CN212695124U - 一种药水处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及化学处理设备技术领域，具体是一种药水处理装置，包括储液槽、泵液组件和至少两个处理槽；泵液组件包括进液管和至少两个出液管，出液管的数量与处理槽的数量相对应，每个处理槽均与一个出液管连通，进液管与储液槽连通；储液槽与处理槽连接，储液槽上设置有排放管，排放管用于排放储液槽内液体；每个处理槽上均设置有至少一个通孔，处理槽通过通孔与储液槽连通，处理槽内的液体能够从通孔进入所述储液槽；本实用新型将储液槽和处理槽设置成相对独立的槽体，这使得处理槽内的容积相对减少，进而降低了生产成本；同时设置进液管、出液管和排放管，提高内部流场的稳定性，使药水混合更均匀，利于反应生成物的沉积与排放。

Description

一种药水处理装置

技术领域

本实用新型涉及化学处理设备技术领域，特别涉及一种药水处理装置。

背景技术

在硅片的生产工艺中，为了获得良好品质的硅片，要求附着在硅片表面的杂质量极少，因此需要对硅片进行清洗。

一般使用药液浸泡处理装置对硅片进行清洗，现有的药液浸泡处理装置的处理槽和回流槽设置在一体的，并未设置独立的处理槽；这使得现有的药水浸泡处理装置在使用过程中，容积大，浪费药液，提高成本；处理槽的流场比较不稳定，药水混合不均匀，不利于反应生成物的沉积与排放，且反应生成物对硅片产生一定的影响。

基于现有技术存在的缺点，急需研究一种药水处理装置，来解决上述问题。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型的提供了一种药水处理装置，本实用新型将储液槽和处理槽设置成相对独立的槽体，这使得处理槽内的容积相对减少，进而降低了生产成本；且设置多个处理槽，这在一定程度上提高了产能。

本实用新型公开了一种药水处理装置，包括储液槽、泵液组件和至少两个处理槽；

所述泵液组件包括进液管和至少两个出液管，所述出液管的数量与所述处理槽的数量相对应，每个所述处理槽均与一个出液管连通，所述进液管与所述储液槽连通；

所述储液槽与所述处理槽连接，所述储液槽上设置有排放管，所述排放管用于排放所述储液槽内液体；

每个处理槽上均设置有至少一个通孔，所述处理槽通过所述通孔与所述储液槽连通，所述处理槽内的液体能够从所述通孔进入所述储液槽。

进一步地，所述处理槽的个数为两个，两个所述处理槽沿着所述处理槽的宽度方向均匀分布，两个所述处理槽相互连接。

进一步地，所述处理槽的个数为三个，三个所述处理槽沿着所述处理槽的宽度方向均匀分布，相邻的两个所述处理槽相互连接。

进一步地，所述处理槽内设置有两个花篮，所述花篮与处理槽固定连接，所述花篮内设置有待处理件；

两个所述花篮沿着所述处理槽的长度方向分布，且所述花篮的长度方向与所述处理槽的长度方向一致。

进一步地，所述处理槽和所述储液槽连接后形成一端开口的壳体，所述壳体的开口端设置有转动轴和盖板，所述盖板与所述转动轴连接，且所述盖板能够绕着所述转动轴转动，使盖板能够覆盖在所述壳体的开口端。

进一步地，还包括至少两个鼓泡管，所述鼓泡管用于向所述处理槽鼓入气体；所述鼓泡管的数量和所述处理槽的数量相对应，所述鼓泡管设置在所述处理槽内。

进一步地，还包括第一隔板和第二隔板，所述第一隔板和所述第二隔板均与所述处理槽连接，所述第一隔板和所述第二隔板均沿着所述处理槽的长度方向设置；

所述处理槽包括底面，所述底面与所述处理槽的开口端相对设置，所述第一隔板所在平面与所述底面方向一致。

进一步地，所述第二隔板用于将所述处理槽的液体通过所述通孔导入到所述储液槽内；所述第二隔板包括导流端和连接端，所述导流端和所述连接端相对设置，所述导流端和所述连接端分别与所述处理槽连接，所述第二隔板朝向所述底面倾斜；

