CN212515342U - 掩模版光学自动检测的载入装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种掩模版光学自动检测的载入装置，所述载入装置包括：光源，其构造成发出光线以照射待检测的掩模版；物镜，其构造成正对所述光源设置，并用于在所述光线照射在所述待检测的掩模版上时检测所述掩模版；和承载夹具，其构造成可相对于所述光源和所述物镜移动，并设有可供容纳所述待检测的掩模版的开槽，所述开槽的内壁垂直向外延伸有用于承载所述掩模版的多个承接凸台；每一所述承接凸台上开设有用于真空吸附所述待检测的掩模版的腔体，且多个所述承接凸台位于同一水平面并间隔分布。
Description
技术领域
本实用新型属于掩模版检测装置技术领域，尤其涉及一种掩模版光学自动检测的载入装置。
背景技术
掩模版是刻有微电图的高精度版，由表面纯平并带有一层铬的石英玻璃或苏打玻璃板制作而成，蚀刻后的残留部分为设计的微电图。掩模版的光学自动检测通过一套载入装置将掩模版夹紧后基于光学原理来对掩模版生产中遇到的常见缺陷进行自动检测。
常规的掩模版通过真空吸附在载入装置的承载结构上，进而依靠光学检测该掩模版时，其侧边边缘部分的微电图部分很难被检测到，从而导致其缺陷检出率较低。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种掩模版光学自动检测的载入装置，用以解决现有的载入装置缺陷检出率较低的问题。
本实用新型的一个方面提供了一种掩模版光学自动检测的载入装置，所述载入装置包括：光源，其构造成发出光线以照射待检测的掩模版；物镜，其构造成正对所述光源设置，并用于在所述光线照射在所述待检测的掩模版上时检测所述掩模版；和承载夹具，其构造成可相对于所述光源和所述物镜移动，并设有可供容纳所述待检测的掩模版的开槽，所述开槽的内壁垂直向外延伸有用于承载所述掩模版的多个承接凸台；每一所述承接凸台上开设有用于真空吸附所述待检测的掩模版的腔体，且多个所述承接凸台位于同一水平面并间隔分布。
在本实用新型的一个实施例中，所述光源射出的所述光线位于所述开槽限定的区域内。
在本实用新型的一个实施例中，所述腔体为设置在所述承接凸台上的通孔，所述通孔的下端用于外接抽真空装置。
在本实用新型的一个实施例中，所述开槽的形状与所述待检测的掩模版的形状对应，且所述开槽的横截面积大于或等于所述掩模版的表面积。
在本实用新型的一个实施例中，所述开槽的横截面为多边形，所述承接凸台的数量对应于所述多边形的边的数量，且多个所述承接凸台分别位于多边形的所述开槽的各个角上。
在本实用新型的一个实施例中，所述开槽的横截面为矩形，且所述承接凸台呈L型。
在本实用新型的一个实施例中，所述开槽的横截面的外周缘呈圆弧状，所述承接凸台的数量大于或等于三个，且多个所述承接凸台等圆弧间距分布在所述开槽的内侧壁上。
在本实用新型的一个实施例中，所述开槽的横截面的形状为圆形，所述承接凸台呈圆柱状。
在本实用新型的一个实施例中，所述载入装置还包括移动平台，所述承载夹具连接在所述移动平台上，并可随所述移动平台相对于所述物镜和所述光源移动。
在本实用新型的一个实施例中，相邻两个所述承接凸台在该所述开槽的内侧壁上的间距大于所述承接凸台在所述开槽的内侧壁上的长度。
基于本实用新型提供的掩模版光学自动检测的载入装置，通过位置固定的光源和物镜的配合，可以实现对掩模版的光学检测，而承载夹具被构造成相对于该光源和物镜移动，进而实现对掩模版的光学自动检测；此外，设置在承载夹具上的开槽的内侧壁上延伸形成有多个间隔分布的承接凸台，进而待检测的掩模版可以通过设置在该承接凸台上的空腔而真空吸附在多个该承接凸台上，进而实现掩模版在该开槽内的紧固连接；由于多个承接凸台是间隔分布，进而相邻两个承接凸台之间的空隙可以避免掩模版的侧边边缘部分被遮挡，进而可以有效提高掩模版的缺陷检出率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是掩模版光学自动检测的载入装置结构示意图；
