CN212132030U - 具有压力感测器及调节流体分配器的防泄漏流体载具系统 - Google Patents

具有压力感测器及调节流体分配器的防泄漏流体载具系统 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种具有压力感测器及调节流体分配器的防泄漏流体载具系统，其包括：钢瓶；压力调节流体分配器以及压力感测器。又压力调节流体分配器，具有内部流道、入口端子、出口端子、瓶体端子及结合部，结合部使分配器本体形成于瓶体开口的外部。又压力调节流体分配器内部具有：入口阀门；出口阀门；压力调节器及过滤器。压力调节器其预设有开启压力值，当其出口端的压力，低于或等于开启压力值时，则允许钢瓶内的流体流出。借由本发明的实施，可以达成防止钢瓶内的流体意外泄漏且可动态监测钢瓶内的流气体容量。

Description

具有压力感测器及调节流体分配器的防泄漏流体载具系统
技术领域
本发明为一种具有压力感测器及调节流体分配器的防泄漏流体载具系统，特别为一种应用于有毒性工业气体，通过使用存储容器及分配器以进行诸如压缩气体或液化压缩气体之类的流体的储存及分送的具有压力感测器及调节流体分配器的防泄漏流体载具系统。
背景技术
在各种工业制程和应用中，经常需要可靠的危险及非危险制程流体。例如，在半导体制造、离子注入、平板显示器的制造、医疗干涉及治疗、水处理、紧急呼吸设备、焊接操作、太空基地的液体和气体输送…等，都需要安全、可靠和高效的制程流体持续供应，才能完成相关生产或运作。
有毒气体和其他有害特种气体经常被用于许多工业制程中，包括半导体元件的制造，但因为这些气体会造成很大的人体、动物或环境的危害，因此许多这些有害特种气体的用户，都会担心气体因为意外而释放的可能性。
标准的压缩气体钢瓶包含超大气压的气体，一旦用户端连接到加压气瓶，截止阀就会被打开，此时气体钢瓶中的气体就会被立即释放，即使用户安装了不漏气的出口盖以符合危险气体使用的要求，但将出口盖取下时，阀门若被意外的打开，此时若在密闭的厂区，将会导致人员严重伤亡的后果。
尽管不希望这类事件的发生，但有害气体意外的泄漏，在半导体加工应用中，还是有可能发生的，一旦这种泄漏事件产生，就必须将部分或全部人员立刻撤离半导体加工厂，因而将导致产线突然计划外的停摆及产品大量的报废…等损失。而且，半导体加工厂中所使用敏感且昂贵的设备，也可能会因暴露于有害气体下而造成损害。
为了避面上述有害气体外泄事件的发生，许多半导体的制造工艺，例如离子注入，化学气相沉积，反应性离子蚀刻，高密度等离子体蚀刻…等，都会使用低于大气压的有害气体供气系统，在这样的系统中，通常将减压调节器安装到气体钢瓶中，并将钢瓶输出的压力减小到低于大气压下的特定期望压力，借此避免气体外泄的问题。
但上述现有习知的供气系统，都是将阀门组件设置在气体钢瓶内，因此不但会占据气体钢瓶的容纳空间，而且阀门组件被设置在气体钢瓶内，将会造成保养及维修不易的问题，又当钢瓶是用以储存某些特殊的气体或液体时，也可能因为阀门组件长期浸泡在该特殊的气体或液体中，因而造成损伤。
再者，当上述的供气系统，应用于生产线时，一旦气体供应无预警的中断，将会使产线停线，而且必须等到气体再次完成供应状态的设置，产线才能再次恢复运转，如此将会造成设备损害的风险，而且产线停机也会造成产能的损失，因此如何能动态掌握供气系统的状态，也就是气体钢瓶的容量状态，也是当前必须克服的问题。
此外，一般现有习知气体钢瓶，因为其出气的阀门组件，也就是压力调节流体分配器，因为安全性不佳，因此都会在钢瓶内设置吸附材料，以增加钢瓶内容物的稳定性，如此不但增加成本，也会造成钢瓶可储存容量的大幅降低。
发明内容
