CN212491628U - 一种热处理设备的排风装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种热处理设备的排风装置，包括箱体，所述箱体具有气体入口和气体出口，所述气体入口和所述气体出口之间形成有气体流动通道，沿所述气体流动通道，自所述气体入口至所述气体出口，顺次设置有冷凝单元和过滤单元。本申请的排风装置通过冷凝单元，可使热排气冷凝形成液体和/或结晶颗粒以及不凝气，通过对液体进行收集和排放，不仅能够有效防止液体返排至热处理设备造成设备或产品污染，而且能够有效避免热排气中的有机物质残留在排气管中所导致的腐蚀和结晶堵塞；通过过滤单元能够去除颗粒状杂质，使得所排出的气体洁净、无污染。

Description

一种热处理设备的排风装置

技术领域

本申请一般涉及通风设备技术领域，具体涉及一种热处理设备的排风装置。

背景技术

在半导体制造业中，热处理设备的热排气中含有大量挥发性有机物质，传统的排气方式多采用连接于热处理设备排气口的排气管进行排气，由于排气管较长，热排气在排出过程中逐渐冷凝，有机物质会随着热排气的冷凝成为液体残留在排气管内，不仅影响排风，而且会引起排气管腐蚀以及结晶堵塞等问题，同时残液返流也会导致热处理设备或产品污染。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请期望提供一种热处理设备的排风装置，以期有效防止热处理过程中挥发的有机气体冷凝后形成的液体返流至热处理设备或残留在排气管中，从而避免对热处理热备的污染以及对排气管的腐蚀和堵塞，延长设备使用寿命。

作为本申请的第一方面，本申请提供一种热处理设备的排风装置。

作为优选，所述热处理设备的排风装置包括：

箱体，所述箱体具有气体入口和气体出口，所述气体入口和所述气体出口之间形成有气体流动通道，沿所述气体流动通道，自所述气体入口至所述气体出口，顺次设置有冷凝单元和过滤单元。

作为优选，所述冷凝单元包括冷却盘管及与所述冷却盘管进行热交换的多个冷凝板，所述气体流动通道包括迷宫形冷却风道，所述迷宫形冷却风道的进气口与所述气体入口连通，所述迷宫形冷却风道的出气口与所述气体出口连通，多个所述冷凝板设置于所述迷宫形冷却风道内。

作为优选，所述迷宫形冷却风道包括竖向设置的风道段，所述冷凝板设置于所述风道段的侧壁上且向下倾斜。

作为优选，所述过滤单元包括：

具有第一过滤网孔的第一过滤件和具有第二过滤网孔的第二过滤件，所述第二过滤件位于第一过滤件的下方，来自所述冷凝单元的气体依次经由所述第二过滤件和第一过滤件过滤后从气体出口排出；其中，所述第二过滤网孔的尺寸大于所述第一过滤网孔的尺寸。

作为优选，所述第一过滤件为两端开口的中空管体，其一端连接所述气体出口，另一端连接所述第二过滤件，所述中空管体的侧壁设置有若干所述第一过滤网孔。

作为优选，所述第二过滤件为四面侧壁和一个底面围成的扇形框体，所述四面侧壁上设置有若干所述第二过滤网孔，所述底面密封第一过滤件用于连接第二过滤件的一端的开口。

作为优选，还包括用于监测所述箱体内液体液位的传感器，所述传感器位于所述箱体内部且靠近箱体底部。

作为优选，还包括用于在箱体内液体液位到达所述传感器时开启以排出所述液体的阀体，所述阀体位于箱体的底部；其中，在所述冷凝单元的下方设有将箱体内液体引流汇集至阀体所在区域的导流台，所述导流台由箱体侧部向所述阀体倾斜向下设置。

作为优选，所述箱体内还设有分隔板，所述箱体通过所述分隔板分割成相邻的第一腔和第二腔，所述冷凝单元设置于第一腔，所述过滤单元设置于第二腔，其中，所述分隔板上设有用于连通所述第一腔和第二腔的开孔。