图2是传统的掩模版光学自动检测的载入装置承载夹具的俯视结构示意图；和
图3是掩模版光学自动检测的载入装置承载夹具的俯视结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
掩模版是刻有微电图的高精度版，由表面纯平并带有一层铬的石英玻璃或苏打玻璃板制作而成，蚀刻后的残留部分为设计的微电图。通常为了检测设置在掩模版20上的微电图是否存在缺陷，需要采用光学装置进行检测。
请参照附图1和3所示，在本实用新型实施例提供了一种掩模版20光学自动检测的载入装置，该载入装置包括：光源30，其构造成发出光线以照射待检测的掩模版20。在本实施例中，该光源30的底部固定在一平台上，其顶部射出光线在检测时照射在待检测的掩模版20上。此处，该出射的光线优选为垂直照射在该待检测的掩模版20上；当然也可以是与待检测的掩模版20的下表面之间存在一定的夹角，此处不作限定。
还包括物镜40，其构造成正对该光源30设置，并用于在该光线照射在该待检测的掩模版20上时检测该掩模版20。也即在载入装置上没有放置待检测的掩模版20时，该光源30发出的光线直接射入到该物镜40中。而载入装置上放置待检测的掩模版20时，该物镜40的观测区域内，该掩模版20被光源30照亮；从而可以检测出该掩模版20上的微小缺陷。
还包括承载夹具10，其构造成可相对于该光源30和该物镜40移动，并设有可供容纳该待检测的掩模版20的开槽11，该开槽11优选为通槽。该开槽11的内壁垂直向外延伸有用于承载该掩模版20的多个承接凸台12；每一该承接凸台12上开设有用于真空吸附该待检测的掩模版20的腔体13，且多个该承接凸台12位于同一水平面并间隔分布。在本实施例中，相邻两个该承接凸台12在该开槽11内壁上的间距大于该承接凸台12在该开槽11内壁上的长度。这样设计可以有效避免承接凸台12对光源30出射光的遮挡。进而提高缺陷检出率。
传统的载入装置如图2所示，掩模版20的侧边边缘被载入装置的承接台60遮挡，进而无法实现对其边缘部分的光学检测。
本实用新型提供的掩模版20光学自动检测的载入装置，通过位置固定的光源30和物镜40的配合，可以实现对掩模版20的光学检测，而承载夹具10被构造成相对于该光源30和物镜40移动，进而实现对掩模版20的光学自动检测；此外，设置在承载夹具10上的开槽11的内侧壁上延伸形成有多个间隔分布的承接凸台12，进而待检测的掩模版20可以通过设置在该承接凸台12上的空腔而真空吸附在多个该承接凸台12上，进而实现掩模版20在该开槽11内的紧固连接；由于多个承接凸台12是间隔分布，进而相邻两个承接凸台12之间的空隙可以避免掩模版20的侧边边缘部分被遮挡，进而可以有效提高掩模版20的缺陷检出率。
在本实用新型的一个实施例中，该光源30射出的该光线位于该开槽11限定的区域内。也即进一步限定了该承载夹具10的移动区域；当然，该承载夹具10的移动区域还可以大于该限定区域，也即光源30射出的该光线的照射区域可以大于该开槽11限定的区域。
在本实用新型的一个实施例中，该腔体13为设置在该承接凸台12上的通孔，该通孔的下端用于外接抽真空装置。通过抽真空装置，可以实现对该通孔的抽真空，进而可以实现掩模版20在承接凸台12上的紧固连接。
在本实用新型的一个实施例中，该开槽11的形状与该待检测的掩模版20的形状对应，并且该开槽11的横截面积大于或等于该掩模版20的表面积。
在本实施例中，该开槽11的横截面为多边形，例如三角形、正方形、长方形、五边形或者其他规则或不规则多边形。该承接凸台12的数量对应于该多边形的边的数量，并且多个该承接凸台12分别位于多边形的该开槽11的各个角上。这样设计可以尽可能少减少承接凸台12对该掩模版20侧边的遮挡，而该掩模版20的各个夹角的区域一般情况下时不会布设微电图，进而对于该掩模版20的检测影响可以降至最小。在本实施例中，如图3所示，例如该开槽11的横截面优选为矩形，并且该承接凸台12优选呈L型。
