CN211612223U - 一种等离子刻蚀机排风装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种等离子刻蚀机排风装置，包括进气管、分离管和支撑板，所述进气管顶端设置有分离管，分离管一侧设置有支撑板，支撑板上表面设置有电机，电机轴部连接有减速机，减速机连接有第二转轴，减速机一侧设置有驱动箱，第二转轴延伸至驱动箱内腔，所述第二转轴通过皮带传动结构连接有第一转轴，第一转轴延伸至分离管内腔，使用时，使得气体进入分离管中，由于第二转轴带动第一转轴转动，使得气体依次进入从分离管中排进导气管中，并经导气管进入壳体中，启动水泵，使得雾化喷头开始喷雾，从而对等离子刻蚀机产生的酸性气体进行气液两相充分接触吸收中和反应，酸雾废气经过净化后，再经集料槽脱水除雾后由风机排入大气。
Description
技术领域
本实用新型涉及等离子刻蚀机技术领域，具体是一种等离子刻蚀机排风装置。
背景技术
等离子刻蚀机在使用中会产生酸性气体，影响硅片方阻的均匀性，使硅片的方阻过大，从而影响硅片的生产效率。
目前现有的等离子刻蚀机排风装置在使用时，不能的气体中产生的杂质进行隔离，使得杂质随气体一起排进大气中造成污染，且现有的等离子刻蚀机排风装置仅仅是将产生的气体进行排出，并没有对酸性气体进行中和反应，从而对环境产生了较大的危害，因此，本领域技术人员提供了一种等离子刻蚀机排风装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种等离子刻蚀机排风装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种等离子刻蚀机排风装置，包括进气管、分离管和支撑板，所述进气管顶端设置有分离管，分离管一侧设置有支撑板，支撑板上表面设置有电机，电机轴部连接有减速机，减速机连接有第二转轴，减速机一侧设置有驱动箱，第二转轴延伸至驱动箱内腔，所述第二转轴通过皮带传动结构连接有第一转轴，第一转轴延伸至分离管内腔，所述第一转轴盒第二转轴均通过轴承与驱动箱转动连接，所述分离管一侧设置有端盖，端盖通过螺栓与分离管固定连接，所述分离管为圆柱形结构，且分离管远离端盖一侧为封闭结构，所述第一转轴边侧设置有若干个均匀分布的隔板，隔板一侧与分离管内壁滑动连接；
所述分离管顶端设置有出气口，且出气口内腔设置有滤网，所述分离管顶端设置有导气管，导气管连接有壳体，所述壳体远离导气管一侧底部设置有固定板，固定板为L型结构，且固定板通过螺栓与壳体固定连接，固定板竖直部位设置有螺纹孔，所述壳体内腔设置有水槽，水槽上方设置有集料槽，集料槽内腔设置有填料，且集料槽为网状透气结构，所述集料槽两侧均设置有滑块，壳体内壁与滑块对应设置有滑槽，滑块与滑槽滑动连接；
所述水槽内腔设置有隔网，隔网内设置有吸水罩，吸水罩连接有水管，水管延伸至壳体外侧病设置有水泵，且水管顶端延伸至壳体内腔上方并设置有雾化器，雾化器位于集料槽上方，且雾化器底部设置有若干个均匀分布的雾化喷头，所述壳体顶端设置有风机，风机顶端设置有排气管。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、通过设置的分离管、隔板、滤网的作用下，使得气体在分离管中反复滚动，从而使得气体缓慢有序的离开分离管中，从而便于对气体中的杂质颗粒进行分离，通过气体缓慢的离开分离管，便于在壳体中，气体均匀的分散开，从而有利于水雾对等离子刻蚀机产生的酸性气体进行中和反应，使得反应的更加彻底，从而有利于气体的净化。
2、通过设置端盖与分离管可拆卸安装，便于对分离管中截留的杂质颗粒进行清洁，从而节省了人们的劳动强度，提高了工作效率，适合适合广泛使用。
附图说明
图1为一种等离子刻蚀机排风装置的结构示意图。
图2为一种等离子刻蚀机排风装置中壳体的结构示意图。
图3为一种等离子刻蚀机排风装置中分离管的结构示意图。
图4为一种等离子刻蚀机排风装置中第一转轴与第二转轴的连接图。
