CN212515266U - 一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置，包括：太赫兹源、准直系统、斩波器、迈克尔逊干涉系统、太赫兹传感系统和探测系统；其中太赫兹传感系统，具体包括自下而上的衬底层、超材料层；衬底层为0.65CaTiO3‑0.35NdAlO3介电陶瓷，超材料层包括具有周期性微纳米结构的太赫兹PIT结构阵列和两个电极；太赫兹PIT结构阵列包括多个石墨烯PIT(等离子体诱导透明)单元；相邻两列石墨烯PIT单元连接到不同的电极；通过外加电压的改变，可以改变石墨烯内部载流子的浓度，可以在太赫兹传感装置中实现对生物样品的透明窗口进行动态调制。本实用新型的有益效果是：解决了太赫兹波单谱传感器中存在温度影响大、灵敏度低、光谱探测波长不能动态调谐等问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及生物检测领域，尤其涉及一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置。
背景技术
随着太赫兹辐射产生和探测技术的发展，太赫兹波在传感检测方面的应用引起了极大的关注。太赫兹传感器在机场安检系统、材料检测、空间信号探测、航天航空和工农业生产等众多领域都有着广泛地应用。由于太赫兹PIT(等离子体诱导透明)结构具有窄的带宽和高Q值，因此基于超材料的太赫兹波传感器具有体积小、谐振特性、灵敏度高以及易于调节的优点，并得到实际广泛地研究。
然而在实际应用中器件的工作温度以及基底材料的介电性能对调制器的调制特性存在很大的影响。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型提供了一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置，基于0.65CaTiO3-0.35NdAlO3陶瓷的工作于太赫兹波段的太赫兹超材料进行研究，获得近零谐振频率温度系数的太赫兹生物组织传感装置。其目的在于，解决现有太赫兹波单谱传感器中存在的温度影响大、灵敏度低、光谱探测波长不能动态调谐等的技术问题。另外由于石墨烯本身为单分子层，能够和黏附在其表面的生物分子产生强烈的相互耦合作用，本专利石墨烯超材料直接和生物传感装置相连，致使太赫兹PIT的透明窗口可以利用外加电压的方式实现动态可调，因此石墨烯等离子体诱导透明结构在无标记生物传感上有大的应用空间。
一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置，包括：太赫兹源、准直系统、斩波器、迈克尔逊干涉系统、太赫兹传感系统和探测系统；斩波器设置在准直系统和迈克尔逊干涉系统之间的光路上；
所述太赫兹传感系统包括自下而上依次设置的衬底层、超材料层；其中，衬底层为0.65CaTiO3-0.35NdAlO3介电陶瓷，超材料层包括具有周期性微纳米结构的太赫兹PIT结构阵列和两个电极；两个电极分别位于超材料层的两侧，且两电极之间连接有可变电压源，用于提供电压；
所述太赫兹PIT结构阵列包括多个石墨烯PIT单元；相邻两列石墨烯PIT单元连接到不同的电极；通过外加电压的改变，可以改变石墨烯内部载流子的浓度，从而可以在太赫兹传感装置中实现对生物样品的透明窗口进行动态调制；
太赫兹源产生的太赫兹波经过准直系统准直后进入斩波器，斩波器将接收的太赫兹波周期性的送入迈克尔逊干涉系统，经迈克尔干涉系统产生的干涉光入射到太赫兹传感系统中的生物样品中，太赫兹传感系统中射出的带有生物样品信息的光信号被探测系统接收，实现对生物样品的光谱扫描。
进一步地，每个石墨烯PIT单元包括五根石墨烯棒，分别为第一石墨烯棒、第二石墨烯棒、第三石墨烯棒、第四石墨烯棒和第五石墨烯棒；
第二石墨烯棒、第三石墨烯棒、第四石墨烯棒和第五石墨烯棒组成互不相连的矩形结构：第二石墨烯棒和第三石墨烯棒为矩形结构的两条长边，第四石墨烯棒和第五石墨烯棒为矩形结构的两条短边，且第二石墨烯棒和第三石墨烯棒均不与第四石墨烯棒和第五石墨烯棒相连，以实现第二石墨烯棒、第三石墨烯棒与第四石墨烯棒和第五石墨烯棒之间的近场耦合；
第二石墨烯棒与第四石墨烯棒的一端和第五石墨烯棒的一端之间的距离为d1，第三石墨烯棒与第四石墨烯棒的另一端与第五石墨烯棒的另一端之间的距离为d2；第一石墨烯棒垂直于第四石墨烯棒和第五石墨烯棒设置，且穿过第四石墨烯棒和第五石墨烯棒的中点，与第四石墨烯棒和第五石墨烯棒相连；其中，d1和d2均为预设值，且d1＝d2；
同一列的石墨烯PIT单元的第一石墨烯棒串联之后连接到一端的电极。
