CN211602262U - 电容式压力传感器结构 - Google Patents
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Abstract
一种电容式压力传感器结构,涉及压力传感器领域。其在左夹板与右夹板之间安装金属薄膜,分别在左右夹板下方安装左右外套,左绝缘体固定安装左外套上,左绝缘体与左电极固定连接,右绝缘体固定安装在右外套上,右绝缘体与右电极固定连接,在左外套外侧固定连接左基座,在右外套外侧固定连接右基座。其结构简单,易于制造,精度高;其体积可以做的很小,以实现耨中特殊的测量。电容式传感器一般用金属作电极,以无极材料做绝缘支撑,因此,可工作在高低温、强辐射等恶劣的环境中,能够承受很大的温度变化,能测超高压和低压差。
Description
技术领域
本实用新型涉及压力传感器领域,特别涉及一种电容式压力传感器结构。
背景技术
目前,压力传感器在工业领域中应用非常广泛,例如航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等。按照工作原理的不同,压力传感器主要分为压阻式、电容式以及压电式等。
压阻式压力传感器由于其制造工艺与半导体工艺兼容性高,制造工艺简单,接口电路简单等优点,是目前压力传感器的主流技术。但是由于半导体的温度特性,压阻式压力传感器会发生温度漂移,在相当程度上限制了压阻式压力传感器的应用,并不适合一些高可靠性、精度高的应用领域。
压电式压力传感器制造工艺复杂,温度系数大,使用及维护比较困难。
发明内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的是提供一种电容式压力传感器结构。
本实用新型所采用的技术方案是:一种电容式压力传感器结构,其技术要点是,包括左基座、右基座、带有环形凸起的左夹板、金属薄膜、带有凹槽的右夹板、左外套、右外套,左电极、右电极、左绝缘体及右绝缘体,在左夹板与右夹板之间安装金属薄膜,左夹板的凸起插接在右夹板的凹槽内将左夹板、金属薄膜及右夹板三者结合在一起;在左夹板下方安装左外套,左外套上固定左绝缘体,左绝缘体与左电极固定连接,在右夹板下方安装右外套,右外套上固定右绝缘体,右绝缘体与右电极固定连接,在左外套外侧固定连接左基座,在右外套外侧固定连接右基座。
上述方案中,在金属薄膜与左夹板、右夹板的接触位置分别设有O型圈。
上述方案中,左夹板和右夹板通过螺栓固定连接。
上述方案中,左电极通过螺栓与左绝缘体连接,右电极通过螺栓与右绝缘体连接。
上述方案中,左基座与右基座通过螺栓连接。
本实用新型的有益效果是:该电容式压力传感器结构,结构简单,易于制造,精度高;其可以做的很小,以实现耨中特殊的测量。电容式传感器一般用金属作电极,以无极材料做绝缘支撑,因此,可工作在高低温、强辐射等恶劣的环境中,能够承受很大的温度变化,能测超高压和低压差。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例中右夹板结构示意图;
图2为本实用新型实施例中左夹板结构示意图;
图3为本实用新型实施例中左O型圈、右O型圈结构示意图;
图4为本实用新型实施例中左右夹板与金属薄膜连接的结构示意图;
图5为本实用新型实施例中电容式压力传感器结构示意图;
图中序号说明如下:1左基座、2右基座、3左夹板、4右夹板、5左外套、6右外套,7左电极、8右电极、9左绝缘体、10右绝缘体、11左O型圈、12右O型圈、13金属薄膜、14密封槽、15环形凸起、16凹槽。
具体实施方式
使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图1~图5和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
本实施例采用的电容式压力传感器结构,包括左基座1、右基座2、左夹板3、金属薄膜13、右夹板4、左外套5、右外套6,左电极7、右电极8、左绝缘体9及右绝缘体10,左夹板3上具有环形凸起15,右夹板4上具有与左夹板3上的环形凸起15相配合的凹槽16。左夹板3和右夹板4对合后环形凸起15与凹槽16可完全重合。在左夹板3和右夹板4上还设有密封槽14,密封槽14内分别放入左O型圈11和右O型圈12,然后在左夹板3和右夹板4中间夹金属薄膜13,然后用螺栓将两夹板锁紧。
在左夹板3下方安装左外套5,左外套5再通过螺栓固定连接左绝缘体9,左绝缘体9与左电极7固定连接。在右夹板4下方安装右外套6,右外套6上固定右绝缘体10,右绝缘体10与右电极8固定连接,在左外套5外侧固定连接左基座1,在右外套6外侧固定连接右基座2。
本实施例中电容式压力传感器结构的工作过程如下:
当被测介质的两种压力通入左夹板3、右夹板4形成的密封压力腔中,作用在金属薄膜13(敏感元件)上,金属薄膜13与位于左绝缘体9上的左电极7、位于右绝缘体10上的右电极8组成一个电容器。
应用时,当金属薄膜片13两侧气压不一致时,致使金属薄膜片13产生位移,其位移量和压力差成正比,故两侧电容量就不等,通过振荡和调节环节,转换成与压力成正比的信号。接着进行信号调制得到调制电流,A/D转换器将调节器的电流转换成数字信号,其值被微处理器用来判定输入压力值。微处理控制变送器的工作。
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (5)
1.一种电容式压力传感器结构,其特征在于,包括左基座、右基座、带有环形凸起的左夹板、金属薄膜、带有凹槽的右夹板、左外套、右外套,左电极、右电极、左绝缘体及右绝缘体,在左夹板与右夹板之间安装金属薄膜,左夹板的凸起插接在右夹板的凹槽内将左夹板、金属薄膜及右夹板三者结合在一起;在左夹板下方安装左外套,左外套上固定左绝缘体,左绝缘体与左电极固定连接,在右夹板下方安装右外套,右外套上固定右绝缘体,右绝缘体与右电极固定连接,在左外套外侧固定连接左基座,在右外套外侧固定连接右基座。
2.如权利要求1所述的电容式压力传感器结构,其特征在于,在金属薄膜与左夹板、右夹板的接触位置分别设有O型圈。
3.如权利要求1所述的电容式压力传感器结构,其特征在于,左夹板和右夹板通过螺栓固定连接。
4.如权利要求1所述的电容式压力传感器结构,其特征在于,左电极通过螺栓与左绝缘体连接,右电极通过螺栓与右绝缘体连接。
5.如权利要求1所述的电容式压力传感器结构,其特征在于,左基座与右基座通过螺栓连接。
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