所述导流端与所述底面之间的距离为第一距离，所述连接端与所述底面之间的距离为第二距离，所述第二距离大于所述第一距离；

所述通孔与所述底面之间的距离为第四距离，所述第四距离大于第一距离。

进一步地，所述第一隔板上设置有若干消泡孔，所述消泡孔用于消除所述处理槽内的气泡；

所述第一隔板与所述底面之间的距离为第三距离，所述第三距离大于所述第二距离。

进一步地，泵液组件还包括泵；

所述出液管的一端与泵的出液口连通，所述出液管的另一端与所述处理槽连通；

所述进液管的一端与所述泵的进液口连通，所述进液管的另一端与所述储液槽连通。

实施本实用新型实施例，具有如下有益效果：

1.本实用新型将储液槽和处理槽设置成相对独立的槽体，这使得处理槽内的容积相对减少，进而降低了生产成本；且设置多个处理槽，这在一定程度上提高了产能。

2.本实用新型设置进液管、出液管和排放管，提高内部流场的稳定性，使药水混合更均匀，利于反应生成物的沉积与排放。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还能够根据这些附图获得其它附图。

图1为本实施例具有两个处理槽的药水处理装置的主视图；

图2为本实施例具有两个处理槽的药水处理装置的俯视图；

图3为本实施例具有两个处理槽的药水处理装置的左视图；

图4为本实施例具有三个处理槽的药水处理装置的俯视图。

其中，图中附图标记对应为：

1-储液槽；2-处理槽；3-泵液组件；4-待处理件；5-转动轴；6-盖板；7-鼓泡管；8-第一隔板；9-第二隔板；11-排放管；21-通孔；22-花篮；23-底面；31-进液管；32-出液管；33-泵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本实用新型的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

现有技术存在以下缺点：传统药水处理装置在使用过程中，容积大，处理槽的流场比较不稳定，药水混合不均匀，不利于反应生成物的沉积与排放。

针对现有技术的缺陷，本实用新型将储液槽和处理槽设置成相对独立的槽体，这使得处理槽内的容积相对减少，进而降低了生产成本；设置多个处理槽，这在一定程度上提高了产能；同时设置进液管、出液管和排放管，提高内部流场的稳定性，使药水混合更均匀，利于反应生成物的沉积与排放。

实施例1

参见附图1～图4，本实施例提供了一种药水处理装置，包括储液槽1、泵液组件3和至少两个处理槽2；

所述泵液组件3包括进液管31和至少两个出液管32，所述出液管32的数量与所述处理槽2的数量相对应，每个所述处理槽2均与一个出液管32连通，所述进液管31与所述储液槽1连通；

所述储液槽1与所述处理槽2连接，所述储液槽1上设置有排放管11，所述排放管11用于排放所述储液槽1内液体；

每个处理槽2上均设置有至少一个通孔21，所述处理槽2通过所述通孔21与所述储液槽1连通，所述处理槽2内的液体能够从所述通孔21进入所述储液槽1。

需要说明的是：在本实施例中，所述储液槽1和所述处理槽2相对独立设置，这使得所述处理槽2内的液体容积相对减少，进而降低了生产成本；且设置多个处理槽，这在一定程度上提高了产能；设置进液管31、出液管32和排放管11，提高内部流场的稳定性，使药水混合更均匀，利于反应生成物的沉积与排放。

在本实施例中，所述储液槽1与所述处理槽2共用同一侧壁，所述通孔21设置在两者共用的侧壁上，使所述处理槽2内的液体能够从所述通孔21流入所述处理槽2。所述处理槽2和所述储液槽1之间还有多种连接关系，只要保证所述处理槽2内的液体能够从所述通孔21流入所述处理槽2内即可，在此不进行赘述所述处理槽2与所述储液槽1之间的连接关系。

优选地，所述处理槽2的个数为两个，两个所述处理槽2沿着所述处理槽2的宽度方向均匀分布，两个所述处理槽2相互连接。

具体地，两个所述处理槽2相对固定，每个所述处理槽2均通过设置在其上的通孔21与所述储液槽1连通。

优选地，所述处理槽2的个数为三个，三个所述处理槽2沿着所述处理槽2的宽度方向均匀分布，相邻的两个所述处理槽2相互连接。

具体地，三个所述处理槽2相对固定，每个所述处理槽2均通过设置在其上的通孔21与所述储液槽1连通。

优选地，所述处理槽2内设置有两个花篮22，所述花篮22与处理槽2固定连接，所述花篮22内设置有待处理件4；

两个所述花篮22沿着所述处理槽2的长度方向分布，且所述花篮22的长度方向与所述处理槽2的长度方向一致。

具体地，所述花篮22和所述处理槽2的形状可为任意形状，且所述花篮22均可单独安装和拆卸；在本实施例中，所述花篮22和所述处理槽2均设置为长方形。

具体地，所述待处理件4为硅片，所述液体为与所述硅片反应的药水；设置进液管31、出液管32和排放管11，提高内部流场的稳定性，使药水混合更均匀，利于反应生成物的沉积与排放，更能够降低对硅片的影响。

