CN212713728U - 一种pvd多弧真空镀膜机蒸发源 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源，包括蒸发源本体和冷却水管，蒸发源本体内具有用于冷却安装于蒸发源本体上的靶块的冷却水腔，冷却水管为两根，冷却水管包括第一管体和第二管体，两根第一管体的前端分别连接冷却水腔的入口端和出口端，两根第一管体的后端均固设有连接头，两根第二管体的前端分别连接在两个连接头的后端，两根第二管体的后端均连接真空镀膜机的冷却水箱；连接头包括第一连接部和第二连接部。由于采用了上述技术方案，在真空镀膜机的真空腔的腔壁上拆卸蒸发源本体时更加方便；方便将蒸发源本体转移至操作室进行灰尘的清理和导电性的检测。

Description

一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源

技术领域

本实用新型涉及多弧离子镀膜机，具体是一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源。

背景技术

多弧真空镀膜机安装在真空镀膜机的真空腔的腔壁上，蒸发源包括位于真空腔内的靶块和位于靶块周围的导磁环，导磁环有绝缘材料制成，在使用过程中，导磁环上、导磁环和靶块之间的间隙内和导磁环和真空腔腔壁上的安装孔之间的间隙内均会积累灰尘，灰尘能够导电，为了防止短路的情况发生，需要经常将蒸发源从真空腔的腔壁上取下对灰尘进行仔细清理，在清理灰尘过后还需要检测靶块和导磁环边缘之间是否能导电。

由于现有的蒸发源内的冷却水腔和真空镀膜机的冷却水箱之间连接有冷却水管，且冷却水管为完整的一根冷却水管，冷却水管较长且很难从蒸发源上拆下，所以目前在拆卸蒸发源时，整根较长的冷却水管连接在蒸发源上，会干扰工人的操作，在拆卸蒸发源时较为不便；在将蒸发源拆下后，由于蒸发源连接整根较长的冷却水管，不方便将蒸发源搬移至专门的灰尘清理和导电性检测的操作室。

实用新型内容

针对上述现有技术存在的技术问题，本实用新型提供了一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源。

本实用新型的目的是通过这样的技术方案实现的，它包括蒸发源本体和冷却水管，所述蒸发源本体内具有用于冷却安装于蒸发源本体上的靶块的冷却水腔，所述冷却水管为两根，所述冷却水管包括第一管体和第二管体，两根所述第一管体的前端分别连接冷却水腔的入口端和出口端，两根所述第一管体的后端均固设有连接头，两根所述第二管体的前端分别连接在两个连接头的后端，两根所述第二管体的后端均连接真空镀膜机的冷却水箱；所述连接头包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部包括第一圆筒，所述第一圆筒的前端设有封闭板，所述封闭板的中部设有连接孔，所述第一管体的后端与连接孔正对固定连接，所述第一圆筒内从前至后依次设有固定板、第一固定环、第二固定环、软胶环和内螺纹，所述固定板上设有多个第一过水孔，所述固定板与第一固定环之间设有第一弹簧和第一塞子，所述第一弹簧的前端抵触在固定板上，所述第一弹簧的后端抵触在第一塞子上，所述第一塞子用于向后封闭第一固定环的内孔，所述软胶环的前侧面抵触在第二固定环的后侧面；所述第二连接部包括第二圆筒，所述第二管体的前端与第二圆筒的后端正对固定连接，所述第二圆筒的外表面固设有第三固定环，所述第二圆筒的外表面套设有套筒，所述套筒的外表面设有与第一圆筒内的内螺纹适配的外螺纹，所述第二圆筒内设有移动板和第四固定环，移动板上设有多个第二过水孔，所述移动板和第四固定环之间设有第二弹簧，所述第二弹簧的前端抵触在移动板上，所述第二弹簧的后端抵触在第四固定环上，所述移动板的中部固设有推杆，所述推杆的前端位于移动板的前方，所述推杆的后端向后依次穿过移动板、第二弹簧和第四固定环的内孔后固设有第二塞子，所述第二塞子用于向前封闭第四固定环的内孔。

