CN211825635U - 一种台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，包括样品盘、光谱采集组件、图像传感组件以及光学共轴地传导激光束至所述样品盘上的样品的第一光学体和第二光学体，所述第二光学体外连接有第三光学体，所述第二光学体和所述第三光学体光学共轴地将来自样品的光谱信号传导至所述光谱采集组件和图像传感组件，所述第一光学体与所述第二光学体相对设置且通过多个第一联杆连接，所述第三光学体分别与所述光谱采集组件和所述图像传感组件相对设置且通过多个第二联杆和多个第三联杆连接。该系统能将光束严格约束在系统的光学中心，从而获得较佳的聚焦效果，具有较高的光学分辨率，同时光路稳定，光学共轴精度高，并具有图谱成像和分析功能。

Description

一种台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统

技术领域

本实用新型涉及激光光谱技术领域，更具体地说，涉及一种台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统。

背景技术

激光诱导击穿光谱是利用聚焦的高能量密度脉冲激光激发被分析物质，从而产生等离子体，等离子体内部原子和离子的能级跃迁会向外辐射特征光谱，通过分析光谱强度和谱线特征，能够对被分析物质内部所含元素的种类和含量进行定性和精确定量分析。当前，激光探针技术存在的主要问题包括：一是定量分析不准确，易受到基体效应和其它谱线相近元素的干扰；二是探测极限较差，一般为千分之一数量级；三是光学系统精度和稳定性差，即无法获得接近衍射极限的聚焦光斑，也无法获得几何对称的等离子体，从而导致不同方向采集的光谱强度不一，影响分析精度；四是无法实现图谱分析。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，解决了现有技术中的激光探针技术对样品的定量分析不准确、探测极限差、精度差、无法获得几何对称的等离子体以及无法实现图谱分析的问题。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：一种台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，包括样品盘、光谱采集组件、图像传感组件以及光学共轴地传导激光束至所述样品盘上的样品的第一光学体和第二光学体，所述第二光学体外连接有第三光学体，所述第二光学体和所述第三光学体光学共轴地将来自样品的光谱信号传导至所述光谱采集组件和图像传感组件，所述第一光学体与所述第二光学体相对设置且通过多个第一联杆连接，所述第三光学体分别与所述光谱采集组件和所述图像传感组件相对设置且通过多个第二联杆和多个第三联杆连接。

在本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统中，所述第一光学体的一侧设置有用于调节入射的激光束能量的激光衰减器，所述第一光学体背离所述激光衰减器的一侧设置有用于吸收、分散和消减透射的有害激光束的激光消减器，所述第一光学体具有用于将激光束反射至所述第二光学体内的激光全反镜，所述第一光学体外设置有用于调节所述激光全反镜的反射角度的镜片角度调节器。

在本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统中，所述第二光学体具有用于将来自所述第一光学体的激光束反射至所述样品盘上的样品以及将来自样品的光谱信号透射至所述第三光学体的激光波长反射镜；

所述第二光学体与所述第一光学体之间设置有激光扩束镜，所述激光扩束镜包括激光扩束前镜和激光扩束后镜，所述激光扩束后镜连接在所述第二光学体朝向所述第一光学体的一侧，所述激光扩束前镜位于所述激光扩束后镜与所述第一光学体之间，且所述激光扩束后镜和所述激光扩束前镜分别固定在每一所述第一联杆上。

在本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统中，所述第三光学体通过紧固件固定安装在所述第二光学体的一侧，所述第三光学体具有用于将来自所述第二光学体的部分光谱信号反射至所述图像传感组件和部分光谱信号透射至所述光谱采集组件的半透半反镜。

在本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统中，所述光谱采集组件包括光谱采集器、用于调节所述光谱采集器沿X轴和Y轴方向移动的第一调节机构、用于将激光束聚焦至所述光谱采集器的光谱采集镜，所述光谱采集镜位于所述光谱采集器与所述第三光学体之间，所述光谱采集器设置在所述第一调节机构上，所述第一调节机构和所述光谱采集镜固定于每一所述第二联杆，所述光谱采集器上连接有光谱采集光纤。

