CN212272494U - 一种低温泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种低温泵，涉及低温真空技术设备领域。该低温泵包括壳体、障板、连接杆、驱动杆和驱动组件，壳体上设有供气体进入的第一开口，障板包括多个导流板，多个导流板间隔设于第一开口处，且导流板能够绕第一开口转动，连接杆与多个导流板转动连接，驱动杆的一端与连接杆转动连接并能带动连接杆沿多个导流板的排布方向移动，驱动组件与驱动杆的另一端连接，驱动组件被配置为驱动驱动杆运动。该低温泵通过驱动组件驱动驱动杆运动，从而带动连接杆移动以驱动导流板沿第一开口转动，实现角度的调节，达到改变壳体的第一开口处的进风量的目的，实现低温泵抽速的调节。

Description

一种低温泵

技术领域

本实用新型涉及低温真空技术设备领域，具体涉及一种低温泵。

背景技术

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板，冷板使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。在低温泵的开口处设有供气体通过的障板，其能够通过控制气体输入泵体内的量减少低温泵的功率损耗，也直接影响了低温泵的冷凝和吸附效果。目前，常用的障板为百叶窗结构，但由于障板为固定式结构，当需要改变低温泵抽速时需更换不同角度的障板，更换拆装极为不便。

基于此，亟需一种低温泵，用以解决如上提到的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种低温泵，能够自动调节障板的角度，从而实现对低温泵抽速的调节。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种低温泵，包括壳体，所述壳体上设有供气体进入的第一开口，还包括：

障板，所述障板包括多个导流板，多个所述导流板间隔设于所述第一开口处，且所述导流板能够绕所述第一开口转动；

连接杆，所述连接杆与多个所述导流板转动连接；

驱动杆，所述驱动杆的一端与所述连接杆转动连接并能带动所述连接杆沿多个所述导流板的排布方向移动；

驱动组件，所述驱动组件与所述驱动杆的另一端连接，所述驱动组件被配置为驱动所述驱动杆运动。

可选地，所述驱动组件包括驱动电机、由所述驱动电机驱动转动的齿轮与所述齿轮啮合的齿条，所述齿条固定连接于所述驱动杆未连接所述连接杆的一端。

可选地，所述驱动组件还包括固定架，所述固定架上设有通孔，所述齿条可移动地置于所述通孔内。

可选地，所述固定架上设有避让口，所述避让口与所述通孔连通，所述齿轮在所述避让口与所述通孔的连通处与所述齿条啮合。

可选地，所述低温泵还包括支撑架，所述支撑架安装于所述第一开口处，多个所述导流板均转动连接于所述支撑架，所述驱动组件安装于所述支撑架上。

可选地，所述低温泵还包括辐射冷屏，所述辐射冷屏设于所述壳体内，所述辐射冷屏设有第二开口，所述第二开口与所述第一开口平齐，所述支撑板安装于所述第二开口处。

可选地，所述低温泵还包括制冷机，所述制冷机一端依次穿过所述壳体和所述辐射冷屏位于所述辐射冷屏内。

可选地，所述低温泵还包括连接部，所述连接部与所述连接杆的中部固定连接，所述连接部与所述驱动杆转动连接。

可选地，多个所述导流板沿所述壳体的轴向对称设为两组，所述连接杆、所述驱动杆和所述驱动组件均分别设有两个，每个所述连接杆、所述驱动杆和所述驱动组件均对应一组所述导流板。

可选地，多个所述导流板平行间隔设置。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的一种低温泵，该低温泵通过在壳体的第一开口处设置障板，障板包括多个间隔设置的导流板以对进入壳体内的空气进行导流，导流板能够绕第一开口转动，连接杆与多个导流板转动连接以将多个导流板连接为整体实现同步转动，驱动杆的一端与连接杆转动连接并能带动连接杆沿多个导流板的排布方向移动，驱动组件与驱动杆的另一端连接，驱动组件被配置为驱动驱动杆运动，通过驱动组件驱动驱动杆运动，从而带动连接杆移动以驱动导流板沿第一开口转动，实现障板角度的自动调节，达到改变第一开口处进风量的目的，从而实现低温泵抽速的调节。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的低温泵的整体剖视结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的低温泵的驱动组件的放大结构示意图。

图中：

1、壳体；11、第一开口；2、导流板；3、连接杆；4、驱动杆；5、驱动组件；51、驱动电机；52、齿轮；53、齿条；54、固定架；541、通孔；542、避让口；6、连接部；7、支撑架；8、辐射冷屏；81、第二开口；9、制冷机；10、冷板。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。