进一步，所述固定板的中部设有导向孔，所述导向孔内设有导向杆，所述导向杆的后端依次穿过导向孔和第一弹簧后固定在第一塞子的前端。

进一步，所述移动板与第二圆筒的内腔配合。

进一步，所述第二圆筒上设有第五固定环，所述套筒位于第三固定环和第五固定环之间。

进一步，所述套筒上设有旋钮，所述旋钮的中部设有圆孔，所述套筒的后端固定在圆孔内。

由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、第二管体与第一管体上处于连接状态时，套筒上的外螺纹与第一圆筒内的内螺纹螺合，以使第一圆筒和第二圆筒稳定地连接在一起；第二圆筒的前部向前穿过软胶环和第二固定环的内孔，套筒的前端将第三固定环压紧在软胶环上，此时软胶环被夹紧在第二固定环和第三固定环之间，软胶环起到止水的目的，使冷却水不会从第一圆筒和第二圆筒的连接位置漏出；推杆的前端抵触在第一塞子上，第一塞子被向前推离第一固定环的内孔，使冷却水能从第一固定环的内孔通过，第一弹簧处于压缩状态；第二塞子被推杆向后推离第四固定环的内孔，使水能够从第四固定环的内孔通过，第二弹簧处于压缩状态；此时第一过水孔、第一固定环的内孔、第二过水孔和第四固定环的内孔均能容水通过，第一管体和第二管体处于导通状态，能够实现冷却水的循环。

在第二管体与第一管体处于分离状态时，第一弹簧处于压缩状态，第一弹簧向前抵触第一塞子，第一塞子封闭第一固定环的内孔，使蒸发源本体内的冷却水腔内的水无法从第一固定环的内孔流出；第二弹簧处于压缩状态，第二弹簧向前抵触移动板，推杆向前拉住第二塞子，第二塞子封闭第四固定环的内孔，使第二管体内的水无法从第四固定环的内孔流出。在将第二管体从第一管体上拆卸下后，第一管体和第二管体能实现自动封堵，第一管体和第二管体内的水均无法流出，只有第一圆筒和第二圆筒内残留的少量的水会洒到车间地板上，几乎不会对车间环境造成影响。

套筒和第一圆筒之间通过螺纹连接的方式将第二连接部和第一连接部连接在一起，将套筒旋转螺纹连接在第一圆筒内即可对第一连接部和第二连接部进行连接，以此即可将第二管体连接在第一管体上。将套筒从第一圆筒内旋出即可将第二连接部从第一连接部上拆卸下，以此即可将第二管体从第一管体上拆卸下。在将第二管体和第一管体连接在一起时，以及将第二管体从第一管体上拆卸下时均十分方便，在从真空镀膜机上拆卸蒸发源本体之前，方便将第二管体从第一管体上拆下，然后再对蒸发源本体进行拆卸，此时冷却水管不会对蒸发源本体的拆卸操作造成干扰，在从真空镀膜机的真空腔的腔壁上拆卸蒸发源本体时更加方便；在将第二管体从第一管体上拆卸下后，蒸发源本体上仅仅存在较短的第一管体，方便将蒸发源本体转移至操作室进行灰尘的清理和导电性的检测。

2、固定板的中部设有导向孔，导向孔内设有导向杆，导向杆的后端依次穿过导向孔和第一弹簧后固定在第一塞子的前端。设置导向孔和导向杆，使第一塞子在前后移动时不容易偏移，第一塞子在前后移动过程中更加稳定。

3、移动板与第二圆筒的内腔配合。第二圆筒的内腔对移动板能起到导向作用，使第二塞子在前后移动过程中不容易偏移，第二塞子在前后移动过程中更加稳定。

4、第二圆筒上设有第五固定环，套筒位于第三固定环和第五固定环之间。使套筒被限制第二圆筒上，使套筒不会滑动到第二管体上。

5、套筒上设有旋钮，旋钮的中部设有圆孔，套筒的后端固定在圆孔内。方便通过旋转旋钮来转动套筒。

附图说明

图1是本实用新型一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源的机构示意图；

图2是本实用新型一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源中第一连接部的结构示意图；

图3是本实用新型一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源中第二连接部的结构示意图；

图4和图5是本实用新型一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源中连接头的使用状态图。

图中，1、蒸发源本体；2、第一管体；3、第二管体；4、第一圆筒；5、封闭板；6、连接孔；7、固定板；8、第一固定环；9、第二固定环；10、软胶环；11、第一过水孔；12、第一弹簧；13、第一塞子；14、第二圆筒；15、第三固定环；16、套筒；17、移动板；18、第四固定环；19、第二过水孔；20、第二弹簧；21、推杆；22、第二塞子；23、导向杆；24、第五固定环；25、旋钮。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