在另一个实施例中，该开槽的横截面的外周缘呈圆弧状(图未示)，例如，圆形、椭圆形或者其他规则或不规则圆弧形状。该承接凸台12的数量大于或等于三个，并且多个该承接凸台12等圆弧间距分布在该开槽的内侧壁上。这样设计可以保证对掩模版20连接的稳定性，同时还可以有效减少承接凸台12对该掩模版20侧边的遮挡。在本实施例中，例如该开槽11的横截面的形状为圆形，该承接凸台12呈圆柱状。
在本实用新型的一个实施例中，该载入装置还包括移动平台50，该承载夹具10连接在该移动平台50上，并可随该移动平台50相对于该物镜40和该光源30移动。该移动平台50优选为与该光源30位于同一平台上，并且该移动平台50移动时驱动承载夹具10和待检测的掩模版20相对于物镜40和该光源30移动。
以上该仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.掩模版光学自动检测的载入装置，其特征在于，包括：
光源，其构造成发出光线以照射待检测的掩模版；
物镜，其构造成正对所述光源设置，并用于在所述光线照射在所述待检测的掩模版上时检测所述掩模版；和
承载夹具，其构造成可相对于所述光源和所述物镜移动，并设有可供容纳所述待检测的掩模版的开槽，所述开槽的内壁垂直向外延伸有用于承载所述掩模版的多个承接凸台；
每一所述承接凸台上开设有用于真空吸附所述待检测的掩模版的腔体，且多个所述承接凸台位于同一水平面并间隔分布。
2.根据权利要求1所述的掩模版光学自动检测的载入装置，其特征在于，所述光源射出的所述光线位于所述开槽限定的区域内。
3.根据权利要求1所述的掩模版光学自动检测的载入装置，其特征在于，所述腔体为设置在所述承接凸台上的通孔，所述通孔的下端用于外接抽真空装置。
4.根据权利要求1所述的掩模版光学自动检测的载入装置，其特征在于，所述开槽的形状与所述待检测的掩模版的形状对应，且所述开槽的横截面积大于或等于所述掩模版的表面积。
5.根据权利要求4所述的掩模版光学自动检测的载入装置，其特征在于，所述开槽的横截面为多边形，所述承接凸台的数量对应于所述多边形的边的数量，且多个所述承接凸台分别位于多边形的所述开槽的各个角上。
6.根据权利要求5所述的掩模版光学自动检测的载入装置，其特征在于，所述开槽的横截面为矩形，且所述承接凸台呈L型。
7.根据权利要求4所述的掩模版光学自动检测的载入装置，其特征在于，所述开槽的横截面的外周缘呈圆弧状，所述承接凸台的数量大于或等于三个，且多个所述承接凸台等圆弧间距分布在所述开槽的内侧壁上。
8.根据权利要求7所述的掩模版光学自动检测的载入装置，其特征在于，所述开槽的横截面的形状为圆形，所述承接凸台呈圆柱状。
9.根据权利要求1-8任一项所述的掩模版光学自动检测的载入装置，其特征在于，还包括移动平台，所述承载夹具连接在所述移动平台上，并可随所述移动平台相对于所述物镜和所述光源移动。
10.根据权利要求1-8任一项所述的掩模版光学自动检测的载入装置，其特征在于，相邻两个所述承接凸台在该所述开槽的内侧壁上的间距大于所述承接凸台在所述开槽的内侧壁上的长度。
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|---|---|---|---|---|
| CN113758420A (zh) * | 2021-09-08 | 2021-12-07 | 深圳市龙图光电有限公司 | 掩模版辅助静态图像测量装置及掩模版静态图像测量系统 |
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