CN211505171U - 光学检测仪器及其探测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光学检测仪器及其探测装置，该探测装置，包括探测器和镜头，还包括用于调节所述探测器和所述镜头相对位置的调节部件；所述调节部件被配置为调节使所述探测器绕旋转轴相对所述镜头旋转，或者使所述镜头绕旋转轴相对所述探测器旋转；或者，所述探测装置还包括安装台，所述调节部件被配置为使所述探测器和/或所述镜头绕旋转轴相对于所述安装台旋转。该探测装置通过调节部件的设置，能够调节探测器和镜头的位置，以确保探测装置的待测对象上的探测区域位于理论位置，从而确保光学检测仪器检测的准确性。

Description

光学检测仪器及其探测装置

技术领域

本实用新型涉及探测技术领域，特别是涉及一种光学检测仪器及其探测装置。

背景技术

集成电路制造工艺一般包括较为复杂的工序，任何工艺环节出错都可能导致芯片的失效，所以在生产制造过程中需要对中间产品及成品进行精密的检测，目前常用的检测方法为采用光学检测仪器进行光学检测。

光学检测仪器包括光源单元、探测单元和控制单元，其中，光源单元用于提供检测光，探测单元用于收集信号光；探测单元一般包括探测器和镜头，探测器的探测区域经镜头成像在待测物的表面，探测器可收集该探测区域的信号光并产生图形信息。若是镜头未能将探测器的探测区域精准地成像在待测对象的表面，探测器探测到的信号光的强度将减弱，产生的图像信息的准确性也将降低，检测结构精度也将较低。

因此，在检测过程中，需要对探测器、镜头的位置以及探测器和镜头之间的相对位置进行精确调节，以满足检测需求，确保检测结果。如何设置一种探测装置能够满足检测过程中探测器和镜头的位置调节需求，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种光学检测仪器及其探测装置，该探测装置通过调节部件的设置，能够调节探测器和镜头的位置，以确保探测装置的待测对象上的探测区域位于理论位置，从而确保光学检测仪器检测的准确性。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种探测装置，包括探测器和镜头，还包括用于调节所述探测器和所述镜头相对位置的调节部件；

所述调节部件被配置为调节使所述探测器绕旋转轴相对所述镜头旋转，或者使所述镜头绕旋转轴相对所述探测器旋转；

或者，所述探测装置还包括安装台，所述调节部件被配置为使所述探测器和/或所述镜头绕旋转轴相对于所述安装台旋转。

该光学检测仪器的探测装置设置有调节部件，该调节部件能够调节探测器和镜头之间的相对位置，如此，可通过调节部件的调节使得探测器的探测区域经镜头准确成像在待测对象的表面，从而提高探测的准确性。

如上所述的探测装置，当所述调节部件被配置为调节使所述探测器绕旋转轴相对所述镜头旋转，或者使所述镜头绕旋转轴相对所述探测器旋转时，所述探测器包括第一连接件，所述镜头包括第二连接件；