在本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统中，所述图像传感组件包括视觉成像目镜、遮光套筒和图像传感器，所述遮光套筒设置在所述图像传感器朝向所述第三光学体的一侧，所述遮光套筒通过连接板固定在所述第三联杆上，所述视觉成像目镜设置在所述第三光学体朝向所述图像传感器的一侧，所述视觉成像目镜固定在所述第三联杆上。

在本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统中，所述台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统还包括阻尼隔振杆和光学平台，光学平台通过滑块沿阻尼隔振杆移动，所述第一光学体、第二光学体、第三光学体、光谱采集组件、图像传感组件安装在所述光学平台上。

在本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统中，所述台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统还包括Z轴运动平台和在所述Z轴运动平台上沿Z轴方向移动的安装板，所述安装板上安装有旁轴光谱采集器、用于调节所述旁轴光谱采集器沿X轴和Y轴方向移动的第二调节机构、激光测距器和集成聚焦物镜，所述旁轴光谱采集器连接在所述第二调节机构上，所述集成聚焦物镜上集成有气体连接阀，所述Z轴运动平台通过Z轴固定板与所述滑块相连接。

在本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统中，所述台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统还包括底座、用于带动所述样品盘沿X轴移动的X轴运动平台、用于带动所述样品盘沿Y轴移动的Y轴运动平台和用于带动所述样品盘旋转的R轴运动平台，所述Y轴运动平台与所述X轴运动平台正交连接，所述Y轴运动平台与所述底座连接，所述R轴运动平台与所述X轴运动平台连接，所述样品盘的边缘沿周向设置多个用于放置样品的样品位。

在本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统中，阻尼隔振杆的底端设置有用于增加负载能力的加强套筒，所述加强套筒固定在所述底座上。

实施本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，具有以下有益效果：本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统结构紧凑，能够将光束严格约束在系统的光学中心，从而获得较佳的聚焦效果，具有较高的光学分辨率，同时光路稳定，光学共轴精度高，并具有图谱成像和分析功能。

附图说明

图1为本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统的第一角度的结构示意图；

图2为图1中A-A1处的局部放大示意图；

图3为本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统的第二角度的结构示意图；

图4为本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统的第三角度的结构示意图；

图5为图4中A-A2处的局部放大示意图；

其中，1.第一光学体；2.第二光学体；3.第三光学体；4.激光衰减器；5.激光扩束前镜；6.激光扩束后镜；7.视觉成像目镜；8.图像传感器；9.遮光套筒；10.光谱采集镜；111.第一调节机构；112.光谱采集器；12.光谱采集光纤；131.第一联杆；132.第二联杆；133第三联杆；14.镜片角度调节器；15.激光消减器；16.光学平台；17.滑块；18.阻尼隔振杆；19.加强套筒；20.底座；21.Y轴运动平台；22.X轴运动平台；23.R轴运动平台；24.样品盘；25.Z轴运动平台；26.Z轴固定板；27.安装板；28.激光测距器；291.第二调节机构；292.旁轴光谱采集器；30.集成聚焦物镜；31.气体连接阀；32.样品。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统的结构和作用原理作进一步说明：

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图1所示，本实用新型的较佳实施例提供了一种台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，其包括样品盘24、光谱采集组件、图像传感组件以及光学共轴地传导激光束至样品盘24上的样品32的第一光学体1和第二光学体2。第二光学体2外连接有第三光学体3，第二光学体2和第三光学体3光学共轴地将来自样品32的光谱信号传导至光谱采集组件和图像传感组件。