如图1、图2和图3所示，本实用新型包括蒸发源本体1和冷却水管，蒸发源本体1内具有用于冷却安装于蒸发源本体1上的靶块的冷却水腔，冷却水管为两根，冷却水管包括第一管体2和第二管体3，两根第一管体2的前端分别连接冷却水腔的入口端和出口端，两根第一管体2的后端均固设有连接头，两根第二管体3的前端分别连接在两个连接头的后端，两根第二管体3的后端均连接真空镀膜机的冷却水箱；连接头包括第一连接部和第二连接部，第一连接部包括第一圆筒4，第一圆筒4的前端设有封闭板5，封闭板5的中部设有连接孔6，第一管体2的后端与连接孔6正对固定连接，第一圆筒4内从前至后依次设有固定板7、第一固定环8、第二固定环9、软胶环10和内螺纹，第一固定环8和第二固定环9的圆周面均固定在第一圆筒4的内壁上，固定板7上设有多个第一过水孔11，固定板7与第一固定环8之间设有第一弹簧12和第一塞子13，第一弹簧12的前端抵触在固定板7上，第一弹簧12的后端抵触在第一塞子13上，第一塞子13与第一圆筒4的内壁之间存在间隙，以使第一塞子13不会堵住第一圆筒4的内腔。第一塞子13用于向后封闭第一固定环8的内孔，软胶环10的前侧面抵触在第二固定环9的后侧面；第二连接部包括第二圆筒14，第二管体3的前端与第二圆筒14的后端正对固定连接，第二圆筒14的外表面固设有第三固定环15，第三固定环15的内孔的孔壁固定在第二圆筒14的外表面上，第二圆筒14的外表面套设有套筒16，第二圆筒14与套筒16的内腔配合，套筒16的外表面设有与第一圆筒4内的内螺纹适配的外螺纹，第二圆筒14内设有移动板17和第四固定环18，第四固定环18的圆周面固定在第二圆筒14的内壁上，移动板17上设有多个第二过水孔19，移动板17和第四固定环18之间设有第二弹簧20，第二弹簧20的前端抵触在移动板17上，第二弹簧20的后端抵触在第四固定环18上，移动板17的中部固设有推杆21，推杆21的前端位于移动板17的前方，推杆21的后端向后依次穿过移动板17、第二弹簧20和第四固定环18的内孔后固设有第二塞子22，第二塞子22用于向前封闭第四固定环18的内孔，第二塞子22与第二圆筒14的内腔之间存在间隙，以使第二塞子22不会堵塞第二圆筒14的内腔。

如图4所示，第二管体3与第一管体2上处于连接状态时，套筒16上的外螺纹与第一圆筒4内的内螺纹螺合，以使第一圆筒4和第二圆筒14稳定地连接在一起；第二圆筒14的前部向前穿过软胶环10和第二固定环9的内孔，套筒16的前端将第三固定环15压紧在软胶环10上，此时软胶环10被夹紧在第二固定环9和第三固定环15之间，软胶环10起到止水的目的，使冷却水不会从第一圆筒4和第二圆筒14的连接位置漏出；推杆21的前端抵触在第一塞子13上，第一塞子13被向前推离第一固定环8的内孔，使冷却水能从第一固定环8的内孔通过，第一弹簧12处于压缩状态；第二塞子22被推杆21向后推离第四固定环18的内孔，使水能够从第四固定环18的内孔通过，第二弹簧20处于压缩状态；此时第一过水孔11、第一固定环8的内孔、第二过水孔19和第四固定环18的内孔均能容水通过，第一管体2和第二管体3处于导通状态，能够实现冷却水的循环。

如图5所示，在第二管体3与第一管体2处于分离状态时，第一弹簧12处于压缩状态，第一弹簧12向前抵触第一塞子13，第一塞子13封闭第一固定环8的内孔，使蒸发源本体1内的冷却水腔内的水无法从第一固定环8的内孔流出；第二弹簧20处于压缩状态，第二弹簧20向前抵触移动板17，推杆21向前拉住第二塞子22，第二塞子22封闭第四固定环18的内孔，使第二管体3内的水无法从第四固定环18的内孔流出。在将第二管体3从第一管体2上拆卸下后，第一管体2和第二管体3能实现自动封堵，第一管体2和第二管体3内的水均无法流出，只有第一圆筒4和第二圆筒14内残留的少量的水会洒到车间地板上，几乎不会对车间环境造成影响。

