CN211779208U - 精密气室背压阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种精密气室背压阀，精密气室背压阀与电子减压阀相连接，精密气室背压阀包括：阀体、第一凹槽、膜片、阀盖、第二凹槽、第一密封垫、第二密封垫、进气口、进入通道和排出通道；第一凹槽设置在阀体上；膜片盖设在阀体上，且膜片与阀体围设成第一气室；阀盖压合在膜片上，且阀盖与膜片围设成第二气室；第二凹槽设置在阀盖上；第一密封垫嵌入第一凹槽，且第一密封垫与膜片相贴合；第二密封垫嵌入第二凹槽，且第二密封垫与膜片相贴合；进气口设置在阀盖上，且进气口与第二气室相连通；进入通道设置在阀体上，且进入通道与第一气室相连通；排出通道设置在阀体上，且排出通道与第二气室相连通。

Description

精密气室背压阀

技术领域

本实用新型涉及背压阀技术领域，具体而言，涉及一种精密气室背压阀。

背景技术

目前，在相关技术中，随着工业的发展，背压阀被用于电子，半导体石油化工，生物制药，实验室，大学等气体液体管路。可用于控制空气、水、蒸汽、各种腐蚀性介质、泥浆、油品、液态金属和放射性介质等各种类型流体的流动，在管道上主要起稳压作用。而现有背压阀的背压值一般在大于1bar到50bar范围，由于背压值误差偏大，精度低，很难达到理想的压力状态，无法进行精确调整压力。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型提出一种精密气室背压阀。

有鉴于此，本实用新型提供了一种精密气室背压阀，精密气室背压阀与电子减压阀相连接，精密气室背压阀包括：阀体、第一凹槽、膜片、阀盖、第二凹槽、第一密封垫、第二密封垫、进气口、进入通道和排出通道；第一凹槽呈环形，且第一凹槽设置在阀体上；膜片盖设在阀体上，且膜片与阀体围设成第一气室；阀盖压合在膜片上，且阀盖与膜片围设成第二气室；第二凹槽呈环形，且第二凹槽设置在阀盖上；第一密封垫为弹性体，第一密封垫嵌入第一凹槽，且第一密封垫与膜片相贴合；第二密封垫为弹性体，第二密封垫嵌入第二凹槽，且第二密封垫与膜片相贴合；进气口设置在阀盖上，且进气口与第二气室相连通；进入通道设置在阀体上，且进入通道与第一气室相连通；排出通道设置在阀体上，且排出通道与第二气室相连通；其中，第二凹槽绕设在第一凹槽外侧。

在该技术方案中，首先，通过使阀体呈圆柱形，第一凹槽呈环形，且第一凹槽设置在阀体上，膜片呈圆片形，膜片盖设在阀体上，且膜片与阀体围设成第一气室，以通过第一气室来储存流体；其次，通过将阀盖压合在膜片上，且阀盖与膜片围设成第二气室，以通过第二气室来储存信号气体；再次，通过使第二凹槽呈环形，且第二凹槽设置在阀盖上，将第一密封垫为弹性体，第一密封垫嵌入第一凹槽，且第一密封垫与膜片相贴合，以实现第一密封垫与第一气室的密封作用；再次，通过将第二密封垫为弹性体，第二密封垫嵌入第二凹槽，且第二密封垫与膜片相贴合，以实现对第二气室的密封作用；再次，通过将进气口设置在阀盖上，且进气口与第二气室相连通，以使信号气体从进气口进入第二气室中；再次，通过将进入通道设置在阀体上，且进入通道与第一气室相连通，以使流体从进入通道进入第一气室中；再次，通过将排出通道设置在阀体上，且排出通道与第二气室相连通，以使第一气室内的流体从排出通道排出；再次，通过使第二凹槽绕设在第一凹槽外侧，以提高密封效果，防止流体漏出。采用此种连接方式，结构简单，通过使信号气体从进气口进入第二气室，以通过信号气体对膜片施加压力，并使流体从进气通道进入膜片下方的第一气室；当流体压力与作用于膜片上的信号气体压力相等时，背压阀就处于平衡状态，这时背压阀处于关断状态，只要流体压力小于等于膜片上方信号气体施加的压力，背压阀就是关闭的；背压阀保持阀之前施加的压力，当流体压力大于膜片上方压力时，流体带动膜片向上移动，阀芯打开，流体从排气通道排出，使进口压力保持稳定，同时实现对压力的精确控制；精度是弹簧式背压阀5倍，柔性膜片无摩擦，先导阀可以设定压力，背压与先导压力1:1，压力控制精度高，运行平稳。

