CN211789064U - 自动插片机移载托片装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种自动插片机移载托片装置，包括托片装置和石英舟移载装置，所述托片装置与所述石英舟移载装置的相邻且可将石英舟移载装置中承载的硅片向上托起；通过设置石英舟移载装置实现硅片统一移动至后续工位，移载过程中空的石英舟可以快速取出并换上放满硅片的石英舟，从而提高了工作效率。顶出装置的设置使硅片在被吸取或夹紧时更为稳定，避免硅片在工作过程中损坏，提高了产品的良品率。

Description

自动插片机移载托片装置

技术领域

本实用新型涉及机械自动化设备领域，特别是涉及自动插片机移载托片装置。

背景技术

目前，在太阳能电池扩散制程工艺中，石英舟作为硅片的承载件，用于在石英炉管内进行扩散工艺，其耐受温度可达800℃以上。在该工艺之前需要人工搬运石英舟至扩散炉，工艺完成后再由人工搬出扩散炉，然后再将石英舟上的硅片从石英舟转移至花篮内流转到下一道制程，这种人工转移硅片的方式劳动强度大，费时费力，容易影响硅片的质量，并对石英舟造成污染。

实用新型内容

针对上述现有技术的缺点，本实用新型的目的是提供一种自动插片机移载托片装置。相对于现有技术来说，本实用新型可以实现带有硅片的石英舟自动移载，且设置托片装置使石英舟内部的硅片可被顶出便于夹持工位操作，具有自动化程度高的有点。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

自动插片机移载托片装置，包括托片装置和石英舟移载装置，所述托片装置与所述石英舟移载装置的相邻且可将石英舟移载装置中承载的硅片向上托起；

所述托片装置的具体结构如下：

所述托片装置包括第一直线模组、安装座、竖板、第一固定板及至少一顶板，所述安装座固定在所述第一直线模组的运动端，所述竖板的一端与安装座固接，所述第一固定板连接在竖板的另一端，所述至少一顶板的一端与所述第一固定板固接，在所述至少一顶板的另一端开设至少一第一梳齿；

所述石英舟移载装置的具体结构如下：

包括第二直线模组、至少一组卡紧部及至少一定位部，所述至少一组卡紧部固接在所述第二直线模组的运动端，在靠近卡紧部处、在所述第二直线模组的运动端还固接定位部。

其进一步技术方案在于：

所述卡紧部包括卡块，在所述卡块的表面开设用于卡接石英舟侧板的卡口；所述定位部包括一气缸，所述气缸的活塞与第二固定板连接，在所述第二固定板上连接至少一定位头；

在至少一卡块的一侧还设置至少一传感器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

通过设置石英舟移载装置实现硅片统一移动至后续工位，移载过程中空的石英舟可以快速取出并换上放满硅片的石英舟，从而提高了工作效率。顶出装置的设置使硅片在被吸取或夹紧时更为稳定，避免硅片在工作过程中损坏，提高了产品的良品率。

附图说明

图1示出了本实用新型实施例自动插片机移载托片装置的轴侧图。

图2示出了本实用新型实施例自动插片机移载托片装置中石英舟移载装置的结构示意图Ⅰ。

图3示出了本实用新型实施例自动插片机移载托片装置中石英舟移载装置的结构示意图Ⅱ。

图4示出了本实用新型实施例自动插片机移载托片装置中托片装置的示意图。

图5为图4在A处的放大结构示意图。

附图中标记：

1、托片装置；101、电机；102、第一直线模组；103、第一滑块；104、安装座；105、竖板；106、第一固定板；107、顶板；108、梳齿；2、石英舟移载装置；201、马达；202、联轴器；203、滚珠丝杆支撑座；204、丝杆螺母；205、丝杆；2061、直线导轨；2062、导轨座；207、第二滑块；2071、承载板；208、气缸；209、第二固定板；210、定位头；211、石英舟；212、倾斜传感器；213、卡块；214、第二直线模组。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

下面结合附图对本实用新型请求保护的自动插片机移载托片装置，以用于为例进行详细介绍说明，但如本领域技术人员可以理解的。

自动插片机移载托片装置，包括托片装置1和石英舟移载装置2，所述托片装置1与所述石英舟移载装置的相邻且可将石英舟移载装置2中承载的硅片向上托起。

托片装置1的具体结构如下：

托片装置1包括第一直线模组102、安装座104、竖板105、第一固定板106及至少一顶板107，安装座104固定在第一直线模组102的运动端，竖板105的一端与安装座104固接，第一固定板106连接在竖板105的另一端，至少一顶板107的一端与第一固定板106固接，在至少一顶板107的另一端开设至少一第一梳齿108；其中第一直线模组102为同步带型直线模组，该同步带型直线模组包括电机101，皮带安装在第一直线模组102两侧的传动轴上，其中一传动轴通过同步带及同步轮与第一电机101的输出端连接，在皮带上固定第一滑块103，该第一滑块103构成第一直线模组102的运动端。该同步带型直线模组的内部结构为已有公知技术。

