CN212540831U - 一种镜片调节装置及准分子激光器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种镜片调节装置，包括：镜架固定板，镜架固定座，镜架组件以及角度调节组件。所述镜架固定座设置在所述镜架固定板上，且可相对所述镜架固定板，沿着所述镜架固定座的轴线转动；所述镜架组件上设置有铰接端与所述镜架固定座铰接；所述角度调节组件部分设置在所述镜架组件上，部分设置在所述镜架固定座上，并可调节所述镜架组件绕所述铰接端转动并相对所述镜架固定座形成转动角度。本实用新型公开的镜片调节装置可方便实现镜片的调节。本实用新型还公开了一种准分子激光器。

Description

一种镜片调节装置及准分子激光器

技术领域

本实用新型涉及激光技术领域，具体涉及一种镜片调节装置，以及包括其的准分子激光器。

背景技术

准分子激光器广泛应用于工业、医疗和科研领域，包括半导体光刻、平板显示制造等。

传统的激光器指向装调方式是采用微调镜架来调节激光束的焦距和光斑大小，而传统的微调镜架只能安装在平行于激光传播方向的平板上。而且只能安装在封闭的光路模块内，只要激光束路径有一点偏离，就得拆卸光路模块，重新调节和安装调节步骤非常繁琐，且调节精度不好控制。

因此，如何便捷高效地实现激光器中镜片调节是急需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型旨在克服现有技术存在的缺陷，本实用新型采用以下技术方案：

一方面，本实用新型实施例提供了一种镜片调节装置。所述镜片调节装置包括：镜架固定板，镜架固定座，镜架组件以及角度调节组件。

所述镜架固定座设置在所述镜架固定板上，且可相对所述镜架固定板沿着所述镜架固定座的轴线转动；

所述镜架组件，设置在所述镜架固定座上，且所述镜架组件上设置有铰接端与所述镜架固定座铰接；

所述角度调节组件部分设置在所述镜架组件上，部分设置在所述镜架固定座上，并可调节所述镜架组件绕所述铰接端转动并相对所述镜架固定座形成转动角度。

在一些实施例中，所述镜架组件包括：镜架和镜片。

所述镜架上一侧设置有铰接端，在所述铰接端的相对侧设置有连接板；

所述镜片设置在所述镜架上。

在一些实施例中，所述角度调节组件包括：镜架角度调节螺钉，弹簧固定螺钉和弹簧。

所述镜架角度调节螺钉穿过所述镜架固定座且与所述镜架固定座螺纹连接，其末端抵顶所述镜架的连接板：

所述弹簧固定螺钉，设置在所述镜架组件上，且一端设置在所述镜架组件的连接板上，另一端设置在所述镜架固定座上。

所述弹簧，穿设在所述弹簧固定螺钉上，并设置在所述弹簧固定螺钉与所述镜架组件之间。

在一些实施例中，所述镜架组件还包括：镜片压环，所述镜片压环与所述镜架螺纹连接，并将所述镜片压紧在所述镜架上。

在一些实施例中，所述镜架的连接板上还设置有盲孔，所述镜架角度调节螺钉抵顶在所述盲孔内。所述弹簧固定螺钉为两个，所述弹簧为两个，所述盲孔设置在所述连接板的中间，且所述弹簧固定螺钉分别穿设在所述盲孔的两端。

在一些实施例中，所述镜架固定板上设置有旋转孔，所述镜架固定座呈中空的圆柱状，且其一端的末端设置有凸缘，所述镜架固定座的凸缘的半径大于所述旋转孔的半径。

在一些实施例中，所述镜架固定座上的凸缘的外侧设置有防滑螺纹，且所述凸缘上设置有调节固定螺钉，所述调节固定螺钉通过螺纹连接方式连接在所述凸缘上。

在一些实施例中，所述镜片调节装置还包括：旋转压板，所述旋转压板为至少两块，所述旋转压板设置在所述镜架固定座上，所述旋转压板的内壁呈圆弧状，且其与所述镜架固定座相适配。

