CN212239722U - 一种升降联动装置以及真空焊接设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种升降联动装置以及真空焊接设备。升降联动装置包括：支撑结构，包括支撑座以及连接支撑座的载物架，载物架用于承托目标物；驱动结构，连接支撑座且用于驱动支撑座上升或下降，载物架随支撑座同步移动。阀门结构，包括隔热板，隔热板的一侧板面平行开口所确定的平面；以及杠杆结构，包括与机台板转动连接的轴连杆、滑动连接轴连杆一端的主动臂以及滑动连接轴连杆另一端的从动臂，主动臂连接支撑座并随支撑座同步移动以驱动轴连杆转动，并使轴连杆驱动从动臂上升或下降。本实用新型通过设置一个驱动结构而实现料片和隔热板的联动，节约成本，稳定性高。

Description

一种升降联动装置以及真空焊接设备

技术领域

本实用新型涉及属于真空焊接技术领域，尤其涉及一种升降联动装置以及真空焊接设备。

背景技术

目前，在对半导体料片加热的过程中，半导体料片抬升机构与加热腔开口处的挡板门启闭机构分别由两个独立的驱动机构控制。即一个驱动机构驱动抬升机构使料片于加热腔内下降或上升；而另一个驱动机构驱动挡板门关闭开口或开启开口。其中，挡板门的开启或关闭，以电磁阀和气缸组合，或电机导轨机构组合为主。

但是，设置两个独立的控制驱动机构，导致成本过高。而且气缸组合稳定性能差并噪音大，还受环境影响大，耐温性差，不宜应用在温度较高的工位。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种升降联动装置，旨在解决如何降低升降联动装置的成本并提高其稳定性的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种升降联动装置，与加热结构配合使用，其中，所述加热结构用于对目标物进行加热且包括机台板、设置于机台板上的发热块以及设有发热腔并连接所述机台板的机盖，所述发热腔具有开口，所述开口的朝向水平设置，所述发热块与所述目标物均位于所述发热腔，所述升降联动装置包括：

支撑结构，包括支撑座以及连接所述支撑座的载物架，所述载物架用于承托所述目标物；

驱动结构，连接所述支撑座且用于驱动所述支撑座上升或下降，所述载物架随所述支撑座同步移动，且所述载物架在下降过程中将所述目标物释放于所述发热块，并在上升过程中将所述目标物抬离所述发热块；

阀门结构，包括隔热板，所述隔热板的一侧板面平行所述开口所确定的平面；以及

杠杆结构，包括与所述机台板转动连接的轴连杆、滑动连接所述轴连杆一端的主动臂以及滑动连接所述轴连杆另一端的从动臂，所述主动臂连接所述支撑座并随所述支撑座同步移动以驱动所述轴连杆转动，并使所述轴连杆驱动所述从动臂上升或下降，所述从动臂在上升过程中驱动所述隔热板关闭所述开口，并在下降过程中驱动所述隔热板打开所述开口。

在一个实施例中，所述主动臂包括连接所述支撑座的主上导块、连接所述主上导块且开设有第一滑槽的主下导块、滑动设置于所述第一滑槽内的主轴承以及连接所述主轴承与所述轴连杆的第一转轴。

在一个实施例中，所述从动臂包括连接所述隔热板的从上导块、连接所述从上导块且开设有第二滑槽的从下导块、滑动设置于所述第二滑槽内的从轴承以及连接所述从轴承与所述轴连杆的第二转轴。

在一个实施例中，所述杠杆结构还包括连接所述机台板下表面的轴承座和一端连接所述轴连杆而另一端转动连接所述轴承座的第三转轴。

在一个实施例中，所述驱动结构包括驱动器以及升降机构，所述升降机构包括底板、与所述底板相对设置的升降板、位于所述底板与所述升降板之间且转动连接所述底板的凸轮转轴以及连接所述凸轮转轴的主动轮，所述主动轮呈偏心轮设置，且所述主动轮抵接所述升降板朝下设置的板面，所述支撑座连接于所述升降板朝上设置的板面，所述驱动器用于驱动所述凸轮转轴旋转，以使所述主动轮带动所述升降板往复升降。

