CN211858577U - 一种方便角度调节的等离子去胶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及等离子去胶机技术领域，具体涉及一种方便角度调节的等离子去胶机，包括等离子去胶机本体和底座，底座的顶部中部插接有轴承座，轴承座内安装有转轴，转轴的下部设有从动齿轮，底座的内腔顶部右侧安装有驱动电机，本实用新型提供了一种方便角度调节的等离子去胶机，通过一系列结构的设计和使用，本实用新型在进行使用过程中，解决了大多不方便对等离子去胶机进行角度调节，同时缺乏对等离子去胶机的高度进行调节的问题，同时通过电动吸盘的设置增加了本实用新型工作时的稳定性，而且通过设置的消音棉层提高了工作时的无噪音污染环境，进一步提高了使用效果，进而提高了等离子去胶机的实用性。

Description

一种方便角度调节的等离子去胶机

技术领域

本实用新型涉及等离子去胶机技术领域，具体涉及一种方便角度调节的等离子去胶机。

背景技术

等离子去胶机其工作原理是将硅片置于真空反应系统中，通入少量氧气，加1500V高压，由高频信号发生器产生高频信号，使石英管内形成强的电磁场，使氧气电离，形成氧离子、活化的氧原子、氧分子和电子等混合物的等离子体的辉光柱。活化氧（活泼的原子态氧）可以迅速地将聚酰亚胺膜氧化成为可挥发性气体，被机械泵抽走，这样就把硅片上的聚酰亚胺膜去除了。等离子去胶的优点是去胶操作简单、去胶效率高、表面干净光洁、无划痕、成本低、环保。

现有市场上的等离子去胶机在进行使用过程中，大多不方便对等离子去胶机进行角度调节，同时缺乏对等离子去胶机的高度进行调节的功能，导致使用效果差，进而降低了等离子去胶机的实用性，因此亟需研发一种方便角度调节的等离子去胶机来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种方便角度调节的等离子去胶机，通过一系列结构的设计和使用，本实用新型在进行使用过程中，解决了大多不方便对等离子去胶机进行角度调节，同时缺乏对等离子去胶机的高度进行调节的问题，同时通过电动吸盘的设置增加了本实用新型工作时的稳定性，而且通过设置的消音棉层提高了工作时的无噪音污染环境，进一步提高了使用效果，进而提高了等离子去胶机的实用性。

本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种方便角度调节的等离子去胶机，包括等离子去胶机本体和底座，所述底座的顶部中部插接有轴承座，所述轴承座内安装有转轴，所述转轴的下部设有从动齿轮，所述底座的内腔顶部右侧安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端设有主动齿轮，所述主动齿轮的左侧啮合有所述从动齿轮，所述转轴的上端与所述等离子去胶机本体的底部中部相连，所述底座的顶部设有环形滑槽，所述环形滑槽内四周滑动连接有四组滑块，所述滑块分别设置于所述等离子去胶机本体的底部四周，所述底座的底部四角插接有四组液压缸，所述液压缸的活塞杆端设有电动吸盘，所述底座的前侧壁设有控制器。

优选的，所述轴承座内的轴承与所述转轴之间通过过盈方式相连。

优选的，所述驱动电机为伺服电机。

优选的，所述转轴的下端还包括设置的角度传感器，且所述角度传感器与所述控制器电性相连。

优选的，所述底座的外壁四周还包括嵌设的消音棉层，且所述消音棉层为蜂窝状聚酯消音棉层制成。

优选的，所述控制器分别与所述驱动电机、所述液压缸和所述电动吸盘电性相连。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型在采用上述的结构和设计使用下，避免了可以通过翻转清洗片对清洗片的正反两面进行清洗和操作繁琐的方式，可以直接达到对清洗片的正反两面进行同步清洗的目的，同时避免了上述专利只能对单组清洗片进行清洗的方式，节省了清洗时间，提高了清洗效率，进而提高了等离子清洗机的实用性；

而且本实用新型结构新颖，设计合理，使用方便，具有较强的实用性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的正视图；

图2是本实用新型的剖视图；

图3是本实用新型中环形滑槽和滑块俯视图；

图4是本实用新型中底座的局部剖视图。

图中：1-等离子去胶机本体、2-底座、3-轴承座、4-转轴、5-从动齿轮、6-驱动电机、7-主动齿轮、8-环形滑槽、9-滑块、10-液压缸、11-电动吸盘、12-控制器、13-角度传感器。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

一种方便角度调节的等离子去胶机，包括等离子去胶机本体1和底座2，底座2的顶部中部插接有轴承座3，轴承座3内安装有转轴4，转轴4的下部设有从动齿轮5，底座2的内腔顶部右侧安装有驱动电机6，驱动电机6的输出端设有主动齿轮7，主动齿轮7的左侧啮合有从动齿轮5，转轴4的上端与等离子去胶机本体1的底部中部相连，底座2的顶部设有环形滑槽8，环形滑槽8内四周滑动连接有四组滑块9，滑块9分别设置于等离子去胶机本体1的底部四周，底座2的底部四角插接有四组液压缸10，液压缸10的活塞杆端设有电动吸盘11，底座2的前侧壁设有控制器12。

