CN212721291U - 一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于几何测量装置检定装置技术领域，涉及一种激光干涉仪检定装置，尤其是一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置，包括一个干涉镜，移动反射镜和标准激光干涉仪，在移动反射镜的反射侧固定安装有一增程反射镜，增程反射镜接收移动反射镜反射的激光束，并将激光束再次反射至移动反射镜表面，由移动反射镜二次反射的激光束最终经干涉镜反射至激光干涉仪的接收侧；在所述干涉镜分光一侧的位置固定有待检的激光干涉仪，干涉镜的对侧与待检激光干涉仪对称的位置安装有固定反射镜，其中标准激光干涉仪，待检激光干涉仪和固定反射镜与干涉镜的镜面等距设置，由待检的激光干涉仪出射的激光束与标准激光干涉仪出射的激光束共光路形成叠加光束。
Description
技术领域
本实用新型属于几何测量装置检定装置技术领域，涉及一种激光干涉仪检定装置，尤其是一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置。
背景技术
针对大尺寸、远距离激光测距类仪器的检测，室内的大长度标准装置存在着造价高、占地面积大、检测效率低、操作复杂等问题。如果能从技术上将测量空间缩小，甚至将野外基线场搬进普通实验室，实现长距离测距“室外检测室内化”的突破，将具有重大的研究价值和应用前景。由于远距离的测量仪器大都采用激光测量技术，这就为光路折叠、光程倍增的实现创造了可能，将大空间的室内长距离测量缩短至小空间内的短距离测量，代表着未来的发展趋势。
基于上述设计思路，现针对于激光干涉仪的检定设计一种相应的检定装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种基于光路折叠，光程倍增原理，测量准确度高的激光干涉仪用检定装置。
本实用新型是通过以下技术方案实现的：
一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置，包括一个干涉镜，所述干涉镜的相对两侧分别安装有移动组件和固定组件，其中移动组件内安装有一移动反射镜，该移动反射镜可在移动组件带动下向靠近和远离干涉镜的方向移动，固定组件内安装有一标准激光干涉仪，由该标准激光干涉仪出射的激光束经干涉镜投射至移动反射镜表面进行反射，其特征在于：在移动反射镜的反射侧固定安装有一增程反射镜，增程反射镜接收移动反射镜反射的激光束，并将激光束再次反射至移动反射镜表面，由移动反射镜二次反射的激光束最终经干涉镜反射至激光干涉仪的接收侧；在所述干涉镜分光一侧的位置安装有另一固定组件，该固定组件用于固定待检的激光干涉仪，干涉镜的对侧与待检激光干涉仪对称的位置安装有固定反射镜，其中标准激光干涉仪，待检激光干涉仪和固定反射镜与干涉镜的镜面等距设置，由待检的激光干涉仪出射的激光束与标准激光干涉仪出射的激光束共光路形成叠加光束。
而且，所述移动组件采用坐标测试机，移动反射镜固定在坐标测试机的悬臂内。
而且，所述固定组件采用三脚架，标准激光干涉仪和待检的激光干涉仪分别固定在两个三脚架的固定端。
而且，所述的固定反射镜，移动反射镜和增程反射镜均采用采用角锥棱镜，在角锥棱镜的底面镀增透膜，在棱镜的三个直角面镀增反膜。
本实用新型的优点和积极效果是：
本实用新型中，固定组件用于固定标准激光干涉仪和待检的激光干涉仪，移动组件用于固定移动反射镜。在实施状态下，标准激光干涉仪和待检的激光干涉仪与干涉镜的相对位置固定，而移动反射镜与干涉镜的相对位置可在移动组件的作用下发生相对移动，进而实现光程的调整。增程反射镜和移动反射镜相配合用于折叠光路，倍增光程。固定反射镜用于反射待检的激光干涉仪出射的激光束，使其摄入干涉镜时和标准激光干涉仪出射的激光束处于同一光路上，这种方式无阿贝误差产生，同时也可避免由测量光路上环境条件的纵向差异所带来的测量误差。
本实用新型中，移动组件采用坐标测试机，固定组件采用三脚架，结构合理，运行稳定，技术成熟。
本实用新型中，移动反射器镜，固定反射镜和增程反射镜件均采用底面和三个直角面镀增反膜的角锥棱镜，可有效解决激光束的能量衰减问题。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
1.标准激光干涉仪、2.固定反射镜、3.增程反射镜、4.移动反射镜、5.干涉镜、待检激光干涉镜
具体实施方式
下面通过实施例对本实用新型作详细说明，所述实施例是说明性的，而非限制性的，不能以此限定本实用新型的保护范围。
一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置，包括一个干涉镜5，所述干涉镜的相对两侧分别安装有移动组件和固定组件，其中移动组件内安装有一移动反射镜4，该移动反射镜可在移动组件带动下向靠近和远离干涉镜的方向移动，固定组件内安装有一标准激光干涉仪1，由该标准激光干涉仪出射的激光束经干涉镜投射至移动反射镜表面进行反射，本发明的创新在于，在移动反射镜的反射侧固定安装有一增程反射镜3，增程反射镜接收移动反射镜反射的激光束，并将激光束再次反射至移动反射镜表面，由移动反射镜二次反射的激光束最终经干涉镜反射至激光干涉仪的接收侧；在所述干涉镜分光一侧的位置安装有另一固定组件，该固定组件用于固定待检的激光干涉仪，干涉镜的对侧与待检激光干涉仪对称的位置安装有固定反射镜2，其中标准激光干涉仪，待检激光干涉仪和固定反射镜与干涉镜的镜面等距设置，由待检的激光干涉仪出射的激光束与标准激光干涉仪出射的激光束共光路形成叠加光束。