具体地，药水与硅片反应生成的反应物质大部分会沉积于角落处，通过所述排放管11能够及时将其排走，减少其对硅片的影响。

具体地，当所述处理槽2的个数为两个时，所述花篮22的个数为四个；当所述处理槽2的个数为三个时，所述花篮的个数为六个，这能够在一定程度上提高产能；多个所述处理槽2之间相互独立，能够避免对硅片的影响。

优选地，所述处理槽2和所述储液槽1连接后形成一端开口的壳体，所述壳体的开口端设置有转动轴5和盖板6，所述盖板6与所述转动轴5连接，且所述盖板6能够绕着所述转动轴5转动，使盖板6能够覆盖在所述壳体的开口端。

具体地，所述盖板6包括第一盖板和第二盖板，所述转轴5的数量为两个；所述第一盖板的一端通过一个所述转轴5与所述壳体的开口端连接，所述第一盖板能够绕着所述转轴5转动；所述第二盖板的一端通过另一个所述转轴5与所述壳体的开口端连接，所述第二盖板能够绕着所述转轴5转动；所述第一盖板的另一端能够与所述第二盖板的另一端抵接，以使所述第一盖板和所述第二盖板能够覆盖在所述壳体的开口端。

具体地，将所述盖板6可设计成折叠式，减少其打开时的占用空间，这样可以降低设备高度，节省成本。

优选地，还包括至少两个鼓泡管7，所述鼓泡管7用于向所述处理槽2鼓入气体；所述鼓泡管7的数量和所述处理槽2的数量相对应，所述鼓泡管7设置在所述处理槽2内。

具体地，当所述处理槽2的数量为两个时，所述鼓泡管7的数量也为两个，所述鼓泡管7的一端设置有用于开启或关闭所述鼓泡管7的控制阀。

优选地，还包括第一隔板8和第二隔板9，所述第一隔板8和所述第二隔板9均与所述处理槽2连接，所述第一隔板8和所述第二隔板9均沿着所述处理槽2的长度方向设置；

所述处理槽2包括底面23，所述底面23与所述处理槽2的开口端相对设置，所述第一隔板8所在平面与所述底面23方向一致。

具体地，所述第一隔板8与所述底面23平行设置，所述第二隔板9相对所述底面23倾斜设置，所述第二隔板9靠近所述通孔21的一端为所述导流端；所述第一隔板8与所述第二隔板9之间的距离，沿着所述处理槽2的长度方向逐渐变化；所述第一隔板8和所述第二隔板9之间的最大距离大于所述通孔21的直径。

具体地，所述第一隔板8设置在所述第二隔板9的上方，所述第二隔板9设置在所述第一隔板8和所述底面23之间。

具体地，所述第一隔板8的厚度和所述第二隔板9的厚度相等。

优选地，所述第二隔板9用于将所述处理槽2的液体通过所述通孔21导入到所述储液槽1内；所述第二隔板9包括导流端和连接端，所述导流端和所述连接端相对设置，所述导流端和所述连接端分别与所述处理槽2连接，所述第二隔板9朝向所述底面23倾斜；

所述导流端与所述底面23之间的距离为第一距离，所述连接端与所述底面23之间的距离为第二距离，所述第二距离大于所述第一距离；

所述通孔21与所述底面23之间的距离为第四距离，所述第四距离大于第一距离。

具体地，所述通孔21设置在所述第二隔板9的导流端的上方。

优选地，所述第一隔板8上设置有若干消泡孔，所述消泡孔用于消除所述处理槽2内的气泡；

所述第一隔板8与所述底面23之间的距离为第三距离，所述第三距离大于所述第二距离。

具体地，所述第一隔板8和所述第二隔板9还起到一定的加固作用。

优选地，泵液组件3还包括泵33；

所述出液管32的一端与泵33的出液口连通，所述出液管32的另一端与所述处理槽2连通；

所述进液管31的一端与所述泵33的进液口连通，所述进液管31的另一端与所述储液槽1连通。

具体地，沿着所述处理槽2的高度方向，依次分布有所述鼓泡管7、所述进液管31、所述第二隔板9、所述通孔21和所述第一隔板8。

具体地，所述药水处理装置的加热方式可采用内置管式加热或外置罐式加热，功率大小取决于工艺温度要求，在此不进行限定。

所述药水处理装置的液体流动过程：将液体加入到所述储液槽1中；所述泵33将所述储液槽1内的液体依次通过出液管32和所述进液管31导入到所述处理槽2内；由于所述处理槽2和所述储液槽1通过所述通孔21连通，所以所述处理槽2内的液体又从所述通孔21进入所述储液槽1内，再与新加入的药水混合后再被泵33吸走，以此达到循环的目的。