在一个实施例中，所述升降板开设有通孔，所述升降机构还包括转接于所述升降板并于所述通孔处与所述主动轮抵接配合的随动轮；所述升降机构还包括用于引导所述升降板上下移动的导向组件，所述导向组件包括连接所述底板的导向柱和连接所述升降板并与所述导向柱配合的导向套。

在一个实施例中，所述支撑座包括两间隔设置的支撑杆、均连接所述升降板的两高度调节座、两端分别连接两所述支撑杆且用于支撑所述载物架的支撑横梁以及两端分别连接两所述支撑杆且与所述支撑横梁间隔设置的固定板，两所述支撑杆分别连接两所述高度调节座，且所述高度调节座用于调节所述支撑杆的高度。

在一个实施例中，所述阀门结构还包括连接板、用于连接所述隔热板与所述连接板的固定侧板、分别位于所述连接板两端的两阀门导杆以及连接所述机台板的两轴承导座，两所述轴承导座分别用于引导两所述阀门导杆的上下移动。

在一个实施例中，所述开口相对开设有两个，所述载物架包括穿设两所述开口且用于承托所述目标物的传送杆以及连接所述传送杆两端的两固定杆，所述传送杆间隔设置有多个且各所述传送杆的两端分别连接两所述固定杆。

本实用新型的另一目的还在于提供一种真空焊接设备，其包括如上所述的升降联动装置。

本实用新型的有益效果在于：通过驱动结构驱动支撑座上升或下降，从而使主动臂随支撑座的上升而上升，并随支撑座的下降而下降；根据杠杆原理，从动臂的移动方向与主动臂相反，且从动臂在上升过程中驱动隔热板关闭开口，从动臂在下降过程中驱动隔热板打开开口，从而通过设置一个驱动结构而实现料片和隔热板的联动，节约了成本，且杠杆结构具有结构简单、稳定性高的特点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的升降联动装置的立体结构图；

图2是图1的升降联动装置的阀门结构的立体示意图；

图3是图1的升降联动装置的杠杆结构的爆炸图；

图4是图1的升降联动装置的支撑结构的立体示意图；

图5是图1的升降联动装置的驱动结构的立体示意图。

其中，图中各附图标记：

100、升降联动装置；10、加热结构；11、发热块；12、机盖；13、机台板；131、升降槽；101、料片；111、第一避让槽；20、支撑结构；21、载物架；22、支撑座；50、杠杆结构；30、驱动结构；31、驱动器；32、电机安装板；33、底板；34、凸轮转轴；35、主动轮；36、随动轮；37、升降板；38、升降机构； 39、轴承凸轮座；40、阀门结构；41、隔热板；221、支撑横梁；222、固定板；223、支撑杆；224、高度调节座；225、支撑块；211、传送杆；212、固定杆； 303、导向组件；301、导向套；302、导向柱；42、固定侧板；43、连接板；44、阀门导杆；45、轴承导座；46、缓冲块；411、第二避让槽；51、主动臂；52、轴连杆；53、从动臂；54、轴承座；511、主上导块；513、主下导块；512、主轴承；514、第一滑槽；515、第一转轴；531、从上导块；532、从下导块；533、从轴承；535、第二转轴；534、第二滑槽；541、第三转轴；542、锁紧块；121、发热腔；122、开口。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请参阅图1及图3，本实用新型实施例提供了一种升降联动装置100，其与加热结构10配合使用，其中，加热结构10用于对目标物进行加热，可选地，本实施例中目标物为半导体材料制成的料片101。加热结构10包括固定设置的机台板13、设置于机台板13上且导电状态下产生热量的发热块11以及设有发热腔121并连接机台板13的机盖12，发热腔121具有开口122，开口122的朝向水平设置，发热块11与料片101均位于发热腔121。升降联动装置100包括支撑结构20、阀门结构40、驱动结构30以及杠杆结构50。支撑结构20包括支撑座22以及连接支撑座22的载物架21，载物架21用于承托料片101。可选地，载物架21可以完全位于发热腔121，或载物架21的一端从开口122处伸入发热腔121而承托料片101。驱动结构30连接支撑座22且用于驱动支撑座 22上升或下降，载物架21随支撑座22同步上下移动，且载物架21在下降过程中将料片101释放于发热块11，并在上升过程中将料片101抬离发热块11。阀门结构40包括隔热板41，隔热板41的一侧板面平行开口122所确定的平面，即隔热板41相邻开口122设置。杠杆结构50包括与机台板13的下板面转动连接的轴连杆52、滑动连接轴连杆52一端的主动臂51以及滑动连接轴连杆52 另一端的从动臂53，主动臂51连接支撑座22并随支撑座22的上升而上升，并随支撑座22的下降而下降。同时主动臂51驱动轴连杆52转动，从而使轴连杆52带动从动臂53上升或下降，可以理解的是，根据杠杆原理，从动臂53 的运动方向与主动臂51的运动方向相反。从动臂53在上升过程中驱动隔热板 41关闭开口122，并在下降过程中驱动隔热板41打开开口122。可选地，机台板13上开设有升降槽131，主动臂51和支撑座22通过升降槽131分别连接隔热板41和载物架21，且主动臂51和支撑座22间隔设置。