参见图1，第一光学体1设置在第二光学体2的左侧，且第一光学体1与第二光学体2相对设置并通过多个第一联杆131连接。第三光学体3安装在第二光学体2的上端，二者可以通过紧固件相连接，如紧固螺丝等，使第三光学体3与第二光学体2光学共轴。样品盘24位于第二光学体2的下方，便于传导来自样品的光谱信号。光谱采集组件位于第三光学体3的上方，图像传感组件位于第三光学体3的左侧且同时位于第一光学体1的上方。其中，第三光学体3与光谱采集组件相对设置且通过多个第二联杆132连接，第三光学体3与图像传感组件相对设置且通过多个第三联杆133连接，进而实现光学共轴。整体光学结构紧凑，易于实现。其中，第一联杆131、第二联杆132和第三联杆133的数量可以根据需要而定，优选采用四根，光学共轴稳定。

如图1-2所示，第一光学体1的一侧设置有用于调节入射的激光束能量的激光衰减器4，第一光学体1背离激光衰减器4的一侧设置有用于吸收、分散和消减透射的有害激光束的激光消减器15，第一光学体1具有用于将激光束反射至第二光学体2内的激光全反镜，第一光学体1外设置有用于调节激光全反镜的反射角度的镜片角度调节器14。其中，激光衰减器4是现有技术中已有的，这里不再进行详细赘述。激光衰减器4能够调节入射后激光束的能量，实现激光能量的线性调节。激光消减器15可以是金属制成的帽状、不规则结构等，用于吸收和消减透射的激光束，避免激光被反射影响光路，形成鬼像和造成光路损坏。激光全反镜是用于反射激光束的全反反射镜。镜片角度调节器14包括外置的可旋转的旋转部件，外部可以进行调节旋转，内部与激光全反镜相连接，通过外部的旋转，使内部的激光全反镜也旋转，进而可以实现调节激光全反镜的反射角度。镜片角度调节器14能够实现光路角度的调节，达到光学共轴的目的。

第二光学体2具有用于将来自第一光学体1的激光束反射至样品盘24上的样品32以及将来自样品32的光谱信号透射至第三光学体3的激光波长反射镜。其中，激光波长反射镜是指仅反射激光波长范围的激光束，对其它波长的光是可以透射的，激光波长一般是1064nm，光谱带宽300-800nm，因此通过激光波长反射镜反射激光束，透射样品的光谱信号。

第二光学体2与第一光学体1之间设置有激光扩束镜，经过激光扩束镜后激光束的光斑直径会变大，激光束的发散角也会得到优化，达到对入射激光束扩束、改善激光发散角和光束整形的目的，获得准直激光束。激光扩束镜包括激光扩束前镜5和激光扩束后镜6，激光扩束后镜6连接在第二光学体2朝向第一光学体1的一侧，激光扩束前镜5位于激光扩束后镜6与第一光学体1之间，且激光扩束后镜6和所述激光扩束前镜5分别固定在每一个第一联杆131上。具体地，在一些实施例中，每一个第一联杆131的一端连接在激光扩束后镜6上，每一个第一联杆131的另一端连接第一光学体1上，激光扩束前镜5套设固定在每一个第一联杆131上。在另一些实施例中，每一个第一联杆131的一端连接在第二光学体2上，激光扩束后镜6套设固定在每一个第一联杆131上。其中，激光扩束前镜5是凹透镜，激光扩束后镜6是凸透镜。

第三光学体3具有将来自第二光学体2的样品的光谱信号透射至光谱采集组件，并将部分可见光谱信号部分反射至图像传感组件的半透半反镜，通常采用50:50透射和反射比的半透半反镜，既能够保证图像传感组件获得足够强度的用于成像的可见光谱信号，还能够保证光谱采集组件能够采集到足够强度的光谱信号。

