CN211977845U - 一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，包括底座，所述底座的上表面滑动连接有四个对称设置的用于固定晶圆单片的晶圆卡盘，左右两个所述晶圆卡盘的下端设有用于推动晶圆卡盘移动的转动机构，所述底座的中部固定连接有用于支撑的转轴，所述转轴与四个晶圆卡盘之间设有与转动机构配合的传动机构，所述底座的外侧设有用于检测晶圆偏转角度的检测机构。本实用新型结构合理，可以将晶圆牢固地固定于卡盘的上方，避免对后续晶圆偏转角度的测量产生影响。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置。
背景技术
在集成电路的划片加工中，需要先把晶圆单片固定在加工台上，然后按照设定的路径进行加工，一般情况下，晶圆单片与默认加工路径之间通常会存在偏差，需要手动或自动对晶圆单片进行角度的预对准，而现有的晶圆偏转角度检测装置也存在着一些问题，如；
1、现有的晶圆偏转角度检测装置在对晶圆单片进行固定的时候常会出现固定不牢的情况，进而影响后续对晶圆偏转角度的测量；
2、现有的晶圆偏转角度检测装置在预对准时晶圆单片的加工精度常会受到人工的影响，预对准时间的长短直接影响加工的效率。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，包括底座，所述底座的上表面滑动连接有四个对称设置的用于固定晶圆单片的晶圆卡盘，左右两个所述晶圆卡盘的下端设有用于推动晶圆卡盘移动的转动机构，所述底座的中部固定连接有用于支撑的转轴，所述转轴与四个晶圆卡盘之间设有与转动机构配合的传动机构，所述底座的外侧设有用于检测晶圆偏转角度的检测机构。
优选地，所述转动机构包括与左侧晶圆卡盘的底部固定连接的两根螺母条，两根所述螺母条的内部均为中空，右侧所述晶圆卡盘的底部转动连接有两根与螺母条配合的条形螺丝，两根所述条形螺丝的顶端均插入与其对应的螺母条的内部。
优选地，所述传动机构包括与转轴的顶部外缘转动连接的轴套，所述轴套的外缘固定连接有四个对称设置的连接块，四个所述连接块的另一端均固定连接有固定板，四个所述固定板的上端均固定连接有第一卡轴，四个所述第一卡轴的外缘均套设有连接杆，四个所述连接杆的另一端均转动连接有与第一卡轴配合的第二卡轴，四个所述第二卡轴的下端均通过固定板与固定块固定连接，四个所述固定块的另一端与晶圆卡盘固定连接。
优选地，所述检测机构包括与底座的上表面外侧固定连接的卡座，所述卡座的顶端设有开槽，所述开槽的两侧内壁间转动连接有两根转杆，两根所述转杆之间固定连接有用于拍摄晶圆图像的相机。
优选地，右侧所述晶圆卡盘的底部设有两个用于插入条形螺丝的开孔。
优选地，所述相机为工业相机。
本实用新型的有益效果：
1、通过设置多个晶圆卡盘，可以将晶圆牢固地固定于卡盘的上方，避免对后续晶圆偏转角度的测量产生影响；
2、通过设置卡座与相机，可以减少预对准时受到的人工的影响，同时也减少预对准的时间，提高加工的效率。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置的传动机构结构图；
图3为本实用新型提出的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置的转动机构结构图。
图中：1底座、2转轴、3轴套、4连接块、5固定板、6第一卡轴、7连接杆、 8第二卡轴、9固定块、10晶圆卡盘、11螺母条、12条形螺丝、13卡座、14转杆、15相机。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
参照图1-3，一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，包括底座1，底座1的上表面滑动连接有四个对称设置的用于固定晶圆单片的晶圆卡盘10，左右两个晶圆卡盘10的下端设有用于推动晶圆卡盘10移动的转动机构，底座1的中部固定连接有用于支撑的转轴2，转轴2与四个晶圆卡盘10之间设有与转动机构配合的传动机构，底座1的外侧设有用于检测晶圆偏转角度的检测机构。
本实用新型中，转动机构包括与左侧晶圆卡盘10的底部固定连接的两根螺母条11，两根螺母条11的内部均为中空，右侧晶圆卡盘10的底部转动连接有两根与螺母条11配合的条形螺丝12，两根条形螺丝12的顶端均插入与其对应的螺母条11的内部。
具体的，传动机构包括与转轴2的顶部外缘转动连接的轴套3，轴套3的外缘固定连接有四个对称设置的连接块4，四个连接块4的另一端均固定连接有固定板5，四个固定板5的上端均固定连接有第一卡轴6，四个第一卡轴6的外缘均套设有连接杆7，四个连接杆7的另一端均转动连接有与第一卡轴6配合的第二卡轴8，四个第二卡轴8的下端均通过固定板5与固定块9固定连接，四个固定块9的另一端与晶圆卡盘10固定连接，可以使得四个晶圆卡盘10同时向内移动，将待测晶圆固定。
具体的，检测机构包括与底座1的上表面外侧固定连接的卡座13，卡座13 的顶端设有开槽，开槽的两侧内壁间转动连接有两根转杆14，两根转杆14之间固定连接有用于拍摄晶圆图像的相机15，可以获取晶圆图像，再将图像传至图像处理器进行分析处理。
具体的，右侧晶圆卡盘10的底部设有两个用于插入条形螺丝12的开孔，相机15为工业相机。
