CN212364792U - 一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器，包括安装壳，所述安装壳内腔左侧的顶部和底部均固定连接有固定架，两个固定架之间活动连接有驱动器本体，所述安装壳的顶部设置有散热机构，所述安装壳内腔的右侧开设有凹槽，所述凹槽内腔的顶部通过轴承活动连接有螺纹杆。本实用新型通过将驱动器本体放置于两个固定架之间，转动旋钮，旋钮最终带动移动板和紧固架向驱动器本体移动，对驱动器本体进行紧固，即达到了便于安装的目的，该用于晶圆曝光检测设备的驱动器具备便于安装的优点，安装操作简单，拆卸便捷，无需通过螺栓打孔安装，省时省力，并且具备防尘散热功能，提高了其实用性。

Description

一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器

技术领域

本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。

晶圆在制造时需要进行晶圆曝光检测，晶圆曝光检测设备中安装有驱动器，目前用于晶圆曝光检测设备的驱动器一般采用螺栓与设备进行安装，安装繁琐，拆卸不便，并且不具备防尘的功能，实用性较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器，具备便于安装的优点，解决了目前用于晶圆曝光检测设备的驱动器一般采用螺栓与设备进行安装，安装繁琐，拆卸不便，并且不具备防尘的功能，实用性较低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器，包括安装壳，所述安装壳内腔左侧的顶部和底部均固定连接有固定架，两个固定架之间活动连接有驱动器本体，所述安装壳的顶部设置有散热机构，所述安装壳内腔的右侧开设有凹槽，所述凹槽内腔的顶部通过轴承活动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底部贯穿至安装壳的底部并固定连接有旋钮，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套，所述安装壳的内腔设置有限位机构，所述限位机构的前侧设置有连杆，所述安装壳的内腔设置有紧固机构，所述安装壳内腔的顶部设置有支撑机构。

优选的，所述散热机构包含有多个等间距开设于安装壳顶部的散热孔，所述安装壳的顶部固定连接有防尘网，所述防尘网位于多个散热孔的上方。

优选的，所述限位机构包含有固定于安装壳内腔的滑杆，所述滑杆的表面滑动连接有滑套，所述滑套的右侧与螺纹套固定连接，所述滑套的前侧通过转轴与连杆活动连接。

优选的，所述紧固机构包含有活动连接于安装壳内腔的移动板，所述移动板的右侧通过转轴与连杆活动连接，所述移动板左侧的顶部和底部均固定连接有紧固架，所述紧固架的内侧与驱动器本体活动连接。

优选的，所述支撑机构包含有开设于安装壳内腔顶部的T形槽，所述T形槽的内腔滑动连接有T形块，所述T形块的底部与移动板固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过将驱动器本体放置于两个固定架之间，转动旋钮，旋钮最终带动移动板和紧固架向驱动器本体移动，对驱动器本体进行紧固，即达到了便于安装的目的，该用于晶圆曝光检测设备的驱动器具备便于安装的优点，安装操作简单，拆卸便捷，无需通过螺栓打孔安装，省时省力，并且具备防尘散热功能，提高了其实用性，解决了目前用于晶圆曝光检测设备的驱动器一般采用螺栓与设备进行安装，安装繁琐，拆卸不便，并且不具备防尘的功能，实用性较低的问题。

2、本实用新型通过散热机构的设置，散热孔对安装壳的内腔起到了辅助散热的作用，防尘网对安装壳实现了防尘的功能，避免灰尘进入到安装壳的内腔，通过限位机构的设置，螺纹套上下移动时带动滑套在滑杆的表面滑动，进而使得滑杆和滑套对螺纹套起到了限位作用，避免螺纹套跟随螺纹杆转动，通过支撑机构的设置，T形块在T形槽的内腔中滑动，对移动板起到了支撑和限位作用，提高了移动板移动时的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型的主视剖面图；