在一些实施例中，所述镜架上的铰接端与所述镜架固定座通过旋转轴连接。

另一方面，本实用新型实施例还提供了一种准分子激光器，其包括如前所述的镜片调节装置。

本实用新型的技术效果：本实用新型公开的镜片调节装置和准分子激光器，通过角度调节组件与镜架组件以及镜架固定座的结合可实现：1.以铰接端的旋转轴为中心转轴来调节镜架的俯仰角度；2.镜架以镜架中心轴为旋转轴进行小角度旋转；以上两种调节方式的组合实现了镜片全方位的偏转角度的调节，调节角度广，且结构简单紧凑。本实用新型可用于垂直于激光束路径安装工况。在调节偏转角度时，操作简单，省去传统的微调镜架安装调节繁琐的步骤。同时也可用于激光输出耦合装置使用。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例的一种镜片调节装置的一个方向的结构示意图；

图2是根据本实用新型一个实施例的一种镜片调节装置的另一个方向的结构示意图；

图3是根据本实用新型一个实施例的一种镜片调节装置的爆炸图。

其中，附图标记具体为：

100.镜片调节装置；

1.镜架固定板；11、旋转孔；12、安装部

2.镜架固定座；21.凸缘；211.防滑螺纹；212.调节固定螺钉；

3.镜架组件；31.镜架；311.连接板；312.铰接端；32.镜片；33.镜片压环；

4.角度调节组件；41.镜架角度调节螺钉；42.弹簧固定螺钉；43.弹簧；

5.旋转压板；51.旋转压板的内壁；

6.旋转轴。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，而不构成对本实用新型的限制。

在本实用新型实施例的描述中，其中前后方向对应附图1中的前后所标示的方向，上下方向为对应附图1中的上下所标示的方向，左右方向为参考附图1中垂直纸面的方向。

参考图1至图3所示，示意出了根据本实用新型一个实施例的镜片调节装置100。所述镜片调节装置100包括：镜架固定板1，镜架固定座2，镜架组件3以及角度调节组件4。

所述镜架固定座2设置在所述镜架固定板1上，且可相对所述镜架固定板1沿着所述镜架固定座2的轴线转动；

所述镜架组件3，设置在所述镜架固定座2上，且所述镜架组件3上设置有铰接端与所述镜架固定座2铰接；

所述角度调节组件4部分设置在所述镜架组件3上，部分设置在所述镜架固定座2上，并可调节所述镜架组件3绕所述铰接端312转动并相对所述镜架固定座2形成转动角度。

在一些实施例中，所述镜架组件3包括：镜架31和镜片32。

所述镜架31上一侧设置有铰接端312，在所述铰接端312的相对侧设置有连接板311；

所述镜片32设置在所述镜架31上。

通过在所述镜架31上设置铰接端312，所述镜架31可通过设置在镜架固定座2上的铰接配合部进行配合，从而可以使得所述镜架31相对所述镜架固定座2进行旋转，并形成一定的角度。

在一些实施例中，所述角度调节组件4包括：镜架角度调节螺钉41，弹簧固定螺钉42和弹簧43。

所述镜架角度调节螺钉41穿过所述镜架固定座2且与所述镜架固定座2螺纹连接，其末端抵顶所述镜架31的连接板311：

所述弹簧固定螺钉42，设置在所述镜架组件3上，且一端设置在所述镜架组件3的连接板311上，另一端设置在所述镜架固定座2上。

所述弹簧43，穿设在所述弹簧固定螺钉42上，并设置在所述弹簧固定螺钉42与所述镜架组件之间。

所述弹簧43为压缩弹簧，其在所述弹簧固定螺钉42和所述镜架31之间形成一定的弹性力。在所述弹簧固定螺钉42的作用下，使得所述镜架31有往下的运动趋势。

在一些实施例中，所述镜架组件3还包括：镜片压环33，所述镜片压环33与所述镜架31螺纹连接，并将所述镜片32压紧在所述镜架31上。

在一些实施例中，所述镜架31的连接板311上还设置有盲孔，所述镜架角度调节螺钉41抵顶在所述盲孔内。所述弹簧固定螺钉42为两个，所述弹簧43为两个，所述盲孔设置在所述连接板311的中间，且所述弹簧固定螺钉42分别穿设在所述盲孔的两端。所述弹簧43为两个，且所述弹簧固定螺钉42也为2个，因此受力较为均匀。而将所述盲孔设置在所述两者之间，可以使得受力更均衡，提高调节的精度。