进一步地，每个石墨烯PIT单元的长a和宽b分别为100μm和110μm；石墨烯厚度为0.2μm、第一石墨烯棒至第五石墨烯棒的棒宽w均为10μm；第四石墨烯棒和第五石墨烯棒的棒长c为50μm，第二石墨烯棒和第三石墨烯棒的棒长d为90μm。
进一步地，所述太赫兹源为中压汞灯(频率：0.05THz-20THz)；
所述准直系统包括相对设置的第一抛物面镜OAP1和第二抛物面镜OAP2；
所述迈克尔逊干涉系统包括：斩波器、分束器、用于扫描的电控一维平移台、位于电控一维平移台上的太赫兹扫描反射镜M1、固定反射镜M2；
所述探测系统包括第三抛物面镜OAP3、Golay探测器、锁相放大器；
斩波器设置在第二抛物面镜OAP2和分束器之间的光路上，斩波器、分束器和固定反射镜M2依次设置在同一光路上，太赫兹扫描反射镜M1设置在分束器的反射光路上，电控一维平移台可垂直上下移动，带动太赫兹扫描反射镜M1垂直上下移动，改变两路太赫兹波之间的光程；探测系统设置在太赫兹扫描反射镜M1相对于分束器的另一侧，第三抛物面镜OAP3与太赫兹扫描反射镜M1、分束器设置在同一光路上；所述锁相放大器，其参考信号通道连接与斩波器同频同相的信号，其测量信号通道连接探测器输出端，用于放大探测器输出的微弱电信号；
中压汞灯产生的太赫兹波经第一抛物面镜OAP1和第二抛物面镜OAP2准直后射入斩波器；斩波器将接收的太赫兹波周期性地送入分束器；分束器将射入的太赫兹波分为扫描光和固定光两路，扫描光经太赫兹扫描反射镜M1反射后与固定反射镜M2反射回的固定光在分束器形成干涉光，干涉光入射到太赫兹传感系统上的生物样品中，太赫兹传感系统射出的携带有生物样品信息的光信号经第三抛物面镜OAP3射入Golay探测器，Golay探测器输出的探测信号传输至锁相放大器，锁相放大器对接收的探测信号进行锁相放大处理后产生输出信号。
进一步地，所述太赫兹扫描反射镜M1和所述固定反射镜M2均为镀金高反镜。
进一步地，所述一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置还包括控制进入干涉仪的光斑尺寸大小并且增加干涉对比度的孔径光阑；所述孔径光阑设置于所述准直系统与斩波器之间，用于遮挡太赫兹波束周边不均匀成份，实现对太赫兹波束的均匀化整形。
进一步地，所述电控一维平移台由伺服电机驱动。
进一步地，所述一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置还包括控制器和电脑；控制器分别与伺服电机和电脑电性连接，电脑通过控制器控制电控一维平移台垂直上下移动；电脑还与锁相放大器连接，接收锁相放大器的输出信号，实现被测生物样品的扫描，在电脑上完成生物样品的光谱分析。
本实用新型提供的技术方案带来的有益效果是：本实用新型将太赫兹技术与PIT超材料结构相结合，提出了一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置。
太赫兹传感系统的衬底层为具有低介电损耗、高品质因数和近零温度系数的0.65CaTiO3-0.35NdAlO3介电陶瓷，超材料层为具有周期性微纳米结构的太赫兹PIT(等离子体诱导透明)结构阵列；通过电压的改变，可以改变石墨烯内部载流子的浓度，从而可以实现对透射谱中的透明窗口进行动态调制。
由于PIT结构具有窄的带宽和高Q值，故对于无标记生物传感具有很高的灵敏度。加之石墨烯本身为单分子层，能够和黏附在其表面的生物分子产生强烈的相互耦合作用，因此石墨烯等离子体诱导透明结构在无标记生物传感上有大的发展空间。因为电极直接和传感器相连，致使它的透明窗口和两端的共振峰可以实现动态可调，进一步拓展了它在生物传感上的应用。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：
图1是本实用新型实施例中一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置的装置图；
图2是本实用新型实施例中太赫兹传感系统的剖视图；
图3是本实用新型实施例中太赫兹传感系统的俯视图；
图4是本实用新型实施例中每个石墨烯PIT单元的结构示意图；其中，a＝100μm,b＝110μm,c＝50μm,d＝80μm,w＝10μm,s＝3μm；
图5所示为本实用新型实施例中太赫兹传感系统的三维示意图。
具体实施方式
为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。
本实用新型的实施例提供了一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置。