本实施例中，所述移动组件采用坐标测试机，移动反射镜固定在坐标测试机的悬臂内。
本实施例中，所述固定组件采用三脚架，标准激光干涉仪和待检的激光干涉仪分别固定在两个三脚架的固定端。
本实施例中，所述的固定反射镜，移动反射镜和增程反射镜均采用采用角锥棱镜，在角锥棱镜的底面镀增透膜，在棱镜的三个直角面镀增反膜。
本实用新型的使用过程：
本实施例中，坐标测试机采用海克斯康型号为TORO status 60.16.25/2的双悬臂式测量机，定位精度为±(33μm+27×10-6L)，X轴方向的行程为6米；标准激光干涉仪为雷尼绍ML10型号机型；移动反射镜的通光口径为80mm，固定反射镜和增程反射镜的通光口径为23mm。
本实用新型使用时，包括如下步骤：
步骤1：将待检的激光干涉仪和标准激光干涉仪分别安装在相应三脚架的顶部；
步骤2：调整激光干涉仪和标准激光干涉仪的高度，使其与干涉镜的高度相同；
步骤3：机型光路准直调整；
步骤4：PC-DMIS控制坐标测量机移动，每移动500mm记录一次激光干涉仪的测量值，共计12次读数，测量结果如表1所示：
表1测量结果的数据(单位：毫米)
步骤5：将待检激光干涉仪的示数和标准激光干涉仪测量值进行计算和比较；
步骤6：完成对待检激光干涉仪的校准。
本实用新型中，固定组件用于固定标准激光干涉仪和待检的激光干涉仪，移动组件用于固定移动反射镜。在实施状态下，标准激光干涉仪和待检的激光干涉仪与干涉镜的相对位置固定，而移动反射镜与干涉镜的相对位置可在移动组件的作用下发生相对移动，进而实现光程的调整。增程反射镜和移动反射镜相配合用于折叠光路，倍增光程。固定反射镜用于反射待检的激光干涉仪出射的激光束，使其摄入干涉镜时和标准激光干涉仪出射的激光束处于同一光路上，这种方式无阿贝误差产生，同时也可避免由测量光路上环境条件的纵向差异所带来的测量误差。
本实用新型中，移动组件采用坐标测试机，固定组件采用三脚架，结构合理，运行稳定，技术成熟。
本实用新型中，移动反射器镜，固定反射镜和增程反射镜件均采用底面和三个直角面镀增反膜的角锥棱镜，可有效解决激光束的能量衰减问题。
Claims (4)
1.一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置，包括一个干涉镜，所述干涉镜的相对两侧分别安装有移动组件和固定组件，其中移动组件内安装有一移动反射镜，该移动反射镜可在移动组件带动下向靠近和远离干涉镜的方向移动，固定组件内安装有一标准激光干涉仪，由该标准激光干涉仪出射的激光束经干涉镜投射至移动反射镜表面进行反射，其特征在于：在移动反射镜的反射侧固定安装有一增程反射镜，增程反射镜接收移动反射镜反射的激光束，并将激光束再次反射至移动反射镜表面，由移动反射镜二次反射的激光束最终经干涉镜反射至激光干涉仪的接收侧；在所述干涉镜分光一侧的位置安装有另一固定组件，该固定组件用于固定待检的激光干涉仪，干涉镜的对侧与待检激光干涉仪对称的位置安装有固定反射镜，其中标准激光干涉仪，待检激光干涉仪和固定反射镜与干涉镜的镜面等距设置，由待检的激光干涉仪出射的激光束与标准激光干涉仪出射的激光束共光路形成叠加光束。
2.根据权利要求1所述的一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置，其特征在于：所述移动组件采用坐标测试机，移动反射镜固定在坐标测试机的悬臂内。
3.根据权利要求1所述的一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置，其特征在于：所述固定组件采用三脚架，标准激光干涉仪和待检的激光干涉仪分别固定在两个三脚架的固定端。
4.根据权利要求1或2或3所述的一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置，其特征在于：所述的固定反射镜，移动反射镜和增程反射镜均采用采用角锥棱镜，在角锥棱镜的底面镀增透膜，在棱镜的三个直角面镀增反膜。
Priority Applications (1)
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| CN202021247831.6U CN212721291U (zh) | 2020-07-01 | 2020-07-01 | 一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置 |
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Publications (1)
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| CN (1) | CN212721291U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114877801A (zh) * | 2022-04-19 | 2022-08-09 | 中国测试技术研究院机械研究所 | 室内大长度标准装置量值传递中的增程方法及系统 |
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2020
- 2020-07-01 CN CN202021247831.6U patent/CN212721291U/zh active Active
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