CN212476872U - 用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置 - Google Patents

Abstract

本申请提出了一种用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置，用于对真空管进行狭缝镀膜，其中，装置包括：陶瓷组件、弹簧、金属固定件，陶瓷组件用于支撑阴极丝，弹簧固定在陶瓷组件底部，金属固定件设置在弹簧上方，用于固定阴极丝。由此，通过陶瓷组件支撑阴极丝，使得阴极丝保持在真空管上下管壁的中心位置，并且金属固定件在弹簧的弹力作用下与阴极丝有较大的摩擦力，保证阴极丝在垂直状态时，陶瓷组件不至于滑落导致阴极丝偏离中心位置而引起短路，避免了真空管在安装中容易出现弯曲等现象，陶瓷组件滑落或错位以引起阴极丝短路，还避免了对于6mm以下尺寸的狭缝真空管镀膜时，出现阴极丝与真空管之间短路，影响对真空管镀膜的技术问题。

Description

用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置

技术领域

本申请涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置。

背景技术

同步辐射光源逐渐向高亮度，低发射度发展，从而要求磁铁孔径尽可能小，这样导致真空管尺寸非常小。此外，为了避免束流引起的同步辐射光直接照射在真空管的管壁，一般在真空管侧面附加有光子通道。然而受到磁铁空间限制，光子通道一般为高度较小的扁平状矩形结构。例如，第四代同步辐射光源的光子通道的高度只有6mm，另外，受到磁铁体积的限制，单根真空管长度一般需要大于1米，这导致真空流导较小。传统上采用离散式真空泵的方式无法获得束流所需真空度，必须在真空管内壁镀一层0.5～2um的吸气剂薄膜提供分布式抽气的能力，以获得更高的真空度。同时，相对于传统不锈钢、无氧铜、铝材等材料，吸气剂薄膜具有较低的光子解析系数，较低的电子解析系数，较低的二次电子发射系数，这些优点使得束流引起的动态气载相对较低，对于正电荷粒子加速器还可以有效抑制电子云效应。

对于尺寸较大的管道内壁镀膜，如大于10mm，一般通过一定方式将阴极丝固定在真空管的中心位置，采用直流磁控溅射方法在真空管内壁镀吸气剂薄膜。但是，采用传统阴极丝固定方式对6mm以下尺寸的狭缝真空管内壁进行镀膜时，会出现阴极丝与真空管之间短路、阴极丝断裂等影响继续镀膜的现象。另外，阴极丝直径一般为1～2mm，真空管变形等，可能导致阴极丝与真空管的管壁之间的距离小于2.5mm，使得等离子体很难起辉放电或者均匀分布于真空盒内部，从而最终导致无法成膜的技术问题。

实用新型内容

本申请旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。

为此，本申请提出一种用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置，以解决现有技术中对于6mm以下尺寸的狭缝真空管进行镀膜时，出现阴极丝与真空管之间短路现象，从而影响对真空管进行镀膜的技术问题。

本申请提出了一种用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置，用于对真空管进行狭缝镀膜，包括：

陶瓷组件，所述陶瓷组件用于支撑阴极丝；

弹簧，所述弹簧固定在陶瓷组件底部；

金属固定件，所述金属固定件设置在所述弹簧上方，用于在所述弹簧的弹力作用下固定所述阴极丝。

可选地，所述金属固定件为内部中空的圆柱体。

可选地，所述金属固定件的外径为2mm。

可选地，所述弹簧的弹力为0.4至0.5N。

可选地，所述弹簧和所述金属固定件均位于所述陶瓷组件内部。

本申请实施例的用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置，应用于对真空管进行狭缝镀膜，包括陶瓷组件、弹簧、金属固定件，陶瓷组件用于支撑阴极丝，弹簧固定在陶瓷组件底部，金属固定件设置在弹簧上方，用于在弹簧的弹力作用下固定阴极丝。由此，通过陶瓷组件支撑阴极丝，使得阴极丝尽量保持在真空管上下管壁的中心位置，并且金属固定件在弹簧的弹力作用下与阴极丝有较大的摩擦力，保证阴极丝在垂直状态时，陶瓷组件不至于滑落导致阴极丝偏离中心位置而引起短路，避免了真空管在安装中容易出现弯曲等现象，陶瓷组件滑落或错位以引起阴极丝短路，还避免了对于6mm以下尺寸的狭缝真空管进行镀膜时，出现阴极丝与真空管之间短路现象，影响对真空管进行镀膜的技术问题。