请参阅图1，图1是本实用新型实施例中一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置的装置图；包括：
太赫兹源、准直系统、斩波器4、迈克尔逊干涉系统、太赫兹传感系统12和探测系统；斩波器4设置在准直系统和迈克尔逊干涉系统之间的光路上，用于对高稳定性中压汞灯发出的THz波进行周期调制以供Golay探测器探测；
太赫兹源产生的太赫兹波经过准直系统准直后进入斩波器4，斩波器4将接收的太赫兹波周期性的送入迈克尔逊干涉系统，经迈克尔干涉系统产生的干涉光入射到太赫兹传感系统12中的生物样品中，太赫兹传感系统12中射出的带有生物样品信息的光信号被探测系统接收，实现对生物样品的光谱扫描；
请参阅图2，图2是本实用新型实施例中太赫兹传感系统的剖视图；所述太赫兹传感系统12包括自下而上依次设置的衬底层122、超材料层121；其中，衬底层122为具有低介电损耗、高品质因数和近零温度系数的0.65CaTiO3-0.35NdAlO3介电陶瓷，超材料层121包括具有周期性微纳米结构的太赫兹PIT(等离子体诱导透明)结构阵列；待测的生物样品涂敷在所述超材料层的表面；
请参阅图3，图3是本实用新型实施例中太赫兹传感系统的俯视图，所述太赫兹PIT结构阵列包括多个石墨烯PIT单元1211；具体石墨烯PIT单元1211的个数根据待测生物样品13的尺寸确定，石墨烯PIT单元1211的行数和列数越多，对应的超材料层121的尺寸也就越大。
请参阅图4，图4是本实用新型实施例中每个石墨烯PIT单元的结构示意图；每个石墨烯PIT单元1211包括五根石墨烯棒，分别为第一石墨烯棒12111、第二石墨烯棒12112、第三石墨烯棒12113、第四石墨烯棒12114和第五石墨烯棒12115；其中，第二石墨烯棒12112、第三石墨烯棒12113、第四石墨烯棒12114和第五石墨烯棒12115组成互不相连的矩形结构：第二石墨烯棒12112和第三石墨烯棒12113为矩形结构的两条长边，第四石墨烯棒12114和第五石墨烯棒12115为矩形结构的两条短边，且第二石墨烯棒12112和第三石墨烯棒12113均不与第四石墨烯棒12114和第五石墨烯棒12115相连，以实现第二石墨烯棒12112、第三石墨烯棒12113与第四石墨烯棒12114和第五石墨烯棒12115之间的近场耦合；
第二石墨烯棒12112与第四石墨烯棒12114的一端和第五石墨烯棒12115的一端之间的距离为d1，第三石墨烯棒12114与第四石墨烯棒12114的另一端与第五石墨烯棒12115的另一端之间的距离为d2，且d1＝d2＝3μm；第一石墨烯棒12111垂直于第四石墨烯棒12114和第五石墨烯棒12115设置，且穿过第四石墨烯棒12114和第五石墨烯棒12115的中点，与第四石墨烯棒12114和第五石墨烯棒12114相连；
每个石墨烯PIT单元1211的长a和宽b分别为100μm和110μm；石墨烯厚度为0.2μm、第一石墨烯棒12111至第五石墨烯棒12115的棒宽w均为10μm；第四石墨烯棒12114和第五石墨烯棒12115的棒长c为50μm，第二石墨烯棒12112和第三石墨烯棒12113的棒长d为90μm。
超材料层121还包括两个电极(1212和1213)；两个电极分别位于超材料层121的两侧，且两电极之间连接有可变电压源1214，用于提供电压；所述电压源1214的电压范围为几伏至几十伏之间，本实用新型实施例中，电压源1214的电压范围为5V～90V之间；
同一列的石墨烯PIT单元1211的第一石墨烯棒12111串联之后连接到一端的电极，相邻两列石墨烯PIT单元1211连接到不同的电极。
请参阅图5，图5所示为本实用新型实施例中太赫兹传感系统的三维示意图；为便于观察，图5所示为侧放的三维示意图，以便于观察超导材料层121的具体结构；通过石墨烯外加电压的改变，可以改变石墨烯内部载流子的浓度，从而可以在太赫兹传感装置中实现对生物样品的透明窗口进行动态调制。
所述0.65CaTiO3-0.35NdAlO3介电陶瓷，制备方法为：利用固相反应法系统研究粉体干压压强、烧结温度与时间对0.65CaTiO3-0.35NdAlO3陶瓷的物相结构和介电性能的影响，在1420℃烧结6小时制备出致密的、具有近零谐振频率温度系数的0.65CaTiO3-0.35NdAlO3陶瓷。
通过化学气相沉积(CVD)方法制备石墨烯，并把石墨烯转移到已经制备好的0.65CaTiO3-0.35NdAlO3介电陶瓷基底上，然后根据有限元仿真结果所获得的PIT尺寸参数，利用氧等离子体刻蚀技术完成太赫兹波调制器件的试制。