本实用新型使用时，只需先将底座1水平放置于合适的位置，然后再将需要进行偏转角度检测的晶圆移至转轴2的上方，随后再通过右侧晶圆卡盘10的底部的两个的开孔调节条形螺丝12，使其与螺母条11相对旋转，然后左右两个晶圆卡盘10就会相对移动，两个晶圆卡盘10则会带动其内壁固定连接的两个固定块9相互靠近，两个固定块9就会带动其上端通过第二卡轴8转动连接的连接杆7转动，进而带动连接杆7另一端套设的第一卡轴6下端的固定板5转动，随后两个固定板5就会带动通过连接块4固定连接的轴套3绕着转轴2转动，然后轴套3就会带动前后两个连接块4，进而再次推动两个连接块4分别固定连接的前后两个固定板5转动，随后前后两个固定板5就会通过带动前后两个连接杆7转动，进而推动两个固定块9后端的前后两个对称的晶圆卡盘10相互靠近，就可以使得四个对称设置的晶圆卡盘10同时向内移动，将待测晶圆固定，随后即可控制卡座13上端通过转杆14转动连接的相机15对晶圆进行拍摄，然后获取晶圆图像，再将图像传至图像处理器进行分析处理，即可得到晶圆的偏转角度。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的上表面滑动连接有四个对称设置的用于固定晶圆单片的晶圆卡盘(10)，左右两个所述晶圆卡盘(10)的下端设有用于推动晶圆卡盘(10)移动的转动机构，所述底座(1)的中部固定连接有用于支撑的转轴(2)，所述转轴(2)与四个晶圆卡盘(10)之间设有与转动机构配合的传动机构，所述底座(1)的外侧设有用于检测晶圆偏转角度的检测机构。
2.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，其特征在于，所述转动机构包括与左侧晶圆卡盘(10)的底部固定连接的两根螺母条(11)，两根所述螺母条(11)的内部均为中空，右侧所述晶圆卡盘(10)的底部转动连接有两根与螺母条(11)配合的条形螺丝(12)，两根所述条形螺丝(12)的顶端均插入与其对应的螺母条(11)的内部。
3.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，其特征在于，所述传动机构包括与转轴(2)的顶部外缘转动连接的轴套(3)，所述轴套(3)的外缘固定连接有四个对称设置的连接块(4)，四个所述连接块(4)的另一端均固定连接有固定板(5)，四个所述固定板(5)的上端均固定连接有第一卡轴(6)，四个所述第一卡轴(6)的外缘均套设有连接杆(7)，四个所述连接杆(7)的另一端均转动连接有与第一卡轴(6)配合的第二卡轴(8)，四个所述第二卡轴(8)的下端均通过固定板(5)与固定块(9)固定连接，四个所述固定块(9)的另一端与晶圆卡盘(10)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，其特征在于，所述检测机构包括与底座(1)的上表面外侧固定连接的卡座(13)，所述卡座(13)的顶端设有开槽，所述开槽的两侧内壁间转动连接有两根转杆(14)，两根所述转杆(14)之间固定连接有用于拍摄晶圆图像的相机(15)。
5.根据权利要求2所述的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，其特征在于，右侧所述晶圆卡盘(10)的底部设有两个用于插入条形螺丝(12)的开孔。
6.根据权利要求4所述的一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置，其特征在于，所述相机(15)为工业相机。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020282228.5U CN211977845U (zh) | 2020-03-10 | 2020-03-10 | 一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置 |
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| CN202020282228.5U CN211977845U (zh) | 2020-03-10 | 2020-03-10 | 一种基于机器视觉的晶圆偏转角度检测装置 |
Publications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN211977845U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113280760A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-08-20 | 大连理工大学 | 一种基于双机器视觉的偏心量测量误差补偿方法 |
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2020
- 2020-03-10 CN CN202020282228.5U patent/CN211977845U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN113280760A (zh) * | 2021-05-28 | 2021-08-20 | 大连理工大学 | 一种基于双机器视觉的偏心量测量误差补偿方法 |
| CN113280760B (zh) * | 2021-05-28 | 2022-03-29 | 大连理工大学 | 一种基于双机器视觉的偏心量测量误差补偿方法 |
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