CN212713850U - 一种单晶炉测压防爆安装机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶炉测压防爆安装机构，包括底座、真空压力传感器、阀门、蜂鸣器、吸盘和控制器，所述底座的右端上表面固定连接有固定管，且固定管的右侧安装有真空压力传感器，所述固定管的右端上表面固定连接有排压管，且排压管的上侧安装有阀门，所述固定管的左端外侧设置有活动管，且活动管的中部固定连接有过滤网，所述过滤网的左右两侧均固定连接有第一密封圈，所述蜂鸣器和控制器位于底座的右下端中部内侧，所述底座的左端内侧转动连接有限制板。该单晶炉测压防爆安装机构，便于进行安装，密封性好，便于避免因泄压而影响单晶炉内的作业，便于对炉内物质进行过滤，以及便于对过滤网上的炉内物质进行清理。

Description

一种单晶炉测压防爆安装机构

技术领域

本实用新型属于单晶炉测压技术领域，具体涉及一种单晶炉测压防爆安装机构。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体中，通过石墨加热器将多晶硅等多晶材料融化的设备，其炉内压力需要保持在一定范围内，否则会影响单晶炉的正常工作，因此需要通过测压防爆安装机构进行测压防爆；

现有的单晶炉测压防爆安装机构，不便于进行安装，密封性差，不便于避免因泄压而影响单晶炉内的作业，以及不便于对炉内物质进行过滤，和对过滤网上的炉内物质进行清理，因此，我们提出一种单晶炉测压防爆安装机构，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉测压防爆安装机构，以解决上述背景技术中提出现有的单晶炉测压防爆安装机构，不便于进行安装，密封性差，不便于避免因泄压而影响单晶炉内的作业，以及不便于对炉内物质进行过滤，和对过滤网上的炉内物质进行清理的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶炉测压防爆安装机构，包括底座、真空压力传感器、阀门、蜂鸣器、吸盘和控制器，所述底座的右端上表面固定连接有固定管，且固定管的右侧安装有真空压力传感器，所述固定管的右端上表面固定连接有排压管，且排压管的上侧安装有阀门，所述固定管的左端外侧设置有活动管，且活动管的中部固定连接有过滤网，所述过滤网的左右两侧均固定连接有第一密封圈，且过滤网的左端内侧设置有通压管，并且通压管的中外侧固定连接有第二密封圈，所述蜂鸣器和控制器位于底座的右下端中部内侧，且底座的左端中部内侧安装有吸盘，所述底座的左端内侧转动连接有限制板，且限制板的左端内侧转动连接有定位板，并且定位板的左端中部内侧安装有螺栓。

优选的，所述底座和活动管分别与固定管和过滤网通过焊接的方式相连接，且底座的正视剖面和俯视剖面的形状分别为“L”字型和“T”字型，并且固定管与排压管为一体化结构，而且固定管与排压管构成连通结构。

优选的，所述固定管和通压管均与活动管通过螺纹连接的方式相连接，且第一密封圈和第二密封圈分别与活动管和通压管通过粘贴的方式相连接，并且第一密封圈单体分别与固定管和通压管紧密贴合连接，而且第二密封圈的左表面与底座的左表面处于同一水平面。

优选的，所述蜂鸣器、吸盘和控制器均与底座镶嵌连接，且蜂鸣器和控制器的下表面处于同一水平面，并且真空压力传感器、蜂鸣器和控制器为电连接。

优选的，所述限制板的左右两端分别与底座和定位板卡合连接，且定位板单体之间通过螺栓固定连接，并且定位板的形状为“L”型。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该单晶炉测压防爆安装机构，便于进行安装，密封性好，便于避免因泄压而影响单晶炉内的作业，便于对炉内物质进行过滤，以及便于对过滤网上的炉内物质进行清理；

1.设置有固定管、活动管、通压管和第二密封圈，通过活动管和通压管外侧粘贴连接的第一密封圈和第二密封圈，使得通压管与单晶炉紧密贴合连接，以及使第一密封圈单体与固定管和通压管紧密贴合连接，使得该机构的密封性好，便于避免因泄压而影响单晶炉内的作业；

