CN211837076U - 一种气体净化结构 - Google Patents
一种气体净化结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN211837076U CN211837076U CN201921802443.7U CN201921802443U CN211837076U CN 211837076 U CN211837076 U CN 211837076U CN 201921802443 U CN201921802443 U CN 201921802443U CN 211837076 U CN211837076 U CN 211837076U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gas
- filter
- condensing
- teflon
- tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
一种气体净化结构，连接工艺炉管的排气口，用于处理工艺炉管内排出的气体，包括冷凝装置和过滤装置，冷凝装置被配置为用于连接净化进气部分，冷凝装置连接过滤装置，过滤装置配置为用于连接净化出气部分，进入气体净化结构内的气体先经过冷凝装置后经过过滤装置；本实用新型的气体净化结构无需人工控制，真空计能自动监控炉管内真空数值并控制真空泵启停；特氟龙卡套接头能保证接口处的密封性能同时连接方便拆装清洗，保证工作时管道的密封性且降低定期维护时管道的维护难度；特氟水管能够耐高温和耐尾排气体腐蚀，使本实用新型的气体净化结构使用寿命更久。
Description
技术领域
本实用新型涉及气体处理技术领域，尤其涉及用于一种气体净化结构。
背景技术
半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等，在太阳能电池片扩散设备加工过程中，会产生尾气排放，根据环保部门的相关要求，需对尾气处理后再排放，虽然市面上已经有了许多尾气处理设备，但是它们并不适用于太阳能电池片扩散设备的尾气处理。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种气体净化结构，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的本实用新型所采用的技术方案是一种气体净化结构，连接工艺炉管的排气口，用于处理工艺炉管内排出的气体，包括冷凝装置和过滤装置，冷凝装置被配置为用于连接净化进气部分，冷凝装置连接过滤装置，过滤装置配置为用于连接净化出气部分，进入气体净化结构内的气体先经过冷凝装置后经过过滤装置，本实用新型中净化结构所净化的气体主要来自于半导体或光伏材料加工设备的排放，这类设备的尾气通常具有高温高压气体性质稳定不易被化学吸收的特点。
作为优选，冷凝装置通过耐高温材料接头与工艺炉管进行连接，耐高温材料接头能承受工艺炉管内的高温。
作为优选，冷凝装置选自石英冷凝瓶、石英冷凝管、镀锌钢管中的至少一种。
作为优选，还包括能够将工艺炉管内的气体加速抽入气体净化结构的真空泵，能够提高气体处理速度。
作为优选，真空泵位于过滤装置下游，气体先经过过滤装置后经过真空泵，过滤装置能过滤掉管道内绝大多数的酸性物质并降低气体对真空泵的腐蚀。
作为优选，包括气动阀，气动阀位于真空泵上游，气动阀能够调节管道内的额定流量。
作为优选，过滤装置包括至少一个滤瓶。
作为优选，过滤装置还包括固定板和直角连接板，固定板用于将滤瓶固定安装，直角连接板的一个直角面固定连接于固定板，另一个直角面用于安装滤瓶，使滤瓶竖直安装。
作为优选，滤瓶与冷凝装置通过至少一根特氟水管进行连接，特氟水管能够耐高温和耐尾排气体腐蚀。
作为优选，冷凝装置的类型选自直行冷凝管、球形冷凝管、蛇形冷凝管中的至少一种，当滤瓶数量大于等于两个时，滤瓶之间通过特氟龙卡套接头进行连接，特氟龙卡套接头采用螺纹式连接，当特氟水管数量大于等于两根时，相邻特氟水管通过特氟龙卡套接头进行连接，特氟水管与滤瓶之间也采用特氟龙卡套接头进行连接，特氟水管与冷凝装置通过耐高温接头进行连接，特氟水管与冷凝装置通过耐高温接头进行连接，特氟龙卡套接头能保证接口处的密封性并方便拆装清洗。
综上所述，本实用新型的有益效果是：本实用新型的气体净化结构无需人工控制，真空计能自动监控炉管内真空数值并控制真空泵启停；特氟龙卡套接头能保证接口处的密封性能同时连接方便拆装清洗，保证工作时管道的密封性且降低定期维护时管道的维护难度；特氟水管能够耐高温和耐尾排气体腐蚀，使本实用新型的气体净化结构使用寿命更久；通过本实用新型的气体净化结构，太阳能电池片扩散设备加工过程中所产生的尾气可以得到有效处理并排放。
附图说明
图1是气体净化管道连接示意图；
图2是气体净化管道原理图。
附图标记说明：
10：陶瓷接头；20：石英冷凝管；30：特氟水管；40：特氟龙卡套接头；50：滤瓶；60：真空计；70：气动阀；80：固定板；85：直角连接板；90：真空泵。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的实施方式做进一步详细描述，应当指出的是，实施例只是对本实用新型的详细阐述，不应视为对本实用新型的限定，本实用新型的实施例中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均能够以任何方式组合。
