CN212084970U - 一种用于真空镀膜的拼接式载板 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种用于真空镀膜的拼接式载板，包括多个拼接板以及设置在多个拼接板之间的连接板；所述拼接板的一端或两端设有拼接槽，所述拼接槽上设有限位凸块，所述多个拼接板上的拼接槽对接后形成连接槽；所述连接板设置在所述连接槽上，且连接板上设有与所述限位凸块对应设置的限位槽；所述连接板与拼接板之间通过粘合胶或连接组件连接。本实施例中，所述连接板的尺寸与所述连接槽匹配设置。本实用新型便于加工生产，降低板材的加工难度，从而降低成本，有利于提高硅片加工的经济效益。

Description

一种用于真空镀膜的拼接式载板

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能电池镀膜设备，具体涉及一种用于真空镀膜的拼接式载板。

背景技术

在单晶/多晶硅电池生产工艺中，需要在硅片表面镀膜，增加硅片表面良好的物理性能和化学性能。在镀膜的过程中，一般是将多个待镀膜的硅片平放在承载舟或承载框上，以加快硅片的镀膜加工效率。

由于硅片的镀膜加工工艺环境复杂，因此通常使用的承载舟或承载框是由石墨或碳碳复合材料制成的，这样的材料具有耐高温、高纯度(杂质含量低)、高耐腐、抗氧化、热导率高、导电性适中以及物理化学性质稳定等特点，能够降低在加工过程中对硅片的影响，确保硅片能够均匀受热等。

但是，现有技术中的承载舟以及承载框均由一体式的石墨板加工而成，其具有质量重、容易破碎和价格昂贵等缺陷，并且针对一体式石墨板进行加工处理的相关设备稀少，导致承载舟或承载框的加工难度进一步增大，并且提高硅片的镀膜加工成本。

实用新型内容

本实用新型目的在于克服现有技术的不足，提供一种用于真空镀膜的拼接式载板，该载板便于加工生产，降低板材的加工难度，从而降低成本，有利于提高硅片加工的经济效益。

本实用新型的目的通过以下技术方案实现：

一种用于真空镀膜的拼接式载板，其特征在于，包括多个拼接板以及设置在多个拼接板之间的连接板；其中，所述拼接板的一端或两端设有拼接槽，所述拼接槽上设有限位凸块，所述多个拼接板上的拼接槽对接后形成连接槽；所述连接板设置在所述连接槽上，且连接板上设有与所述限位凸块对应设置的限位槽；所述连接板与拼接板之间通过粘合胶或连接组件连接。

上述用于真空镀膜的拼接式载板的工作原理是：

首先，将多个拼接板上设有拼接槽的一端相互对接设置，让两个拼接板上的拼接槽对接并形成连接槽；随后，将连接板设置在连接槽中，并且让连接板上的限位槽与限位凸块匹配，即让拼接板上的限位凸块卡进所述限位槽中；最后，采用粘合胶将连接板的底部与多个拼接板的拼接槽粘合在一起实现固定，或者采用机械式的连接组件，将连接板分别与多个拼接板固定在一起，组合形成用于装载硅片的载板。本实用新型中通过连接板上的限位槽以及限位凸块的配合作用，有效限制多个拼接板的纵向和横向位置，并且在连接板的作用下完成多个拼接板的连接，简单有效。本实用新型通过多个拼接板组合成一个整体式的载板，实现将尺寸较大的载板分成多个小尺寸的拼接板，以便加工生产，有效降低生产难度，降低成本；另外，可根据实际生产需要，拼接成不同尺寸大小的载板，灵活性好。

本实用新型的一个优选方案，其中，所述拼接槽为开口槽，拼接槽与拼接板的侧面连通设置。

优选地，所述拼接板上的限位凸块设置在拼接槽的中部；所述连接板上的限位槽设有两个，且该两个限位槽与拼接板对接后的连接槽上的两个限位凸块分别对应。

优选地，所述拼接板上的限位凸块设置在拼接槽的开口边缘处；两个拼接板对接后，两个拼接板上的限位凸块连接形成整体式凸块；所述连接板上的限位槽为一个，且该限位槽与拼接板对接后形成的整体式凸块对应。

本实用新型的一个优选方案，所述拼接板和连接板均由碳碳复合材料制成。

本实用新型的一个优选方案，所述连接板与拼接板之间通过粘合胶固定在一起，且所述粘合胶为耐高温胶。

本实用新型的一个优选方案，所述拼接板的端部均设有所述拼接槽。

本实用新型的一个优选方案，所述拼接板的厚度为4-20mm，长度为 500-2000mm，宽度为200-1500mm；所述拼接槽的深度为1.5-8.5mm，长度为 30-160mm，宽度为40-240mm；所述限位凸块的高度为1.5-8.5mm，长度为 40-300mm，宽度为20-220mm；所述连接板的厚度为1.5-8.5mm，长度为 60-320mm，宽度为40-240mm；所述限位槽的长度为40-300mm，宽度为20-220mm。

