CN212432614U - 一种teos中的微量水分检测用取样装置 - Google Patents

Abstract

一种TEOS中的微量水分检测用取样装置，其特征在于：包括瓶体，所述瓶体的两端分别设置有与瓶体内部相连通的进料管和出料管，所述进料管的进料端和出料管的出料端均套接有阀门，所述瓶体的顶端安装有螺纹分析口，所述螺纹分析口的顶端安装有封闭取样装置。本实用新型取样方便、受污染几率小，能够有效提高检测精度。

Description

一种TEOS中的微量水分检测用取样装置

技术领域

本实用新型属于半导体领域，具体涉及一种TEOS中的微量水分检测用取样装置。

背景技术

正硅酸乙酯(TEOS)用于LPCVD时，TEOS从液态蒸发成气态，在700～750℃、300mTOR压力下分解在硅片表面淀积生成二氧化硅薄膜，二氧化硅薄膜沉积的速率可以达到50à/min，薄膜的厚度均匀性小于3％，这些优良的工艺特性和其在使用安全性方面的显著特点已逐步成为沉积二氧化硅薄膜的主流工艺。

由于高纯正硅酸乙酯材料本身的功能性要求，对其中杂质要求十分苛刻，尤其是对水分的要求需要小于5×10^-6 (质量比，转换为摩尔比为58×10^-6 )以下。

目前通常采用卡尔费休法对高纯正硅酸乙酯中水分含量进行检测，目前在检测中普遍采用取样瓶敞口取样方式，该方式易与空气接触造成污染，导致检测结果误差大，不适用于检测含水量在1-100ppm之间TEOS产品。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术的缺点和不足，提供一种取样方便、受污染几率小，能够有效提高检测精度的TEOS中的微量水分检测用取样装置。

为实现以上目的，本实用新型的技术解决方案是：一种TEOS中的微量水分检测用取样装置，其特征在于：包括瓶体，所述瓶体的两端分别设置有与瓶体内部相连通的进料管和出料管，所述进料管的进料端和出料管的出料端均套接有阀门，所述瓶体的顶端安装有螺纹分析口，所述螺纹分析口的顶端安装有封闭取样装置。

所述封闭取样装置包括旋接在螺纹分析口顶端的瓶盖以及硅胶垫片，所述瓶盖的顶部设置有取样孔，所述硅胶垫片位于瓶盖内并处于取样孔的正下方，硅胶垫片的直径大于取样孔的孔径。

所述阀门为PTFE或PFA卡套式阀门。

所述瓶体的底部设置有支撑脚。

所述瓶体、进料管、出料管和支撑脚为一体成型的透明玻璃制品。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型通过进料管和出料管上的阀门控制TEOS的在瓶体的进出，并通过封闭取样装置来进行取样分析，这样整个取样流程TEOS均处于封闭环境，隔绝了样品与空气的接触，分析时能够得到更低的检出限和更好的重现性，也提高了检测结果的准确性。

2、本实用新型在瓶盖上设置取样孔，并将硅胶垫片安置于瓶盖内，硅胶垫片不仅可以将取样孔遮住，提高装置的气密性，垫片的材质也使得针头取样更加方便。

3、本实用新型中的瓶体、进料管、出料管和支撑脚为一体成型的透明玻璃制品，不仅使得装置更方便清洗，也更方便观察瓶内情况。

附图说明

图1是本实用新型的主视图。

图2是本实用新型的俯视图。

图中：瓶体1，进料管2，出料管3，阀门4，螺纹分析口5，封闭取样装置6，瓶盖7，硅胶垫片8，取样孔9，支撑脚10。

具体实施方式

以下结合附图说明和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

参见图1-图2，一种TEOS中的微量水分检测用取样装置，包括瓶体1，所述瓶体1为圆柱体、两端椭圆形，瓶体1的底部设置有四个支撑脚10，瓶体1的两端分别设置有与瓶体1内部相连通的进料管2和出料管3，所述瓶体1、进料管2、出料管3和支撑脚10为一体成型的透明玻璃制品，所述进料管2的进料端和出料管3的出料端均套接有阀门4，所述阀门4为PTFE或PFA卡套式阀门，进气管2和出料管3余阀门4的连接处采用磨砂处理，所述瓶体1的顶端安装有螺纹分析口5，螺纹分析口5顶端设置有外螺纹，旋接在螺纹分析口5顶端的瓶盖7为塑料材质，瓶盖7内设置有内螺纹，瓶盖7的顶部设置有取样孔9，瓶盖7内设置有一次性硅胶垫片8，所述硅胶垫片8并处于取样孔9的正下方，硅胶垫片8的直径大于取样孔9的孔径。

本实用新型使用时按以下步骤操作：

1）组装：将取样装置按图1和图2组装好，硅胶垫片8放入瓶盖7内，再将瓶盖7与螺纹分析口5拧紧；

2）检漏：将组装好的取样装置一端与高纯氮气（氮气压力不大于0.2MPa）连接，吹扫，先关闭进料管2端阀门4，听有无漏气声音，若无，则打开进料管2端阀门4，关闭出料管3端阀门4，再次听有无漏气声音，如无，则表明装置不漏气，此时关闭进料管2端阀门4，准备取样；

3）取样：将取样装置两端的阀门4与取样处连接，打开阀门4使用高纯氮气吹扫10分钟，排尽瓶内空气；打开样品入口端阀门，使样品进入取样装置中，并排尽瓶内气泡，待液体充满装置后，用高纯氮气吹走，重复3次；待样品液体再次充满后，先关闭出料管3端阀门4，然后关闭进料管2端阀门4；

4）清洗：检测完成后，将两端阀门4拆下，用高纯氮气吹干即可；玻璃瓶体用水冲洗干净于90±5℃烘干两小时，取出冷却后即可投入下次使用。

Claims (5)

1.一种TEOS中的微量水分检测用取样装置，其特征在于：包括瓶体（1），所述瓶体（1）的两端分别设置有与瓶体（1）内部相连通的进料管（2）和出料管（3），所述进料管（2）的进料端和出料管（3）的出料端均套接有阀门（4），所述瓶体（1）的顶端安装有螺纹分析口（5），所述螺纹分析口（5）的顶端安装有封闭取样装置（6）。

2.根据权利要求1所述的一种TEOS中的微量水分检测用取样装置，其特征在于：所述封闭取样装置（6）包括旋接在螺纹分析口（5）顶端的瓶盖（7）以及硅胶垫片（8），所述瓶盖（7）的顶部设置有取样孔（9），所述硅胶垫片（8）位于瓶盖（7）内并处于取样孔（9）的正下方，硅胶垫片（8）的直径大于取样孔（9）的孔径。

3.根据权利要求1所述的一种TEOS中的微量水分检测用取样装置，其特征在于：所述阀门（4）为PTFE或PFA卡套式阀门。

4.根据权利要求1所述的一种TEOS中的微量水分检测用取样装置，其特征在于：所述瓶体（1）的底部设置有支撑脚（10）。

5.根据权利要求4所述的一种TEOS中的微量水分检测用取样装置，其特征在于：所述瓶体（1）、进料管（2）、出料管（3）和支撑脚（10）为一体成型的透明玻璃制品。

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