另外，本实用新型提供的上述技术方案中的精密气室背压阀还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，优选地，精密气室背压阀还包括：第一导流孔；至少一个第一导流孔设置在阀体上，第一导流孔的一端与进入通道相连通，且第一导流孔与第一气室相连通；其中，第一导流孔与进入通道垂直设置。

在该技术方案中，通过将至少一个第一导流孔设置在阀体上，第一导流孔的一端与进入通道相连通，且第一导流孔与第一气室相连通，以使流体从进气通道进入后，流体经过第一导流孔进入第一气室；通过使第一导流孔与进入通道垂直设置，以缓解流体对膜片的冲击，以避免流体对膜片的直接冲击，提高背压阀精密度。

在上述技术方案中，优选地，精密气室背压阀还包括：第二导流孔；至少一个第二导流孔设置在阀体上，第二导流孔的一端与排出通道相连通，且第二导流孔的另一端与第一气室相连通；其中，第二导流孔与排出通道垂直设置。

在该技术方案中，通过将至少一个第二导流孔设置在阀体上，第二导流孔的一端与排出通道相连通，且第二导流孔的另一端与第一气室相连通，以使流体从第一气室，流体经过第二导流孔从排气通道流出；通过使第二导流孔与排出通道垂直设置，以确保第一气室内气压稳定，提升背压阀的精确性。

在上述技术方案中，优选地，精密气室背压阀还包括：第一匀压槽和第二匀压槽；第一匀压槽呈环形，至少一个第一匀压槽设置在阀体上，且第一匀压槽与进入通道相连通；第二匀压槽呈环形，至少一个第二匀压槽设置在阀体上，且第二匀压槽与排出通道相连通。

在该技术方案中，第一匀压槽呈环形，至少一个第一匀压槽设置在阀体上，且第一匀压槽与进入通道相连通，以使从第一导流孔进入第一气室的流体，先在第一匀压槽中分散开来，以实现第一匀压槽对从第一导流孔进入的信号气体的匀压作用，以避免第一气室内流体压力集中，导致背压阀第一气室内压力过大，确保背压阀的精确性；第二匀压槽呈环形，至少一个第二匀压槽设置在阀体上，且第二匀压槽与排出通道相连通，以实现第二匀压槽对第一气室内气体的匀压作用，保持第一气室内流体压力的稳定性，从而保持背压阀的精确性。

在上述技术方案中，优选地，精密气室背压阀还包括：进气通道；进气通道设置在阀盖上，进气通道的一端与进气口相连通，且进气通道的另一端与第二气室相连通。

在该技术方案中，通过将进气通道设置在阀盖上，进气通道的一端与进气口相连通，且进气通道的另一端与第二气室相连通，以使信号气体从进气口经过进气通道进入第二气室内，同时减小信号气体的流量，使信号气体缓慢流入第二气室中，以减小信号气体对膜片的冲击。

在上述技术方案中，优选地，精密气室背压阀还包括：第三匀压槽；第三匀压槽设置在阀盖上，且第三匀压槽与进气通道相连通。

在该技术方案中，通过将第三匀压槽设置在阀盖上，且第三匀压槽与进气通道相连通，以使从进气通道进入第二气室的信号气体，先在第三匀压槽中分散开来，以实现第三匀压槽对从进气通道进入第二气室的信号气体的匀压作用，以避免第二气室内流体压力集中，导致背压阀第二气室内压力过大，以避免信号气体对膜片的直接冲击，避免膜片损坏的同时，确保第二气室内压力的稳定性，从而确保背压阀的精确性。