本发明为一种具有压力感测器及调节流体分配器的防泄漏流体载具系统，其主要是要解决调节流体分配器设置于钢瓶内，不但大幅占据钢瓶储存空间、且操作及维修不易，再者现有习知负压供气系统没有压力感测器，及无法动态监测钢瓶内气体容量等问题。
本发明提供一种具有压力感测器及调节流体分配器的防泄漏流体载具系统，其包括：钢瓶，其具有容置空间及瓶体开口；压力调节流体分配器，其为分配器本体，具有相互连通的内部流道、入口端子、出口端子、瓶体端子及结合部，结合部可分离的密闭结合瓶体开口，又结合时使瓶体端子与容置空间相连通，且使分配器本体形成于瓶体开口的外部，又分配器本体内具有：入口阀门，连通于入口端子及内部流道间；出口阀门，连通于出口端子及内部流道间；压力调节器，其借由内部流道串接于出口端子与瓶体端子间，又压力调节器预设有开启压力值，当压力调节器的调节器出口端的实际压力低于或等于开启压力值，此时压力调节器被开启，因此钢瓶内的流体被允许流出；及过滤器，其借由内部流道串接于压力调节器与瓶体端子间；以及压力感测器，设置于分配器本体上，其侦测端部与过滤器及瓶体端子间的内部流道相感应连接。
本发明又提供一种具有压力感测器的压力调节流体分配器结构，其为分配器本体，具有相互连通的内部流道、入口端子、出口端子、瓶体端子及结合部，结合部使分配器本体形成于钢瓶其瓶体开口的外部，又分配器本体内具有：入口阀门，连通于入口端子及内部流道间；出口阀门，连通于出口端子及内部流道间；压力调节器，其借由内部流道串接于出口端子与瓶体端子间，又压力调节器预设有开启压力值，当压力调节器的调节器出口端的实际压力低于或等于开启压力值，此时压力调节器被开启，因此钢瓶内的流体被允许流出；及过滤器，其借由内部流道串接于压力调节器与瓶体端子间；以及压力感测器，设置于分配器本体上，其侦测端部与过滤器及瓶体端子间的内部流道相感应连接。
本发明又提供一种压力调节流体分配器结构，其为分配器本体，具有相互连通的内部流道、入口端子、出口端子、瓶体端子及结合部，结合部使分配器本体形成于钢瓶其瓶体开口的外部，又分配器本体内具有：入口阀门，连通于入口端子及内部流道间；出口阀门，连通于出口端子及内部流道间；压力调节器，其借由内部流道串接于出口端子与瓶体端子间，又压力调节器预设有开启压力值，当压力调节器的调节器出口端的实际压力低于或等于开启压力值，此时压力调节器被开启，因此钢瓶内的流体被允许流出；以及过滤器，其借由内部流道串接于压力调节器与瓶体端子间。
借由本发明的实施，至少可以达成下列的进步功效：
一、可以减少意外泄出或释放有毒液体或气体的可能性。
二、可消除气体钢瓶内设有调节器的系统需求，以避免系统一旦被组装后，调节器就无法再次被调整设定。
三、可以借由压力调节流体分配器，控制供应流体时才释放钢瓶内的流体。
四、当出口阀门任何形式的误动作或故障，都可限制钢瓶内流体气体的外泄。
五、可以增加钢瓶内的容量。
六、可以动态提供钢瓶内部的当下存储压力，使用户能即时掌握钢瓶内剩余流体的状态。
七、可消除储存和输送的钢瓶内，吸附材料使用的需要。
为了使任何熟习相关技艺者了解本发明的技术内容并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容、申请专利范围及图式，任何熟习相关技艺者可轻易的理解本发明相关的目的及优点，因此将在实施方式中详细叙述本发明的详细特征以及优点。
附图说明
[图1]为本发明的一种防泄漏流体载具系统的系统架构实施例图。
[图2]为防泄漏流体载具系统的立体实施例图一。
[图3]压力调节流体分配器的结构实施例图一。
[图4]压力调节流体分配器的结构实施例图二。
[图5]压力调节器启动状态的实施例图。
[图6]为瓶体端子进一步设有限流单元的实施例图。
【主要元件符号说明】
100：具有压力感测器及调节流体分配器的防泄漏流体载具系统
10：钢瓶 110：容置空间
120：瓶体开口 20：压力调节流体分配器
