CN211947210U - 镀膜装置的门连接装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型主要提供一种镀膜装置的门连接装置，用于连接一镀膜装置中的一腔体和一腔门，其中所述镀膜装置的连接系统被活动连接于所述腔体和所述腔体以使所述腔体和所述腔门能够相对运动，更具体地，所述镀膜装置的门连接装置包括两个或两个以上连接组件，任一所述连接组件包括至少一第一连接件和至少一第二连接件，其中所述第一连接件和所述第二连接件通过销连接实现彼此连接并能够相对转动。

Description

镀膜装置的门连接装置

技术领域

本实用新型涉及一种门连接装置，具体而言，本实用新型涉及一种用于适用于进行类金刚石薄膜(DLC)镀膜设备的门连接装置。

背景技术

类金刚石薄膜(Diamond-like carbon film)由于具有许多与金刚石相似的性能，如高硬度、低摩擦系数、高耐磨性以及良好的化学稳定性、导热性、电绝缘性、透光性和生物相容性等，其作为新型功能薄膜材料，在许多领域都有着巨大的应用前景。此外，相对于金刚石薄膜，类金刚石薄膜又具有许多独特的优点，如沉积温度低、沉积面积大、沉积条件简单、膜面光滑平整等，在某些要求沉积温度低、膜面粗糙度小的场合，如计算机硬盘、光盘等的保护膜方面，只有类金刚石薄膜才能胜任。而在大多数金刚石膜适合的场合，类金刚石膜也有良好的应用效果。

现有技术中的类金刚石膜层制备装置通常都具有一个真空腔体，通过一个或多个腔门将真空腔体形成密闭空间，从而对待镀膜产品进行类金刚石膜层制备。而由于真空腔体的密闭性要求很高，因此通常腔门都是由厚重的金属或金属+玻璃等制成，以此确保类金刚石膜层在化学反应过程中真空腔体内的密闭性。

这种情况下，由于腔门的自身材质及尺寸的原因，会导致整个腔门非常厚重，或者导致单位面积内的腔门重量偏重，因而会使得腔门与腔体之间的相对位置会随着使用时间的增加而出现改变。因为随着使用时间的增加，腔门因重力作用会出现下沉，因而改变与腔体之间的相对位置，而一旦出现相对位置的偏移，那么真空腔体的密封性能就无法保证，从而导致类金刚石膜层制备装置的使用寿命和使用效果都大打折扣。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于其提供一种镀膜装置的门连接装置，用于一镀膜装置，其中所述镀膜装置的门连接装置能够调节其连接的两端之间的相对位置，从而使所述镀膜装置的门连接装置的两端的位置能够达到预设效果。

本实用新型的一个目的在于提供一种镀膜装置的门连接装置，其中所述镀膜装置的门连接装置便于拆卸，因此能够降低所述镀膜装置的替换成本，从而延长所述镀膜装置的使用寿命。

本实用新型的一个目的在于提供一种镀膜装置的门连接装置，其中所述镀膜装置的门连接装置能够被固定连接于两相对活动端，且两相对活动端的连接强度可以调整，从而提高所述门连接装置的工作稳定性。

本实用新型的一个目的在于提供一种镀膜装置的门连接装置，其中所述镀膜装置的门连接装置具有两个以上连接组件，从而从不同的方位对与其两侧相连的两相对活动端进行调整，因此能够提高所述门连接装置的灵活性。

本实用新型的一个目的在于提供一种镀膜装置的门连接装置，其中所述镀膜装置的门连接装置为整体钢结构，从而提高所述镀膜装置的门连接装置的强度，并能够增加所述镀膜装置的门连接装置的使用寿命。

本实用新型的一个目的在于提供一种镀膜装置的门连接装置，其中所述镀膜装置的门连接装置中的各连接组件之间相对独立，因此能够对两相对活动端进行全方位的位置调节以使两相对活动端的相对位置符合使用标准。

本实用新型的一个目的在于提供一种镀膜装置的门连接装置，其中所述镀膜装置的门连接装置中的连接组件与其相连接的两相对活动端的相对位置能够被调整，从而使所述镀膜装置的门连接装置能够更加有利于对所述两相对活动端的相对位置的调节。

本实用新型的一个目的在于提供一种镀膜装置的门连接装置，其中所述镀膜装置的门连接装置能够为所述镀膜装置的镀膜腔保证密封性，从而提高所述镀膜装置在镀膜过程中的安全性和工作效率。