在一些实施例中，所述镜架固定板1上设置有旋转孔11，所述镜架固定座2呈中空的圆柱状，且其一端的末端设置有凸缘21，所述镜架固定座2的凸缘21的半径大于所述旋转孔11的半径。这样所述镜架固定座2可穿设在所述镜架固定板1的中间，且可部分被所述镜架固定板阻挡。

在一些实施例中，所述镜架固定座2上的凸缘21的外侧设置有防滑螺纹211，且所述凸缘21上设置有调节固定螺钉212，所述调节固定螺钉212通过螺纹连接方式连接在所述凸缘21上。

在一些实施例中，所述镜片调节装置100还包括：旋转压板5，所述旋转压板5为至少两块，所述旋转压板5设置在所述镜架固定座2上，所述旋转压板的内壁51呈圆弧状，且其与所述镜架固定座2相适配。这样所述镜架固定座相当于在镜架固定座的中心进行旋转调节，进一步的提升调节的精度。且通过旋转压板的形式，便于装置的拆卸和安装。

在一些实施例中，所述镜架31上的铰接端312与所述镜架固定座2通过旋转轴6连接。因此所述镜架可相对所述镜架固定座进行旋转。

在一些实施例中，镜架固定板1设置有垂直与旋转孔11所在平面的安装部12，安装部12可实现镜片调节装置垂直于激光束路径的安装工况。

另一方面，本实用新型实施例还提供了一种准分子激光器(图中未示出)，其包括如前所述的镜片调节装置100。

本实用新型的技术效果：本实用新型公开的镜片调节装置和准分子激光器，通过角度调节组件与镜架组件以及镜架固定座的结合可实现：1.以铰接端的旋转轴为中心转轴来调节镜架的俯仰角度；2.镜架以镜架中心轴为旋转轴进行小角度旋转；以上两种调节方式的组合实现了镜片全方位偏转角度的调节，调节角度广，且结构简单紧凑。其可用于垂直于激光束路径安装工况。在调节偏转角度时，操作简单，省去传统的微调镜架安装调节繁琐的步骤。同时也可用于激光输出耦合装置使用。

下面结合具体的实施例对本实用新型提供的镜片调节装置100进行详细的说明。

实施例1：

参考图1至图3所示，示意出了根据本实用新型一个实施例的镜片调节装置100。该装置以铰接端的旋转轴为中心转轴来调节镜架的俯仰角度和以镜架中心轴为旋转轴对镜架进行小角度旋转的组合来实现镜片全方位的偏转角度调节，调节角度广。此装置不仅结构简单紧凑，可节省制造成本。可用于垂直于激光束路径安装工况。调节偏转角度时，操作简单，省去传统的微调镜架安装调节繁琐的步骤。也可用于激光输出耦合装置使用。

下面通过具体实施例来具体描述镜头调节装置100的连接方式。

首先镜片压环33用螺纹连接方式将镜片32固定在镜架31内。镜架固定座2与镜架31通过设置在镜架31上的铰接端312通过旋转轴6配合与所述镜架固定座2连接，因此，镜架31相对于镜架固定座2可进行转动。镜架固定座2穿入镜架固定板1的旋转孔11内，通过旋转压板5与镜架固定座2的凸缘21将镜架固定座2锁在镜架固定板1的旋转孔11内，因此，镜架固定座2可在镜架固定板1孔内旋转。弹簧固定螺钉42穿过弹簧43和镜架31另一端的连接板311上的孔通过螺纹连接固定在镜架固定座2上。镜架角度调节螺钉41用螺纹固定方式固定在镜架固定座2上，镜架角度调节螺钉41的一端穿过镜架固定座2顶在镜架31另一端的连接板311上的盲孔内。调节固定螺钉212用螺纹连接方式固定在镜架固定座2上。