光谱采集组件构成了同轴光谱采集系统，实现对激光激发样品表面物质形成的等离子体进行精确对准和光谱采集。光谱采集组件包括光谱采集器112、用于调节光谱采集器112沿X轴和Y轴方向移动的第一调节机构111、用于将激光束聚焦至光谱采集器112的光谱采集镜10，光谱采集镜10位于光谱采集器112与第三光学体3之间，第一调节机构111和所述光谱采集镜10固定于每一个第二联杆132。第二联杆132的一端连接在第一调节机构111上，第二联杆132的另一端连接在第三光学体3上，光谱采集镜10可以套设固定于每一个第二联杆132上。其中，光谱采集器112是指现有技术常有的光纤耦合器，能够将300-800nm带宽的光谱信号耦合进入光纤中。光谱采集器112上连接有光谱采集光纤12，如石英光纤等，将光谱信号聚焦耦合传送出去。光谱采集器112设置在第一调节机构111上，第一调节机构111可以是采用丝杆和丝杆螺母配合的技术实现驱动光谱采集器112沿X轴移动和沿Y轴移动，通过第一调节机构111使光谱采集器112精确对焦，确保光谱信号精确采集，提高光谱信号的耦合和传输效率，提升检测极限。另外，光谱采集镜10是透射镜，用于将光谱信号聚焦至光谱采集器112。

图像传感组件包括视觉成像目镜7、遮光套筒9和图像传感器8，遮光套筒9的一端连接在图像传感器8上，遮光套筒9的另一端通过连接板固定，遮光套筒9大致呈圆筒状。视觉成像目镜7是现有技术中常用的成像目镜，例如显微镜上所使用的目镜，视觉成像目镜7设置在第三光学体3朝向图像传感器8的一侧。每一个第三联杆133的两端分别连接在连接板和视觉成像目镜7上。其中，图像传感器8用于接收被反射的光信号，从而对样品表面特定区域进行成像，其为现有技术中已有的，这里不再进行详细赘述。

台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统还包括阻尼隔振杆18和光学平台16，阻尼隔振杆18的数量可以是一个，也可以是多个，光学平台16通过滑块17沿阻尼隔振杆18移动，即光学平台16连接在滑块17上，第一光学体1、第二光学体2、第三光学体3、光谱采集组件、图像传感组件安装在光学平台16上。具体地，第一光学体1和第二光学体2固定连接在光学平台16上，第三光学体3连接在第二光学体2上端，光谱采集组件位于第三光学体3上方并与第三光学体3相连接，图像传感组件位于第一光学体1上方且与第三光学体3相连接。台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统在使用之前，将光学平台16在阻尼隔振杆18上移动调节至合适的高度，便锁死。阻尼隔振杆18具有阻绝振动的作用，能够将低频和高频振动源迅速的消减，从而降低振动对光路稳定性的影响。

阻尼隔振杆18的底端设置有用于增加负载能力的加强套筒19，加强套筒19固定在底座20上。

如图3-5所示，台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统还包括Z轴运动平台25和在Z轴运动平台25上沿Z轴方向移动的安装板27，安装板27上安装有旁轴光谱采集器292、用于调节旁轴光谱采集器292沿X轴和Y轴方向移动的第二调节机构291、激光测距器28和集成聚焦物镜30，从而达到动态对焦的目的。旁轴光谱采集器292连接在第二调节机构291上，集成聚焦物镜30上集成有气体连接阀31，Z轴运动平台25通过Z轴固定板26与滑块17相连接。气体连接阀31能够连接导气管，导入惰性气体等多种气体，从而为等离子体激发创造不同的气氛环境，一是在样品表面待激发区域形成某种气体保护范围，隔绝空气中的氧气和其他活性气体元素，二是将样品表面的灰尘和空气中的悬浮尘埃吹走，减少杂散物质吸收激光能量发射干扰光谱信号对有效光谱信号的影响，提升有效光谱信号的信噪比，提升检测极限和检测结果的置信度。其中，旁轴光谱采集器292设置在第二调节机构291上，第二调节机构291可以是采用丝杆和丝杆螺母配合的技术实现驱动旁轴光谱采集器292沿X轴移动和沿Y轴移动，通过第二调节机构291使旁轴光谱采集器292精确对焦，确保光谱信号精确采集。旁轴光谱采集器292可以直接对准样品，采集光谱信号。旁轴光谱采集器292也是现有技术常有的光纤耦合器，能够将300-800nm带宽的光谱信号耦合进入光纤中。