除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图1所示，本实施例公开的低温泵包括壳体1、障板、连接杆3、驱动杆4和驱动组件5，壳体1与障板、连接杆3、驱动杆4和驱动组件5均连接。具体地，壳体1上设有供气体进入的第一开口11。障板包括多个导流板2，多个导流板2间隔设于第一开口11处，且导流板2能够绕第一开口11转动以实现导流板2的角度调节。连接杆3与多个导流板2转动连接。驱动杆4的一端与连接杆3转动连接并能带动连接杆3沿多个导流板2的排布方向移动，以实现带动多个导流板2沿第一开口11旋转。驱动组件5与驱动杆4的另一端连接，驱动组件5被配置为驱动驱动杆4运动，以带动连接杆3推动导流板2转动实现角度的自动调节。

可选地，壳体1呈圆筒形，壳体1的顶部设有呈圆形的第一开口11(即低温泵的吸气口)，壳体1的底部带有插入孔。

可选地，导流板2具体为百窗结构，主要对第一开口11处的气体导流、限流作用。多个导流板2平行间隔设置于第一开口11处，也可将多个导流板2沿壳体1的轴向对称设为两组，两组导流板2分别独立控制。

可选地，连接杆3设于壳体1内，用于将多个导流板2连接成一个整体，以实现对多个导流板2同步调节的目的。示例性地，每个导流板2远离第一开口11的一侧设有安装口，连接杆3转动安装于多个安装口内实现对多个导流板2的连接。

驱动杆4设于壳体1内，且位于连接杆3的下方。为便于驱动杆4驱动连接杆3移动，驱动杆4与连接杆3设于同一平面上，且驱动杆4相对连接杆3倾斜设置。本实施例中，驱动杆4连接连接杆3的一端朝向第一开口11倾斜，驱动杆4远离连接杆3的一端朝向壳体1底部倾斜。在其他实施例中，也可将驱动杆4设为其他倾斜方式，不以本实施例为限。

为便于连接杆3与驱动杆4的连接，该低温泵还包括连接部6，连接部6与连接杆3的中部固定连接，连接部6与驱动杆4转动连接。

可选地，驱动组件5包括驱动电机51、由驱动电机51驱动转动的齿轮52和与齿轮52啮合的齿条53，齿条53固定连接于驱动杆4未连接连接杆3的一端，齿轮52与驱动电机51的输出端连接。通过齿轮52的转动带动齿条53移动，从而带动驱动杆4、连接杆3移动，最后推动或拉动多个导流板2沿第一开口11转动，实现障板角度的自动调节，以改变第一开口11处的进风量，从而实现低温泵抽速的调节。

可选地，驱动组件5还包括固定架54，固定架54上设有通孔541，齿条53可移动地置于通孔541内。固定架54用于支撑齿条53和齿轮52的移动。固定架54上设有避让口542，避让口542与通孔541连通，齿轮52在避让口542与通孔541的连通处与齿条53啮合。运动时，齿轮52带动齿条53始终在通孔541内移动。可以理解的是，通孔541具有足够大的直径，以便于齿条53在被连接杆3带动上下转动时，通孔541有足够的转动空间以实现对导流板2角度的自动调节。

需要说明的是，由于实际使用中，对于导流板2角度的调节范围很小，一般在六十度与四十五度之间的转换，故在调节过程中，齿条53随驱动杆4上下旋转的量能够依靠齿轮52与齿条53间的啮合间隙满足而不会出现锁死的状况，即在导流板2完成角度调节前，齿轮52与齿条53可相对啮合运动。

进一步地，为便于齿条53的移动，在通孔541内固定有滑轨，齿条53沿滑轨移动以减少摩擦力。

可选地，低温泵还包括支撑架7，支撑架7安装于第一开口11处，多个导流板2均转动连接于支撑架7，驱动组件5安装于支撑架7上。示例性地，支撑架7为圆形框架，安装于第一开口11处，导流板2两端转动安装于支撑架7上。在支撑架7一端设有安装支板，驱动电机51与固定架54均安装支板上。

可选地，当多个导流板2平行间隔设置于第一开口11处时，连接杆3、驱动杆4和驱动组件5均设有一个，以对多个导流板2同时进行角度调节；当多个导流板2沿壳体1的轴向对称设为两组时，连接杆3、驱动杆4和驱动组件5均分别设有两个，每个连接杆3、驱动杆4和驱动组件5均对应一组导流板2，以实现分别对两组导流板2的角度调节。

可以理解的是，本实施例中驱动组件5是通过齿轮52与齿条53啮合的方式驱动驱动杆4来回移动，从而带动连接杆3移动以实现导流板2角度的调节。在其他实施例中，也可设置驱动电机51与驱动杆4连接，由驱动电机51驱动驱动杆4未连接连接杆3的一端上下转动，从而带动连接杆3移动以实现导流板2角度的调节。