套筒16和第一圆筒4之间通过螺纹连接的方式将第二连接部和第一连接部连接在一起，将套筒16旋转螺纹连接在第一圆筒4内即可对第一连接部和第二连接部进行连接，以此即可将第二管体3连接在第一管体2上。将套筒16从第一圆筒4内旋出即可将第二连接部从第一连接部上拆卸下，以此即可将第二管体3从第一管体2上拆卸下。在将第二管体3和第一管体2连接在一起时，以及将第二管体3从第一管体2上拆卸下时均十分方便，在从真空镀膜机上拆卸蒸发源本体1之前，方便将第二管体3从第一管体2上拆下，然后再对蒸发源本体1进行拆卸，此时冷却水管不会对蒸发源本体1的拆卸操作造成干扰，在从真空镀膜机的真空腔的腔壁上拆卸蒸发源本体1时更加方便；在将第二管体3从第一管体2上拆卸下后，蒸发源本体1上仅仅存在较短的第一管体2，方便将蒸发源本体1转移至操作室进行灰尘的清理和导电性的检测。

如图2所示，固定板7的中部设有导向孔，导向孔内设有导向杆23，导向杆23的后端依次穿过导向孔和第一弹簧12后固定在第一塞子13的前端。设置导向孔和导向杆23，使第一塞子13在前后移动时不容易偏移，第一塞子13在前后移动过程中更加稳定。

如图3所示，移动板17与第二圆筒14的内腔配合。第二圆筒14的内腔对移动板17能起到导向作用，使第二塞子22在前后移动过程中不容易偏移，第二塞子22在前后移动过程中更加稳定。

如图1和图3所示，第二圆筒14上设有第五固定环24，套筒16位于第三固定环15和第五固定环24之间。使套筒16被限制第二圆筒14上，使套筒16不会滑动到第二管体3上。

如图1和图3所示，套筒16上设有旋钮25，旋钮25的中部设有圆孔，套筒16的后端固定在圆孔内。方便通过旋转旋钮25来转动套筒16。

以上仅为本实用新型的实施方式，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理在本实用新型的专利保护范围之内。

Claims (5)

1.一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源，其特征在于：包括蒸发源本体和冷却水管，所述蒸发源本体内具有用于冷却靶块的冷却水腔，所述靶块安装于蒸发源本体上，所述冷却水管为两根，所述冷却水管包括第一管体和第二管体，两根所述第一管体的前端分别连接冷却水腔的入口端和出口端，两根所述第一管体的后端均固设有连接头，两根所述第二管体的前端分别连接在两个连接头的后端，两根所述第二管体的后端均连接真空镀膜机的冷却水箱；所述连接头包括第一连接部和第二连接部，所述第一连接部包括第一圆筒，所述第一圆筒的前端设有封闭板，所述封闭板的中部设有连接孔，所述第一管体的后端与连接孔正对固定连接，所述第一圆筒内从前至后依次设有固定板、第一固定环、第二固定环、软胶环和内螺纹，所述固定板上设有多个第一过水孔，所述固定板与第一固定环之间设有第一弹簧和第一塞子，所述第一弹簧的前端抵触在固定板上，所述第一弹簧的后端抵触在第一塞子上，所述第一塞子用于向后封闭第一固定环的内孔，所述软胶环的前侧面抵触在第二固定环的后侧面；所述第二连接部包括第二圆筒，所述第二管体的前端与第二圆筒的后端正对固定连接，所述第二圆筒的外表面固设有第三固定环，所述第二圆筒的外表面套设有套筒，所述套筒的外表面设有与第一圆筒内的内螺纹适配的外螺纹，所述第二圆筒内设有移动板和第四固定环，移动板上设有多个第二过水孔，所述移动板和第四固定环之间设有第二弹簧，所述第二弹簧的前端抵触在移动板上，所述第二弹簧的后端抵触在第四固定环上，所述移动板的中部固设有推杆，所述推杆的前端位于移动板的前方，所述推杆的后端向后依次穿过移动板、第二弹簧和第四固定环的内孔后固设有第二塞子，所述第二塞子用于向前封闭第四固定环的内孔。

2.如权利要求1所述的一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源，其特征在于：所述固定板的中部设有导向孔，所述导向孔内设有导向杆，所述导向杆的后端依次穿过导向孔和第一弹簧后固定在第一塞子的前端。

3.如权利要求1所述的一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源，其特征在于：所述移动板与第二圆筒的内腔配合。

4.如权利要求1所述的一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源，其特征在于：所述第二圆筒上设有第五固定环，所述套筒位于第三固定环和第五固定环之间。

5.如权利要求1所述的一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源，其特征在于：所述套筒上设有旋钮，所述旋钮的中部设有圆孔，所述套筒的后端固定在圆孔内。

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