本实用新型的一个目的在于提供一种镀膜装置的门连接装置，其中所述镀膜装置的门连接装置与两相对活动端通过多根螺纹实现连接，从而使所述镀膜装置的门连接装置安装和拆卸都非常方便。

本实用新型的一个目的在于提供一种镀膜装置的门连接装置，其中所述镀膜装置的门连接装置具有聚四氟乙烯膜层，由于所述聚四氟乙烯膜层具有耐高温、电绝缘、不粘附以及耐腐蚀等特性，因此能够提高所述镀膜装置的门连接装置的使用寿命。

本实用新型的一个目的在于提供一种镀膜装置的门连接装置，其中所述镀膜装置的门连接装置结构和制造工艺简单，成本低廉，并且强度很高，因此非常利于所述镀膜装置的长期使用。

本实用新型的其它优势和特点通过下述的详细说明得以充分体现并可通过所附权利要求中特地指出的手段和装置的组合得以实现。

为达上述至少一目的，本实用新型提供一种镀膜装置的门连接装置，用于连接一镀膜装置中的一腔体和一腔门，其中所述镀膜装置的门连接装置被活动连接于所述腔体和所述腔门以使所述腔体和所述腔门能够相对运动。

在其中一些实施例中，所述镀膜装置为类金刚石镀膜装置。

在其中一些实施例中，所述镀膜装置的门连接装置包括两个或两个以上连接组件，任一所述连接组件包括至少一第一连接件和至少一第二连接件，其中所述第一连接件和所述第二连接件通过销连接实现彼此连接并能够相对转动。

在其中一些实施例中，所述连接组件中的所述第一连接件被固定连接于所述腔体，所述连接组件中的所述第二连接件被固定连接于所述腔门，从而使所述腔门能够相对于所述腔体以所述镀膜装置的门连接装置为轴心进行转动。

在其中一些实施例中，所述镀膜装置的门连接装置被沿所述腔体和所述腔门的竖直边，从而使所述腔门能够相对于所述腔体进行左右翻转。

在其中一些实施例中，所述连接组件的数量为两个，且两个所述连接组件被均匀设置于所述腔体与所述腔门在竖直方向连接的边。

在其中一些实施例中，所述连接组件的数量为两个，且两个所述连接组件被设置于所述腔体与所述腔门在竖直方向连接的边，其中两个所述连接组件到所述腔体在水平方向的上边和下边的距离相等。

在其中一些实施例中，所述第一连接件通过一根或多根螺栓被固定连接于所述腔体，所述第二连接件通过一根或多根螺栓被固定连接于所述腔门。

在其中一些实施例中，一根或多根螺栓被均匀设置于所述第一连接件和所述第二连接件，从而对所述腔门与所述腔体之间相对位置的均匀调节。

在其中一些实施例中，所述镀膜装置的门连接装置由金属材料制成。

在其中一些实施例中，所述镀膜装置的门连接装置包括一具有电绝缘性的膜层，所述膜层被涂覆于所述镀膜装置的门连接装置的表面。

在其中一些实施例中，所述膜层被实施为聚四氟乙烯。

通过对随后的描述和附图的理解，本实用新型进一步的目的和优势将得以充分体现。

本实用新型的这些和其它目的、特点和优势，通过下述的详细说明，附图和权利要求得以充分体现。

附图说明

图1为本实用新型所述的镀膜装置的门连接装置的第一实施例的应用场景立体结构示意图。

图2为本实用新型所述的镀膜装置的门连接装置的第一实施例的立体结构示意图。

图3为本实用新型所述的镀膜装置的门连接装置的第一实施例的应用场景的另一立体结构示意图。

具体实施方式

以下描述用于揭露本实用新型以使本领域技术人员能够实现本实用新型。以下描述中的优选实施例只作为举例，本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本实用新型的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本实用新型的精神和范围的其他技术方案。

本领域技术人员应理解的是，在本实用新型的揭露中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上述术语不能理解为对本实用新型的限制。

可以理解的是，术语“一”应理解为“至少一”或“一个或多个”，即在一个实施例中，一个元件的数量可以为一个，而在另外的实施例中，该元件的数量可以为多个，术语“一”不能理解为对数量的限制。

如图1至图3所述，本实用新型主要提供一种镀膜装置的门连接装置10，用于连接一镀膜装置A中的一镀膜模块20的一腔体21和一腔门22，其中所述镀膜装置的门连接装置10被活动连接于所述镀膜装置A从而使所述镀膜模块20中的所述腔体21与所述腔门22能够相对运动。