可选地，低温泵还包括辐射冷屏8，辐射冷屏8设于壳体1内，以将壳体1的辐射热隔绝。辐射冷屏8设有第二开口81，第二开口81与第一开口11平齐，导流板2位于第二开口81处。

可选地，低温泵还包括制冷机9，制冷机9一端依次穿过壳体1底部的插入孔和辐射冷屏8位于辐射冷屏8内。本实施例选用GM制冷机。

可选地，低温泵还包括冷板10，冷板10安装于制冷机9位于辐射冷屏8内的一端，冷板10设有多个，多个冷板10间隔设于制冷机9一端。

本实用新型提供的低温泵，通过在壳体1的第一开口11处设置障板，障板包括多个间隔设置的导流板2以对进入壳体1内的空气进行导流，导流板2能够绕第一开口11转动，连接杆3与多个导流板2转动连接以将多个导流板2连接为整体实现同步转动，驱动杆4的一端与连接杆3转动连接并能带动连接杆3沿多个导流板2的排布方向移动，驱动组件5与驱动杆4的另一端连接，驱动组件5被配置为驱动驱动杆4运动，通过驱动组件5驱动驱动杆4运动，从而带动连接杆3移动以驱动导流板2沿第一开口11转动，实现障板角度的自动调节，达到改变第一开口11处进风量的目的，从而实现低温泵抽速的调节。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种低温泵，包括壳体(1)，所述壳体(1)上设有供气体进入的第一开口(11)，其特征在于，还包括：

障板，所述障板包括多个导流板(2)，多个所述导流板(2)间隔设于所述第一开口(11)处，且所述导流板(2)能够绕所述第一开口(11)转动；

连接杆(3)，所述连接杆(3)与多个所述导流板(2)转动连接；

驱动杆(4)，所述驱动杆(4)的一端与所述连接杆(3)转动连接并能带动所述连接杆(3)沿多个所述导流板(2)的排布方向移动；

驱动组件(5)，所述驱动组件(5)与所述驱动杆(4)的另一端连接，所述驱动组件(5)被配置为驱动所述驱动杆(4)运动。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，所述驱动组件(5)包括驱动电机(51)、由所述驱动电机(51)驱动转动的齿轮(52)和与所述齿轮(52)啮合的齿条(53)，所述齿条(53)固定连接于所述驱动杆(4)未连接所述连接杆(3)的一端。

3.根据权利要求2所述的低温泵，其特征在于，所述驱动组件(5)还包括固定架(54)，所述固定架(54)上设有通孔(541)，所述齿条(53)可移动地置于所述通孔(541)内。

4.根据权利要求3所述的低温泵，其特征在于，所述固定架(54)上设有避让口(542)，所述避让口(542)与所述通孔(541)连通，所述齿轮(52)在所述避让口(542)与所述通孔(541)的连通处与所述齿条(53)啮合。

5.根据权利要求1-4任一项所述的低温泵，其特征在于，所述低温泵还包括支撑架(7)，所述支撑架(7)位于所述第一开口(11)处，多个所述导流板(2)均转动连接于所述支撑架(7)，所述驱动组件(5)安装于所述支撑架(7)上。

6.根据权利要求5所述的低温泵，其特征在于，所述低温泵还包括辐射冷屏(8)，所述辐射冷屏(8)设于所述壳体(1)内，所述辐射冷屏(8)设有第二开口(81)，所述第二开口(81)与所述第一开口(11)平齐，所述支撑架(7)安装于所述第二开口(81)处。

7.根据权利要求6所述的低温泵，其特征在于，所述低温泵还包括制冷机(9)，所述制冷机(9)一端依次穿过所述壳体(1)和所述辐射冷屏(8)位于所述辐射冷屏(8)内。

8.根据权利要求1-4任一项所述的低温泵，其特征在于，所述低温泵还包括连接部(6)，所述连接部(6)与所述连接杆(3)的中部固定连接，所述连接部(6)与所述驱动杆(4)转动连接。

9.根据权利要求1-4任一项所述的低温泵，其特征在于，多个所述导流板(2)沿所述壳体(1)的轴向对称设为两组，所述连接杆(3)、所述驱动杆(4)和所述驱动组件(5)均分别设有两个，每个所述连接杆(3)、所述驱动杆(4)和所述驱动组件(5)均对应一组所述导流板(2)。

10.根据权利要求1-4任一项所述的低温泵，其特征在于，多个所述导流板(2)平行间隔设置。

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