当所述调节部件被配置为使所述探测器和/或所述镜头绕旋转轴相对于所述安装台旋转时，所述镜头或所述探测器包括第一连接件，所述安装台包括第二连接件；

所述第一连接件通过所述调节部件与所述第二连接件连接；

所述调节部件包括第一调节机构，所述第一调节机构包括第一调节组件；

所述第一调节组件被配置为调节位于所述第一连接件与所述第二连接件之间的第一调节组件在第一方向上的第一长度；

所述第一方向与所述旋转轴垂直或具有锐角夹角。

如上所述的探测装置，所述第一调节组件的个数为至少三个，所述至少三个第一调节组件的第一方向不共线；所述至少三个第一调节组件用于使至少两个第一长度不相等；

或者，所述第一调节机构还包括旋转连接件，所述旋转连接件被配置为使所述第一连接件绕所述旋转轴旋转，且限定所述第一连接件与所述第二连接件之间的平移。

如上所述的探测装置，所述第一调节组件的个数为多个，多个所述第一调节组件的第一方向不共面或共面。

如上所述的探测装置，所述调节部件还包括第二调节机构，所述第二调节机构包括第二调节组件；

所述第二调节组件被配置为调节位于所述第一连接件与所述第二连接件之间的第二调节组件在第二方向上的第二长度；

所述第二方向与所述旋转轴垂直或具有锐角夹角，所述第一方向与第二方向垂直或具有锐角夹角。

如上所述的探测装置，所述第二调节组件的个数为至少三个，所述至少三个第二调节组件的第二方向不共线；所述至少三个第二调节组件用于使至少两个第二长度不相等；

或者，所述第二调节机构还包括旋转连接件，所述旋转连接件被配置为使所述第一连接件绕所述旋转轴旋转，且限定所述第一连接件与所述第二连接件之间的平移。

如上所述的探测装置，所述第一方向平行于所述镜头光轴；所述第二方向垂直于所述镜头光轴。

如上所述的探测装置，所述第一调节组件的个数为多个，多个所述第一调节组件的第一方向不共面；

所述调节部件还包括第二调节机构，所述第二调节机构包括第二调节组件，所述第二调节组件的个数为多个；

多个所述第二调节组件的第二方向共面或不共面；或者，多个所述第二调节组件至少分为两组，至少两组第二调节组件包括第一组调节结构和第二组调节结构，所述第一组调节结构中第二调节组件的第二方向共面，所述第二组调节结构中第二调节组件的第二方向不共面。

如上所述的探测装置，还包括第三连接件；

当所述探测装置包括安装台，所述调节部件被配置为使所述探测器和/或所述镜头绕旋转轴相对于所述安装台旋转时，所述第一连接件与所述第三连接件分别连接所述镜头和所述探测器；

所述探测装置还包括多个第一固定件，所述第一固定件限定所述第一连接件和所述第三连接件之间的相对位置。

如上所述的探测装置，当所述调节部件被配置为调节使所述探测器绕旋转轴相对所述镜头旋转，或者使所述镜头绕旋转轴相对所述探测器旋转时，所述探测器还包括第三连接件，所述第一连接件通过所述第三连接件与所述第二连接件连接；

所述第一连接件通过所述第一调节组件与所述第三连接件连接，所述第三连接件通过所述第二调节组件与所述第二连接件连接。

如上所述的探测装置，所述第一调节组件包括多个第一调节杆和多个第二固定件，所述第一调节杆的两端分别插装于所述第一连接件和所述第二连接件，或者，所述第一调节杆的一端与所述第一连接件和所述第二连接件中的一者抵顶，另一端插装于所述第一连接件和所述第二连接件中的另一者；所述第一调节杆的轴线平行于所述第一方向，所述第一连接件与所述第二连接件被配置为沿所述第一调节杆轴线相对移动且绕垂直于所述第一调节杆轴线的方向相对旋转；所述第二固定件用于限定所述第一连接件和所述第二连接件之间的相对位置。

如上所述的探测装置，所述第二调节组件包括多个第二调节杆，所述第二调节杆的两端分别插装于所述第二连接件和所述第一连接件，或者，所述第二调节杆的一端与所述第一连接件和所述第二连接件中的一者抵顶，另一端插装于所述第一连接件和所述第二连接件中的另一者；所述第二调节杆的轴线平行于所述第二方向，所述第一连接件与所述第二连接件被配置为沿所述第二调节杆轴线相对移动且绕垂直于所述第二调节杆轴线的方向相对旋转。

如上所述的探测装置，所述第一调节组件或所述第二调节组件还包括：位于所述第二连接件和所述第一连接件之间的弹性组件。

如上所述的探测装置，所述第一调节杆与所述第二连接件和所述第一连接件通过螺纹连接；所述第二调节杆与所述第二连接件和所述第一连接件通过螺纹连接；所述弹性组件为弹簧，套设于所述第二连接件和第一连接件之间的第一调节杆外侧；所述第二固定件为与所述第一调节杆和/或所述第二调节杆配合的螺母。