通过驱动结构30驱动支撑座22上升或下降，从而使主动臂51随支撑座 22的上升而上升，并随支撑座22的下降而下降；根据杠杆原理，从动臂53的移动方向与主动臂51相反，且从动臂53在上升过程中驱动隔热板41关闭开口 122，从动臂53在下降过程中驱动隔热板41打开开口122，从而通过设置一个驱动结构30而实现料片101和隔热板41的联动，节约了成本，且杠杆结构50 具有结构简单、稳定性高的特点，且杠杆结构50使料片101的抬升及开口122 的启闭响应更为快速。

请参阅图3及图5，在一个实施例中，主动臂51包括连接支撑座22的主上导块511、连接主上导块511且开设有第一滑槽514的主下导块513、滑动设置于第一滑槽514内的主轴承512以及连接主轴承512与轴连杆52的第一转轴 515。可选地，第一滑槽514的延伸路径水平设置，将主轴承512限位锁紧于第一滑槽514内，通过主轴承512的上升或下降带动轴连杆52转动。

在一个实施例中，从动臂53包括连接隔热板41的从上导块531、连接从上导块531且开设有第二滑槽534的从下导块532、滑动设置于第二滑槽534 内的从轴承533以及连接从轴承533与轴连杆52的第二转轴535。可选地，第二滑槽534的延伸路径水平设置，将从轴承533设置在第二滑槽534内，通过从轴承533的升降而带动从上导块531上下移动，从而实现隔热板41的升降运动。

在一个实施例中，杠杆结构50还包括连接机台板13下表面的轴承座54、一端连接轴连杆52而另一端转动连接轴承座54的第三转轴541。第三转轴541 通过锁紧块542而连接轴承座54，使轴连杆52通过第三转轴541而绕轴承座 54转动。

请参阅图4及图5，在一个实施例中，驱动结构30包括驱动器31以及升降机构38，升降机构38包括底板33、与底板33相对设置的升降板37、位于底板33与升降板37之间且转动连接底板33的凸轮转轴34以及连接凸轮转轴 34的主动轮35，主动轮35呈偏心轮设置，且主动轮35抵接升降板37朝下设置的板面，支撑座22连接于升降板37朝上设置的板面。可选地，驱动器31 与凸轮转轴34之间通过联轴器连接，驱动器31的旋转动力经联轴器而传递至凸轮转轴34，主动轮35随凸轮转轴34而旋转并带动升降板37往复升降。可选地，凸轮转轴34通过轴承凸轮座39而与升降板37转接，而驱动器31通过电机安装座而安装在底板33

在一个实施例中，升降板37开设有通孔，升降机构38还包括转接于升降板37并于通孔处与主动轮35抵接配合的随动轮36；通过主动轮35与随动轮 36的抵接配合，从而可以实现升降板37的上下移动，而且随动轮36与主动轮 35之间滚动连接，还降低主动轮35与随动轮36之间的摩擦损耗。