210：分配器本体 211：内部流道
212：入口端子 213：出口端子
214：瓶体端子 215：结合部
216：限流单元 220：入口阀门
230：出口阀门 240：压力调节器
241：调节器出口端 250：过滤器
30：压力感测器 310：侦测端部
40：流体 P0：开启压力值
Pn：一大气压
具体实施方式
如图1至图3所示，本实施例为一种具有压力感测器及调节流体分配器的防泄漏流体载具系统100，其包括：钢瓶10；压力调节流体分配器20；以及压力感测器30。
钢瓶10，其具有容置空间110及瓶体开口120，容置空间110用以储存工业制程用的流体40，其可以为液体或气体，一般是具毒性的有毒物质。
如图4所示，压力调节流体分配器20，其具有：分配器本体210；入口阀门220；出口阀门230；压力调节器240；及过滤器250。
分配器本体210，其可以为金属结构体，又分配器本体210具有相互连通的内部流道211、入口端子212、出口端子213、瓶体端子214及结合部215。
结合部215，其例如是螺牙，因此其可以与瓶体开口120的螺牙，通过旋转结合为一体，因此使结合部215，是可分离的密闭结合于瓶体开口120，又结合时使瓶体端子214与容置空间110相连通，且分配器本体210形成于瓶体开口120的外部。
入口阀门220，其可以为一般阀门，也可以是一种只进不出的单向逆止阀门，入口阀门220连通于入口端子212及内部流道211间；入口阀门220用于启动或停止由入口端子212进入压力调节流体分配器20的上游流体的流入。又在某些情况，入口阀门220也可以绕过压力调节器240，直接通过入口阀门220从钢瓶10抽出钢瓶10内的流体。
入口阀门220可设置于例如与出口阀门230相对180度的位置，入口阀门220是由气体装填厂管理而非用户端管理，入口阀门220设有入口开/关部，又入口开/关部必须借由入口阀门220工具的使用，才能使入口开/关部被打开或关闭，而且相关入口阀门220工具只有在气体装填厂才有，用户端不会有入口阀门220工具，如此，用户端完全没有机会进行入口阀门220的打开或关闭。
此外，在入口端子212还设有盖有入口保护盖，除了用以保护入口端子212不会因为碰被而损坏外，入口保护盖一般还会使用金属垫圈，来保持入口保护盖和出口端子213间的密封结合，如此对入口端子212而言，又增加了一道防泄漏的保障。
再者，因为有入口保护盖的设置，所以在入口保护盖没有被取下的情况下，入口端子212是无法与任何加气或抽气设备连接器，因此可以再次避免错误操作的发生。
出口阀门230，其可以为一般阀门，也可以是一种只出不进的单向逆止阀门，又出口阀门230是连通于出口端子213及内部流道211间。出口阀门230用于启动或停止从压力调节流体分配器20下游离开的流体流出。
如图5所示，压力调节器240，其借由内部流道211串接于出口端子213与瓶体端子214间，压力调节器240可以预先设定其调节器出口端241的开启压力值P0。在一般情况下，当调节器出口端241的外部实际压力低于或等于开启压力值P0，此时压力调节器240被开启，因此钢瓶10内的流体被允许流出。
又在某些加强防止泄漏增加安全性的情况下，例如在离子注入应用时，则可将开启压力值P0设定成低于一个大气压，此时即使出口阀门230被打开，因为调节器出口端241外部的实际压力等于一个大气压，所以压力调节器240未被开启，因此钢瓶10内的流体不会流出，避免意外泄漏的发生。直到出口端子213与用户端连接后，出口端子213被用户端创造低于一个大气压Pn且又等于或低于开启压力值P0的条件时，压力调节器240才会被开启，因此钢瓶10内的流体也会被允许流出。