如上所述的探测装置，所述第二固定件被配置为两端分别与所述第一连接件和所述第二连接件螺纹连接；或，所述第二固定件包括螺纹杆和固定于所述螺纹杆第一端的顶帽，所述螺纹杆第二端侧壁具有螺纹，所述第一端和第二端相对，所述第一连接件和所述第二连接件分别具有螺纹孔和开孔，所述螺纹杆穿过所述开孔与所述螺纹孔螺纹连接，所述钉帽抵顶于所述开孔外侧。

如上所述的探测装置，所述探测器为线阵探测器。

本实用新型还提供一种光学检测仪器，包括探测装置，所述探测装置为上述任一项所述的探测装置。

由于上述探测装置具有上述技术效果，所以包括该探测装置的光学检测仪器也具有相同的技术效果，此处不再重复论述。

如上所述的光学检测仪器，还包括承载台，用于承载待探测物，所述探测装置包括安装台，所述安装台与所述承载台固定连接。

附图说明

图1为本实用新型所提供光学检测仪器的探测装置的第一实施例的结构示意图；

图2为图1中安装台、第一平台和第二平台连接处的局部放大图；

图3为本实用新型所提供光学检测仪器的探测装置的第二实施例的结构示意图；

图4为图3中第三连接件和第一连接件的连接结构示意图。

附图标记说明：

第二连接件10，探测器20，镜头30；

第一连接件41，第三连接件42，第一固定件43，第一调节组件 44，第二调节组件45；

第三连接件51，座板511，侧板512，第一通孔513，第一连接件 52，第二通孔521，第二调节螺杆531，第二紧固件532，第一调节螺杆541，第一紧固件542。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。

为便于理解和描述简洁，下文结合光学检测仪器及其探测装置一并说明，有益效果部分不再重复论述。

光学检测仪器包括光源部件和探测装置，探测装置包括探测器和镜头，其中，光源部件用于提供检测光，探测器的探测区域经镜头成像在待测对象的表面，探测器能够收集该探测区域的信号光并产生图像信息。

本实用新型提供的探测装置还包括调节部件，该调节部件用于调节探测器和镜头的相对位置。

其中，调节部件被配置为使探测器绕旋转轴相对镜头旋转，或者使镜头绕旋转轴相对探测器旋转，旋转轴与镜头的光轴之间的夹角大于零；

或者，探测装置还包括安装台，调节部件被配置为使探测器和/ 或镜头绕旋转轴相对于安装台旋转。

这里需要说明的是，本文所指的旋转包括旋转时旋转轴线时刻在变化的情况。

探测装置还包括承载台，用于承载待探测物，安装台与承载台固定连接。

如上，通过调节部件的调节，能够调节探测器和镜头之间的相对位置，以使探测器将经光源部件射出的检测光经镜头投射至待测对象的表面时，探测器的探测区域能够精准地成像在待测对象的表面，以提高探测器探测到的信号光的强度，确保产生图像信息的准确性，保障检测结果的准确性。

在调节部件被配置为调节使所述探测器绕旋转轴相对所述镜头旋转，或者使所述镜头绕旋转轴相对所述探测器旋转的方案中，探测器可包括第一连接件，镜头包括第二连接件；

在调节部件被配置为使所述探测器和/或所述镜头绕旋转轴相对于所述安装台旋转的方案中，镜头或探测器包括第一连接件，安装台包括第二连接件。

在上述两个方案中，第一连接件均是通过调节部件与第二连接件连接。

调节部件包括第一调节机构，第一调节机构包括第一调节组件，其中，第一调节组件被配置为调节位于第一连接件与第二连接件之间的第一调节组件在第一方向上的第一长度；第一方向与前述旋转轴垂直或具有锐角夹角。在一具体的方案中，第一调节组件的个数至少为三个，至少三个第一调节组件的第一方向不共线，至少三个第一调节组件用于使至少两个第一长度不相等；可以理解，通过调整使至少有两个第一调节组件的前述第一长度不同，也就是使第一连接件与第二连接件之间发生偏转，为本文所指旋转中的特例，即在动作过程中，旋转轴时刻发生变化，下述偏转均与此含义一致，不再重复。