具体的，轴承座3内的轴承与转轴4之间通过过盈方式相连。

具体的，驱动电机6为伺服电机。

具体的，转轴4的下端还包括设置的角度传感器13，且角度传感器13与控制器12电性相连。

具体的，底座2的外壁四周还包括嵌设的消音棉层，且消音棉层为蜂窝状聚酯消音棉层制成。

具体的，控制器12分别与驱动电机6、液压缸10和电动吸盘11电性相连。

工作原理：本实用新型进行使用时，当需要进行调节角度时，控制驱动电机6工作，带动主动齿轮7转动，同步带动从动齿轮5、转轴4和等离子去胶机本体1转动，同时带动四组滑块9在环形滑槽8内进行滑动，进而可以达到对等离子去胶机本体1在使用时进行方便调节角度的目的；

而且通过转轴4的下端还包括设置的角度传感器13，且角度传感器13与控制器12电性相连，可以预先在控制器12内设定转动角度值，当角度传感器13检测转轴4的转动角度与控制器12的预设阀值相符时，会发送信号至控制器12，控制器12控制驱动电机6停止工作即可，进而进一步达到对等离子去胶机本体1进行角度调节的精准的目的；

而且通过设置的四组液压缸10，控制液压缸10的活塞杆进行伸长或缩短，可以同步带动底座2、等离子去胶机本体1进行上升或下降，进而实现对等离子去胶机本体1的高度进行调节的目的，满足了不同身高的工作人员进行使用的需求；

而且通过设置的电动吸盘11，控制电动吸盘11工作，电动吸盘11可以强力吸附附着面，进一步提高本实用新型在进行使用时工作的稳定性；

而且通过驱动电机6为伺服电机，可以方便精确控制其转速，运行更加安全稳定；通过底座2的外壁四周还包括嵌设的消音棉层，且消音棉层为蜂窝状聚酯消音棉层制成，可以达到对等离子去胶机本体1在进行工作时产生的噪音进行吸音降噪的目的，进一步提高了工作时的无噪音污染环境；

进而在上述结构的设计和使用下，本实用新型在进行使用过程中，解决了大多不方便对等离子去胶机进行角度调节，同时缺乏对等离子去胶机的高度进行调节的问题，同时通过电动吸盘11的设置增加了本实用新型工作时的稳定性，而且通过设置的消音棉层提高了工作时的无噪音污染环境，进一步提高了使用效果，进而提高了等离子去胶机的实用性。

上述驱动电机6、液压缸10、电动吸盘11和角度传感器13等电器元件的控制方式是通过与其配套的控制器12进行控制的，控制器12的型号为PLC控制器12，且控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，属于本领域的公知常识，仅对其进行使用，未对其进行改进，并且本实用新型主要用来保护机械装置，所以本实用新型不再详细对控制方式和电路连接进行赘述。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.一种方便角度调节的等离子去胶机，包括等离子去胶机本体（1）和底座（2），其特征在于：所述底座（2）的顶部中部插接有轴承座（3），所述轴承座（3）内安装有转轴（4），所述转轴（4）的下部设有从动齿轮（5），所述底座（2）的内腔顶部右侧安装有驱动电机（6），所述驱动电机（6）的输出端设有主动齿轮（7），所述主动齿轮（7）的左侧啮合有所述从动齿轮（5），所述转轴（4）的上端与所述等离子去胶机本体（1）的底部中部相连，所述底座（2）的顶部设有环形滑槽（8），所述环形滑槽（8）内四周滑动连接有四组滑块（9），所述滑块（9）分别设置于所述等离子去胶机本体（1）的底部四周，所述底座（2）的底部四角插接有四组液压缸（10），所述液压缸（10）的活塞杆端设有电动吸盘（11），所述底座（2）的前侧壁设有控制器（12）。

2.根据权利要求1所述的一种方便角度调节的等离子去胶机，其特征在于：所述轴承座（3）内的轴承与所述转轴（4）之间通过过盈方式相连。

3.根据权利要求1所述的一种方便角度调节的等离子去胶机，其特征在于：所述驱动电机（6）为伺服电机。

4.根据权利要求1所述的一种方便角度调节的等离子去胶机，其特征在于：所述转轴（4）的下端还包括设置的角度传感器（13），且所述角度传感器（13）与所述控制器（12）电性相连。

5.根据权利要求1所述的一种方便角度调节的等离子去胶机，其特征在于：所述底座（2）的外壁四周还包括嵌设的消音棉层，且所述消音棉层为蜂窝状聚酯消音棉层制成。

6.根据权利要求1所述的一种方便角度调节的等离子去胶机，其特征在于：所述控制器（12）分别与所述驱动电机（6）、所述液压缸（10）和所述电动吸盘（11）电性相连。

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