参照附图1和附图2，本实施例提供一种气体净化结构，连接工艺炉管的排气口，用于处理工艺炉管内排出的气体，包括真空泵90、真空计60、冷凝装置和过滤装置，冷凝装置和过滤装置分别选用石英冷凝管20和滤瓶50，工艺炉管内反应后的气体通过真空泵90抽入石英冷凝管20内进行冷凝，在一些其他实施方式中，石英冷凝管20能够替换为石英冷凝瓶，在一些其他实施方式中，石英冷凝管20能够替换为镀锌钢管，也能起到冷凝效果，在一些其他实施方式中，石英冷凝管20的类型可以选用直行冷凝管、球形冷凝管、蛇形冷凝管等。本实用新型并不限定冷凝管材料上及类型上的选取，滤瓶50能够用于降低尾气管道内的气体流速并吸收气体和冷凝后液体中的有毒有害物质，其中，液态有毒有害物质主要成分为酸性物质(PH<7)，包括偏磷酸，真空计60来监控炉管内真空数值并控制真空泵90启停或是控制真空泵90的流量大小，从而稳定炉内真空度，过滤后的气体及冷凝后的液体最后通过真空泵90排入厂务尾排管道。
优选的，尾气管道内的滤瓶50至少有一个，滤瓶50主要吸收酸性物质，同时多个滤瓶50的设置有助于进一步降低尾气管道内的气体流速，并使有毒有害物质的吸收更彻底，且当滤瓶50数量大于等于两个时，滤瓶50之间通过特氟龙卡套接头40进行连接，特氟龙卡套接头40能保证接口处的密封性，特氟龙卡套接头40采用螺纹式连接，方便滤瓶50的拆卸，在一些其他实施方式中，特氟龙卡套接头40采用卡扣式连接。在一些其他实施方式中，滤瓶50装入的吸收剂可以是相同的，能够对有毒有害物质进行二次过滤。在一些其他实施方式中，滤瓶50装入的吸收剂也可以是不同的，能够过滤不同的有毒有害物质。
滤瓶50需设置于真空泵90前侧位置，滤瓶50能过滤掉管道内绝大多数的酸性物质，这样的设置顺序能够减小管道内气体对真空泵90的损害，延长装置整体的使用寿命。
石英冷凝管20通过耐高温材料接头与工艺炉管进行连接，本实施例中耐高温材料接头选用陶瓷接头10，它能承受工艺炉管内的高温，一种尾气管道结构还包括气动阀80，气动阀80用于调节管道内的额定流量，滤瓶50与石英冷凝管20通过能够耐高温和耐尾排气体腐蚀的特氟水管30进行连接，本实施例中选用三根特氟水管30，相邻特氟水管30之间也通过特氟龙卡套接头40进行连接，在一些其他实施方式中，滤瓶50与石英冷凝管20之间通过至少一根特氟水管30进行连接。特氟水管30与滤瓶50间采用特氟龙卡套接头40进行连接，特氟水管30与石英冷凝管20之间通过陶瓷接头10进行连接，特氟龙卡套接头40能保证接口处的密封性，同时也能方便各连接拆装清洗。
优选的，过滤装置还包括固定板80和直角连接板85，固定板85用于将滤瓶50固定安装，直角连接板85的一个直角面固定连接于固定板80，另一个直角面用于安装滤瓶50，使滤瓶50竖直安装。
本实施例提供的一种尾气管道结构其内装置的布置顺序为：工艺炉管-石英冷凝管20-特氟水管30-滤瓶50-真空计60-气动阀70-真空泵90-厂务尾排管，顺序在前的装置位于顺序在后的装置的上游，除了上述提到的石英冷凝管20与工艺炉管、特氟水管30与石英冷凝管20采用陶瓷接头10进行连接，其余连接皆采用特氟龙卡套接头40进行连接。
本实用新型中的尾气管道结构通过陶瓷接头10与工艺炉管进行连接，工艺炉管内反应后的气体通过真空泵90抽入石英冷凝管20内进行冷凝，气体及冷凝后的液体通过特氟水管30进入滤瓶50内，滤瓶50吸收气体和冷凝后液体中的有毒有害物质后继续通过特氟水管30排出，真空计60测量经过滤瓶50后炉管内真空数值，并控制真空泵90启停或是控制真空泵90的流量大小，从而稳定炉内真空度，最后，气体及冷凝后的液体最后通过真空泵90排入厂务尾排管道。
以上所述，仅为实用新型的具体实施方式，但实用新型的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在实用新型的保护范围之内，因此，实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种气体净化结构，其特征在于，连接工艺炉管的排气口，用于处理工艺炉管内排出的气体，包括冷凝装置和过滤装置，冷凝装置被配置为用于连接净化进气部分，冷凝装置连接过滤装置，过滤装置配置为用于连接净化出气部分，进入气体净化结构内的气体先经过冷凝装置后经过过滤装置。
2.根据权利要求1所述的一种气体净化结构，其特征在于，冷凝装置通过耐高温材料接头与工艺炉管进行连接。
3.根据权利要求1所述的一种气体净化结构，其特征在于，冷凝装置选自石英冷凝瓶、石英冷凝管、镀锌钢管中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的一种气体净化结构，其特征在于，还包括能够将工艺炉管内的气体加速抽入气体净化结构的真空泵。
5.根据权利要求4所述的一种气体净化结构，其特征在于，真空泵位于过滤装置下游，气体先经过过滤装置后经过真空泵。
6.根据权利要求4所述的一种气体净化结构，其特征在于，包括气动阀，气动阀位于真空泵上游。
7.根据权利要求1所述的一种气体净化结构，其特征在于，过滤装置包括至少一个滤瓶。
8.根据权利要求7所述的一种气体净化结构，其特征在于，过滤装置还包括固定板和直角连接板，固定板用于将滤瓶固定安装，直角连接板的一个直角面固定连接于固定板，另一个直角面用于安装滤瓶，使滤瓶竖直安装。