所述第一方向为第一调节组件能够调节第一长度的方向，具体的，本实施例中为后续的第一调节杆件的轴线。所述至少三个第一调节组件的第一方向不共线，也就至少三个第一调节杆的轴线不在同一直线上。

在另一具体的方案中，第一调节机构还包括旋转连接件，该旋转连接件被配置为使第一连接件绕前述旋转轴旋转，且限定第二连接件与第一连接件之间的平移。

进一步的，调节部件还包括第二调节机构，第二调节机构包括第二调节组件；第二调节组件被配置为调节位于第一连接件与第二连接件之间的第二调节组件在第二方向上的第二长度；第二方向与旋转轴垂直或具有锐角夹角，第一方向与第二方向垂直或具有锐角夹角。

在一具体的方案中，第二调节组件的个数为至少三个，至少三个第二调节组件的第二方向不共线，至少三个第二调节组件用于使至少两个第二长度不相等；可以理解，通过调整使至少有两个第二调节组件的前述第二长度不同，也就是使第一连接件与第二连接件之间发生偏转。

所述第二方向为第二调节组件能够调节第二长度的方向，具体的，本实施例中为后续的第二调节杆件的轴线。所述至少三个第二调节组件的第二方向不共线，也就至少三个第二调节杆的轴线不在同一直线上。

在另一具体的方案中，第二调节机构还包括旋转连接件，旋转连接件被配置为使第一连接件绕旋转轴旋转，且限定第二连接件与第一连接件之间的平移。

在一具体的方案中，第一调节机构的第一调节组件的个数为多个，多个第一调节组件的第一方向不共面或共面。

在多个第一调节组件的第一方向不共面的基础上，调节部件还包括第二调节机构，第二调节机构包括第二调节组件，第二调节组件的个数为多个；多个第二调节组件的第二方向共面或不共面；或者，多个第二调节组件至少包括两组，至少两组第二调节组件包括第一组调节结构和第二组调节结构，第一组调节结构中第二调节组件的第二方向共面，第二组调节结构中第二调节组件的第二方向不共面。

在上述各方案中，具体使第一方向平行于镜头的光轴，第二方向垂直于第二光轴。

下面就两个具体实施例来说明探测装置的具体结构。

请参考图1和图2，图1为本实用新型所提供光学检测仪器的探测装置的第一实施例的结构示意图；图2为图1中安装台、第一平台和第二平台连接处的局部放大图。

该实施例中，探测装置包括安装台、探测器20和镜头30，安装台包括第二连接件10，镜头30包括第一连接件41。

具体的，镜头30通过第一连接件41与第二连接件10连接，镜头30的光轴方向垂直于第一连接件41。

该实施例中，探测装置还包括第三连接件42，探测器20固定在第三连接件42上，镜头30与第一连接件41连接。

该实施例中，探测装置包括多个第一固定件43，通过第一固定件 43来固定第一连接件41和第三连接件42，以限定两者的相对位置，使镜头30和探测器10之间的相对位置固定，在后续调节时，两者的相对位置不发生变化，能够同时发生位移变化或者偏转。

具体地，第一固定件43可以为配套的螺栓和螺母等紧固件，可以理解，第一固定件43与第一连接件41和第三连接件42的固定连接为可拆卸结构，以便于根据需要调整第一连接件41和第三连接件42 之间的相对位置。

第一固定件43的具体数目和排布以能够很好限定第一连接件41 和第三连接件42之间的相对位置为准。

该实施例中，第二连接件10具有安装第一连接件41的安装平面，调节部件包括前述第一调节组件44，具体地，该第一调节组件44包括多个第一调节杆和多个第二固定件，其中，第一调节杆的两端分别插装于第二连接件10和第一连接件41，或者，第一调节杆的一端与第一连接件41和第二连接件10中的一者抵顶，另一端插装于第一连接件41和第二连接件10中的另一者；第一调节杆的轴线平行于第一方向，第一连接件41与第二连接件10被配置为沿第一调节杆的轴线相对移动，且能够绕垂直于第一调节杆轴线的方向相对旋转。该实施例中，第一方向具体平行于镜头30的光轴方向。