优选地，所述拼接板的厚度为4-7mm；所述拼接槽的深度为2.5-3.5mm，长度为40mm，宽度为60mm；所述连接板的厚度为2-3mm，长度为80mm，宽度为60mm。

优选地，所述拼接板的厚度为4-10mm；所述拼接槽的深度为2.5mm，长度为160mm，宽度为240mm；所述连接板的厚度为2-3mm，长度为320mm，宽度为240mm。

本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果：

1、本实用新型的拼接式载板可以使用小尺寸板材，降低对大尺寸的依赖，从而降低成本，有效解决大规格尺寸的板材供应少、价格高的缺陷。

2、本实用新型可使用小规格尺寸的板材，使得对板材的加工方便，受加工设备限制较少。

3、通过连接板与拼接板上的拼接槽配合安装，将多个拼接板拼接组合成载板，结构简单，便于组装，并且通过限位凸块和限位槽的作用，能对多个拼接板形成一个水平方向的约束，确保载板的稳定性，不易脱离。

4、本实用新型可以在安装连接板与多个拼接板的同时，对多个拼接板进行调节，以确保多个拼接板组合形成载板后的平面度。

附图说明

图1-图4为本实用新型的用于真空镀膜的拼接式载板的第一个具体实施方式的结构示意图，其中，图1为俯视图，图2为立体图(连接板与拼接板分离显示)，图3为拼接板的立体图，图4为连接板的立体图。

图5-图8为本实用新型的用于真空镀膜的拼接式载板的第二个具体实施方式的结构示意图，其中，图5为俯视图，图6为立体图(连接板与拼接板分离显示)，图7为拼接板的立体图，图8为连接板的立体图。

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步描述，但本实用新型的实施方式不仅限于此。

实施例1

参见图1-图4，本实施例的用于真空镀膜的拼接式载板，包括多个拼接板1 以及设置在多个拼接板1之间的连接板2；其中，所述拼接板1的一端设有拼接槽5，所述拼接槽5上设有限位凸块4，所述多个拼接板1上的拼接槽5对接后形成连接槽；所述连接板2设置在所述连接槽上，且连接板2上设有与所述限位凸块4对应设置的限位槽3；所述连接板2与拼接板1之间通过粘合胶或连接组件连接。本实施例中，所述连接板2的尺寸与所述连接槽匹配设置(连接板2 的外形尺寸小于或等于连接槽的内框尺寸均可)；所述限位槽3镂空设置。本实施例的拼接板1上只有一端设有拼接槽5，但可以根据实际情况，在拼接板1 的前后两端均设置拼接槽5，以便多个拼接板1实现连接固定。

参见图1-图3，所述拼接槽5为开口槽，拼接槽5与拼接板1的侧面连通设置。这样，当两个拼接板1的侧面贴紧对接后，形成一个连续完整的连接槽，从而与连接槽匹配的连接板2结构更加简单，便于连接板2的加工；同时能够提高连接板2与拼接板1固定后的稳定性。

参见图1-图4，所述拼接板1上的限位凸块4设置在拼接槽5的中部(即位于限位槽3的四个边缘内，不限定位于拼接中的中心)；所述连接板2上的限位槽3设有两个，且该两个限位槽3与拼接板1对接后的连接槽上的两个限位凸块4分别对应。

本实施例中，所述拼接板1和连接板2均由碳碳复合材料制成。碳碳复合材料制成的载板，其具有耐高温、高纯度(杂质含量低)、高耐腐、抗氧化、热导率高、导电性适中以及物理化学性质稳定等特点，能够降低在加工过程中对硅片的影响，确保硅片能够均匀受热，提高硅片加工质量。

本实施例中，所述连接板2与拼接板1之间通过粘合胶固定在一起，且所述粘合胶为耐高温胶。通过耐高温胶实现连接板2与拼接板1之间的连接，操作方便，并且能进一步简化连接板2与拼接板1的结构；另外，耐高温胶具有耐高温、导电且粘合力强等优点。另外，所述连接板2与拼接板1之间也可通过机械式结构的连接组件完成连接固定；例如，在连接板2与拼接板1上对应加工螺栓孔，通过螺栓连接的方式实现两者之间的连接。

本实施例的拼接板1的厚度为4-20mm，长度为500-2000mm，宽度为 200-1500mm；所述拼接槽5的深度为1.5-8.5mm，长度为30-160mm，宽度为 40-240mm；所述限位凸块4的高度为1.5-8.5mm，长度为40-300mm，宽度为 20-220mm；所述连接板2的厚度为1.5-8.5mm，长度为60-320mm，宽度为40-240mm；所述限位槽3的长度为40-300mm，宽度为20-220mm。