2.设置有阀门、活动管、过滤网和通压管，通过活动管内侧固定连接的过滤网，便于对炉内物质进行过滤，避免炉内物质对真空压力传感器和阀门造成损伤，以及通过固定管和通压管均与活动管为螺纹连接，因此便于将活动管拆卸，对过滤网进行清理；

3.设置有通压管、限制板、定位板和螺栓，通过将通压管与单晶炉的压力检测口连接，再对定位板进行转动，使得定位板在限制板的限位下与单晶炉紧密贴合连接，再通过螺栓对定位板进行定位，从而便于将该机构安装于单晶炉上。

附图说明

图1为本实用新型的正视结构示意图；

图2为本实用新型的正视剖面结构示意图；

图3为本实用新型的侧视剖面结构示意图；

图4为本实用新型的俯视剖面结构示意图。

图中：1、底座，2、固定管，3、真空压力传感器，4、排压管，5、阀门，6、活动管，7、过滤网，8、第一密封圈，9、通压管，10、第二密封圈，11、蜂鸣器，12、吸盘，13、限制板，14、定位板，15、螺栓，16、控制器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

除非单独定义指出的方向外，本文涉及的上、下、左、右、前、后等方向均是以本实用新型所示的图中的上、下、左、右、前、后等方向为准，在此一并说明。

本实用新型提供了如图1-4所示的一种单晶炉测压防爆安装机构，包括底座1、固定管2、真空压力传感器3、排压管4、阀门5、活动管6、过滤网7、第一密封圈8、通压管9、第二密封圈10、蜂鸣器11、吸盘12、限制板13、定位板14、螺栓15和控制器16，底座1的右端上表面固定连接有固定管2，且固定管2的右侧安装有真空压力传感器3，固定管2的右端上表面固定连接有排压管4，且排压管4的上侧安装有阀门5，固定管2的左端外侧设置有活动管6，且活动管6的中部固定连接有过滤网7，过滤网7的左右两侧均固定连接有第一密封圈8，且过滤网7的左端内侧设置有通压管9，并且通压管9的中外侧固定连接有第二密封圈10，蜂鸣器11和控制器16位于底座1的右下端中部内侧，且底座1的左端中部内侧安装有吸盘12，底座1的左端内侧转动连接有限制板13，且限制板13的左端内侧转动连接有定位板14，并且定位板14的左端中部内侧安装有螺栓15。

具体的，如图1、图2和图3中，底座1和活动管6分别与固定管2和过滤网7通过焊接的方式相连接，且底座1的正视剖面和俯视剖面的形状分别为“L”字型和“T”字型，并且固定管2与排压管4为一体化结构，而且固定管2与排压管4构成连通结构，便于通过排压管4和活动管6进行泄压防爆，和对炉内物质进行过滤。

具体的，如图1和图2中，固定管2和通压管9均与活动管6通过螺纹连接的方式相连接，且第一密封圈8和第二密封圈10分别与活动管6和通压管9通过粘贴的方式相连接，并且第一密封圈8单体分别与固定管2和通压管9紧密贴合连接，而且第二密封圈10的左表面与底座1的左表面处于同一水平面，便于通过拆卸活动管6，对过滤网7进行清理，以及便于保持该机构的密封性。

具体的，如图1、图2和图3中，蜂鸣器11、吸盘12和控制器16均与底座1镶嵌连接，且蜂鸣器11和控制器16的下表面处于同一水平面，并且真空压力传感器3、蜂鸣器11和控制器16为电连接，便于对蜂鸣器11、吸盘12和控制器16进行定位。

具体的，如图1、图3和图4中，限制板13的左右两端分别与底座1和定位板14卡合连接，且定位板14单体之间通过螺栓15固定连接，并且定位板14的形状为“L”型，便于通过限制板13、定位板14和螺栓15将该机构安装在单晶炉上。