例如开启压力值P0是被设定成低于或等于一个大气压Pn，即14.7磅每平方英寸(psig)的某一特定值，例如是负0.5psig；当出口端子213与用户端连接后，因为受到用户端设备，创造了出口端子213的实际压力低于或等于0.5psig的开启压力值P0时，则压力调节器240允许钢瓶10内的流体，通过其出口端流出。
因为有上述的机制，所以钢瓶10在储存或运送过程中，因为钢瓶10都一直处于一个大气压Pn 14.7psig的环境中，所以出口端子213没有被创造出达到开启压力值P0的可能，因此就算出口阀门230损坏或被意外打开，也不会有钢瓶10内流体外泄的可能。
有关上述压力调节器240，其开启压力值P0的设定，是依照下游用户端的设备，其运作所需的压力规格而定。又为防止钢瓶10内的流体，意外的从出口端子213泄出，因此出口端子213平时储存或运送过程中，又可以再次盖上出口保护盖，直到用户端准备好，进入供应连接的操作为止。
过滤器250，其借由内部流道211串接于压力调节器240与瓶体端子214间，由于压力调节器240为一极微精密及敏感的元件，当有杂质或异物侵入时，就会使压力调节器240失效，因此为了保护压力调节器240，所以在压力调节器240的进气端，也就是压力调节器240与瓶体端子214间，可以设有过滤器250，以过滤杂质或异物。
压力感测器30，在某些需要动态监测钢瓶10内流体容量的情况下，可将压力感测器30设置于分配器本体210上，并使压力感测器30其一侦测端部310，与过滤器250及瓶体端子214间的内部流道211相互压力感应连接，借此以动态监测钢瓶10内流体的容量，如此可以提早进行新钢瓶10的准备，避免产线因为制程流体无法顺畅供给而停线及造成损失。
如图6所示，在某些情况下，为了避免钢瓶10内的气体或液体大量或快速的释出，因此可以在瓶体端子214处，进一步设有限流单元216，以使钢瓶10内的流体能缓慢释出。
接下来以实际使用的其中一个实施例，进行操作说明：
充填作业前准备：当钢瓶10被用户使用过后，会被运送至充填厂，再次进行气体补充的充填作业，当钢瓶10送达充填厂后，充填前要先使用只有充填厂才有的锁钥，将入口保护盖卸下，然后将充填设备与入口端子212连接。
接着须使用只有充填厂才有的入口阀门工具，将入口阀门220开启，接着才能进行充填作业。又此时压力调节器240的开启压力值P0已经被预设为负0.5psig。
进行充填作业：接着钢瓶10会被充填厂的充气设备进行充填，至钢瓶10内容物的压力，约为1,500psig的容量。
抽气作业：在某些情况下，必须由入口端子212进行钢瓶10的抽气动作时，同样的在抽气前，也须先使用只有充填厂才有的锁钥，将入口保护盖卸下，然后将抽气设备与入口端子212连接，接着再使用只有在抽气厂才有的入口阀门工具，将入口阀门220开启，接着才能进行抽气作业。
钢瓶10的储存或运送：当充填或抽气完成后，必须再次使用入口阀门工具，将入口阀门220关闭，接着又必须将气口保护盖盖上且再次锁上，然后才能进入钢瓶10的储存或运送。由于压力调节器240的开启压力值P0已经被预设为负0.5psig，因此钢瓶10在储存或运送的过程中，都处于一个大气压的环境，因为未达压力调节器240的开启压力值P0负0.5psig，因此可以确保钢瓶10即使出口阀门230损坏或被意外打开内流体亦不会外泄。
钢瓶10使用前准备：当钢瓶10被送到用户端后，钢瓶10的出口保护盖会被卸下，然后将钢瓶10的出口端子213与用户端的设备完成连接。
用户使用作业：当钢瓶10与用户端设备完成连接后，接着可开启出口阀门230，此时压力调节器240的出口端会侦测到用户端的设备压力值，当设备压力值例如是小于或等于负2.1psig，因为已经低于压力调节器240开启压力值P0负0.5psig，因此压力调节器240将会被开启，进而使钢瓶10内的流体对用户端设备进行供应作业。