参见图1-图4，本实施例的用于真空镀膜的拼接式载板的工作原理是：

首先，将多个拼接板1上设有拼接槽5的一端相互对接设置，让两个拼接板1上的拼接槽5对接并形成连接槽；随后，将连接板2设置在连接槽中，并且让连接板2上的限位槽3与限位凸块4匹配，即让拼接板1上的限位凸块4 卡进所述限位槽3中；最后，采用粘合胶将连接板2的底部与多个拼接板1的拼接槽5粘合在一起实现固定，或者采用机械式的连接组件，将连接板2分别与多个拼接板1固定在一起，组合形成用于装载硅片的载板。本实用新型中通过连接板2上的限位槽3以及限位凸块4的配合作用，有效限制多个拼接板1 的纵向和横向位置，并且在连接板2的作用下完成多个拼接板1的连接，简单有效。本实用新型通过多个拼接板1组合成一个整体式的载板，实现将尺寸较大的载板分成多个小尺寸的拼接板1，以便加工生产，有效降低生产难度，降低成本；另外，可根据实际生产需要，拼接成不同尺寸大小的载板，灵活性好。

实施例2

参见图5-图8，本实施例与实施例1的不同之处在于，所述拼接板1上的限位凸块4设置在拼接槽5的开口边缘处；两个拼接板1对接后，两个拼接板1 上的限位凸块4连接形成整体式凸块；所述连接板2上的限位槽3为一个，且该限位槽3与拼接板1对接后形成的整体式凸块对应。这样，能够简化连接板2 中限位槽3的加工难度，只需加工一个限位槽3即可；同时，在拼接过程中，通过限位槽3与整体式凸块匹配，有利于确保两个拼接紧贴一起，使得拼接板1 之间能够紧密接触，提高载板的稳定性。

实施例3

本实施例与实施例1的不同之处在于，所述拼接板1的厚度为4-7mm；所述拼接槽5的深度为2.5-3.5mm，长度为40mm，宽度为60mm；所述连接板2 的厚度为2-3mm，长度为80mm，宽度为60mm；本实施例中，所述拼接板1上的拼接槽5设有4个，所述连接板2对应设有4个。

实施例4

本实施例与实施例1的不同之处在于，所述拼接板1的厚度为4-10mm；所述拼接槽5的深度为2.5mm，长度为160mm，宽度为240mm；所述连接板2的厚度为2-3mm，长度为320mm，宽度为240mm；本实施中，所述拼接板1上的拼接槽5设有8个，所述连接板2对应设有8个。

实施例5

本实施例与实施例1的不同之处在于，所述拼接板1的端部均设有所述拼接槽5。这样能够让每个拼接板1的四个侧面均可与其他拼接板1进行连接，从而增加拼接后载板的类型，以适应不同的硅片加工工序和加工场合。另外，也可在拼接板1的其中三个端部设置拼接槽5。

上述为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述内容的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所做的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于真空镀膜的拼接式载板，其特征在于，包括多个拼接板以及设置在多个拼接板之间的连接板；其中，所述拼接板的一端或两端设有拼接槽，所述拼接槽上设有限位凸块，所述多个拼接板上的拼接槽对接后形成连接槽；所述连接板设置在所述连接槽上，且连接板上设有与所述限位凸块对应设置的限位槽；所述连接板与拼接板之间通过粘合胶或连接组件连接。

2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的拼接式载板，其特征在于，所述拼接槽为开口槽，拼接槽与拼接板的侧面连通设置。

3.根据权利要求2所述的用于真空镀膜的拼接式载板，其特征在于，所述拼接板上的限位凸块设置在拼接槽的中部；所述连接板上的限位槽设有两个，且该两个限位槽与拼接板对接后的连接槽上的两个限位凸块分别对应。

4.根据权利要求2所述的用于真空镀膜的拼接式载板，其特征在于，所述拼接板上的限位凸块设置在拼接槽的开口边缘处；两个拼接板对接后，两个拼接板上的限位凸块连接形成整体式凸块；所述连接板上的限位槽为一个，且该限位槽与拼接板对接后形成的整体式凸块对应。

5.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的拼接式载板，其特征在于，所述拼接板和连接板均由碳碳复合材料制成。

6.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的拼接式载板，其特征在于，所述连接板与拼接板之间通过粘合胶固定在一起，且所述粘合胶为耐高温胶。

7.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的拼接式载板，其特征在于，所述拼接板的端部均设有所述拼接槽。

8.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的拼接式载板，其特征在于，所述拼接板的厚度为4-20mm，长度为500-2000mm，宽度为200-1500mm；所述拼接槽的深度为1.5-8.5mm，长度为30-160mm，宽度为40-240mm；所述限位凸块的高度为1.5-8.5mm，长度为40-300mm，宽度为20-220mm；所述连接板的厚度为1.5-8.5mm，长度为60-320mm，宽度为40-240mm；所述限位槽的长度为40-300mm，宽度为20-220mm。

9.根据权利要求8所述的用于真空镀膜的拼接式载板，其特征在于，所述拼接板的厚度为4-7mm；所述拼接槽的深度为2.5-3.5mm，长度为40mm，宽度为60mm；所述连接板的厚度为2-3mm，长度为80mm，宽度为60mm。

10.根据权利要求8所述的用于真空镀膜的拼接式载板，其特征在于，所述拼接板的厚度为4-10mm；所述拼接槽的深度为2.5mm，长度为160mm，宽度为240mm；所述连接板的厚度为2-3mm，长度为320mm，宽度为240mm。

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