作为优选，所述箱体上还设有用于对箱体内部进行清洁的可开启的门体，所述门体设置于靠近所述过滤单元的箱体侧部。

本申请的有益效果：

通过设置冷凝单元，可使热排气冷凝形成液体和/或结晶颗粒以及不凝气，通过对液体进行收集和排放，不仅能够有效防止液体返排至热处理设备造成设备或产品污染，而且能够有效避免热排气中的有机物质残留在排气管中所导致的腐蚀和结晶堵塞；通过设置过滤单元能够去除热排气中的颗粒状杂质，使得所排出的气体洁净、无污染。

本申请的排风装置结构简单、操作便捷，能够广泛地应用于多种热处理热备。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本申请一种实施方式的排风装置的剖面示意图；

图2为本申请一种实施方式的排风装置的冷凝单元形成回收液的示意图；

图3为本申请一种实施方式的排风装置与热处理设备的连接示意图；

图4为本申请的另一种实施方式的排风装置与热处理设备的连接示意图。

附图标记：箱体1，气体入口2，气体出口3，冷凝单元4，过滤单元5，传感器6，阀体7、导流台8、分隔板9，门体10，顶部101、底部102、左侧部103、右侧部104、冷却盘管40、冷凝板41、冷却风道42、进气口43、出气口44、柱体45、内层46、外层47、冷却介质进入管48、冷却介质排出管49、第一过滤件51、第二过滤件52、四面侧壁521、底面522、第一腔91、第二腔92、开孔93、排气口11、排气管12、连接管13、紧固件14。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度、“厚度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

需要说明的是，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

参照图1和图2，示出了本申请一种实施方式的热处理设备的排风装置，包括：箱体1、冷凝单元4和过滤单元5，其中，箱体1具有相连通的气体入口2和气体出口3，在气体入口2和气体出口3之间形成有气体流动通道，沿该气体流动通道，自气体入口2至气体出口3顺次设置冷凝单元4和过滤单元5，从气体入口2进入所述箱体1内的气体依次经过所述冷凝单元4和过滤单元5后从气体出口3排出。

在本实施方式中，进入箱体1内的气体是指从热处理设备中排出的热排气，该热排气中含有大量的热量和挥发性有机物质，当其经过冷凝单元4时，热排气中处于气态的有机物质和/或水蒸气等遇冷能够迅速凝结成液滴和/或结晶成颗粒，形成回收液和/或结晶颗粒，以及部分不凝气，不凝气是指在冷凝单元4中不凝结或凝华的气体，这个过程中，通过对回收液和/或结晶颗粒进行收集和排放，即可实现对热排气中的有机物质或有机物质中能够溶于水的成分的清除，避免了回收液和/或结晶颗粒残留所引起的结晶堵塞和排气管污染，以及回收液和/或结晶颗粒返流所引起的设备污染和产品污染等。其中，所述过滤单元5用于接收所述不凝气，并对所述不凝气中的杂质进行过滤处理，以减少从气体出口3排出的气体对环境的影响。下文将主要以冷凝形成回收液和不凝气为例，对本申请的排气装置的结构和作用原理进行详细说明。

在本实施方式中，热处理设备包括但不限于为加热炉、烘箱、匀胶机等，可以为用于半导体制备中的热处理设备，也可以是用于例如化学合成中的热处理设备。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，所述冷凝单元4包括冷却盘管40及与所述冷却盘管40进行热交换的多个冷凝板41，所述气体流动通道包括迷宫形冷却风道42，迷宫形冷却风道42是指风道具有多个弯折的走向，也即气体在其中传播时，需要多次改变传播方向。所述迷宫形冷却风道42的进气口43与所述气体入口2连通，所述迷宫形冷却风道42的出气口44与所述气体出口3连通，多个所述冷凝板41设置于所述迷宫形冷却风道42内。

在本实施方式中，从气体入口2进入箱体1内的气体从迷宫形冷却风道42的进气口43进入迷宫型冷却风道42，经冷凝板41冷凝后产生回收液和不凝气，回收液在自重作用下滴落并流向所述箱体底部102，不凝气从迷宫形冷却风道42的出气口44排出，进入过滤单元5。