请参阅图4及图5，升降机构38还包括用于引导升降板37上下移动的导向组件303，导向组件303包括连接底板33的导向柱302和连接升降板37并与导向柱302配合的导向套301。导向组件303间隔设置有多个，本实施例中，导向组件303间隔设置有四个。通过导向组件303可以使升降板37相对底板 33平稳移动。

在一个实施例中，支撑座22包括两间隔设置的支撑杆223、均连接升降板 37的两高度调节座224、两端分别连接两支撑杆223且用于支撑载物架21的支撑横梁221以及两端分别连接两支撑杆223且与支撑横梁221间隔设置的固定板222，两支撑杆223分别连接两高度调节座224，且高度调节座224用于调节支撑杆223的高度。可选地，机台板13开设有两升降槽131，各升降槽131处均设置有支撑结构20和杠杆结构50，机盖12上对应各升降槽131处均开设有开口122，两开口122相对设置，载物架21的分别从两开口122延伸出发热腔 121并分别连接两支撑座22，两支撑座22均连接升降板37，两隔热板41分别对两开口122进行同步关闭或同步开启。

在一个实施例中，阀门结构40还包括连接板43、用于连接隔热板41与连接板43的固定侧板42、分别位于连接板43两端的两阀门导杆44以及连接机台板13的两轴承导座45，两轴承导座45分别用于引导两阀门导杆44的上下移动。通过轴承导座45可以引导隔热板41平稳升降。可选地，阀门导杆44 的上端固定于连接板43，且下端固定有限位垫，限位垫上固定有缓冲块46，轴承导座45与阀门导杆44滑动连接。

在一个实施例中，载物架21包括穿设两开口122且用于承托料片101的传送杆211以及连接传送杆211两端的两固定杆212，传送杆211间隔设置有多个且各传送杆211的两端分别连接两固定杆212。可选地，各传送杆211的两端分别固定在两支撑横梁221上。可选地，支撑座22还包括支撑块225，支撑块225连接支撑横梁221且用于支撑对应的传送杆211。

可选地，发热块11对应各传送杆211的位置开设有第一避让槽111，从而便于传送杆211将料片101释放于发热块11；可选地，各隔热板41对应各传送杆211的位置均开设有第二避让槽411，从而便于载物架21的下降或上升。

可选地，本实施例中大量采用直线导杆和耐高温直线轴承的组合，不但降低成本，而且还使升降联动装置100增大对环境的适应性。

本实用新型还提出了一种真空焊接设备，该真空焊接设备包括升降联动装置100，该升降联动装置100的具体结构参照上述实施例，由于本真空焊接设备采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此同样具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种升降联动装置，与加热结构(10)配合使用，其中，所述加热结构(10)用于对目标物进行加热且包括固定设置的机台板(13)、连接机台板(13)上的发热块(11)以及设有发热腔(121)并连接所述机台板(13)的机盖(12)，所述发热腔(121)具有开口(122)，所述开口(122)的朝向水平设置，所述发热块(11)与所述目标物均位于所述发热腔(121)，其特征在于，所述升降联动装置包括：

支撑结构(20)，包括支撑座(22)以及连接所述支撑座(22)的载物架(21)，所述载物架(21)用于承托所述目标物；

驱动结构(30)，连接所述支撑座(22)且用于驱动所述支撑座(22)上升或下降，所述载物架(21)随所述支撑座(22)同步移动，且所述载物架(21)在下降过程中将所述目标物释放于所述发热块(11)，并在上升过程中将所述目标物抬离所述发热块(11)；

