膜机内可调角度的百叶窗装置，包括固定框架1、第一安装槽2、第二安装槽3、第一挡片4、第二挡片5、第三挡片6、主动链轮7、中间链轮8、从动链轮9、链条10、转盘11，第一固定板12、第二固定板13、插销14，所述固定框架1内设有所述第一安装槽2和所述第二安装槽3，所述第一安装槽2内沿水平方向依次设有所述第一挡片4、所述第二挡片5、所述第三挡片6，所述第一挡片4的两端分别固定设有第一转轴41，其中一个第一转轴41转动连接在所述第一安装槽2内壁上，另一个第一转轴41穿过所述第一安装槽2并延伸至所述第二安装槽3内且与主动链轮7相连，所述第二挡片5的两端分别固定设有第二转轴51，其中一个第二转轴51转动连接在所述第一安装槽2内壁上，另一个第二转轴51穿过所述第一安装槽2并延伸至所述第二安装槽3内且与中间链轮8相连，所述第三挡片6的两端分别固定设有第三转轴61，其中一个第三转轴61转动连接在所述第一安装槽2内壁上，另一个第三转轴61穿过所述第一安装槽2并延伸至所述第二安装槽3内且与从动链轮9相连，所述主动链轮7通过所述链条10与所述中间链轮8、所述从动链轮9传动连接，所述主动链轮7轴心处固定有传动轴，所述传动轴一端穿过所述第二安装槽3并与所述转盘11相连，所述转盘11上设有第一固定板12，所述固定框架1上设有第二固定板13，所述插销14一端贯穿所述第二固定板13并嵌入在所述第一固定板12内。

所述第一转轴41、所述第二转轴51、所述第三转轴61均通过轴承转动连接在所述第一安装槽2的内壁上，所述插销14一端贯穿所述第二固定板13并连接有所述卡块15，所述第一固定板12为环状板，所述第一固定板12边缘上环形均匀分布有两个以上用于与所述卡块15相匹配的卡槽121，所述插销14另一端与所述第一固定板12之间设有所述弹簧16，所述弹簧16套设在所述插销14上。

实际工作中，通过拉动插销14使得插销14上端的卡块15脱离卡槽121后，然后转动转盘11带动传动轴转动进而带动主动链轮7的转动，通过主动链轮7的转动带动链条10的传动实现了中间链轮8、从动链轮9也随之转动进而带动第一挡片4、第二挡片5、第三挡片6的同时转动，调节过程较易控制，方便实现挡板角度的调节。角度调节完毕后，松开插销14使得卡块重新嵌入到卡槽121内，实现传动轴的锁定，实现了挡片角度的固定。

以上所述的实施例仅表达了对本实用新型优选实施方式，其描述较为具体和详细，但本实用新型不仅限于这些实施例，应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说。在未脱离本实用新型宗旨的前提下，所为的任何改进均落在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (4)

1.一种用于真空镀膜机内可调角度的百叶窗装置，其特征在于，包括固定框架（1）、第一安装槽（2）、第二安装槽（3）、第一挡片（4）、第二挡片（5）、第三挡片（6）、主动链轮（7）、中间链轮（8）、从动链轮（9）、链条（10）、转盘（11），第一固定板（12）、第二固定板（13）、插销（14），所述固定框架（1）内设有所述第一安装槽（2）和所述第二安装槽（3），所述第一安装槽（2）内沿水平方向依次设有所述第一挡片（4）、所述第二挡片（5）、所述第三挡片（6），所述第一挡片（4）的两端分别固定设有第一转轴（41），其中一个第一转轴（41）转动连接在所述第一安装槽（2）内壁上，另一个第一转轴（41）穿过所述第一安装槽（2）并延伸至所述第二安装槽（3）内且与主动链轮（7）相连，所述第二挡片（5）的两端分别固定设有第二转轴（51），其中一个第二转轴（51）转动连接在所述第一安装槽（2）内壁上，另一个第二转轴（51）穿过所述第一安装槽（2）并延伸至所述第二安装槽（3）内且与中间链轮（8）相连，所述第三挡片（6）的两端分别固定设有第三转轴（61），其中一个第三转轴（61）转动连接在所述第一安装槽（2）内壁上，另一个第三转轴（61）穿过所述第一安装槽（2）并延伸至所述第二安装槽（3）内且与从动链轮（9）相连，所述主动链轮（7）通过所述链条（10）与所述中间链轮（8）、所述从动链轮（9）传动连接，所述主动链轮（7）轴心处固定有传动轴，所述传动轴一端穿过所述第二安装槽（3）并与所述转盘（11）相连，所述转盘（11）上设有第一固定板（12），所述固定框架（1）上设有第二固定板（13），所述插销（14）一端贯穿所述第二固定板（13）并嵌入在所述第一固定板（12）内。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机内可调角度的百叶窗装置，其特征在于，所述第一转轴（41）、所述第二转轴（51）、所述第三转轴（61）均通过轴承转动连接在所述第一安装槽（2）的内壁上。

3.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机内可调角度的百叶窗装置，其特征在于，所述插销（14）一端贯穿所述第二固定板（13）并连接有卡块（15），所述第一固定板（12）为环状板，所述第一固定板（12）边缘上环形均匀分布有两个以上用于与所述卡块（15）相匹配的卡槽（121）。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜机内可调角度的百叶窗装置，其特征在于，所述插销（14）另一端与所述第一固定板（12）之间设有弹簧（16），所述弹簧（16）套设在所述插销（14）上。

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