在本实施方式中，冷却盘管40中填充有冷却介质，用于提供冷却环境，冷却介质可以为循环冷却水。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，所述迷宫形冷却风道42包括竖向设置的风道段，所述冷凝板41设置于所述风道段的侧壁上且向下倾斜，这有利于气体经过冷凝板41时冷凝产生的回收液向下滴落流向箱体底部102。

其中，迷宫型冷却风道42的形成可通过在箱体1内设置多个纵向分布的隔板和间隔交错分布的冷凝板41而形成，在隔板之间设置用于形成迷宫型冷却风道42的通道，其中，也可以通过设置隔板形成用于设置冷却盘管40的通道，示例性的一种方式如下：

箱体1内具有一个竖向设置的双层中空柱体45，所述柱体内层46和柱体外层47之间形成用于设置冷却盘管40的空间，所述冷却盘管40设置于该空间内，所述柱体内层46中空空间用于形成迷宫型冷却风道，在该中空空间内间隔交错设置若干个冷凝板41，即形成迷宫型冷却风道42；该迷宫型冷却风道42包括竖向设置的风道段，多个冷凝板41设置于风道段的侧壁上，即设置于柱体内层46的内壁上。其中，所述柱体45的顶端连接所述箱体1的顶部101且设有出气口44，该出气口44与气体出口3连通，所述柱体45的底端连接所述箱体1的底部102且设有进气口43，该进气口43与气体入口2连通。

在本实施方式中，箱体1可以为中空的长方体或正方体结构，包括顶部101、底部102、左侧部103和右侧部104等，气体入口2可以设置于靠近箱体顶部的箱体左侧部104，气体出口3可以设置于靠近箱体右侧部的箱体顶部101，冷凝单元4可以设置于箱体1靠近左侧部103的区域，过滤单元5可以设置于箱体1靠近右侧部104的区域；其中，中空柱体45的顶端连接箱体的顶部101，中空柱体45的底端连接箱体的底部102，在中空柱体45顶端背向箱体左侧部103的方向，也即朝向箱体右侧部104的方向开设所述出气口44，相对应地，在中空柱体45底端朝向箱体左侧部103的方向开设所述进气口43，气体从气体入口2进入箱体1内部后，中空柱体45顶端连接箱体顶部101的部分对气体发挥阻挡作用，气体沿着中空柱体45的纵向方向向下运动至进气口43，中空柱体45底端连接箱体底部102的部分对到达进气口43附近的气体发挥阻挡作用，使得气体从进气口43进入迷宫型冷却风道42内。其中，中空柱体45的顶端和底端可通过任何合适的方式与箱体1连接，诸如通过紧固件、焊接、熔接、粘合剂等；其中，中空柱体45也可以是与箱体1一体成型。

中空柱体45的形状不受限制，例如可以为圆柱体或长方体或正反体等，在一些方式中，优选中空柱体45的外层47为长方体，内层46为圆柱体。

在本实施方式中，冷却盘管40用于向中空柱体45通入冷却介质以提供冷却环境，如图所示，在中空柱体45的外层47设置有冷却介质进入管48和冷却介质排出管49，冷却盘管40的两端分别与冷却介质进入管48和冷却介质排出管49连接，冷却介质通过冷却介质进入管48进入冷却盘管40并从冷却介质排出管49排出，以此循环降温。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，所述过滤单元5包括第一过滤件51和第二过滤件52，所述第二过滤件52位于第一过滤件51的下方，来自所述冷凝单元4的气体(即不凝气)依次经由所述第二过滤件52和第一过滤件51过滤后从气体出口3排出；其中，第一过滤件51上设有第一过滤网孔，第二过滤件52上设有第二过滤网孔，所述第二过滤网孔的尺寸大于所述第一过滤网孔的尺寸，来自冷凝单元的不凝气先经由第二过滤件52滤除大颗粒，再经由第一过滤件51滤除小颗粒，被滤除的颗粒状杂质掉落至箱体底部102，以减少从气体出口3排出的气体对环境的影响。