台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统还包括底座20、用于带动样品盘24沿X轴移动的X轴运动平台22、用于带动样品盘24沿Y轴移动的Y轴运动平台21和用于带动样品盘24旋转的R轴运动平台23，Y轴运动平台21与X轴运动平台22正交连接，X轴运动平台22安装在Y轴运动平台21的上面，Y轴运动平台21连接在底座20的上面，R轴运动平台23连接在X轴运动平台22的上面。其中X轴运动平台22和Y轴运动平台21可以由气缸、液压缸、电机或马达等驱动。R轴运动平台23可以360度旋转，可以由电机或马达驱动。样品盘24连接在R轴运动平台23上，样品盘24的边缘沿周向设置多个用于放置样品的样品位，样品位的数量根据需要而定，如可以为六个等。

本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统的工作原理如下：激光束经过激光衰减器4进入第一光学体1，经反射通过激光扩束前镜5和激光扩束后镜6，进入第二光学体2，由激光波长反射镜反射垂直向下射入集成聚焦物镜30，被聚焦到样品表面激发材料形成等离子体，等离子体在集成聚焦物镜30的采集向上经过第二光学体2和第三光学体3进入光谱采集器112，经光谱采集器112耦合进入光谱采集光纤12，或者等离子体直接经过旁轴光谱采集器292的采集耦合进入光谱采集光纤12。

本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统具有较高的光学分辨率，可以达到1-10微米量级；具有稳固的光路，光学共轴精度可控制在微米量级，且不受外界振动干扰；具有图谱成像和分析功能。

本实用新型的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统能够获得几何对称的等离子体，能够提升有效光谱信号的采集效率，提高元素检测极限和检测精度，同时，通过机器视觉对待分析区域进行定位和路径规划，能够实现对特定区域的图谱分析。具体而言，本实用新型具有以下技术特点：

(1)本实用新型最突出的技术特点是具有高精度的共轴光机结构，能够将光束严格约束在系统的光学中心，从而获得最佳的聚焦效果，激光聚焦光斑能够达到1-10微米尺度，此外，光谱采集系统与激光聚焦光学系统通过光学共轴或共焦点的方式能够精确采集到的有效强度的光谱信号，从而消除基体效应和谱线干扰，提升元素的检测极限和定量精度；

(2)本实用新型的另一个突出的技术特点是采用了高刚性光机系统，光路系统、支撑结构、四轴运动机构被集成到一起，光路系统和运动机构之间由支撑结构相连，支撑结构采用的两根支撑杆为高刚性阻尼杆，能够将运动平台组件运动带来的振动迅速衰减并隔绝，从而保证激光聚焦光点的位置和焦距深度保持不变；

(3)本实用新型的第三个突出的技术特点是实现图谱分析，机器视觉系统采用同轴方式安装，实现了所见即所得，通过视觉对样品表面特定区域进行选取、定位和路径规划，获得连续光谱信号，通过时间和空间分辨技术，能够获得特定区域样品表面某元素含量的空间分布图谱信息；使得分析数据数字化和图形化，有利于工业应用；

(4)本实用新型的第四个突出的技术特点是多样品同步分析，通过设计一个可旋转的样品盘，能够实现多个样品同步分析，满载时单个样品最大直径可达60mm，能够满足不同材质样品的分析需求，减少了样品反复取放对光谱采集参数和环境的影响，有效提升了分析结果的稳定性和置信度。

应当理解的是，对本领域技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，但这些改进或变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，其特征在于，包括样品盘、光谱采集组件、图像传感组件以及光学共轴地传导激光束至所述样品盘上的样品的第一光学体和第二光学体，所述第二光学体外连接有第三光学体，所述第二光学体和所述第三光学体光学共轴地将来自样品的光谱信号传导至所述光谱采集组件和图像传感组件，所述第一光学体与所述第二光学体相对设置且通过多个第一联杆连接，所述第三光学体分别与所述光谱采集组件和所述图像传感组件相对设置且通过多个第二联杆和多个第三联杆连接。