通过第一调节杆的动作能够调整第一连接件41与第二连接件10 之间的相对位置，具体地，能够调节第一连接件41与第二连接件10 之间的距离，也能够使第一连接件41相对第二连接件10偏转。

当设于第一连接件41和第二连接件10之间的多个第一调节杆在第一连接件41和第二连接件10之间的距离都相同时，第一连接件41 与第二连接件10的安装平面相平行；调节时，各第一调节杆的调节量相同，那么第一连接件41相对第二连接件10沿光轴方向平移，此时，因探测器20和镜头30通过第一连接件41和第三连接件42相对固定为一体，所以探测器20和镜头30整体相对第二连接件10沿光轴方向平移；调节时，各第一调节杆的调节量不同时，第一连接件41相对第二连接件10偏转，具体朝哪个方向偏转及偏转程度取决于第一调节杆的排布及各第一调节杆的调节量，具体可根据实际需求来确定，此时，探测器20和镜头30也是作为整体相对第二连接件10偏转。

图1和图2所示方案中，多个第一调节组件44的第一方向，即其第一调节杆的轴线方向不共面，可以理解，实际设置时，多个第一调节组件44的第一方向也可共面设置。

如此，在限定探测器20和镜头30之间的相对位置后，可以同步调节探测20和镜头30的位置，以提高探测装置调节的一致性。

其中，第一调节杆可选用顶丝或丝杆或螺杆等结构，在调节好各第一调节杆后，通过第二固定件来限定第一连接件41和第二连接件 10之间的相对位置。

第二固定件具体可采用与第一调节杆螺纹配合的螺母；或者，第二固定件也可被配置为两端分别与第一连接件41和第二连接件10螺纹连接；或者，第二固定件包括螺纹杆和固定于螺纹杆第一端的顶帽，螺纹杆第二端侧壁具有螺纹，第一端和第二端相对，第一连接件和第二连接件分别具有螺纹孔和开孔，螺纹杆穿过开孔与螺纹孔螺纹连接，钉帽抵顶于开孔外侧。

该实施例中，调节部件还包括设于第一连接件41和第二连接件 10之间的第二调节组件45，该第二调节组件45包括多个第二调节杆，第二调节杆的两端分别插装于第二连接件10和第一连接件41，或者，第二调节杆的一端与第一连接件41和第二连接件10中的一者抵顶，另一端插装于第一连接件41和第二连接件10中的另一者；第二调节杆的轴线平行于第二方向，第一连接件41和第二连接件10被配置为沿第二调节杆轴线相对移动，且能够绕垂直于第二调节杆轴线的方向相对旋转；第二调节杆与第一调节杆相垂直设置，也就是说，第二调节杆与镜头30的光轴相垂直设置。

如此，通过第二调节杆的调节，可以使第一连接件41在与镜头 30光轴方向垂直的平面内移动，可以理解，因探测器20和镜头30通过第一连接件41和第三连接件42相对固定为一体，所以在调节第二调节杆时，探测器20和镜头30整体在与光轴方向垂直的平面内移动，这样设置后，可进一步拓宽探测装置中探测器20和镜头30的调节范围。

实际应用中，第一调节杆和第二调节杆的位置调节好后，通过第二固定件来限定第二连接件10和第一连接件41之间的相对位置。

该实施例中，探测器为线阵探测器，即其位于待测对象表面的探测区域为线阵，通过调节第一调节杆和第二调节杆，可以探测器的探测区域位于指定位置，特别是使探测器的探测区域与检测光源的检测光斑重叠，提高检测精度。

第二调节杆同样可以选用顶丝或丝杆或螺杆等结构，通过螺纹连接的方式与第二连接件10和第一连接件41连接。

图1和图2所示方案中，多个第二调节组件45的第二方向，及其第二调节杆的轴线方向共面设置，可以理解，实际设置时，多个第二调节组件35的第二方向也可不共面设置，或者多个第二调节组件 35中的一部分的第二方向共面设置，另一部分的第二方向不共面设置。