在一些优选的方式中，所述第一过滤网孔的孔径为1～3mm，第二过滤网孔的孔径为1～5mm。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，所述第一过滤件51为两端开口的中空管体，其一端连接所述气体出口3，另一端连接所述第二过滤件52，所述中空管体的侧壁设置有若干所述第一过滤网孔。所述第二过滤件52为四面侧壁521和一个底面522围成的扇形框体，所述四面侧壁521上设置有若干所述第二过滤网孔，其中，所述第二过滤件52与第一过滤件51连接后，所述底面522密封第一过滤件51用于连接第二过滤件52的一端的开口。其中，第一过滤件51可以为两端开口的圆柱体或长方体或其他规则或不规则形状的棱柱体；其中，第二过滤件52的四面侧壁521可以为半圆形或环形。

在本实施方式中，来自冷凝单元4的气体经由第二过滤件52的四面侧壁521过滤后从第一过滤件51的侧壁进入第一过滤件51的中空管体内部，然后从气体出口3排出。

在本实施方式中，所述第二过滤件52的底面522不设有过滤网孔，以防止不凝气从第二过滤件52的底面522直接进入第一过滤件51的中空管体。在一些优选的方式中，第二过滤件52的底面522至少与第一过滤件51开口相对应的区域不设有过滤网孔。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，所述热处理设备的排风装置还包括用于监测所述箱体内的液体液位的传感器6，所述传感器6位于所述箱体1内部且靠近箱体底部。

该传感器6用于监测并检测箱体内部所积累的液体的液位，并在液位到达一定水平时产生信号，以提示对本申请排风装置内的液体进行排放，该液体是经冷凝单元4冷凝后所产生的回收液，传感器6所产生的信号可以为电信号或声光信号等。优选地，所述传感器6为液位传感器，可以理解的是，也可以使用例如液位计等进行液体液位的监测和检测。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，所述热处理设备的排风装置还包括用于在箱体1内液体液位到达所述传感器6时开启以排出所述液体的阀体7，所述阀体7位于箱体1的底部102。其中，该阀体7可以为气动阀、电动阀或手动阀，当接收到传感器6所产生的信号后，通过阀体7的开启以排出液体。优选所述阀体7为气动阀或电动阀，该气动阀或电动阀与所述传感器6电连接，能够在所述液体液位到达所述传感器6时自动开启以排出液体。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，所述热处理设备的排风装置还包括设置于冷凝单元4下方的导流台8，所述导流台8由箱体1侧部向所述阀体7倾斜向下设置，且呈楔形结构。该导流台8一方面用于引导液体汇集在阀体7所在的区域，便于箱体1内液体的排出，另一方面能够引导从冷凝单元4滴落的液体向箱体底部102流动。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，在所述箱体1内还设有分隔板9，该分隔板9一端连接于箱体顶部101，另一端向箱体底部102延伸，将所述箱体1分割成相邻的第一腔91和第二腔92，其中，冷凝单元4设置于第一腔91，过滤单元5设置于第二腔92，在分隔板9上设有用于连通所述第一腔91和第二腔92的开孔93，以使气体通过。

可选地，所述开孔93靠近箱体底部102，来自冷凝单元4的气体穿过该开孔93并向上运动进入过滤单元5。

在本实施方式中，该分隔板9不仅发挥阻挡气体的作用，还发挥引流的作用，从冷凝单元4的出气口44排出的气体被分隔板9阻挡而沿着分隔板9的纵向方向向下运动，然后从分隔板9的开孔93穿过，向上流动进入过滤单元5。

在本实施方式中，第二过滤件52四面侧壁521的自由端的横截面的宽度或直径等于分隔板9与箱体右侧部104之间的距离，从而阻挡来自冷凝单元4的气体从第二过滤件52与分隔板9之间的缝隙穿过。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，所述箱体1上还设有用于对箱体1内部进行清洁的可开启的门体10，所述门体10设置于靠近所述过滤单元5的箱体侧部，具体是设置于靠近箱体底部的箱体右侧部104上，掉落至箱体底部102的颗粒状杂质可通过该门体10进行清除。其中，该门体10可通过铰接、卡接或螺接等任何合适的方式连接于箱体1上。