如图4、图5所示，安装座104固定在第一直线模组102的运动端，竖板105的一端与安装座104固接，第一固定板106连接在竖板105的另一端，至少一顶板107的一端与第一固定板106固接，优选的，本实用新型实施例一种自动插片机移载托片装置中顶板107以所述第一固定板106为中心对称布置，顶板107分别固接于第一固定板106的两侧，在所述顶板107的顶部开设若干第一梳齿108，相邻第一梳齿108之间形成用于硅片插入的齿间隙。

如图1、如图2、图3所示，所述石英舟移载装置2的具体结构如下：

包括第二直线模组214、至少一组卡紧部及至少一定位部，优选的，本实用新型实施例一石英舟移载装置2中卡紧部为八个，每四个卡紧部为一组可安装一块石英舟，定位部为两个，每个石英舟配备一定位部。

如图2、图3所示，所述第二直线模组214为滚珠丝杆型直线模组，该模组包括马达201、联轴器202、一对滚珠丝杆支撑座203、丝杆螺母204、丝杆205、导轨座2062、直线导轨2061及第二滑块207，丝杆205贯穿安装在一对滚珠丝杆支撑座203之间，丝杆205的一端伸出其中一个滚珠丝杆支撑座203并通过联轴器202与马达201的输出端连接。上述丝杆螺母204与承载板2071连接，承载板2071的底部通过多个第二滑块207与导轨座2062上的直线导轨2061滑动连接。上述承载板2071构成了第二直线模组214的运动端。

如图2、图3所示，至少一组卡紧部固接在第二直线模组214的运动端，在靠近卡紧部处、在第二直线模组214的运动端还固接定位部。优选的，本实用新型实施例一自动插片机中石英舟移载装置2内的卡紧部包括卡块213，在卡块213的表面开设用于卡接石英舟211侧板的卡口；定位部包括一气缸208，气缸208的活塞与第二固定板209连接，在第二固定板209上连接至少一定位头210，优选的，本实用新型实施例一石英舟移载装置2中每块第二固定板209上定位头210为两个。如图2、图3所示，石英舟211的左右侧板插入卡块213的卡口内。在承载板2071上还安装倾斜传感器212，该倾斜传感器212检测石英舟211安装在卡块213上位置是否倾斜，当检测到石英舟211安装到位后，气缸208的活塞推动第二固定板209接触石英舟211的一侧，保证其不倾斜。

本实用新型的具体工作方式如下：

如图1所示，当需要将石英舟211中的硅片转移至花篮710时，第二直线模组214工作，如图2、图3所示，马达201启动，通过第一联轴器202驱动丝杆205转动，使丝杆螺母204在丝杆205上作轴向移动，丝杆螺母204移动带动承载板2071移动，将带有硅片的石英舟移动至托片装置3的正上方。

如图1、图3所示，托片装置3工作，第一直线模组102的第一电机101启动，使得第一直线模组102的皮带运转并带动第一滑块103作上下直线运动，如图3所述，第一滑块103向上运动，使具有梳齿108的顶板107向上运动，梳齿108向上运动并接触石英舟211内部的硅片，相邻梳齿108之间的齿间隙接触硅片并将硅片向上顶出至后续工位夹紧装置处。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (3)

1.自动插片机移载托片装置，其特征在于：包括托片装置(1)和石英舟移载装置(2)，所述托片装置(1)与所述石英舟移载装置的相邻且可将石英舟移载装置(2)中承载的硅片向上托起；

所述托片装置(1)的具体结构如下：

所述托片装置(1)包括第一直线模组(102)、安装座(104)、竖板(105)、第一固定板(106)及至少一顶板(107)，所述安装座(104)固定在所述第一直线模组(102)的运动端，所述竖板(105)的一端与安装座(104)固接，所述第一固定板(106)连接在竖板(105)的另一端，所述至少一顶板(107)的一端与所述第一固定板(106)固接，在所述至少一顶板(107)的另一端开设至少一第一梳齿(108)；

所述石英舟移载装置(2)的具体结构如下：

包括第二直线模组(214)、至少一组卡紧部及至少一定位部，所述至少一组卡紧部固接在所述第二直线模组的运动端，在靠近卡紧部处、在所述第二直线模组(214)的运动端还固接定位部。

2.如权利要求1所述自动插片机移载托片装置，其特征在于：所述卡紧部包括卡块(213)，在所述卡块(213)的表面开设用于卡接石英舟(211)侧板的卡口；所述定位部包括一气缸(208)，所述气缸(208)的活塞与第二固定板(209)连接，在所述第二固定板(209)上连接至少一定位头(210)。

3.如权利要求1所述自动插片机移载托片装置，其特征在于：在至少一卡块(213)的一侧还设置至少一传感器。

Images