阀门结构(40)，包括隔热板(41)，所述隔热板(41)的一侧板面平行所述开口(122)所确定的平面；以及

杠杆结构(50)，包括与所述机台板(13)转动连接的轴连杆(52)、滑动连接所述轴连杆(52)一端的主动臂(51)以及滑动连接所述轴连杆(52)另一端的从动臂(53)，所述主动臂(51)连接所述支撑座(22)并随所述支撑座(22)同步移动以驱动所述轴连杆(52)转动，并使所述轴连杆(52)驱动所述从动臂(53)上升或下降，所述从动臂(53)在上升过程中驱动所述隔热板(41)关闭所述开口(122)，并在下降过程中驱动所述隔热板(41)打开所述开口(122)。

2.如权利要求1所述的升降联动装置，其特征在于：所述主动臂(51)包括连接所述支撑座(22)的主上导块(511)、连接所述主上导块(511)且开设有第一滑槽(514)的主下导块(513)、滑动设置于所述第一滑槽(514)内的主轴承(512)以及连接所述主轴承(512)与所述轴连杆(52)的第一转轴(515)。

3.如权利要求1所述的升降联动装置，其特征在于：所述从动臂(53)包括连接所述隔热板(41)的从上导块(531)、连接所述从上导块(531)且开设有第二滑槽(534)的从下导块(532)、滑动设置于所述第二滑槽(534)内的从轴承(533)以及连接所述从轴承(533)与所述轴连杆(52)的第二转轴(535)。

4.如权利要求1所述的升降联动装置，其特征在于：所述杠杆结构(50)还包括连接所述机台板(13)下表面的轴承座(54)和一端连接所述轴连杆(52)而另一端转动连接所述轴承座(54)的第三转轴(541)。

5.如权利要求1-4任意一项所述的升降联动装置，其特征在于：所述驱动结构(30)包括驱动器(31)以及升降机构(38)，所述升降机构(38)包括底板(33)、与所述底板(33)相对设置的升降板(37)、位于所述底板(33)与所述升降板(37)之间且转动连接所述底板(33)的凸轮转轴(34)以及连接所述凸轮转轴(34)的主动轮(35)，所述主动轮(35)呈偏心轮设置，且所述主动轮(35)抵接所述升降板(37)朝下设置的板面，所述支撑座(22)连接于所述升降板(37)朝上设置的板面，所述驱动器(31)用于驱动所述凸轮转轴(34)旋转，以使所述主动轮(35)带动所述升降板(37)往复升降。

6.如权利要求5所述的升降联动装置，其特征在于：所述升降板(37)开设有通孔，所述升降机构(38)还包括转接于所述升降板(37)并于所述通孔处与所述主动轮(35)抵接配合的随动轮(36)；所述升降机构(38)还包括用于引导所述升降板(37)上下移动的导向组件(303)，所述导向组件(303)包括连接所述底板(33)的导向柱(302)和连接所述升降板(37)并与所述导向柱(302)配合的导向套(301)。

7.如权利要求5所述的升降联动装置，其特征在于：所述支撑座(22)包括两间隔设置的支撑杆(223)、均连接所述升降板(37)的两高度调节座(224)、两端分别连接两所述支撑杆(223)且用于支撑所述载物架(21)的支撑横梁(221)以及两端分别连接两所述支撑杆(223)且与所述支撑横梁(221)间隔设置的固定板(222)，两所述支撑杆(223)分别连接两所述高度调节座(224)，且所述高度调节座(224)用于调节所述支撑杆(223)的高度。

8.如权利要求1-4任意一项所述的升降联动装置，其特征在于：所述阀门结构(40)还包括连接板(43)、用于连接所述隔热板(41)与所述连接板(43)的固定侧板(42)、分别位于所述连接板(43)两端的两阀门导杆(44)以及连接所述机台板(13)的两轴承导座(45)，两所述轴承导座(45)分别用于引导两所述阀门导杆(44)的上下移动。

9.如权利要求1-4任意一项所述的升降联动装置，其特征在于：所述开口(122)相对开设有两个，所述载物架(21)包括穿设两所述开口(122)且用于承托所述目标物的传送杆(211)以及连接所述传送杆(211)两端的两固定杆(212)，所述传送杆(211)间隔设置有多个且各所述传送杆(211)的两端分别连接两所述固定杆(212)。

10.一种真空焊接设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的升降联动装置。

Images