在上述技术方案中，优选地，精密气室背压阀还包括：限位孔、限位部和限位槽；至少两个限位孔设置在膜片上；至少两个限位部设置在阀体上，且至少两个限位部穿过限位孔；至少两个限位槽设置在阀盖上，且限位部穿过限位孔后，嵌入限位槽中。

在该技术方案中，通过将至少两个限位孔设置在膜片上，至少两个限位部设置在阀体上，且至少两个限位部穿过限位孔，至少两个限位槽设置在阀盖上，且限位部穿过限位孔后，嵌入限位槽中，以实现限位部对膜片的限位作用，以避免膜片与阀体和阀盖发生相对位移。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1示出了根据本实用新型的一个实施例的精密气室背压阀的结构示意图；

图2示出了根据本实用新型的另一个实施例的精密气室背压阀的结构示意图；

其中，图1和图2中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10阀体，12第一凹槽，14膜片，16第一气室，18阀盖，20第二气室， 22第二凹槽，24第一密封垫，26第二密封垫，28进气口，30进入通道， 32排出通道，34第一导流孔，36第二导流孔，38第一匀压槽，40第二匀压槽，42进气通道和44第三匀压槽。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型，但是，本实用新型还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本实用新型的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1和图2描述根据本实用新型一些实施例所述精密气室背压阀。

在本实用新型的实施例中，如图1和图2所示，本实用新型提供了一种精密气室背压阀，精密气室背压阀与电子减压阀相连接，精密气室背压阀包括：阀体10、第一凹槽12、膜片14、阀盖18、第二凹槽22、第一密封垫24、第二密封垫26、进气口28、进入通道30和排出通道32；第一凹槽12呈环形，且第一凹槽12设置在阀体10上；膜片14盖设在阀体10上，且膜片14与阀体10围设成第一气室16；阀盖18压合在膜片14上，且阀盖18与膜片14围设成第二气室20；第二凹槽22呈环形，且第二凹槽22 设置在阀盖18上；第一密封垫24为弹性体，第一密封垫24嵌入第一凹槽 12，且第一密封垫24与膜片14相贴合；第二密封垫26为弹性体，第二密封垫26嵌入第二凹槽22，且第二密封垫26与膜片14相贴合；进气口28 设置在阀盖18上，且进气口28与第二气室20相连通；进入通道30设置在阀体10上，且进入通道30与第一气室16相连通；排出通道32设置在阀体10上，且排出通道32与第二气室20相连通；其中，第二凹槽22绕设在第一凹槽12外侧。

在该实施例中，首先，通过使阀体10呈圆柱形，第一凹槽12呈环形，且第一凹槽12设置在阀体10上，膜片14呈圆片形，膜片14盖设在阀体 10上，且膜片14与阀体10围设成第一气室16，以通过第一气室16来储存流体；其次，通过将阀盖18压合在膜片14上，且阀盖18与膜片14围设成第二气室20，以通过第二气室20来储存信号气体；再次，通过使第二凹槽22呈环形，且第二凹槽22设置在阀盖18上，将第一密封垫24为弹性体，第一密封垫24嵌入第一凹槽12，且第一密封垫24与膜片14相贴合，以实现第一密封垫24与第一气室16的密封作用；再次，通过将第二密封垫26为弹性体，第二密封垫26嵌入第二凹槽22，且第二密封垫26 与膜片14相贴合，以实现对第二气室20的密封作用；再次，通过将进气口28设置在阀盖18上，且进气口28与第二气室20相连通，以使信号气体从进气口28进入第二气室20中；再次，通过将进入通道30设置在阀体 10上，且进入通道30与第一气室16相连通，以使流体从进入通道30进入第一气室16中；再次，通过将排出通道32设置在阀体10上，且排出通道32与第二气室20相连通，以使第一气室16内的流体从排出通道32排出；再次，通过使第二凹槽22绕设在第一凹槽12外侧，以提高密封效果，防止流体漏出。采用此种连接方式，结构简单，通过使信号气体从进气口 28进入第二气室20，以通过信号气体对膜片14施加压力，并使流体从进气通道42进入膜片14下方的第一气室16；当流体压力与作用于膜片14 上的信号气体压力相等时，背压阀就处于平衡状态，这时背压阀处于关断状态，只要流体压力小于等于膜片14上方信号气体施加的压力，背压阀就是关闭的；背压阀保持阀之前施加的压力，当流体压力大于膜片14上方压力时，流体带动膜片14向上移动，阀芯打开，流体从排气通道排出，使进口压力保持稳定，同时实现对压力的精确控制；精度是弹簧式背压阀5倍，柔性膜片14无摩擦，先导阀可以设定压力，背压与先导压力1:1，压力控制精度高，运行平稳。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1和图2所示，精密气室背压阀还包括：第一导流孔34；至少一个第一导流孔34设置在阀体10 上，第一导流孔34的一端与进入通道30相连通，且第一导流孔34与第一气室16相连通；其中，第一导流孔34与进入通道30垂直设置。