所述太赫兹源为宽频(频率：0.05THz-20THz)太赫兹源，用于提供宽频太赫兹波。本实用新型实施例中，所述太赫兹源为产生THz光源的高稳定性中压汞灯1；
所述准直系统包括相对设置的第一抛物面镜(OAP1)2和第二抛物面镜(OAP2)3；
所述迈克尔逊干涉系统包括：通过在Mylar薄膜上制作的金属光栅的工艺制作而成且透射反射比接近1:1的分束器11、用于扫描的电控一维平移台5、位于电控一维平移台上的太赫兹扫描反射镜(M1)6、固定反射镜(M2)7；
所述探测系统包括第三抛物面镜(OAP3)8、用于收集干涉光的Golay探测器9、对Golay探测器输出的探测信号进行锁相放大处理的锁相放大器10；
斩波器4设置在第二抛物面镜(OAP2)3和分束器11之间的光路上，斩波器4、分束器11和固定反射镜(M2)7依次设置在同一光路上，太赫兹扫描反射镜(M1)6设置在分束器11的反射光路上，电控一维平移台5可垂直上下移动，带动太赫兹扫描反射镜(M1)6垂直上下移动，改变两路太赫兹波之间的光程；探测系统设置在太赫兹扫描反射镜(M1)6相对于分束器11的另一侧，第三抛物面镜(OAP3)8与太赫兹扫描反射镜(M1)6、分束器11设置在同一光路上；所述锁相放大器10，其参考信号通道连接与斩波器4同频同相的信号，其测量信号通道连接探测器9输出端，用于放大探测器9输出的微弱电信号。
中压汞灯1产生的太赫兹波经第一抛物面镜(OAP1)2和第二抛物面镜(OAP2)3准直后摄入斩波器4；斩波器4将接收的太赫兹波周期性地送入分束器11；分束器11将射入的太赫兹波分为扫描光和固定光两路，扫描光经太赫兹扫描反射镜(M1)6反射后与固定反射镜(M2)7反射回的固定光在分束器11形成干涉光，干涉光入射到太赫兹传感系统12上的生物样品13中，太赫兹传感系统12射出的携带有生物样品信息的光信号经第三抛物面镜(OAP3)8射入Golay探测器9，Golay探测器9输出的探测信号传输至锁相放大器10，锁相放大器10对接收的探测信号进行锁相放大处理后产生输出信号。
所述第一抛物面镜(OAP1)2、所述第二抛物面镜(OAP2)3和所述第三抛物面镜(OAP3)8均为起准直作用的镀金离轴抛物面镜。所述太赫兹扫描反射镜(M1)6和所述固定反射镜(M2)7均为镀金高反镜。
所述一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置还包括控制进入干涉仪的光斑尺寸大小并且增加干涉对比度的孔径光阑14；所述孔径光阑14设置于所述准直系统与斩波器4之间，用于遮挡太赫兹波束周边不均匀成份，实现对太赫兹波束的均匀化整形。
所述电控一维平移台5由伺服电机15驱动，计算机通过接口部件与步进电机控制器相连，用于实现对步进电机控制器的操作；步进电机控制器控制伺服电机的动作，实现扫描反射镜(M1)的一维移动，从而改变两路太赫兹波束(反射光、固定光)之间的光程，实现对被测生物样品13的光谱扫描。
所述一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置还包括控制器16和电脑17；控制器16分别与伺服电机15和电脑17电性连接，电脑17通过控制器16控制电控一维平移台5垂直上下移动；电脑17还与锁相放大器10电性连接，接收锁相放大器10的输出信号，实现被测生物样品13的扫描，在电脑17上完成生物样品13的光谱分析。
本实用新型的有益效果是：本实用新型将太赫兹技术与PIT超材料结构相结合，提出了一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置。
太赫兹传感系统的衬底层为具有低介电损耗、高品质因数和近零温度系数的0.65CaTiO3-0.35NdAlO3介电陶瓷，超材料层为具有周期性微纳米结构的太赫兹PIT(等离子体诱导透明)结构阵列；通过电压的改变，可以改变石墨烯内部载流子的浓度，从而可以实现对透射谱中的透明窗口进行动态调制。
由于PIT结构具有窄的带宽和高Q值，故对于无标记生物传感具有很高的灵敏度。加之石墨烯本身为单分子层，能够和黏附在其表面的生物分子产生强烈的相互耦合作用，因此石墨烯等离子体诱导透明结构在无标记生物传感上有大的发展空间。因为电极直接和传感器相连，致使它的透明窗口和两端的共振峰可以实现动态可调，进一步拓展了它在生物传感上的应用。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置，其特征在于：包括：太赫兹源、准直系统、斩波器、迈克尔逊干涉系统、太赫兹传感系统和探测系统；斩波器设置在准直系统和迈克尔逊干涉系统之间的光路上；所述太赫兹传感系统包括自下而上依次设置的衬底层、超材料层；