详细而言，如图1和图2所示，为本实用新型所述的镀膜装置的门连接装置10的第一实施例的立体结构示意图。

所述镀膜装置A为一进行类金刚石膜层的镀膜装置A，所述镀膜装置A包括至少一镀膜腔100，从而为工件(即待镀膜产品)进行类金刚石膜层的镀膜。而所述镀膜腔100由所述镀膜模块20形成，所述镀膜模块20包括至少一所述腔体21以及至少一所述腔门22，其中所述腔门22与所述腔体21通过所述镀膜装置的门连接装置10进行活动连接，从而使所述腔门22能够相对于所述腔体21进行开启和关闭，从而实现所述镀膜腔100的开启和关闭。

在本实用新型的第一实施例中，所述镀膜模块20为一长方体中空结构，由所述腔体21和所述腔门22形成，其中长方体中空结构中的五个面及所述镀膜腔100由所述腔体21形成，另一个面由所述腔门22组成，从而当所述腔门22相对于所述腔体21呈闭合状态时，所述腔体21和所述腔门22能够形成长方体中空结构的所述镀膜模块20。

在本实用新型的第一实施例中，所述镀膜装置的门连接装置10包括两个或两个以上连接组件11，任一所述连接组件11包括至少一第一连接件111和至少一第二连接件112，其中所述第一连接件111和所述第二连接件112通过销113连接实现彼此相对固定并且活动连接。

具体地，在本实用新型所述的镀膜装置的门连接装置10的第一实施例中，所述镀膜装置的门连接装置10被固定安装于所述腔体21和所述腔门22的一侧，以使所述腔门22能够相对于所述腔体21能够开启和关闭。其中，所述任一所述连接组件11中的所述第一连接件111被固定于所述腔体21，所述连接组件11中的所述第二连接件112被固定于所述腔门22。

优选地，在本实用新型的第一实施例中，所述镀膜装置的门连接装置10包括两个所述连接组件11，两个所述连接组件11被设置于所述腔体21与所述腔门22连接的边沿，从而使所述腔门22在长久使用及来回开合过程中其上下受力均匀而不易变形。

更进一步地，两个所述连接组件11被均匀设置于所述腔体21与所述腔门22连接的边沿，从而使所述腔门22在移动过程中受力均匀。作为本实施例的一种变形，两个所述连接组件11也可以被实施为在所述腔体21与所述腔门22连接的边沿上对称即可，比如将两个所述连接组件11分别设置于所述腔体21与所述腔门22连接的边沿的靠近上端和靠近下端的地方，且所述连接组件11与所述镀膜模块20的上端和下端的距离相等。

值得一提的是，在本实用新型的第一实施例中，所述腔门22沿着所述腔体21的左右两侧边中的任一侧边设置以使所述腔门22能够相对于所述腔体21并以所述连接组件11为轴心进行左右翻转，以此实现所述镀膜腔100的开启和闭合。作为选择，本领域技术人员也可以将所述连接组件11设置于所述镀膜腔100的上下两侧的水平边或其他形状的边沿，从而使所述腔门22能够相对于所述镀膜模块20中的所述腔体21并以所述连接组件11为轴心进行上下翻转。只要采用了与本实用新型相同或近似的技术方案，解决了与本实用新型相同或近似的技术问题，并且达到了与本实用新型相同或近似的技术效果，都属于本实用新型的保护范围之内，本实用新型的具体实施方式并不以此为限。

作为本实用新型的第一实施例的一种变形，本领域技术人员可以根据实际情况改变所述连接组件11的数量，比如3个或者更多等，只要采用了与本实用新型相同或近似的技术方案，解决了与本实用新型相同或近似的技术问题，并且达到了与本实用新型相同或近似的技术效果，都属于本实用新型的保护范围之内，本实用新型的具体实施方式并不以此为限。

此外，如图所示，在本实用新型所述的镀膜装置的门连接装置10中，所述门连接装置所连接的两相对活动端，即所述镀膜模块20的所述腔体21和所述腔门22形成规则的立方体结构，相应地，所述镀膜模块20的所述腔体21形成的所述镀膜腔100的开口也为规则的四边形，与之适配的所述腔门22的形状与所述镀膜腔100的开口的形状一致，也被设置为规则的四边形。作为选择，本领域技术人员也可以将所述镀膜模块20的所述腔体21和所述腔门22设置为其他形状，从而所述镀膜腔100的开口则相应形成不同的形状，比如花瓣状等不规则形状，其中所述腔门22的形状则与所述镀膜腔100的开口的形状一致，或者所述腔门22的面积大于所述镀膜腔100的开口面积，从而使所述腔门22能够通过所述镀膜装置的门连接装置10覆盖于所述镀膜腔100的开口处并确保所述镀膜腔100内部的密封性能。