请参考图3和图4，图3为本实用新型所提供光学检测仪器的探测装置的第二实施例的结构示意图；图4为图3中第三连接件和第一连接件的连接结构示意图。

该实施例中，探测装置包括探测器20和镜头30，探测器20包括第一连接件52，镜头30包括第二连接件10，具体地，镜头30与第二连接件10连接，探测器20与第一连接件52连接。

第一连接件52通过调节部件与第二连接件10连接，通过调节部件来调整探测器20与镜头30之间的相对位置。

该具体方案中，镜头30与第二连接件10固定连接。

该实施例中，探测装置还包括第三连接件51，探测器20直接固接在第一连接件52上，通过第三连接件51与第二连接件10连接。

可以理解，探测器20与第一连接件52固定为一体，镜头30与第二连接件10固定为一体，探测器20与镜头30之间的相对位置，实际上是通过第一连接件52与第三连接件51之间的位置变化及第三连接件51与第二连接件10之间的位置变化来调整。

探测装置还包括多个第一固定件，第一固定件限定第三连接件51 和第一连接件52之间的相对位置。

该实施例中，调节部件包括第一调节组件，第一连接件52通过第一调节组件与第三连接件51连接，第一调节组件被配置为调节位于第一连接件52与第三连接件51之间的第一调节组件在第一方向上的第一长度。

具体的，第三连接件51具有垂直于镜头30光轴方向的座板511，第一连接件52具有与座板511平行的安装面，用于安装探测器20，连接第一连接件52和第三连接件51的第一调节组件的轴线与镜头30 的光轴方向平行，即该实施例中，上述第一方向为镜头30的光轴方向。

这样，第一调节组件能够调节第一连接件52和镜头30在光轴方向的相对距离，也能够使第一连接件52相对垂直于光轴方向的平面偏转，以图3所示，镜头30的光轴方向为z轴方向。因探测器20与第一连接件52固定，所以第一调节组件相当于调整了探测器20和镜头 30的相对位置。

第三连接件51还通过第二调节组件与第二连接件10连接，第二调节组件被配置为调节位于第三连接件51与第二连接件10之间的第二调节组件在第二方向上的第二长度。

具体的，连接第三连接件51和第二连接件10的第二调节组件的轴线方向与光轴方向垂直，即该实施例中，上述第二方向为垂直于光轴的方向。这样，第二调节组件能够使第三连接件51在垂直于光轴方向的平面内移动，以进一步调节探测器20与镜头30之间的相对位置。

具体的方案中，第三连接件51的座板511的两侧向上弯折形成两相对的侧板512，侧板512通过第二调节组件与第二连接件10连接。

其中，侧板512上固设有安装耳，第二调节组件包括多个第二调节螺杆531和多个第二紧固件532，该第二紧固件532即为前述第二固定件；第二调节螺杆531的两端分别插装于第二连接件10和第三连接件51的安装耳，第三连接件51和第二连接件10被配置为沿第二调节螺杆531的轴线相对移动，且能够绕垂直于第二调节螺杆531轴线的方向相对旋转，第二调节螺杆531与镜头30的光轴方向相垂直设置，第二调节螺杆531的轴线方向平行于前述第二方向。

通过旋转第二调节螺杆531可以使第三连接件51相对第二调节螺杆531移动，通过调节第三连接件51在不同第二调节螺杆531上的移动量，可以使第三连接件51在与光轴方向垂直的平面内偏移，从而调节与第三连接件51连接的探测器20与镜头30的相对位置。

在调节好第三连接件51在第二调节螺杆531上的相对位置后，通过第二紧固件532来限定两者的相对位置，也即限定第三连接件51 和第二连接件10的相对位置，具体地，第二紧固件532可以选择用与第二调节螺杆531相配合的螺母等结构。

第三连接件51与第二连接件10之间设置的第二调节螺杆531的数量和排布方式根据需求来设置。

具体的方案中，第一调节组件包括多个第一调节螺杆541和多个第一紧固件542，该第一紧固件542即为前述第一固定件，其中，第一调节螺杆541的两端分别插装于第三连接件51和第一连接件52，第三连接件51和第一连接件52被配置为沿第一调节螺杆541的轴线相对移动，且能够绕垂直于第一调节螺杆541轴线的方向相对旋转第一调节螺杆541的轴线平行于前述第一方向，该实施例中，第一调节螺杆541与镜头30的光轴方向平行，即第一方向与光轴方向平行。