所述衬底层为0.65CaTiO3-0.35NdAlO3介电陶瓷，超材料层包括具有周期性微纳米结构的太赫兹PIT结构阵列和两个电极；两个电极分别位于超材料层的两侧，且两电极之间连接有可变电压源，用于提供可变电压；待测的生物样品涂敷在所述超材料层的表面；
所述太赫兹PIT结构阵列包括多个石墨烯PIT单元；相邻两列石墨烯PIT单元连接到不同的电极；
太赫兹源产生的太赫兹波经过准直系统准直后进入斩波器，斩波器将接收的太赫兹波周期性的送入迈克尔逊干涉系统，经迈克尔干涉系统产生的干涉光入射到太赫兹传感系统中的生物样品中，太赫兹传感系统中射出的带有生物样品信息的光信号被探测系统接收，实现对生物样品的光谱扫描。
2.如权利要求1所述的一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置，其特征在于：每个石墨烯PIT单元包括五根石墨烯棒，分别为第一石墨烯棒、第二石墨烯棒、第三石墨烯棒、第四石墨烯棒和第五石墨烯棒；
第二石墨烯棒、第三石墨烯棒、第四石墨烯棒和第五石墨烯棒组成互不相连的矩形结构：第二石墨烯棒和第三石墨烯棒为矩形结构的两条长边，第四石墨烯棒和第五石墨烯棒为矩形结构的两条短边，且第二石墨烯棒和第三石墨烯棒均不与第四石墨烯棒和第五石墨烯棒相连，以实现第二石墨烯棒、第三石墨烯棒与第四石墨烯棒和第五石墨烯棒之间的近场耦合；
第二石墨烯棒与第四石墨烯棒的一端和第五石墨烯棒的一端之间的距离为d1，第三石墨烯棒与第四石墨烯棒的另一端与第五石墨烯棒的另一端之间的距离为d2；第一石墨烯棒垂直于第四石墨烯棒和第五石墨烯棒设置，且穿过第四石墨烯棒和第五石墨烯棒的中点，与第四石墨烯棒和第五石墨烯棒相连；其中，d1和d2均为预设值，且d1＝d2。
3.如权利要求2所述的一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置，其特征在于：同一列的石墨烯PIT单元的第一石墨烯棒串联之后连接到一端的电极。
4.如权利要求2所述的一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置，其特征在于：每个石墨烯PIT单元的长a和宽b分别为100μm和110μm；石墨烯厚度为0.2μm、第一石墨烯棒至第五石墨烯棒的棒宽w均为10μm；第四石墨烯棒和第五石墨烯棒的棒长c为50μm，第二石墨烯棒和第三石墨烯棒的棒长d为90μm。
5.如权利要求1所述的一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置，其特征在于：
所述太赫兹源为中压汞灯，频率范围为0.05THz-20THz；
所述准直系统包括相对设置的第一抛物面镜OAP1和第二抛物面镜OAP2；
所述迈克尔逊干涉系统包括：斩波器、分束器、用于扫描的电控一维平移台、位于电控一维平移台上的太赫兹扫描反射镜M1、固定反射镜M2；
所述探测系统包括第三抛物面镜OAP3、Golay探测器、锁相放大器；
斩波器设置在第二抛物面镜OAP2和分束器之间的光路上，斩波器、分束器和固定反射镜M2依次设置在同一光路上，太赫兹扫描反射镜M1设置在分束器的反射光路上，电控一维平移台垂直上下移动，带动太赫兹扫描反射镜M1垂直上下移动，改变两路太赫兹波之间的光程；探测系统设置在太赫兹扫描反射镜M1相对于分束器的另一侧，第三抛物面镜OAP3与太赫兹扫描反射镜M1、分束器设置在同一光路上；所述锁相放大器，其参考信号通道连接与斩波器同频同相的信号，其测量信号通道连接探测器输出端，用于放大探测器输出的微弱电信号。
6.如权利要求5所述的一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置，其特征在于：中压汞灯产生的太赫兹波经第一抛物面镜OAP1和第二抛物面镜OAP2准直后射入斩波器；斩波器将接收的太赫兹波周期性地送入分束器；分束器将射入的太赫兹波分为扫描光和固定光两路，扫描光经太赫兹扫描反射镜M1反射后与固定反射镜M2反射回的固定光在分束器形成干涉光，干涉光入射到太赫兹传感系统上的生物样品中，太赫兹传感系统射出的携带有生物样品信息的光信号经第三抛物面镜OAP3射入Golay探测器，Golay探测器输出的探测信号传输至锁相放大器，锁相放大器对接收的探测信号进行锁相放大处理后产生输出信号。
7.如权利要求5所述的一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置，其特征在于：所述太赫兹扫描反射镜M1和所述固定反射镜M2均为镀金高反镜。