本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本申请实施例提供的一种用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置的结构示意图。

附图标记说明：

10：阴极丝固定绝缘加紧装置；11：陶瓷组件；12：弹簧；13：金属固定件；14：阴极丝。

具体实施方式

下面详细描述本申请的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。

相关技术中，在采用直流磁控溅射方法对真空管内壁进行镀膜时，采用传统的阴极丝固定方式，可能会出现阴极丝偏离真空管的中心位置，导致阴极丝与真空管之间出现短路，从而影响对真空管继续镀膜。

在采用直流磁控溅射方法对真空管内壁进行镀膜时，需要保证镀膜过程中阴极丝处于真空管的中心位置，避免阴极丝与真空管出现短路的现象，以保证镀膜能够正常进行。基于此，本申请提出了一种用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置，通过陶瓷组件支撑阴极丝，使得阴极丝保持在真空管上下管壁的中心位置，并且金属固定件在弹簧的弹力作用下与阴极丝有较大的摩擦力，在垂直状态时，陶瓷组件不至于滑落导致阴极丝偏离中心位置而引起短路，从而避免了对于6mm以下尺寸的狭缝真空管进行镀膜时，出现阴极丝与真空管之间短路现象，影响对真空管进行镀膜的技术问题。

下面参考附图描述本申请实施例的用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置。

图1为本申请实施例提供的一种用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置的结构示意图。

如图1所示，该阴极丝固定绝缘加紧装置10，用于对真空管进行狭缝镀膜，可以包括：陶瓷组件11、弹簧12以及金属固定件13。

其中，陶瓷组件11用于支撑阴极丝14；弹簧12固定在陶瓷组件11底部；以及金属固定件13设置在弹簧12上方，用于在弹簧12的弹力作用下固定阴极丝14。

本申请中，陶瓷组件11用于支撑阴极丝14，使得阴极丝14尽量保持在真空管上下管壁的中心位置，以使得阴极丝14与真空管管壁的距离保持最大。

可选地，金属固定件13可以为内部中空、外径为2mm的圆柱体。金属固定件13可以设置在弹簧12上方，在弹簧12的弹力作用下使得金属固定件13与阴极丝14之间具有较大的摩擦力，避免了当阴极丝14处于垂直状态时陶瓷组件11脱落，以及在安装过程中保证陶瓷组件11能够处于所需的位置。

可选地，弹簧12的弹力可以控制在0.4N至0.5N左右，以保证金属固定件13与阴极丝14之间具有足够大的摩擦力，同时，当陶瓷组件11由于真空管变形被卡住时，阴极丝14与陶瓷组件11之间能够相对滑动，保证了阴极丝14时刻处于拉直状态。

可选地，弹簧12和金属固定件13均设置于陶瓷组件11内部，弹簧12和金属固定件13不能露在陶瓷组件11外侧，避免与真空管的管壁接触造成短路的情况。并且，陶瓷组件11的最大尺寸可以与真空管内孔尺寸相近，使得阴极丝14尽量保持在真空管上下管壁的中心位置，以使得阴极丝14与真空管管壁的距离保持最大。

可选地，阴极丝14可以为采用3根纯度为99.5％，直径为0.5mm金属丝绕制成1.2mm左右的麻花状。例如，可以采用3根纯度为99.5％，直径为0.5mm的钛(Ti)、锆(Zr)、钒(V)材质的金属丝绕制成阴极丝14。

可选地，在真空管内壁进行镀膜时，可以通过两个法兰固定待镀膜的真空管，并且通过固定在法兰上的螺钉将阴极丝14固定在真空管的中心位置，可以在阴极丝14上每间隔预设距离设置一个阴极丝固定绝缘加紧装置10，保证阴极丝14固定在真空管的中心位置，以防止对真空管内壁进行镀膜过程中阴极丝14与真空管管壁短路，导致无法镀膜的情况。