2.根据权利要求1所述的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，其特征在于，所述第一光学体的一侧设置有用于调节入射的激光束能量的激光衰减器，所述第一光学体背离所述激光衰减器的一侧设置有用于吸收、分散和消减透射的有害激光束的激光消减器，所述第一光学体具有用于将激光束反射至所述第二光学体内的激光全反镜，所述第一光学体外设置有用于调节所述激光全反镜的反射角度的镜片角度调节器。

3.根据权利要求1所述的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，其特征在于，所述第二光学体具有用于将来自所述第一光学体的激光束反射至所述样品盘上的样品以及将来自样品的光谱信号透射至所述第三光学体的激光波长反射镜；

所述第二光学体与所述第一光学体之间设置有激光扩束镜，所述激光扩束镜包括激光扩束前镜和激光扩束后镜，所述激光扩束后镜连接在所述第二光学体朝向所述第一光学体的一侧，所述激光扩束前镜位于所述激光扩束后镜与所述第一光学体之间，且所述激光扩束后镜和所述激光扩束前镜分别固定在每一所述第一联杆上。

4.根据权利要求1所述的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，其特征在于，所述第三光学体通过紧固件固定安装在所述第二光学体的一侧，所述第三光学体具有用于将来自所述第二光学体的部分光谱信号反射至所述图像传感组件和部分光谱信号透射至所述光谱采集组件的半透半反镜。

5.根据权利要求4所述的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，其特征在于，所述光谱采集组件包括光谱采集器、用于调节所述光谱采集器沿X轴和Y轴方向移动的第一调节机构、用于将激光束聚焦至所述光谱采集器的光谱采集镜，所述光谱采集镜位于所述光谱采集器与所述第三光学体之间，所述光谱采集器设置在所述第一调节机构上，所述第一调节机构和所述光谱采集镜固定于每一所述第二联杆，所述光谱采集器上连接有光谱采集光纤。

6.根据权利要求4所述的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，其特征在于，所述图像传感组件包括视觉成像目镜、遮光套筒和图像传感器，所述遮光套筒设置在所述图像传感器朝向所述第三光学体的一侧，所述遮光套筒通过连接板固定在所述第三联杆上，所述视觉成像目镜设置在所述第三光学体朝向所述图像传感器的一侧，所述视觉成像目镜固定在所述第三联杆上。

7.根据权利要求1所述的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，其特征在于，所述台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统还包括阻尼隔振杆和光学平台，光学平台通过滑块沿阻尼隔振杆移动，所述第一光学体、第二光学体、第三光学体、光谱采集组件、图像传感组件安装在所述光学平台上。

8.根据权利要求7所述的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，其特征在于，所述台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统还包括Z轴运动平台和在所述Z轴运动平台上沿Z轴方向移动的安装板，所述安装板上安装有旁轴光谱采集器、用于调节所述旁轴光谱采集器沿X轴和Y轴方向移动的第二调节机构、激光测距器和集成聚焦物镜，所述旁轴光谱采集器连接在所述第二调节机构上，所述集成聚焦物镜上集成有气体连接阀，所述Z轴运动平台通过Z轴固定板与所述滑块相连接。

9.根据权利要求8所述的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，其特征在于，所述台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统还包括底座、用于带动所述样品盘沿X轴移动的X轴运动平台、用于带动所述样品盘沿Y轴移动的Y轴运动平台和用于带动所述样品盘旋转的R轴运动平台，所述Y轴运动平台与所述X轴运动平台正交连接，所述Y轴运动平台与所述底座连接，所述R轴运动平台与所述X轴运动平台连接，所述样品盘的边缘沿周向设置多个用于放置样品的样品位。

10.根据权利要求9所述的台式高精度激光诱导击穿光谱采集系统，其特征在于，阻尼隔振杆的底端设置有用于增加负载能力的加强套筒，所述加强套筒固定在所述底座上。

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