图中：1-进气管、2-分离管、3-支撑板、4-电机、5-减速机、6-驱动箱、7-端盖、8-导气管、9-壳体、10-固定板、11-风机、12-排气管、13-水槽、14-隔网、15-吸水罩、16-水泵、17-水管、18-雾化器、19-雾化喷头、20-集料槽、21-填料、22-螺纹孔、23-第一转轴、24-隔板、25-出气口、26-滤网、27-第二转轴、28-皮带传动结构。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种等离子刻蚀机排风装置，包括进气管1、分离管2和支撑板3，所述进气管1顶端设置有分离管2，分离管2一侧设置有支撑板3，支撑板3上表面设置有电机4，电机4轴部连接有减速机5，减速机5连接有第二转轴27，减速机5一侧设置有驱动箱6，第二转轴27延伸至驱动箱6内腔，所述第二转轴27通过皮带传动结构28连接有第一转轴23，第一转轴23延伸至分离管2内腔，所述第一转轴23盒第二转轴27均通过轴承与驱动箱6转动连接，所述分离管2一侧设置有端盖7，端盖7通过螺栓与分离管2固定连接，所述分离管2顶端设置有导气管8，导气管8连接有壳体9，所述壳体9内腔设置有水槽13，水槽13上方设置有集料槽20，集料槽20内腔设置有填料21，且集料槽20为网状透气结构，所述水槽13内腔设置有隔网14，隔网14内设置有吸水罩15，吸水罩15连接有水管17，水管17延伸至壳体9外侧病设置有水泵16，且水管17顶端延伸至壳体9内腔上方并设置有雾化器18，雾化器18位于集料槽20上方，且雾化器18底部设置有若干个均匀分布的雾化喷头19，所述壳体9顶端设置有风机11，风机11顶端设置有排气管12。
使用时，启动电机4和风机11，使得进气管1开始进气，气体进入分离管2中时，由于第二转轴27带动第一转轴23转动，使得气体依次进入从分离管2中排进导气管8中，并经导气管8进入壳体9中，启动水泵16，使得雾化喷头19开始喷雾，从而对等离子刻蚀机产生的酸性气体进行气液两相充分接触吸收中和反应，酸雾废气经过净化后，再经集料槽20脱水除雾后由风机11排入大气，吸收液在壳体9底部经水泵16增压后在壳体9顶喷淋而下，最后回流至水槽13中循环使用，在隔网14的作用下，对水中的杂质起到了很好的过滤效果。
所述第一转轴23边侧设置有若干个均匀分布的隔板24，隔板24一侧与分离管2内壁滑动连接。
所述分离管2顶端设置有出气口25，且出气口25内腔设置有滤网26。
通过设置的隔板24，当第一转轴23转动时，使得隔板24在分离管2内转动，从而使得气体有效从出气口25中排出，并在滤网26的作用下，使得气体中的杂质颗粒截留下来，并通过端盖7与分离管2可拆卸设置，便于对分离管2中的杂质颗粒进行清洁。
所述壳体9远离导气管8一侧底部设置有固定板10，固定板10为L型结构，且固定板10通过螺栓与壳体9固定连接，固定板10竖直部位设置有螺纹孔22。
通过设置的固定板10，便于对壳体9进行固定安装。
所述集料槽20两侧均设置有滑块，壳体9内壁与滑块对应设置有滑槽，滑块与滑槽滑动连接。
通过设置滑块与滑槽滑动连接，便于将集料槽20抽出壳体9中，从而有利于对集料槽20中的填料21进行更换。
所述分离管2为圆柱形结构，且分离管2远离端盖7一侧为封闭结构。
通过设置分离管2一侧封闭，另一侧开口，便于对分离管2中的杂质颗粒进行清洁。
本实用新型的工作原理是：
使用时，启动电机4和风机11，使得进气管1开始进气，气体进入分离管2中时，由于第二转轴27带动第一转轴23转动，使得气体依次进入从分离管2中排进导气管8中，并经导气管8进入壳体9中，启动水泵16，使得雾化喷头19开始喷雾，从而对等离子刻蚀机产生的酸性气体进行气液两相充分接触吸收中和反应，酸雾废气经过净化后，再经集料槽20脱水除雾后由风机11排入大气，吸收液在壳体9底部经水泵16增压后在壳体9顶喷淋而下，最后回流至水槽13中循环使用，在隔网14的作用下，对水中的杂质起到了很好的过滤效果。