在本实用新型所述的镀膜装置的门连接装置10的第一实施例中，任一所述第一连接件111和所述第二连接件112上分别通过一根或多根螺栓114与所述镀膜模块20的所述腔体21和所述腔门22实现固定连接。

详细而言，在本实用新型的第一实施例中，任一所述第一连接件111分别通过四根所述螺栓114被固定于所述腔体21，任一所述第二连接件112分别再通过四根所述螺栓114被固定于所述腔门。其中，四根所述螺栓114被均匀设置于所述第一连接件111，另外四根所述螺栓114被均匀规律设置于所述第二连接件112，从而使所述腔门22与所述腔体21之间的相对位置能够通过调节不同的所述螺栓114而改变，进而提高所述镀膜腔100的密封效果。

由于第二连接件112相对于所述销113是相对转动的，同时第二连接件112与腔门22是相对固定的，所以通过调节上下4个螺栓114的松紧，可以相对应控制腔门22四个角与腔体21的间距，从而调整腔门22的贴合度，以使所述腔门22与所述腔体21能够维持一相对稳定的位置，从而确保所述镀膜腔100的密封性维持在一需求范围内，从而确保所述待镀膜产品在镀膜过程中的参数稳定性而提高所述镀膜装置A的工作质量。

换句话说，由于所述第二连接件112与所述第一连接件111之间通过所述销113转动连接，因此通过调节所述螺栓114与之相连的腔门22或腔体21之间的松紧度，即可调整腔门22与腔体21之间的相对位置。当腔门22随着使用时间的增加在重力作用下出现下沉现象时，只要对与下沉位置相应的所述螺栓114进行紧固，或者是调整其他所述螺栓114的松紧度而调整腔门22与腔体21之间的贴合度。

除此以外，所述螺栓114的数量及在所述第一连接件111和所述第二连接件112上的安装位置可以根据实际情况进行确定，由于是通过调节所述螺栓114的松紧度而控制腔门22四个角与腔体21的间距，因此所述螺栓114可以被安装于利于调整腔门22四个角于腔体21间距的任意位置，从而便于对腔门22与腔体21之间的贴合度进行调整。

不仅如此，本领域技术人员还可以根据实际情况将所述螺栓114替换为其他元件，比如螺钉等，只要能对其及与之相连的元件的松紧度进行调整，都属于本发明的保护范围之内，本实用新型的具体实施方式并不以此为限。

在本实用新型的第一实施例中，所述镀膜装置的门连接装置10为不锈钢材料制成，包括但不限于锌合金、钛合金、钢、铁或不锈钢材料等，从而使所述镀膜装置的门连接装置10具有较高的承重力以使其能够承受所述腔门22的重量及往复拉力。

优选地，所述镀膜装置的门连接装置10的表面设置有一膜层，从而提高所述镀膜装置的门连接装置10的耐腐蚀性、耐高温性以及电绝缘性，以此使所述镀膜装置的门连接装置10提高在所述镀膜装置A在镀膜过程中的安全性。

更进一步地，所述膜层被实施为聚四氟乙烯，由于所述聚四氟乙烯具有较高的耐腐蚀性、耐高温性以及电绝缘性等特点，因此设置有聚四氟乙烯膜层的所述镀膜装置的门连接装置10能够满足所述镀膜装置A在镀膜过程中的安全性。除以此外，由于所述聚四氟乙烯还具有耐低温、高润滑、不粘附以及无毒害等特性，因此采用所述聚四氟乙烯作为膜层能进一步提高本实用新型所述的镀膜装置的门连接装置10用于所述镀膜装置A的适配性，特别是其具有的高润滑以及不粘附的特点，能够使所述镀膜装置的门连接装置10在所述待镀膜产品被镀膜过程中的镀膜气体不会对所述镀膜装置的门连接装置10产生任何损坏，从而进一步提高所述镀膜装置的门连接装置10的使用寿命。

