CN211741377U - 一种新型晶圆探针台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及探针台技术领域，公开了一种新型晶圆探针台，包括：PCB夹具，用于可替换安装不同尺寸的PCB，所述PCB夹具包括至少一对卡座及用于安装所述卡座的支撑架，每对所述卡座分别设置于所述PCB相对的两侧壁，每对所述卡座之间的间距可调；探针夹具，用于安装探针；第一驱动机构，用于驱动所述探针夹具沿不同方向移动；相机夹具，用于安装相机；第二驱动机构，用于驱动所述相机夹具沿不同方向移动；所述PCB的一板面对应设置一个以上所述第一驱动机构，以及一个以上所述第二驱动机构。实现了晶圆探针台检测不同尺寸的PCB，节约企业成本，产品多样化、成本低，满足不同客户需求。

Description

一种新型晶圆探针台

技术领域

本实用新型涉及探针台技术领域，尤其涉及一种新型晶圆探针台。

背景技术

晶圆探针台是半导体工艺线上的中间测试设备，晶圆探针台具备晶圆级测试能力，即微米级量测控制精度，其与测试仪连接后，能自动完成对集成电路及各种晶体管芯电参数和功能的测试。

随着科技的快速发展，通讯领域更新换代的间隔时间日趋缩短，导致现有的一些晶圆探针台由于使用局限性较大，只能实现某种特定尺寸或类型的PCB的测试，根本不适用目前日趋多尺寸的PCB产品，导致通讯产品的公司需要购置多类型的晶圆探针台以满足其产品日益多样化的测式需求；同时，因此产品更新换代很快，导致之前使用过的晶圆探针台只能作废，反复购置和闲置晶圆探针台使得公司的测试成本较高，且晶圆探针台占用存放空间，进一步提高了公司的成本。因此，本领域技术人员亟待提供一种适用于多种尺寸的新型晶圆探针台，以实现晶圆探针台的反复使用率，降低晶圆探针台的机台空闲率，满足不同尺寸的PCB使用，从而降低公司的测试成本。

发明内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种新型晶圆探针台，实现了晶圆探针台检测不同尺寸的PCB，节约企业成本，产品多样化、成本低，满足不同客户需求。

本实用新型提供的技术方案如下：

一种新型晶圆探针台，包括：

PCB夹具，用于可替换安装不同尺寸的PCB，所述PCB夹具包括至少一对卡座及用于安装所述卡座的支撑架，每对所述卡座分别设置于所述PCB相对的两侧壁，每对所述卡座之间的间距可调；

探针夹具，用于安装探针；

第一驱动机构，用于驱动所述探针夹具沿不同方向移动；

相机夹具，用于安装相机；

第二驱动机构，用于驱动所述相机夹具沿不同方向移动；

所述PCB的一板面对应设置一个以上所述第一驱动机构，以及一个以上所述第二驱动机构。

本技术方案中，PCB夹具可替换安装多个不同尺寸的PCB，进而实现不同尺寸(长、宽、高尺寸中至少一个尺寸不同)的PCB的检测；一台本实用新型可适用不同类型的PCB，无需企业花大成本购置对应不同尺寸PCB的现有晶圆探针台，避免了机台的空置，大大提高了本实用新型的使用率，同时由于一台本实用新型可应用于不同种类的PCB，较之现有，大大降低了机台空间占用体积；更优的，本实用新型可适用于单面需要检测的PCB，也适用于双面均需要检测的PCB；更优的，由于PCB的每一板面对应设置一个以上驱动机构，从而根据检测点的数量不同的PCB设置一个(检测点少时)或多个(两个以上)的驱动机构，从而在实现本实用新型的优化效率(每一驱动机构可带动设置其上的探针夹具单独运行)的同时节约了本实用新型的成本；从而满足不同客户需求。

进一步优选地，每对所述卡座中至少有一个卡座在所述支撑架上沿垂直于所述侧壁的方向做往复运动，所述卡座与所述支撑件可拆卸连接。

进一步优选地，所述卡座设有卡槽，所述PCB相对设置的两个侧壁分别容设于所述卡槽中；

所述卡槽的侧壁上设有紧固孔，紧固件容设于所述紧固孔以抵设所述PCB的板面。

本技术方案中，卡槽对PCB的容设作用提高了PCB固定的稳定性，且便于PCB的定位和限位，保证PCB相对设置的两个侧壁安装的直线性和稳定性，进而在结构上保证了两个侧壁相对设置的对应性。

进一步优选地，所述紧固件为弹性件，所述紧固件包括紧固座、紧固螺丝、调节螺丝及弹簧，所述紧固座上开设有螺孔及穿孔，所述紧固螺丝穿过所述螺孔与所述卡槽的侧壁拧接，所述调节螺丝依次穿过所述穿孔及所述紧固孔与所述PCB抵接，所述弹簧套设在所述调节螺丝上，所述弹簧位于所述卡座与所述紧固座之间；

或，所述紧固件为钢性件。

本技术方案中，弹性件的形变性能不仅实现了卡座对PCB的加紧，同时，使得卡座与PCB之间的接触形成柔性接触，避免PCB与卡座因硬性接触而易于破损，值得说明的是，通过弹性件实现PCB的固定的本实用新型适用于抗剪性能较强的PCB(如多层PCB板)。

进一步优选地，所述第一驱动机构带动所述探针夹具沿三个不同方向做直线往复运动，三个方向为沿垂直于所述PCB的第一方向，以及平行于所述PCB的第二方向和第三方向,所述第二方向与所述第三方向呈角度设置；

所述第二驱动机构带动所述相机夹具沿三个不同方向做直线往复运动，三个方向为沿垂直于所述PCB的所述第一方向，以及平行于所述PCB的第四方向和第五方向，所述第四方向与所述第五方向呈角度设置。

进一步优选地，所述第一驱动机构包括沿所述第一方向带动所述探针夹具靠近或远离所述PCB的第一子驱动机构，沿所述第二方向带动所述探针夹具做往复运动的第二子驱动机构，以及沿所述第三方向带动所述探针夹具做往复运动的第三子驱动机构；

所述第一子驱动机构、所述第二子驱动机构或所述第三子驱动机构安装一所述探针夹具。

本技术方案中，第一子驱动机构、第二子驱动机构和第三子驱动机构可单独沿不同方向运动，从而提高了本实用新型带动探针的单独沿某一方向的灵活性、独立性，从而实现了探针对检测点的精准定位。

进一步优选地，所述探针夹具包括安装板和用于与所述第一驱动机构连接的安装座；

所述安装板设有两个以上用于安装所述探针的螺孔。

进一步优选地，所述第二驱动机构包括沿所述第一方向带动所述相机夹具靠近或远离所述PCB的第四子驱动机构，沿所述第四方向带动所述相机夹具做往复运动的第五子驱动机构，以及沿所述第五方向带动所述相机夹具做往复运动的第六子驱动机构；

所述第四子驱动机构、所述第五子驱动机构或所述第六子驱动机构安装一所述相机夹具。

本技术方案中，第四子驱动机构、第五子驱动机构和第六子驱动机构可单独沿不同方向运动，从而提高了本实用新型带动相机的单独沿某一方向的灵活性、独立性，从而实现了相机对检测点的精准测试，使本实用新型达到微米级量测控制精度。

进一步优选地，还包括：

箱体，所述第四子驱动机构设置在所述箱体的上侧，所述第六子驱动机构带动所述相机夹具靠近或远离所述箱体移动；

当所述相机夹具移动至远离所述箱体时，所述相机夹具位于所述箱体的上侧；

当所述相机夹具移动至靠近所述箱体时，所述相机夹具位于所述箱体的内部。

本技术方案中，在相机不使用时，可将相机下移，隐藏在箱体的内部，此结构在不影响相机使用的同时，还能在相机不使用时对相机进行保护。

进一步优选地，还包括：

悬挂架，所述悬挂架设置在所述箱体的上侧，所述第五子驱动机构设置在所述悬挂架上。

与现有技术相比，本实用新型的新型晶圆探针台的有益效果在于：

本实用新型中，PCB夹具可替换安装多个不同尺寸的PCB，进而实现不同尺寸(长、宽、高尺寸中至少一个尺寸不同)的PCB的检测；一台本实用新型可适用不同类型的PCB，无需企业花大成本购置对应不同尺寸PCB的现有晶圆探针台，避免了机台的空置，大大提高了本实用新型的使用率，同时由于一台本实用新型可应用于不同种类的PCB，较之现有，大大降低了机台空间占用体积；更优的，本实用新型可适用于单面需要检测的PCB，也适用于双面均需要检测的PCB；更优的，由于PCB的每一板面对应设置一个以上驱动机构，从而根据检测点的数量不同的PCB设置一个(检测点少时)或多个(两个以上)的驱动机构，从而在实现本实用新型的优化效率(每一驱动机构可带动设置其上的探针夹具单独运行)的同时节约了本实用新型的成本；从而满足不同客户需求。

附图说明

下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。

图1是一实施例中新型晶圆探针台的外部结构示意图；

图2是一实施例中新型晶圆探针台的内部结构示意图；

图3是另一实施例中PCB夹具的结构示意图；

图4是另一实施例中PCB夹具的局部结构示意图；

图5是另一实施例中紧固件的结构示意图；

图6是另一实施例中探针夹具的结构示意图；

图7是另一实施例中第一驱动机构的结构示意图。

附图标号说明：

1.PCB夹具，11.卡座，111.卡槽，112.紧固孔，113.紧固件，1131.紧固座，1132.紧固螺丝，1133.调节螺丝，1134.弹簧，12.支撑架，121，支撑杆，122.连接杆，123.底板，124.加强杆，2.探针夹具，21.安装座，22.安装板，23，螺孔，24.加强筋，3.第一驱动机构，31.第一子驱动机构，32.第二子驱动机构，33.第三子驱动机构，34.丝杠，35.安装块，36.导轨，37.旋转手轮，4.第二驱动机构，41.第四子驱动机构，42.第五子驱动机构，43.第六子驱动机构，5.相机夹具，6.箱体，61.悬挂架，62.脚轮，7.PCB。

具体实施方式

以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本申请实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其他实施例中也可以实现本申请。在其他情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本申请的描述。

应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”指示所述描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或集合的存在或添加。

为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与本实用新型相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。

还应当进一步理解，在本申请说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。

在附图所示的实施例中，方向的指示(诸如上、下、左、右、前和后)用以解释本实用新型的各种组件的结构和运动不是绝对的而是相对的。当这些组件处于附图所示的位置时，这些说明是合适的。如果这些组件的位置的说明发生改变时，则这些方向的指示也相应地改变。

另外，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本实用新型的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。

作为一个具体实施例，如图1、图2所示，本实施例提供了一种新型晶圆探针台，包括：PCB夹具1，用于可替换安装不同尺寸的PCB 7；探针夹具2，用于安装探针；第一驱动机构3，用于带动探针夹具2沿三个不同方向做直线往复运动，三个方向为沿垂直于PCB 7的第一方向，以及平行于PCB 7的第二方向和第三方向,第二方向与第三方向呈角度设置；优选地，第二方向与第三方向垂直设置。相机夹具5，用于安装相机，相机可以是指具有放大功能的设备，从而实现了相机对检测点的精准测试，使本实用新型达到微米级量测控制精度；第二驱动机构4，用于带动相机夹具5沿三个不同方向做直线往复运动，三个方向为沿垂直于PCB7的第一方向，以及平行于PCB 7的第四方向和第五方向，第四方向与第五方向呈角度设置；优选地，第四方向与第五方向垂直设置。PCB 7的一板面对应设置一个以上第一驱动机构3，以及一个以上第二驱动机构4。在实际应用中，探针及相机可以根据实际需求进行选择，当PCB 7的一个板面需要测试时，则一个以上第一驱动机构3及一个以上第二驱动机构4设置于该板面的旁侧即可；当PCB 7的两个板面需要测试时，则一个以上第一驱动机构3和一个以上第二驱动机构4同时分别设置于该两个板面的旁侧即可。

在另一实施例中，如图3、图4所示，在上述实施例的基础上，PCB夹具1包括分设于PCB 7相对设置的两个侧壁的两个卡座11，两个卡座包括第一卡座和第二卡座；以及用于安装卡座11的支撑架12。第一卡座和第二卡座之间的间距可调，使得第一卡座和第二卡座之间可替换安装不同尺寸的PCB。在实际应用中，第一卡座和第二卡座可分设于PCB长度方向和/或宽度方向的两侧，这样，本实用新型适用于不同宽度和/或不同长度的PCB。

具体地，当卡座11为四个时，一对卡座11分别围设PCB一对相对设置的两个侧壁，为了避免相邻设置的两个卡座11(即一对应PCB宽度方向的卡座11和一对应PCB长度方向的卡座11)产生干涉问题，两个卡座11之间可预留一定竖直的间距，使得相对设置的两个卡座11的相对运动不会产生干涉问题；当然，也可于相邻设置的两个卡座11(即一对应PCB宽度方向的卡座11和一对应PCB长度方向的卡座11)的接触处设有凹凸配合结构，从而使得一对相对设置的卡座11可于另外一对相对设置的卡座11进行滑移。值得说明的是，相对设置的两个卡座11中可移动的卡座11可为一个或两个，具体根据需要进行设置。

在另一实施例中，如图3、图4所示，在上述实施例的基础上，卡座11上设置有卡槽111，卡槽111的侧壁上设有至少一个紧固孔112，每个紧固孔112上设置有紧固件113，PCB 7的一侧壁设置卡槽111内，经紧固件113夹持固定。卡槽111包括第一卡槽及第二卡槽，紧固孔112包括第一紧固孔及第二紧固孔，紧固件113包括第一紧固件及第二紧固件。第一卡座在支撑架12上沿垂直于侧壁的方向做往复运动，第一卡座与支撑件12可拆卸连接。第一卡槽位于第一卡座上，PCB 7的一个侧壁容设于第一卡槽中，第一紧固孔设置在第一卡槽的侧壁上，第一紧固件容设于第一紧固孔以抵设PCB 7的板面。第二卡座在支撑架12上沿垂直于侧壁的方向做往复运动，第二卡座与支撑件12可拆卸连接。第二卡槽位于第二卡座上，PCB7的相对一侧壁容设于第二卡槽中，第二紧固孔设置在第二卡槽的侧壁上，第二紧固件容设于第二紧固孔以抵设PCB 7的板面。本实施例中，卡槽111对PCB 7的容设作用提高了PCB 7固定的稳定性，且便于PCB 7的定位和限位，保证PCB 7相对设置的两个侧壁安装的直线性和稳定性，进而在结构上保证了两个侧壁相对设置的对应性。

具体地，如图3所示，支撑架12包括支撑杆121、连接杆122和底板123；其中，两个支撑杆121相对设置于底板123的上表面，且支撑杆121的延展方向为高度方向，连接杆122于底板123的上方实现两个支撑杆121的连接，连接杆122的两端分别与两个支撑杆121的顶端连接，两个卡座11沿高度方向依次设于连接杆122的下方，且一个以上卡座11的两端分别与两个支撑杆121可拆卸式连接，从而实现PCB 7的垂直设置。优选地，还包括一端与支撑杆121连接，另一端与底板123连接的加强杆124。加强杆124的设置提高了支撑杆121的稳定性和牢固性。优选地，两个加强杆124分设于支撑杆121的两侧以实现两个加强杆124和底板123共同形成对支撑杆121的三角支撑。

如图5所示，紧固件113包括紧固座1131、紧固螺丝1132、调节螺丝1133及弹簧1134。其中，紧固座1131的两端分别开设有螺孔，紧固螺丝1132穿过螺孔与卡槽111的侧壁拧接，以此实现将紧固座1131固定在卡座11上。紧固座1131的中部开设有穿孔，调节螺丝1133依次穿过穿孔及紧固孔112与PCB抵接，弹簧1134套设在调节螺丝1133上，弹簧1134位于卡座11与紧固座1131之间，以此实现PCB 7的弹性固定。在实际应用中，紧固件113可为弹性件如弹簧或者橡胶，弹性件的一端固定于紧固孔112，弹性件的另一端朝向卡槽111的内部设置；当然，紧固件113也可为刚性件，如平头螺丝，螺丝与紧固孔112螺接而使得平头螺丝的平面端与PCB抵接。紧固件113不管是刚性件或柔性件时，还可进一步在紧固件113靠近PCB一侧的端部设一柔性垫层。柔性垫层可为海绵、橡胶层或塑料等均可。紧固孔112的数量可为一个以上。

在另一实施例中，如图6所示，在上述实施例的基础上，探针夹具2包括安装板22和用于与第一驱动机构3连接的安装座21；安装板22设有两个以上用于安装探针的螺孔23，螺孔23可以装载用于挂载探针的螺柱。多个螺柱的设置可实现挂载满足不同测试类型的测试点的探针或满足不同测试角度的测试点的探针的安装，提高本实用新型适用于更多类型测试点的PCB，提高本实用新型的多样化和适用范围。在实际应用中，只需将探针于螺柱进行拆卸或安装便可实现水平设置、垂直设置或斜向设置的测试点的同一种或不同种PCB。当然，也可通过安装多个探针以满足不同方向设置的测试点的测试。优选地，安装板22设有加强筋24，以延长探针夹具的使用寿命。

在另一实施例中，如图7所示，在上述实施例的基础上，第一驱动机构3包括沿第一方向带动探针靠近或远离PCB的第一子驱动机构31，沿第二方向带动探针做往复运动的第二子驱动机构32，以及沿第三方向带动探针做往复运动的第三子驱动机构33；第一子驱动机构31、第二子驱动机构32或第三子驱动机构33安装一探针夹具2。第一子驱动机构31带动第二子驱动机构32和第三子驱动机构33沿靠近或远离PCB，进而带动探针远离PCB或靠近PCB，从而便于PCB的安装和拆卸，安装PCB时，通过第一子驱动机构31带动探针远离PCB，从而为使用者安装PCB提供操作空间；当需要对PCB进行测试时，则通过第一子驱动机构31带动探针靠近PCB便可进行测试。三个子驱动机构(第一子驱动机构31、第二子驱动机构32和第三子驱动机构33)可分别独立于三个方向做直线往复运动，使得探针可于PCB进行坐标式运动，从而便于根据PCB的测试点的设计坐标移动探针以实现对应的测试点的测试，大大节约了探针对测试点的定位要求，提高了探针对测试点捕捉的精准性。优选地，第一子驱动机构31、第二子驱动机构32和第三子驱动机构33均为丝杠副；第二子驱动机构32安装于第一子驱动机构31的丝杠34；第三子驱动机构33安装于第二子驱动机构32的丝杠34；第一子驱动机构31和第二子驱动机构32之间设有凹凸配合结构；第二子驱动机构32和第三子驱动机构33之间设有凹凸配合结构；第一子驱动机构31、第二子驱动机构32和第三子驱动机构33均设有与丝杠34连接的旋转手轮37。优选地，第二子驱动机构32通过安装块35与第一子驱动机构31的丝杠34连接，且安装块35与用于安装丝杠34的底座之间设有导轨36，导轨36与安装块35的接触处设有凹凸配合结构；第三子驱动机构33通过安装块35与第二子驱动机构32的丝杠34连接，且安装块35与用于安装丝杠34的底座之间设有导轨36，导轨36与安装块35的接触处设有凹凸配合结构。优选地，第二子驱动机构32沿水平方向带动探针运动，第三子驱动机构33沿高度方向带动探针运动，探针治具优选设置于第三子驱动机构33。本实施例中，第一子驱动机构31、第二子驱动机构32和第三子驱动机构33可单独沿不同方向运动，从而提高了本实用新型带动探针的单独沿某一方向的灵活性、独立性，从而实现了探针对检测点的精准定位。

在另一实施例中，如图2所示，在上述实施例的基础上，第二驱动机构4包括沿第一方向带动相机夹具5靠近或远离PCB 7的第四子驱动机构41，沿第四方向带动相机夹具5做往复运动的第五子驱动机构42，以及沿第五方向带动相机夹具5做往复运动的第六子驱动机构43；第四子驱动机构41、第五子驱动机构42或第六子驱动机构43安装一相机夹具5。本实施例中，第四子驱动机构41、第五子驱动机构42和第六子驱动机构43可单独沿不同方向运动，从而提高了本实用新型带动相机的单独沿某一方向的灵活性、独立性，从而实现了相机对检测点的精准测试，使本实用新型达到微米级量测控制精度。

值得说明的是，第二驱动机构4可以同第一驱动机构3的结构相同，只要能实现相机沿不同方向移动，同时能实现相机对检测点的精准测试的结构均在本实用新型的保护范围内。

在另一实施例中，如图2所示，在上述实施例的基础上，新型晶圆探针台还包括：箱体6及悬挂架61，悬挂架61设置在箱体6的上侧，第五子驱动机构42设置在悬挂架61上，第四子驱动机构41设置在箱体6的上侧，第六子驱动机构43带动相机夹具5靠近或远离箱体6移动。当相机夹具5移动至远离箱体6时，相机夹具5位于箱体6的上侧；当相机夹具5移动至靠近箱体6时，相机夹具5位于箱体6的内部。箱体6的下侧设置有多个脚轮62，便于新型晶圆探针台的自由移动。本实施例中，在相机不使用时，可将相机下移，隐藏在箱体6的内部，此结构在不影响相机使用的同时，还能在相机不使用时对相机进行保护。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详细描述或记载的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种新型晶圆探针台，其特征在于，包括：

PCB夹具，所述PCB夹具包括至少一对卡座及用于安装所述卡座的支撑架，每对所述卡座分别设置于所述PCB相对的两侧壁，每对所述卡座之间的间距可调，以用于替换安装不同尺寸的PCB；

探针夹具，用于安装探针；

第一驱动机构，用于驱动所述探针夹具沿不同方向移动；

相机夹具，用于安装相机；

第二驱动机构，用于驱动所述相机夹具沿不同方向移动；

所述PCB的一板面对应设置一个以上所述第一驱动机构，以及一个以上所述第二驱动机构。

2.根据权利要求1所述的新型晶圆探针台，其特征在于：

每对所述卡座中至少有一个卡座在所述支撑架上沿靠近或远离另一卡座的方向做往复运动，以调节每对所述卡座之间的间距。

3.根据权利要求2所述的新型晶圆探针台，其特征在于：

还包括紧固件；

所述卡座设有卡槽，所述PCB相对设置的两个侧壁分别容设于所述卡槽中；

所述卡槽的侧壁上设有紧固孔，所述紧固件插设于所述紧固孔内并抵设所述PCB的板面，以固定所述PCB。

4.根据权利要求3所述的新型晶圆探针台，其特征在于：

所述紧固件为弹性件，所述紧固件包括紧固座、紧固螺丝、调节螺丝及弹簧，所述紧固座上开设有螺孔及穿孔，所述紧固螺丝穿过所述螺孔与所述卡槽的侧壁拧接，所述调节螺丝依次穿过所述穿孔及所述紧固孔与所述PCB抵接，所述弹簧套设在所述调节螺丝上，所述弹簧位于所述卡座与所述紧固座之间；

或，所述紧固件为钢性件。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的新型晶圆探针台，其特征在于：

所述第一驱动机构带动所述探针夹具沿三个不同方向做直线往复运动，三个方向为沿垂直于所述PCB的第一方向，以及平行于所述PCB的第二方向和第三方向,所述第二方向与所述第三方向呈角度设置；

所述第二驱动机构带动所述相机夹具沿三个不同方向做直线往复运动，三个方向为沿垂直于所述PCB的所述第一方向，以及平行于所述PCB的第四方向和第五方向，所述第四方向与所述第五方向呈角度设置。

6.根据权利要求5所述的新型晶圆探针台，其特征在于：

所述第一驱动机构包括沿所述第一方向带动所述探针夹具靠近或远离所述PCB的第一子驱动机构，沿所述第二方向带动所述探针夹具做往复运动的第二子驱动机构，以及沿所述第三方向带动所述探针夹具做往复运动的第三子驱动机构；

所述第一子驱动机构、所述第二子驱动机构或所述第三子驱动机构安装一所述探针夹具。

7.根据权利要求6所述的新型晶圆探针台，其特征在于：

所述探针夹具包括安装板和用于与所述第一驱动机构连接的安装座，所述安装板与所述安装座连接；

所述安装板设有两个以上用于安装所述探针的螺孔。

8.根据权利要求5所述的新型晶圆探针台，其特征在于：

所述第二驱动机构包括沿所述第一方向带动所述相机夹具靠近或远离所述PCB的第四子驱动机构，沿所述第四方向带动所述相机夹具做往复运动的第五子驱动机构，以及沿所述第五方向带动所述相机夹具做往复运动的第六子驱动机构；

所述第四子驱动机构、所述第五子驱动机构或所述第六子驱动机构安装一所述相机夹具。

9.根据权利要求8所述的新型晶圆探针台，其特征在于，还包括：

箱体，所述第四子驱动机构设置在所述箱体的上侧，所述第六子驱动机构带动所述相机夹具靠近或远离所述箱体移动；

当所述相机夹具移动至远离所述箱体时，所述相机夹具位于所述箱体的上侧；

当所述相机夹具移动至靠近所述箱体时，所述相机夹具位于所述箱体的内部。

10.根据权利要求9所述的新型晶圆探针台，其特征在于，还包括：

悬挂架，所述悬挂架设置在所述箱体的上侧，所述第五子驱动机构设置在所述悬挂架上。

Images