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种等离子刻蚀机排风装置，包括进气管(1)、分离管(2)和支撑板(3)，其特征在于，所述进气管(1)顶端设置有分离管(2)，分离管(2)一侧设置有支撑板(3)，支撑板(3)上表面设置有电机(4)，电机(4)轴部连接有减速机(5)，减速机(5)连接有第二转轴(27)，减速机(5)一侧设置有驱动箱(6)，第二转轴(27)延伸至驱动箱(6)内腔，所述第二转轴(27)通过皮带传动结构(28)连接有第一转轴(23)，第一转轴(23)延伸至分离管(2)内腔，所述第一转轴(23)盒第二转轴(27)均通过轴承与驱动箱(6)转动连接，所述分离管(2)一侧设置有端盖(7)，端盖(7)通过螺栓与分离管(2)固定连接，所述分离管(2)顶端设置有导气管(8)，导气管(8)连接有壳体(9)；
所述壳体(9)内腔设置有水槽(13)，水槽(13)上方设置有集料槽(20)，集料槽(20)内腔设置有填料(21)，且集料槽(20)为网状透气结构，所述水槽(13)内腔设置有隔网(14)，隔网(14)内设置有吸水罩(15)，吸水罩(15)连接有水管(17)，水管(17)延伸至壳体(9)外侧病设置有水泵(16)，且水管(17)顶端延伸至壳体(9)内腔上方并设置有雾化器(18)，雾化器(18)位于集料槽(20)上方，且雾化器(18)底部设置有若干个均匀分布的雾化喷头(19)，所述壳体(9)顶端设置有风机(11)，风机(11)顶端设置有排气管(12)。
2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机排风装置，其特征在于，所述第一转轴(23)边侧设置有若干个均匀分布的隔板(24)，隔板(24)一侧与分离管(2)内壁滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机排风装置，其特征在于，所述分离管(2)顶端设置有出气口(25)，且出气口(25)内腔设置有滤网(26)。
4.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机排风装置，其特征在于，所述壳体(9)远离导气管(8)一侧底部设置有固定板(10)，固定板(10)为L型结构，且固定板(10)通过螺栓与壳体(9)固定连接，固定板(10)竖直部位设置有螺纹孔(22)。
5.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机排风装置，其特征在于，所述集料槽(20)两侧均设置有滑块，壳体(9)内壁与滑块对应设置有滑槽，滑块与滑槽滑动连接。
6.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀机排风装置，其特征在于，所述分离管(2)为圆柱形结构，且分离管(2)远离端盖(7)一侧为封闭结构。
Priority Applications (1)
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| CN201922081154.9U CN211612223U (zh) | 2019-11-27 | 2019-11-27 | 一种等离子刻蚀机排风装置 |
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| CN211612223U true CN211612223U (zh) | 2020-10-02 |
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| CN201922081154.9U Active CN211612223U (zh) | 2019-11-27 | 2019-11-27 | 一种等离子刻蚀机排风装置 |
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2019
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