由于所述镀膜腔100用于放置至少一待镀膜产品而为所述待镀膜产品进行镀膜，而镀膜过程对于真空度的要求极高，因此镀膜开始前，整个所述镀膜腔100的内部将被抽至一定的真空度，并且在所述镀膜装置A的工作过程中，所述镀膜腔100内的真空度维持在一要求范围内。因此，在所述镀膜装置A工作过程中，所述镀膜模块20中的所述腔体21和所述腔门22需维持在一相对稳定的位置关系。

同时，由于所述镀膜装置A属于大型加工产品，其中的所述镀膜模块20均由金属材料制成，相对质量较大，而由于所述镀膜模块20中的所述腔体21会被一物体支撑，并且也能够自体支撑，而所述腔门22的下方没有任何支撑，因此所述腔门22在常年的开启和闭合过程中，所述腔门22在重力的作用下会出现相对于所述腔体21而向下偏移的情况。同时，由于所述腔门22和所述腔体21通过所述镀膜装置的门连接装置10进行连接，在所述镀膜装置的门连接装置10的连接作用下，所述腔门22与所述腔体21的偏移会出现偏差，而不仅是整体偏移。而偏差的距离取决于所述腔门22的整体质量是否分布均匀，以及所述镀膜装置的门连接装置10中的连接组件11与所述镀膜模块20中的所述腔体21和腔门22的连接松紧度等，此时，只要根据实际情况通过调节所述第一连接件111和所述第二连接件112分别与所述镀膜模块20中的所述腔体21和所述腔门22的连接松紧度即可调整所述腔门22于所述腔体21的相对位置关系。确保了所述腔门22与所述腔体21的稳定的相对位置关系后即可对待镀膜产品进行镀膜。

本领域技术人员会明白附图中所示的和以上所描述的本实用新型实施例仅是对本实用新型的示例而不是限制。

由此可以看到本实用新型目的可被充分有效完成。用于解释本实用新型功能和结构原理的该实施例已被充分说明和描述，且本实用新型不受基于这些实施例原理基础上的改变的限制。因此，本实用新型包括涵盖在附属权利要求书要求范围和精神之内的所有修改。

Claims (10)

1.一种镀膜装置的门连接装置，用于连接一镀膜装置中的一腔体和一腔门，其特征在于，其中所述镀膜装置的门连接装置被活动连接于所述腔体和所述腔门以使所述腔体和所述腔门能够相对运动，其中所述镀膜装置的门连接装置包括两个或两个以上连接组件，任一所述连接组件包括至少一第一连接件和至少一第二连接件，其中所述第一连接件和所述第二连接件通过销连接实现彼此连接并能够相对转动，其中所述连接组件中的所述第一连接件被固定连接于所述腔体，所述连接组件中的所述第二连接件被固定连接于所述腔门，从而使所述腔门能够相对于所述腔体以所述镀膜装置的门连接装置为轴心进行转动。

2.根据权利要求1所述的镀膜装置的门连接装置，其中所述镀膜装置的门连接装置被沿所述腔体和所述腔门的竖直边，从而使所述腔门能够相对于所述腔体进行左右翻转。

3.根据权利要求2所述的镀膜装置的门连接装置，其中所述连接组件的数量为两个，且两个所述连接组件被均匀设置于所述腔体与所述腔门在竖直方向连接的边。

4.根据权利要求2所述的镀膜装置的门连接装置，其中所述连接组件的数量为两个，且两个所述连接组件被设置于所述腔体与所述腔门在竖直方向连接的边，其中两个所述连接组件到所述腔体在水平方向的上边和下边的距离相等。

5.根据权利要求3所述的镀膜装置的门连接装置，其中所述第一连接件通过一根或多根螺栓被固定连接于所述腔体，所述第二连接件通过一根或多根螺栓被固定连接于所述腔门。

6.根据权利要求5所述的镀膜装置的门连接装置，其中一根或多根螺栓被均匀设置于所述第一连接件和所述第二连接件，从而对所述腔门与所述腔体之间相对位置的均匀调节。

7.根据权利要求6所述的镀膜装置的门连接装置，其中所述镀膜装置的门连接装置由金属材料制成。

8.根据权利要求7所述的镀膜装置的门连接装置，其中所述镀膜装置的门连接装置包括一具有电绝缘性的涂层，所述涂层被涂覆于所述镀膜装置的门连接装置的表面。

9.根据权利要求8所述的镀膜装置的门连接装置，其中所述涂层被实施为聚四氟乙烯。

10.根据权利要求1至9中任一所述的镀膜装置的门连接装置，其中所述镀膜装置为类金刚石镀膜装置。

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