在该实施例中，通过将至少一个第一导流孔34设置在阀体10上，第一导流孔34的一端与进入通道30相连通，且第一导流孔34与第一气室 16相连通，以使流体从进气通道42进入后，流体经过第一导流孔34进入第一气室16；通过使第一导流孔34与进入通道30垂直设置，以缓解流体对膜片14的冲击，以避免流体对膜片14的直接冲击，提高背压阀精密度。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1和图2所示，精密气室背压阀还包括：第二导流孔36；至少一个第二导流孔36设置在阀体10 上，第二导流孔36的一端与排出通道32相连通，且第二导流孔36的另一端与第一气室16相连通；其中，第二导流孔36与排出通道32垂直设置。

在该实施例中，通过将至少一个第二导流孔36设置在阀体10上，第二导流孔36的一端与排出通道32相连通，且第二导流孔36的另一端与第一气室16相连通，以使流体从第一气室16，流体经过第二导流孔36从排气通道流出；通过使第二导流孔36与排出通道32垂直设置，以确保第一气室16内气压稳定，提升背压阀的精确性。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1和图2所示，精密气室背压阀还包括：第一匀压槽38和第二匀压槽40；第一匀压槽38呈环形，至少一个第一匀压槽38设置在阀体10上，且第一匀压槽38与进入通道 30相连通；第二匀压槽40呈环形，至少一个第二匀压槽40设置在阀体10 上，且第二匀压槽40与排出通道32相连通。

在该实施例中，第一匀压槽38呈环形，至少一个第一匀压槽38设置在阀体10上，且第一匀压槽38与进入通道30相连通，以使从第一导流孔 34进入第一气室16的流体，先在第一匀压槽38中分散开来，以实现第一匀压槽38对从第一导流孔34进入的信号气体的匀压作用，以避免第一气室16内流体压力集中，导致背压阀第一气室16内压力过大，确保背压阀的精确性；第二匀压槽40呈环形，至少一个第二匀压槽40设置在阀体10 上，且第二匀压槽40与排出通道32相连通，以实现第二匀压槽40对第一气室16内气体的匀压作用，保持第一气室16内流体压力的稳定性，从而保持背压阀的精确性。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1所示，精密气室背压阀还包括：进气通道42；进气通道42设置在阀盖18上，进气通道42的一端与进气口28相连通，且进气通道42的另一端与第二气室20相连通。

在该实施例中，通过将进气通道42设置在阀盖18上，进气通道42的一端与进气口28相连通，且进气通道42的另一端与第二气室20相连通，以使信号气体从进气口28经过进气通道42进入第二气室20内，同时减小信号气体的流量，使信号气体缓慢流入第二气室20中，以减小信号气体对膜片14的冲击。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，如图1所示，精密气室背压阀还包括：第三匀压槽44；第三匀压槽44设置在阀盖18上，且第三匀压槽44与进气通道42相连通。

在该实施例中，通过将第三匀压槽44设置在阀盖18上，且第三匀压槽44与进气通道42相连通，以使从进气通道42进入第二气室20的信号气体，先在第三匀压槽44中分散开来，以实现第三匀压槽44对从进气通道42进入第二气室20的信号气体的匀压作用，以避免第二气室20内流体压力集中，导致背压阀第二气室20内压力过大，以避免信号气体对膜片14的直接冲击，避免膜片14损坏的同时，确保第二气室20内压力的稳定性，从而确保背压阀的精确性。