虽然本实用新型已经通过优选实施例进行了描述，然而本实用新型并非局限于这里所描述的实施例，在不脱离本实用新型范围的情况下还包括所作出的各种改变以及变化。

在本文中，所涉及的前、后、上、下等方位词是以附图中零部件位于图中以及零部件相互之间的位置来定义的，只是为了表达技术方案的清楚及方便。应当理解，所述方位词的使用不应限制本申请请求保护的范围。

在不冲突的情况下，本文中上述实施例及实施例中的特征能够相互结合。

以上所揭露的仅为本实用新型一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种药水处理装置，其特征在于，包括储液槽(1)、泵液组件(3)和至少两个处理槽(2)；

所述泵液组件(3)包括进液管(31)和至少两个出液管(32)，所述出液管(32)的数量与所述处理槽(2)的数量相对应，每个所述处理槽(2)均与一个出液管(32)连通，所述进液管(31)与所述储液槽(1)连通；

所述储液槽(1)与所述处理槽(2)连接，所述储液槽(1)上设置有排放管(11)，所述排放管(11)用于排放所述储液槽(1)内液体；

每个处理槽(2)上均设置有至少一个通孔(21)，所述处理槽(2)通过所述通孔(21)与所述储液槽(1)连通，所述处理槽(2)内的液体能够从所述通孔(21)进入所述储液槽(1)。

2.根据权利要求1所述的一种药水处理装置，其特征在于，所述处理槽(2)的个数为两个，两个所述处理槽(2)沿着所述处理槽(2)的宽度方向均匀分布，两个所述处理槽(2)相互连接。

3.根据权利要求1所述的一种药水处理装置，其特征在于，所述处理槽(2)的个数为三个，三个所述处理槽(2)沿着所述处理槽(2)的宽度方向均匀分布，相邻的两个所述处理槽(2)相互连接。

4.根据权利要求2或3所述的一种药水处理装置，其特征在于，所述处理槽(2)内设置有两个花篮(22)，所述花篮(22)与处理槽(2)固定连接，所述花篮(22)内设置有待处理件(4)；

两个所述花篮(22)沿着所述处理槽(2)的长度方向分布，且所述花篮(22)的长度方向与所述处理槽(2)的长度方向一致。

5.根据权利要求4所述的一种药水处理装置，其特征在于，所述处理槽(2)和所述储液槽(1)连接后形成一端开口的壳体，所述壳体的开口端设置有转动轴(5)和盖板(6)，所述盖板(6)与所述转动轴(5)连接，且所述盖板(6)能够绕着所述转动轴(5)转动，使盖板(6)能够覆盖在所述壳体的开口端。

6.根据权利要求5所述的一种药水处理装置，其特征在于，还包括至少两个鼓泡管(7)，所述鼓泡管(7)用于向所述处理槽(2)鼓入气体；所述鼓泡管(7)的数量和所述处理槽(2)的数量相对应，所述鼓泡管(7)设置在所述处理槽(2)内。

7.根据权利要求6所述的一种药水处理装置，其特征在于，还包括第一隔板(8)和第二隔板(9)，所述第一隔板(8)和所述第二隔板(9)均与所述处理槽(2)连接，所述第一隔板(8)和所述第二隔板(9)均沿着所述处理槽(2)的长度方向设置；

所述处理槽(2)包括底面(23)，所述底面(23)与所述处理槽(2)的开口端相对设置，所述第一隔板(8)所在平面与所述底面(23)方向一致。

8.根据权利要求7所述的一种药水处理装置，其特征在于，所述第二隔板(9)用于将所述处理槽(2)的液体通过所述通孔(21)导入到所述储液槽(1)内；所述第二隔板(9)包括导流端和连接端，所述导流端和所述连接端相对设置，所述导流端和所述连接端分别与所述处理槽(2)连接，所述第二隔板(9)朝向所述底面(23)倾斜；

所述导流端与所述底面(23)之间的距离为第一距离，所述连接端与所述底面(23)之间的距离为第二距离，所述第二距离大于所述第一距离；

所述通孔(21)与所述底面(23)之间的距离为第四距离，所述第四距离大于第一距离。

9.根据权利要求8所述的一种药水处理装置，其特征在于，所述第一隔板(8)上设置有若干消泡孔，所述消泡孔用于消除所述处理槽(2)内的气泡；

所述第一隔板(8)与所述底面(23)之间的距离为第三距离，所述第三距离大于所述第二距离。

10.根据权利要求9所述的一种药水处理装置，其特征在于，泵液组件(3)还包括泵(33)；

所述出液管(32)的一端与泵(33)的出液口连通，所述出液管(32)的另一端与所述处理槽(2)连通；

所述进液管(31)的一端与所述泵(33)的进液口连通，所述进液管(31)的另一端与所述储液槽(1)连通。

Images