9.根据权利要求7所述的一种气体净化结构，其特征在于，滤瓶与冷凝装置通过至少一根特氟水管进行连接。
10.根据权利要求9所述的一种气体净化结构，其特征在于，冷凝装置的类型选自直行冷凝管、球形冷凝管、蛇形冷凝管中的至少一种，当滤瓶数量大于等于两个时，滤瓶之间通过特氟龙卡套接头进行连接，特氟龙卡套接头采用螺纹式连接，当特氟水管数量大于等于两根时，相邻特氟水管通过特氟龙卡套接头进行连接，特氟水管与滤瓶之间也采用特氟龙卡套接头进行连接，特氟水管与冷凝装置通过耐高温接头进行连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921802443.7U CN211837076U (zh) | 2019-10-25 | 2019-10-25 | 一种气体净化结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921802443.7U CN211837076U (zh) | 2019-10-25 | 2019-10-25 | 一种气体净化结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN211837076U true CN211837076U (zh) | 2020-11-03 |
Family
ID=73131435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921802443.7U Active CN211837076U (zh) | 2019-10-25 | 2019-10-25 | 一种气体净化结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN211837076U (zh) |
-
2019
- 2019-10-25 CN CN201921802443.7U patent/CN211837076U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN211837076U (zh) | 一种气体净化结构 | |
| CN211837077U (zh) | 一种气体管道结构 | |
| CN205164470U (zh) | 废气净化装置 | |
| CN211051150U (zh) | 一种有毒有害污染气体治理深度净化装置 | |
| CN210021588U (zh) | 一种VOCs废气处理设备 | |
| CN201513900U (zh) | 用射流引射器抽吸聚酯装置尾气进行处理的系统 | |
| CN204756952U (zh) | 一种废气处理装置 | |
| CN209204962U (zh) | 一种高温烟气净化处理系统 | |
| CN210021739U (zh) | 一种工业窑炉尾气NOx的SCR脱硝系统 | |
| CN208389759U (zh) | 一种低温烟气臭氧脱硝高效反应器 | |
| CN101934193A (zh) | 废气净化装置 | |
| CN214038566U (zh) | 一种空气净化型吸油烟机的风道分离结构 | |
| CN217737236U (zh) | 一种具有废气净化处理的焚烧炉 | |
| CN219848877U (zh) | 喷淋废气处理吸收装置 | |
| CN211316992U (zh) | 高温电炉烟气处理装置 | |
| WO2023231068A1 (zh) | 一种锅炉烟气处理装置 | |
| CN211245989U (zh) | 一种用于工业废气处理的环保设备 | |
| CN219722419U (zh) | 脱硝水解反应器排污系统 | |
| CN216457970U (zh) | 壁挂式液氨换热器 | |
| CN218393048U (zh) | 一种燃气锅炉烟气脱硝装置 | |
| CN212594937U (zh) | 一种用于通风柜的净化导流组件 | |
| CN210071432U (zh) | 一种取样装置 | |
| CN215728016U (zh) | 一种燃煤锅炉尾气监测控制装置 | |
| CN218834064U (zh) | 一种空间节约型多级串联吸收预处理装置 | |
| CN211537013U (zh) | 一种污水处理站用废气收集处理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: No.1, Jikang Road, Kengzi street, Pingshan District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee after: Laplace New Energy Technology Co.,Ltd. Address before: No.1, Jikang Road, Kengzi street, Pingshan District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee before: SHENZHEN LAPLACE ENERGY TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |