CN211741371U - 一种硅片用测试平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片用测试平台，包括底座和底板，所述底座的上方连接有横板，且横板的左端内部贯穿连接有第一控制杆，且横板的右端内部贯穿连接有第二控制杆，所述第一控制杆和第二控制杆的外侧均连接有皮带，所述底板位于横板的上方，且底板的左端内部开设有限位槽，所述底板的上方安装有盛放板，所述盛放板的上表面焊接连接有固定座，所述竖杆与控制件相连接，且控制件的下端连接有固定板，所述横板在底座上为滑动结构，且横板在底座上为伸缩结构，并且横板的宽度和长度尺寸分别与底座的内侧宽度和长度尺寸相等。该硅片用测试平台，硅片定位简单，且便于调节平台与测试头之间的间距尺寸，并且便于保证硅片位置的稳定。

Description

一种硅片用测试平台

技术领域

本实用新型涉及硅片测试相关技术领域，具体为一种硅片用测试平台。

背景技术

硅片是制作集成电路的重要材料，而硅片的电阻率是一个十分关键的参数之一，电阻率是否在合格范围内直接影响了硅片的整体性能，因此需要对硅片的电阻率进行测试，同时需要相应的测试平台来辅助工作。

但是当今市场上现有的用于硅片电阻率测试的平台，往往用纸打印了测试模板，移动硅片瞄准测试点，测试5点电阻率，但是该方式硅片定位难，容易测到纸上，引起测试精度偏差大，且现有的测试平台不便于调节平台与测试头之间的间距尺寸，并且不便于保证硅片位置的稳定，因此，我们提出一种硅片用测试平台，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片用测试平台，以解决上述背景技术中提出的大多数硅片电阻率测试的平台硅片定位难，引起测试精度偏差大，且不便于调节平台与测试头之间的间距尺寸，并且不便于保证硅片位置的稳定的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片用测试平台，包括底座和底板，所述底座的上方连接有横板，且横板的左端内部贯穿连接有第一控制杆，且横板的右端内部贯穿连接有第二控制杆，所述第一控制杆和第二控制杆的外侧均连接有皮带，所述底板位于横板的上方，且底板的左端内部开设有限位槽，所述底板的上方安装有盛放板，且盛放板的上表面开设有放置槽，所述盛放板的上表面焊接连接有固定座，且固定座的内部贯穿连接有竖杆，所述竖杆与控制件相连接，且控制件的下端连接有固定板。

优选的，所述横板在底座上为滑动结构，且横板在底座上为伸缩结构，并且横板的宽度和长度尺寸分别与底座的内侧宽度和长度尺寸相等。

优选的，所述第一控制杆和第二控制杆关于横板的竖直中轴线对称设置，且第一控制杆和第二控制杆与横板的连接方式均为螺纹连接，并且第一控制杆和第二控制杆通过皮带构成传动结构。

优选的，所述盛放板的下表面形状与底板的上表面形状相吻合，且盛放板与底板的连接方式为卡合连接。

优选的，所述控制件的纵截面形状为“L”字型，且控制件的下端与固定板的上表面紧密贴合设置。

优选的，所述控制件与竖杆构成转动结构，且竖杆的下端外径尺寸与固定座的内径尺寸相等，并且竖杆与固定座的连接方式为螺纹连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该硅片用测试平台，硅片定位简单，且便于调节平台与测试头之间的间距尺寸，并且便于保证硅片位置的稳定；

1、通过将硅片放进盛放板，通过盛放板和底板的共同作用定位5点，测试定位精度准，重复性好，测试精度大大提高；

2、通过在底板的下方设置有横板，且横板在底座上为升降结构，因此能够通过调节横板的高度尺寸来调节盛放板的高度尺寸，进而对硅片与检测头之间的间距尺寸进行调节，便于检测工作的进行；

3、通过在盛放板上设置有固定座、竖杆、控制件和固定板，因此可通过将控制件向下运动，使得固定板将硅片夹紧在盛放板上，防止在检测过程中硅片的意外滑动。

附图说明

图1为本实用新型正视剖面结构示意图；

图2为本实用新型俯视结构示意图；

图3为本实用新型底板俯视结构示意图；

图4为本实用新型盛放板俯视结构示意图。

图中：1、底座；2、横板；3、第一控制杆；4、第二控制杆；5、皮带；6、底板；7、限位槽；8、盛放板；9、放置槽；10、固定座；11、竖杆；12、控制件；13、固定板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种硅片用测试平台，包括底座1、横板2、第一控制杆3、第二控制杆4、皮带5、底板6、限位槽7、盛放板8、放置槽9、固定座10、竖杆11、控制件12和固定板13，底座1的上方连接有横板2，且横板2的左端内部贯穿连接有第一控制杆3，且横板2的右端内部贯穿连接有第二控制杆4，第一控制杆3和第二控制杆4的外侧均连接有皮带5，底板6位于横板2的上方，且底板6的左端内部开设有限位槽7，底板6的上方安装有盛放板8，且盛放板8的上表面开设有放置槽9，盛放板8的上表面焊接连接有固定座10，且固定座10的内部贯穿连接有竖杆11，竖杆11与控制件12相连接，且控制件12的下端连接有固定板13。

如图1中横板2在底座1上为滑动结构，且横板2在底座1上为伸缩结构，并且横板2的宽度和长度尺寸分别与底座1的内侧宽度和长度尺寸相等，便于对横板2进行稳定的支撑，且不影响横板2的上下运动，盛放板8的下表面形状与底板6的上表面形状相吻合，且盛放板8与底板6的连接方式为卡合连接，便于对硅片进行准确的定位；

如图1中控制件12的纵截面形状为“L”字型，且控制件12的下端与固定板13的上表面紧密贴合设置，可通过橡胶材料的固定板13对硅片进行加压固定，且可防止控制件12将硅片挤压坏，控制件12与竖杆11构成转动结构，且竖杆11的下端外径尺寸与固定座10的内径尺寸相等，并且竖杆11与固定座10的连接方式为螺纹连接，便于通过转动竖杆11控制控制件12的上下运动；

如图1和图2中第一控制杆3和第二控制杆4关于横板2的竖直中轴线对称设置，且第一控制杆3和第二控制杆4与横板2的连接方式均为螺纹连接，并且第一控制杆3和第二控制杆4通过皮带5构成传动结构，便于控制横板2的上下升降，从而对硅片与检测头之间的间距尺寸进行调节。

工作原理：在使用该硅片用测试平台时，首先将硅片的圆片放置在盛放板8上方的放置槽9内部，再通过转动竖杆11，使得竖杆11的下端在固定座10的内部向下运动，从而带动竖杆11上的控制件12向下运动，使得控制件12下方的固定板13下表面与硅片的边缘接触，将硅片的边缘挤压固定住，防止硅片的晃动，且固定板13的材质为橡胶材料，能够对硅片的边缘起到缓冲保护作用，然后将盛放板8与底板6的上端进行卡合连接，使得盛放板8上的硅片自动被定位，便于准确的进行检测工作；

当需要对硅片与检测头之间的间距尺寸进行调节时，手动转动第二控制杆4，使得第二控制杆4通过皮带5带动第一控制杆3同时转动，由于第一控制杆3和第二控制杆4与横板2的连接方式均为螺纹连接，因此可对横板2进行上下升降控制，便于对底板6和盛放板8的整体高度进行调节，从而对硅片与检测头之间的间距尺寸进行调节，更便于检测工作的进行，这就是该硅片用测试平台的工作原理。

本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种硅片用测试平台，包括底座(1)和底板(6)，其特征在于：所述底座(1)的上方连接有横板(2)，且横板(2)的左端内部贯穿连接有第一控制杆(3)，且横板(2)的右端内部贯穿连接有第二控制杆(4)，所述第一控制杆(3)和第二控制杆(4)的外侧均连接有皮带(5)，所述底板(6)位于横板(2)的上方，且底板(6)的左端内部开设有限位槽(7)，所述底板(6)的上方安装有盛放板(8)，且盛放板(8)的上表面开设有放置槽(9)，所述盛放板(8)的上表面焊接连接有固定座(10)，且固定座(10)的内部贯穿连接有竖杆(11)，所述竖杆(11)与控制件(12)相连接，且控制件(12)的下端连接有固定板(13)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片用测试平台，其特征在于：所述横板(2)在底座(1)上为滑动结构，且横板(2)在底座(1)上为伸缩结构，并且横板(2)的宽度和长度尺寸分别与底座(1)的内侧宽度和长度尺寸相等。

3.根据权利要求1所述的一种硅片用测试平台，其特征在于：所述第一控制杆(3)和第二控制杆(4)关于横板(2)的竖直中轴线对称设置，且第一控制杆(3)和第二控制杆(4)与横板(2)的连接方式均为螺纹连接，并且第一控制杆(3)和第二控制杆(4)通过皮带(5)构成传动结构。

4.根据权利要求1所述的一种硅片用测试平台，其特征在于：所述盛放板(8)的下表面形状与底板(6)的上表面形状相吻合，且盛放板(8)与底板(6)的连接方式为卡合连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片用测试平台，其特征在于：所述控制件(12)的纵截面形状为“L”字型，且控制件(12)的下端与固定板(13)的上表面紧密贴合设置。

6.根据权利要求1所述的一种硅片用测试平台，其特征在于：所述控制件(12)与竖杆(11)构成转动结构，且竖杆(11)的下端外径尺寸与固定座(10)的内径尺寸相等，并且竖杆(11)与固定座(10)的连接方式为螺纹连接。

Images