具体的，该单晶炉测压防爆安装机构，如图1、图2、图3和图4中，首先将通压管9与单晶炉的压力检测口连接，使底座1、第二密封圈10和吸盘12的左侧均与单晶炉紧密贴合连接，接着通过转动定位板14，由于底座1和定位板14均与限制板13转动连接，便于使定位板14在底座1和限制板13的限位下转动与单晶炉紧密贴合连接，然后再通过螺栓15贯穿于定位板14的内部，对定位板14进行定位，从而便于完成将该机构安装于单晶炉上，在使用时，如图1、图2和图3中，通过真空压力传感器3、蜂鸣器11和控制器16进行作业，当真空压力传感器3感测到单晶炉内由通压管9通入固定管2的压力不在对应的压力范围，则控制器16控制蜂鸣器11进行响鸣，提醒作业人员炉内压力过大，由于固定管2与排压管4为连通连接，因此工作人员可通过打开阀门5进行泄压，从而便于达到防爆的目的；

如图1和图2中，通过活动管6外侧粘贴连接的第一密封圈8单体分别与固定管2和通压管9紧密贴合连接，以及通过通压管9外侧粘贴连接的第二密封圈10与单晶炉紧密贴合连接，通过第一密封圈8和第二密封圈10自身具备的性能，便于使该机构的密封性好，从而便于避免因泄压而影响单晶炉内的作业，如图1和图2中，通过活动管6内固定连接的过滤网7，便于对炉内物质进行过滤，避免炉内物质对真空压力传感器3和阀门5造成损伤，影响其使用寿命，由于固定管2和通压管9均与活动管6螺纹连接，因此使用完毕后，可将该机构从单晶炉上拆卸，断开固定管2和通压管9与活动管6的连接，将活动管6拆卸，对过滤网7进行清理。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种单晶炉测压防爆安装机构，包括底座(1)、真空压力传感器(3)、阀门(5)、蜂鸣器(11)、吸盘(12)和控制器(16)，其特征在于：所述底座(1)的右端上表面固定连接有固定管(2)，且固定管(2)的右侧安装有真空压力传感器(3)，所述固定管(2)的右端上表面固定连接有排压管(4)，且排压管(4)的上侧安装有阀门(5)，所述固定管(2)的左端外侧设置有活动管(6)，且活动管(6)的中部固定连接有过滤网(7)，所述过滤网(7)的左右两侧均固定连接有第一密封圈(8)，且过滤网(7)的左端内侧设置有通压管(9)，并且通压管(9)的中外侧固定连接有第二密封圈(10)，所述蜂鸣器(11)和控制器(16)位于底座(1)的右下端中部内侧，且底座(1)的左端中部内侧安装有吸盘(12)，所述底座(1)的左端内侧转动连接有限制板(13)，且限制板(13)的左端内侧转动连接有定位板(14)，并且定位板(14)的左端中部内侧安装有螺栓(15)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉测压防爆安装机构，其特征在于：所述底座(1)和活动管(6)分别与固定管(2)和过滤网(7)通过焊接的方式相连接，且底座(1)的正视剖面和俯视剖面的形状分别为“L”字型和“T”字型，并且固定管(2)与排压管(4)为一体化结构，而且固定管(2)与排压管(4)构成连通结构。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉测压防爆安装机构，其特征在于：所述固定管(2)和通压管(9)均与活动管(6)通过螺纹连接的方式相连接，且第一密封圈(8)和第二密封圈(10)分别与活动管(6)和通压管(9)通过粘贴的方式相连接，并且第一密封圈(8)单体分别与固定管(2)和通压管(9)紧密贴合连接，而且第二密封圈(10)的左表面与底座(1)的左表面处于同一水平面。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉测压防爆安装机构，其特征在于：所述蜂鸣器(11)、吸盘(12)和控制器(16)均与底座(1)镶嵌连接，且蜂鸣器(11)和控制器(16)的下表面处于同一水平面，并且真空压力传感器(3)、蜂鸣器(11)和控制器(16)为电连接。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉测压防爆安装机构，其特征在于：所述限制板(13)的左右两端分别与底座(1)和定位板(14)卡合连接，且定位板(14)单体之间通过螺栓(15)固定连接，并且定位板(14)的形状为“L”型。

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