图3为本实用新型支撑机构的右视剖面图。

图中：1、安装壳；2、固定架；3、驱动器本体；4、散热机构；41、散热孔；42、防尘网；5、凹槽；6、螺纹杆；7、旋钮；8、螺纹套；9、限位机构；91、滑杆；92、滑套；10、连杆；11、紧固机构；111、移动板；112、紧固架；12、支撑机构；121、T形槽；122、T形块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器，包括安装壳1，安装壳1内腔左侧的顶部和底部均固定连接有固定架2，两个固定架2之间活动连接有驱动器本体3，安装壳1的顶部设置有散热机构4，散热机构4包含有多个等间距开设于安装壳1顶部的散热孔41，安装壳1的顶部固定连接有防尘网42，防尘网42位于多个散热孔41的上方，通过散热机构4的设置，散热孔41对安装壳1的内腔起到了辅助散热的作用，防尘网42对安装壳1实现了防尘的功能，避免灰尘进入到安装壳1的内腔，安装壳1内腔的右侧开设有凹槽5，凹槽5内腔的顶部通过轴承活动连接有螺纹杆6，螺纹杆6的底部贯穿至安装壳1的底部并固定连接有旋钮7，螺纹杆6的表面螺纹连接有螺纹套8，安装壳1的内腔设置有限位机构9，限位机构9的前侧设置有连杆10，限位机构9包含有固定于安装壳1内腔的滑杆91，滑杆91的表面滑动连接有滑套92，滑套92的右侧与螺纹套8固定连接，滑套92的前侧通过转轴与连杆10活动连接，通过限位机构9的设置，螺纹套8上下移动时带动滑套92在滑杆91的表面滑动，进而使得滑杆91和滑套92对螺纹套8起到了限位作用，避免螺纹套8跟随螺纹杆6转动，安装壳1的内腔设置有紧固机构11，紧固机构11包含有活动连接于安装壳1内腔的移动板111，移动板111的右侧通过转轴与连杆10活动连接，移动板111左侧的顶部和底部均固定连接有紧固架112，紧固架112的内侧与驱动器本体3活动连接，安装壳1内腔的顶部设置有支撑机构12，支撑机构12包含有开设于安装壳1内腔顶部的T形槽121，T形槽121的内腔滑动连接有T形块122，T形块122的底部与移动板111固定连接，通过支撑机构12的设置，T形块122在T形槽121的内腔中滑动，对移动板111起到了支撑和限位作用，提高了移动板111移动时的稳定性。

工作原理：本实用新型使用时，使用者通过将安装壳1与设备进行固定，对驱动器本体3进行安装时，首先将驱动器本体3放置于两个固定架2之间，再转动旋钮7，旋钮7带动螺纹杆6转动，螺纹杆6在滑杆91和滑套92的限位作用下通过螺纹带动螺纹套8向下移动，螺纹套8带动滑套92在滑杆91的表面向下滑动，滑套92带动连杆10的一端同步向下移动，使得连杆10的另一端在T形槽121和T形块122的限位作用下推动移动板111向驱动器本体3靠近，使得紧固架112对驱动器本体3进行紧固，即达到了便于安装的目的。

综上所述：该用于晶圆曝光检测设备的驱动器，通过将驱动器本体3放置于两个固定架2之间，转动旋钮7，旋钮7最终带动移动板111和紧固架112向驱动器本体3移动，对驱动器本体3进行紧固，即达到了便于安装的目的，该用于晶圆曝光检测设备的驱动器具备便于安装的优点，安装操作简单，拆卸便捷，无需通过螺栓打孔安装，省时省力，并且具备防尘散热功能，提高了其实用性，解决了目前用于晶圆曝光检测设备的驱动器一般采用螺栓与设备进行安装，安装繁琐，拆卸不便，并且不具备防尘的功能，实用性较低的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器，包括安装壳，其特征在于：所述安装壳内腔左侧的顶部和底部均固定连接有固定架，两个固定架之间活动连接有驱动器本体，所述安装壳的顶部设置有散热机构，所述安装壳内腔的右侧开设有凹槽，所述凹槽内腔的顶部通过轴承活动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的底部贯穿至安装壳的底部并固定连接有旋钮，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套，所述安装壳的内腔设置有限位机构，所述限位机构的前侧设置有连杆，所述安装壳的内腔设置有紧固机构，所述安装壳内腔的顶部设置有支撑机构。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器，其特征在于：所述散热机构包含有多个等间距开设于安装壳顶部的散热孔，所述安装壳的顶部固定连接有防尘网，所述防尘网位于多个散热孔的上方。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器，其特征在于：所述限位机构包含有固定于安装壳内腔的滑杆，所述滑杆的表面滑动连接有滑套，所述滑套的右侧与螺纹套固定连接，所述滑套的前侧通过转轴与连杆活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器，其特征在于：所述紧固机构包含有活动连接于安装壳内腔的移动板，所述移动板的右侧通过转轴与连杆活动连接，所述移动板左侧的顶部和底部均固定连接有紧固架，所述紧固架的内侧与驱动器本体活动连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆曝光检测设备的驱动器，其特征在于：所述支撑机构包含有开设于安装壳内腔顶部的T形槽，所述T形槽的内腔滑动连接有T形块，所述T形块的底部与移动板固定连接。

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