下面具体描述镜头调节装置100在使用时的调节方法。

在本实用新型实施例中，所述镜片调节装置100的调节方法是通过俯仰角度调节和旋转角度调节两个调节组合来实现光路聚焦。俯仰角度调节是通过旋转镜架角度调节螺钉41来实现，当旋转镜架角度调节螺钉41时镜架角度调节螺钉41会顶着镜架31装弹簧43的一端上运动，而镜架31的另一端被旋转轴6束缚，则镜架31以旋转轴6为中心进行转动。镜架31相对于镜架固定板1形成一定角度的夹角，完成俯仰角度的调节。旋转角度调节是通过旋转镜架固定座2使其在镜架固定板1的孔11内转动，具体可通过转动镜架固定座2的凸缘来完成。

本实用新型实施例通过俯仰角度调节和旋转角度调节配合调节可实现镜片任何角度的调节。此种结构方式可节省空间，操作简单。提高了易操作性。

本实用新型实施例的镜架一端以旋转轴方式固定并与镜架固定座形成铰接。另一端被调节固定螺钉旋转方式顶出而形成能实现镜片俯仰角度调节的运动机构。

本实用新型实施例的旋转角度调节是通过旋转镜架固定座在镜架固定板1的孔11内转动来完成。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

以上所述本实用新型的具体实施方式，并不构成对本实用新型保护范围的限定。任何根据本实用新型的技术构思所作出的各种其他相应的改变与变形，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种镜片调节装置，其特征在于，包括：

镜架固定板，

镜架固定座，所述镜架固定座设置在所述镜架固定板上，且可相对所述镜架固定板沿着所述镜架固定座的轴线转动；

镜架组件，设置在所述镜架固定座上，且所述镜架组件上设置有铰接端与所述镜架固定座铰接；

角度调节组件，所述角度调节组件部分设置在所述镜架组件上，部分设置在所述镜架固定座上，并可调节所述镜架组件绕所述铰接端转动并相对所述镜架固定座形成转动角度。

2.根据权利要求1所述的镜片调节装置，其特征在于，所述镜架组件包括：镜架，所述镜架上一侧设置有铰接端，在所述铰接端的相对侧设置有连接板；

镜片，所述镜片设置在所述镜架上。

3.根据权利要求2所述的镜片调节装置，其特征在于，所述角度调节组件包括：

镜架角度调节螺钉，所述镜架角度调节螺钉穿过所述镜架固定座且与所述镜架固定座螺纹连接，其末端抵顶所述镜架的连接板：

弹簧固定螺钉，设置在所述镜架组件上，且一端设置在所述镜架组件的连接板上，另一端设置在所述镜架固定座上；

弹簧，穿设在所述弹簧固定螺钉上，并设置在所述弹簧固定螺钉与所述镜架组件之间。

4.根据权利要求2所述的镜片调节装置，其特征在于，所述镜架组件还包括：镜片压环，所述镜片压环与所述镜架螺纹连接，并将所述镜片压紧在所述镜架上。

5.根据权利要求3所述的镜片调节装置，其特征在于，

所述镜架的连接板上还设置有盲孔，所述镜架角度调节螺钉抵顶在所述盲孔内，所述弹簧固定螺钉为两个，所述弹簧为两个，所述盲孔设置在所述连接板的中间，且所述弹簧固定螺钉分别穿设在所述盲孔的两端。

6.根据权利要求2所述的镜片调节装置，其特征在于，

所述镜架固定板上设置有旋转孔，

所述镜架固定座呈中空的圆柱状，且其一端的末端设置有凸缘，所述镜架固定座的凸缘的半径大于所述旋转孔的半径。

7.根据权利要求6所述的镜片调节装置，其特征在于，所述镜架固定座上的凸缘的外侧设置有防滑螺纹，且所述凸缘上设置有调节固定螺钉，所述调节固定螺钉通过螺纹连接方式连接在所述凸缘上。

8.根据权利要求6所述的镜片调节装置，其特征在于，还包括：旋转压板，所述旋转压板为至少两块，所述旋转压板设置在所述镜架固定座上，所述旋转压板的内壁呈圆弧状，且其与所述镜架固定座相适配。

9.根据权利要求1所述的镜片调节装置，其特征在于，所述镜架上的铰接端与所述镜架固定座通过旋转轴连接。

10.一种准分子激光器，其特征在于，所述准分子激光器包括如权利要求1-9任一项所述的镜片调节装置。

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