在本实用新型的一个实施例中，优选地，精密气室背压阀还包括：限位孔、限位部和限位槽；至少两个限位孔设置在膜片14上；至少两个限位部设置在阀体10上，且至少两个限位部穿过限位孔；至少两个限位槽设置在阀盖18上，且限位部穿过限位孔后，嵌入限位槽中。

在该实施例中，通过将至少两个限位孔设置在膜片14上，至少两个限位部设置在阀体10上，且至少两个限位部穿过限位孔，至少两个限位槽设置在阀盖18上，且限位部穿过限位孔后，嵌入限位槽中，以实现限位部对膜片14的限位作用，以避免膜片14与阀体10和阀盖18发生相对位移。

在本实用新型的描述中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本实用新型中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种精密气室背压阀，所述精密气室背压阀与电子减压阀相连接，其特征在于，所述精密气室背压阀包括：

阀体；

第一凹槽，所述第一凹槽呈环形，且所述第一凹槽设置在所述阀体上；

膜片，所述膜片盖设在所述阀体上，且所述膜片与所述阀体围设成第一气室；

阀盖，所述阀盖压合在所述膜片上，且所述阀盖与所述膜片围设成第二气室；

第二凹槽，所述第二凹槽呈环形，且所述第二凹槽设置在所述阀盖上；

第一密封垫，所述第一密封垫为弹性体，所述第一密封垫嵌入所述第一凹槽，且所述第一密封垫与所述膜片相贴合；

第二密封垫，所述第二密封垫为弹性体，所述第二密封垫嵌入所述第二凹槽，且所述第二密封垫与所述膜片相贴合；

进气口，所述进气口设置在所述阀盖上，且所述进气口与所述第二气室相连通；

进入通道，所述进入通道设置在所述阀体上，且所述进入通道与第一气室相连通；

排出通道，所述排出通道设置在所述阀体上，且所述排出通道与第二气室相连通；

其中，所述第二凹槽绕设在所述第一凹槽外侧。

2.根据权利要求1所述的精密气室背压阀，其特征在于，所述精密气室背压阀还包括：

第一导流孔，至少一个所述第一导流孔设置在所述阀体上，所述第一导流孔的一端与所述进入通道相连通，且所述第一导流孔与所述第一气室相连通；

其中，所述第一导流孔与所述进入通道垂直设置。

3.根据权利要求2所述的精密气室背压阀，其特征在于，所述精密气室背压阀还包括：

第二导流孔，至少一个所述第二导流孔设置在所述阀体上，所述第二导流孔的一端与所述排出通道相连通，且所述第二导流孔的另一端与所述第一气室相连通；

其中，所述第二导流孔与所述排出通道垂直设置。

4.根据权利要求3所述的精密气室背压阀，其特征在于，所述精密气室背压阀还包括：

第一匀压槽，所述第一匀压槽呈环形，至少一个所述第一匀压槽设置在所述阀体上，且所述第一匀压槽与所述进入通道相连通；

第二匀压槽，所述第二匀压槽呈环形，至少一个所述第二匀压槽设置在所述阀体上，且所述第二匀压槽与所述排出通道相连通。

5.根据权利要求1所述的精密气室背压阀，其特征在于，所述精密气室背压阀还包括：

进气通道，所述进气通道设置在所述阀盖上，所述进气通道的一端与所述进气口相连通，且所述进气通道的另一端与所述第二气室相连通。

6.根据权利要求5所述的精密气室背压阀，其特征在于，所述精密气室背压阀还包括：

第三匀压槽，所述第三匀压槽设置在所述阀盖上，且所述第三匀压槽与所述进气通道相连通。

7.根据权利要求1至6任一项所述的精密气室背压阀，其特征在于，所述精密气室背压阀还包括：

限位孔，至少两个所述限位孔设置在所述膜片上；

限位部，至少两个所述限位部设置在所述阀体上，且至少两个所述限位部穿过所述限位孔；

限位槽，至少两个所述限位槽设置在所述阀盖上，且所述限位部穿过所述限位孔后，嵌入所述限位槽中。

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