惟上述各实施例是用以说明本发明的特点，其目的在使熟习该技术者能了解本发明的内容并据以实施，而非限定本创作的专利范围，故凡其他未脱离本发明所揭示的精神而完成的等效修饰或修改，仍应包含在申请专利范围中。

Claims (9)

1.一种具有压力感测器及调节流体分配器的防泄漏流体载具系统，其特征在于，其包括：
钢瓶，其具有容置空间及瓶体开口；
压力调节流体分配器，其为分配器本体，具有相互连通的内部流道、入口端子、出口端子、瓶体端子及结合部，该结合部可分离的密闭结合该瓶体开口，又结合时使该瓶体端子与该容置空间相连通，且使该分配器本体形成于该瓶体开口的外部，又该分配器本体内具有：
入口阀门，连通于该入口端子及该内部流道间；
出口阀门，连通于该出口端子及该内部流道间；
压力调节器，其借由该内部流道串接于该出口端子与该瓶体端子间，又该压力调节器预设有开启压力值，当该压力调节器的调节器出口端的实际压力低于或等于该开启压力值，此时该压力调节器被开启，因此该钢瓶内的流体被允许流出；及
过滤器，其借由该内部流道串接于该压力调节器与该瓶体端子间；以及
压力感测器，设置于该分配器本体上，其一侦测端部与该过滤器及该瓶体端子间的该内部流道相感应连接。
2.根据权利要求1所述的防泄漏流体载具系统，其特征在于：其中该开启压力值设定成低于一个大气压，当该出口端子被创造出低于一个大气压且又等于或低于该开启压力值的条件时，该压力调节器被开启，该钢瓶内的流体也被允许流出。
3.根据权利要求1或2所述的防泄漏流体载具系统，其特征在于：其中该瓶体端子进一步设有限流单元。
4.一种具有压力感测器的压力调节流体分配器结构，其特征在于，其为分配器本体，具有相互连通的内部流道、入口端子、出口端子、瓶体端子及结合部，该结合部使该分配器本体形成于钢瓶其瓶体开口的外部，又该分配器本体内具有：
入口阀门，连通于该入口端子及该内部流道间；
出口阀门，连通于该出口端子及该内部流道间；
压力调节器，其借由该内部流道串接于该出口端子与该瓶体端子间，又该压力调节器预设有开启压力值，当该压力调节器的调节器出口端的实际压力低于或等于该开启压力值，此时该压力调节器被开启，因此该钢瓶内的流体被允许流出；及
过滤器，其借由该内部流道串接于该压力调节器与该瓶体端子间；以及
压力感测器，设置于该分配器本体上，其一侦测端部与该过滤器及该瓶体端子间的该内部流道相感应连接。
5.根据权利要求4所述的压力调节流体分配器结构，其特征在于：其中该开启压力值设定成低于一个大气压，当该出口端子被创造出低于一个大气压且又等于或低于该开启压力值的条件时，该压力调节器被开启，该钢瓶内的流体也被允许流出。
6.根据权利要求4或5所述的压力调节流体分配器结构，其特征在于：其中该瓶体端子进一步设有限流单元。
7.一种压力调节流体分配器结构，其特征在于，其为分配器本体，具有相互连通的内部流道、入口端子、出口端子、瓶体端子及结合部，该结合部使该分配器本体形成于钢瓶其瓶体开口的外部，又该分配器本体内具有：
入口阀门，连通于该入口端子及该内部流道间；
出口阀门，连通于该出口端子及该内部流道间；
压力调节器，其借由该内部流道串接于该出口端子与该瓶体端子间，又该压力调节器预设有开启压力值，当该压力调节器的调节器出口端的实际压力低于或等于该开启压力值，此时该压力调节器被开启，因此该钢瓶内的流体被允许流出；以及
过滤器，其借由该内部流道串接于该压力调节器与该瓶体端子间。
8.根据权利要求7所述的压力调节流体分配器结构，其特征在于：其中该开启压力值设定成低于一个大气压，当该出口端子被创造出低于一个大气压且又等于或低于该开启压力值的条件时，该压力调节器被开启，该钢瓶内的流体也被允许流出。
9.根据权利要求7或8所述的压力调节流体分配器结构，其特征在于：其中该瓶体端子进一步设有限流单元。
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