8.如权利要求1所述的一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置，其特征在于：所述一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置还包括控制进入干涉仪的光斑尺寸大小并且增加干涉对比度的孔径光阑；所述孔径光阑设置于所述准直系统与斩波器之间，用于遮挡太赫兹波束周边不均匀成份，实现对太赫兹波束的均匀化整形。
9.如权利要求5所述的一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置，其特征在于：所述电控一维平移台由伺服电机驱动。
10.如权利要求9所述的一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置，其特征在于：所述一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置还包括控制器和电脑；控制器分别与伺服电机和电脑电性连接，电脑通过控制器控制电控一维平移台垂直上下移动；电脑还与锁相放大器连接，接收锁相放大器的输出信号，实现被测生物样品的扫描，在电脑上完成生物样品的光谱分析。
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|---|---|---|---|
| CN202021203995.9U CN212515266U (zh) | 2020-06-24 | 2020-06-24 | 一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置 |
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| CN202021203995.9U CN212515266U (zh) | 2020-06-24 | 2020-06-24 | 一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN212515266U true CN212515266U (zh) | 2021-02-09 |
Family
ID=74439737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202021203995.9U Active CN212515266U (zh) | 2020-06-24 | 2020-06-24 | 一种基于温度不敏感的太赫兹波超材料的生物传感装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN212515266U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113466170A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-10-01 | 中国人民解放军军事科学院国防科技创新研究院 | 一种基于多类型共振太赫兹超表面的多目标探测器 |
| CN113466170B (zh) * | 2021-05-18 | 2024-05-24 | 中国人民解放军军事科学院国防科技创新研究院 | 一种基于多类型共振太赫兹超表面的多目标探测器 |
-
2020
- 2020-06-24 CN CN202021203995.9U patent/CN212515266U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113466170A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-10-01 | 中国人民解放军军事科学院国防科技创新研究院 | 一种基于多类型共振太赫兹超表面的多目标探测器 |
| CN113466170B (zh) * | 2021-05-18 | 2024-05-24 | 中国人民解放军军事科学院国防科技创新研究院 | 一种基于多类型共振太赫兹超表面的多目标探测器 |
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| GR01 | Patent grant | ||
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