CN212136392U - 晶圆处理装置 - Google Patents
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Abstract
该实用新型涉及一种晶圆处理装置，包括腔体，用于放置晶圆；风机，所述风机的出风口与所述腔体的进风口连通；软管，设置于所述风机的出风口与所述腔体的进风口之间，用于缓冲所述风机的震动对所述腔体的影响。该装置可以减少晶圆处理工艺过程中震动，提升晶圆处理的质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体工艺领域，具体涉及一种晶圆处理装置。
背景技术
随着科技的进步，半导体电子产品已经应用到社会生活的各个领域，而这些半导体电子产品都具有半导体芯片，而半导体芯片是由晶圆切割而成。由此可见，半导体晶圆在当今生活中具有非常显著的重要性。
现有技术对晶圆的热处理工艺中，特别是在晶圆剥离工艺过程中，待热处理晶圆需要由承载装置传送进入炉管内，同时炉管侧壁有风机用于冷却，炉管的传送装置与侧壁相连接。由于风机在工作时的气流，产生震动会通过传送装置传递给晶圆，导致相邻位置片间的接触、碰擦、以及与卡槽的撞击，积累应力造成晶圆边缘损伤。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆处理装置，能够减少在处理工艺过程中产生震动对晶圆边缘损伤。
为解决上述技术问题，本实用新型中提供了一种晶圆处理装置，包括：腔体，用于放置晶圆；风机，风机的出风口与腔体的进风口连通；软管，设置于风机的出风口与腔体的进风口之间，用于缓冲风机的震动对腔体的影响。
可选的，软管为可伸缩式管道。
可选的，软管还包括两个柔性垫片，分别放置于可伸缩管道与风机的出风口之间，以及可伸缩管道与腔体的进风口之间。
可选的，可伸缩管道与风机的出风口之间通过法兰片对接，柔性垫片设置在法兰片之间。
可选的，可伸缩管道与腔体的进风口之间通过法兰片对接，柔性垫片设置在法兰片之间。
附图说明
图1为本实用新型的一种具体实施方式中晶圆处理装置的结构示意图。
图2为本实用新型的一种具体实施方式中软管的透视图。
图3为本实用新型的一种具体实施方式中软管的正面图。
图4A为本实用新型的一种具体实施方式中软管的法兰片形状示意图。
图4B为本实用新型的一种具体实施方式中软管的法兰片形状示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式对本实用新型提出的一种晶圆处理装置作进一步详细说明。
在该具体实施方式中，提供了一种晶圆处理装置，其中图1为本实用新型的一种具体实施方式中的晶圆处理装置的结构示意图，包括：腔体1、软管2以及风机3。所述腔体1用于放置晶圆；在半导体材料工艺中，晶圆都需要经过炉管进行热处理工艺，腔体1就是用来放置晶圆进行热处理的装置。所述软管2为可伸缩性管道，设置于风机3的出风口与腔体1的进风口之间，由于采用软管2对风机3与腔体1之间进行连通，可伸缩性管道2在风机3工作时，对气流产生的震动有一定的缓冲，因此可以减少震动对腔体的影响。所述风机3为风冷装置，用于晶圆的冷却。
将原本悬挂在腔体1侧壁的风机3，从腔体1中卸下，固定在下方机台底座上。再将风机3的出风口与腔体1的进风口连通，对气流产生的震动有一定的缓冲，因此可以减少震动对腔体的影响。
图2为本实用新型的一种具体实施方式中软管的透视图，图3为本实用新型的一种具体实施方式中软管的正面图,在本具体实施方式中，软管2与风机3出风口之间通过法兰片4对接，将柔性垫片5放置在该法兰片4之间，对角用螺栓6将其固定住。附图4A与附图4B为图2中的软管2的法兰片4形状示意图。其中，柔性垫片5是根据对接口法兰片4的尺寸规格进行定制，对应于附图4A是圆孔状，附图4B是方孔状，放置在法兰片4之间，在风机3工作时可以对气流产生的震动有一定的缓冲。对接的两片法兰片4的对角用螺栓6将其固定住，也增加了软管2与风机3出风口连通的密封性，因此使得缓冲效果更加明显。
进一步的，软管2与腔体1出风口之间通过法兰片4对接，将柔性垫片5设置在该法兰片4之间，对角用螺栓6将其固定住。其中，柔性垫片5是根据对接口法兰片4的尺寸规格进行定制，可以是圆孔状，可以是方孔状，放置在法兰片4之间，在腔体1工作时可以对气流产生的震动有一定的缓冲。对接的两片法兰片4的对角用螺栓6将其固定住，也增加了软管2与腔体1出风口连通的密封性，因此使得缓冲效果更加明显。
在一具体实施方式中，先将风机3从腔体2中卸下，安装固定在下方机台底座上。将柔性垫片5放在软管2两头上，分别用法兰片4与风机3的出风口，腔体1的进风口进行对接，对角用螺栓6固定。将风机3的震动与腔体1隔绝开来，从而避免在工艺过程中震动引起的晶圆划伤。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种晶圆处理装置，其特征在于，包括：
腔体，用于放置晶圆；
风机，所述风机的出风口与所述腔体的进风口连通；
软管，设置于所述风机的出风口与所述腔体的进风口之间，用于缓冲所述风机的震动对所述腔体的影响。
2.根据权利要求1所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述软管为可伸缩式管道。
3.根据权利要求2所述的晶圆处理装置，其特征在于，还包括两个柔性垫片，分别放置于所述可伸缩管道与所述风机的出风口之间，以及所述可伸缩管道与所述腔体的进风口之间。
4.根据权利要求2所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述可伸缩管道与所述风机的出风口之间通过法兰片对接，柔性垫片设置在所述法兰片之间。
5.根据权利要求2所述的晶圆处理装置，其特征在于，所述可伸缩管道与所述腔体的进风口之间通过法兰片对接，柔性垫片设置在所述法兰片之间。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020655922.7U CN212136392U (zh) | 2020-04-26 | 2020-04-26 | 晶圆处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020655922.7U CN212136392U (zh) | 2020-04-26 | 2020-04-26 | 晶圆处理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN212136392U true CN212136392U (zh) | 2020-12-11 |
Family
ID=73692382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202020655922.7U Active CN212136392U (zh) | 2020-04-26 | 2020-04-26 | 晶圆处理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN212136392U (zh) |
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2020
- 2020-04-26 CN CN202020655922.7U patent/CN212136392U/zh active Active
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