例如，可以在阴极丝14上每间隔100mm固定一个阴极丝固定绝缘加紧装置10，以保证对真空管内壁镀膜过程中，阴极丝14处于拉紧状态，避免了阴极丝14与真空管之间短路，或者阴极丝14出现断裂等现象导致无法镀膜的情况。

可选地，可以采用直流磁控溅射方法对真空管内壁进行镀膜，其中，溅射镀膜，是指利用带电离子在电场中加速后具有一定动能的特点，将离子定向引导到欲被溅射的靶材上，当入射离子的能量超过一定阈值后，在入射离子与靶材表面原子碰撞的过程中将后者溅射出来，这些被溅射出来的原子或离子带有一定的动能，并沿着一定的方向射向衬底，最终降落在衬底表面并发生能量交换和表面反应，从而实现靶材原子在衬底上的沉积。

可选地，采用直流磁控溅射方法对真空管的内壁进行镀膜时，镀膜工艺参数可以为：沉积温度为80～100℃，流量计的流量为0.5～2sccm，溅射功率为10～25W，气体压强为5～15Pa，磁场强度为500～750Gaus s，沉积时间为4～8h。

需要解释的是，采用直流磁控溅射方法对真空管的内壁进行镀膜时，镀膜参数中的溅射功率为10～25W，气体压强为5～15Pa以及磁场强度为500～750Gaus s，只有溅射功率、气体压强、磁场强度处于上述范围内时，等离子才能稳定放电，才能实现对真空管内壁镀膜。

相对于传统不锈钢、无氧铜、铝材等材料，吸气剂薄膜具有较低的光子解析系数，较低的电子解析系数，较低的二次电子发射系数，通过本申请的狭缝镀膜装置10对真空管的内壁进行镀膜，镀膜后的薄膜能够有效地提高粒子加速器真空度，并降低了二次电子发射系数。

本申请实施例的用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置，用于对真空管进行狭缝镀膜，包括陶瓷组件、弹簧、金属固定件，陶瓷组件用于支撑阴极丝，弹簧固定在陶瓷组件底部，金属固定件设置在弹簧上方，用于在弹簧的弹力作用下固定阴极丝。由此，通过陶瓷组件支撑阴极丝，使得阴极丝尽量保持在真空管上下管壁的中心位置，并且金属固定件在弹簧的弹力作用下与阴极丝有较大的摩擦力，保证阴极丝在垂直状态时，陶瓷组件不至于滑落导致阴极丝偏离中心位置而引起短路，不仅避免了真空管在安装中容易出现弯曲等现象，陶瓷组件滑落或错位以引起阴极丝短路，还避免了对于6mm以下尺寸的狭缝真空管进行镀膜时，出现阴极丝与真空管之间短路现象，影响对真空管进行镀膜的技术问题。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

应当理解，本申请的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行系统执行的软件或固件来实现。如，如果用硬件来实现和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下列技术中的任一项或他们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列(PGA)，现场可编程门阵列(FPGA)等。

本技术领域的普通技术人员可以理解实现上述实施例方法携带的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，该程序在执行时，包括方法实施例的步骤之一或其组合。

此外，在本申请各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理模块中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个模块中。上述集成的模块既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能模块的形式实现。所述集成的模块如果以软件功能模块的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，也可以存储在一个计算机可读取存储介质中。

上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (5)

1.一种用于固定陶瓷的阴极丝固定绝缘加紧装置，用于对真空管进行狭缝镀膜，其特征在于，包括：

陶瓷组件，所述陶瓷组件用于支撑阴极丝；

弹簧，所述弹簧固定在陶瓷组件底部；

金属固定件，所述金属固定件设置在所述弹簧上方，用于在所述弹簧的弹力作用下固定所述阴极丝。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述金属固定件为内部中空的圆柱体。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述金属固定件的外径为2mm。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述弹簧的弹力为0.4N至0.5N。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述弹簧和所述金属固定件均设置于所述陶瓷组件内部。

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