请参照图3和图4，示出了本申请的热处理设备的排风装置与烘箱和匀胶机的连接示意图，其中，匀胶机中具有烘烤工位，例如多个烤盘。

在本申请中，排风装置的气体入口2与热处理设备的排气口11相连接，气体出口3连接排气管12，排气管12的末端可连接例如排风机等提供排气动力。其中，可通过连接管13实现排风装置的气体入口2与热处理设备的排气口11的连接，连接管13可以为硬管或波纹软管，可通过紧固件14实现连接管13的固定，紧固件14可以为法兰或卡环或卡箍等，例如，可采用硬管和法兰将排风装置与热处理设备连接，亦可采用软管和卡环将排风装置与热处理设备连接。其中，排风装置的气体出口3亦通过紧固件14连接排气管13，排气管13可以为硬管或波纹软管。

本申请所公开的热处理设备的排风装置通过设置冷凝单元4，可使热排气冷凝形成液体和/或结晶颗粒以及不凝气，通过对液体进行收集和排放，不仅能够有效防止液体返排至热处理设备造成设备或产品污染，而且能够有效避免热排气中的有机物质残留在排气管中所导致的腐蚀和结晶堵塞；通过设置过滤单元5能够去除热排气中的颗粒状杂质，使得所排出的气体洁净、无污染，减少了所排放的气体对环境的影响。本申请的排风装置结构简单、操作便捷，能够广泛地应用于多种热处理热备。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (10)

1.一种热处理设备的排风装置，其特征在于，包括：

箱体，所述箱体具有气体入口和气体出口，所述气体入口和所述气体出口之间形成有气体流动通道，沿所述气体流动通道，自所述气体入口至所述气体出口，顺次设置有冷凝单元和过滤单元。

2.根据权利要求1所述的热处理设备的排风装置，其特征在于，所述冷凝单元包括冷却盘管及与所述冷却盘管进行热交换的多个冷凝板，所述气体流动通道包括迷宫形冷却风道，所述迷宫形冷却风道的进气口与所述气体入口连通，所述迷宫形冷却风道的出气口与所述气体出口连通，多个所述冷凝板设置于所述迷宫形冷却风道内。

3.根据权利要求2所述的热处理设备的排风装置，其特征在于，所述迷宫形冷却风道包括竖向设置的风道段，所述冷凝板设置于所述风道段的侧壁上且向下倾斜。

4.根据权利要求1所述的热处理设备的排风装置，其特征在于，所述过滤单元包括：

具有第一过滤网孔的第一过滤件和具有第二过滤网孔的第二过滤件，所述第二过滤件位于第一过滤件的下方，来自所述冷凝单元的气体依次经由所述第二过滤件和第一过滤件过滤后从气体出口排出；其中，所述第二过滤网孔的尺寸大于所述第一过滤网孔的尺寸。

5.根据权利要求4所述的热处理设备的排风装置，其特征在于，所述第一过滤件为两端开口的中空管体，其一端连接所述气体出口，另一端连接所述第二过滤件，所述中空管体的侧壁设置有若干所述第一过滤网孔。

6.根据权利要求5所述的热处理设备的排风装置，其特征在于，所述第二过滤件为四面侧壁和一个底面围成的扇形框体，所述四面侧壁上设置有若干所述第二过滤网孔，所述底面密封第一过滤件用于连接第二过滤件的一端的开口。

7.根据权利要求1所述的热处理设备的排风装置，其特征在于，还包括用于监测所述箱体内液体液位的传感器，所述传感器位于所述箱体内部且靠近箱体底部。

8.根据权利要求7所述的热处理设备的排风装置，其特征在于，还包括用于在箱体内液体液位到达所述传感器时开启以排出所述液体的阀体，所述阀体位于箱体的底部；其中，在所述冷凝单元的下方设有将箱体内液体引流汇集至阀体所在区域的导流台，所述导流台由箱体侧部向所述阀体倾斜向下设置。

9.根据权利要求1所述的热处理设备的排风装置，其特征在于，所述箱体内还设有分隔板，所述箱体通过所述分隔板分割成相邻的第一腔和第二腔，所述冷凝单元设置于第一腔，所述过滤单元设置于第二腔，其中，所述分隔板上设有用于连通所述第一腔和第二腔的开孔。

10.根据权利要求1所述的热处理设备的排风装置，其特征在于，所述箱体上还设有用于对箱体内部进行清洁的可开启的门体，所述门体设置于靠近所述过滤单元的箱体侧部。

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