通过旋转第一调节螺杆541可以使第一连接件52相对第一调节螺杆541移动，从而改变第一连接件52与第三连接件51的相对位置，当各第一调节螺杆541位于第三连接件51与第一连接件52之间的长度一致时，第一连接件52与第三连接件51的座板511相平行，此时，若各第一调节螺杆541相对第一连接件52的调节量一致，那么第一连接件52相对第三连接件51沿光轴方向平移，可调节镜头30和探测器 20在光轴方向上的相对位置，若各第一调节螺杆541相对第一连接件 52的调节量不一致，那么第一连接件52相对第三连接件51偏转，具体朝哪个方向偏转及偏转程度取决于第一调节螺杆541的排布及各第一调节螺杆541的调节量，具体可根据实际需求来确定。

在调节好第一连接件52与第三连接件51的相对位置后，通过第一紧固件542来限定第一连接件52与第三连接件51的相对位置，第一紧固件542具体可以选用与第一调节螺杆541相配合的螺母等结构。

具体的方案中，在第一连接件52和第三连接件51之间设置弹性组件，在第三连接件51和第二连接件10之间设置弹性组件。具体地，弹性组件包括弹簧，第一调节螺杆541和第二调节螺杆531均外套有弹簧，外套于第一调节螺杆541的弹簧的两端分别与第一连接件52 和第三连接件51相抵，外套于第二调节螺杆531的弹簧的两端分别与第三连接件51和第二连接件10相抵。

如图3和图4所示，为避免第三连接件51和第一连接件52影响探测器20和镜头30之间的光路，在相对应的位置，第三连接件51 具有第一通孔513，第一连接件52具有第二通孔521。

图3和图4所示方案中，第一调节机构的第一调节组件设有三个以上的第一调节螺杆541，可以理解，在其他实施例中，第一调节机构的第一调节组件可以只设一个第一调节螺杆541，同时，第一调节机构还设置有旋转连接件，比如，第一连接件52整体呈方形结构，可以使其一边通过第一调节螺杆541与第三连接件51连接，相对的另一边可以通过一个铰接件与第三连接件51铰接，以实现第一连接件52 相对第三连接件51也即相对第二连接件10的旋转。

以上对本实用新型所提供的光学检测仪器及其探测装置均进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (18)

1.一种探测装置，包括探测器和镜头，其特征在于，还包括用于调节所述探测器和所述镜头相对位置的调节部件；

所述调节部件被配置为调节使所述探测器绕旋转轴相对所述镜头旋转，或者使所述镜头绕旋转轴相对所述探测器旋转；

或者，所述探测装置还包括安装台，所述调节部件被配置为使所述探测器和/或所述镜头绕旋转轴相对于所述安装台旋转。

2.根据权利要求1所述的探测装置，其特征在于，当所述调节部件被配置为调节使所述探测器绕旋转轴相对所述镜头旋转，或者使所述镜头绕旋转轴相对所述探测器旋转时，所述探测器包括第一连接件，所述镜头包括第二连接件；

当所述调节部件被配置为使所述探测器和/或所述镜头绕旋转轴相对于所述安装台旋转时，所述镜头或所述探测器包括第一连接件，所述安装台包括第二连接件；

所述第一连接件通过所述调节部件与所述第二连接件连接；

所述调节部件包括第一调节机构，所述第一调节机构包括第一调节组件；

所述第一调节组件被配置为调节位于所述第一连接件与所述第二连接件之间的第一调节组件在第一方向上的第一长度；

所述第一方向与所述旋转轴垂直或具有锐角夹角。

3.根据权利要求2所述的探测装置，其特征在于，所述第一调节组件的个数为至少三个，所述至少三个第一调节组件的第一方向不共线；所述至少三个第一调节组件用于使至少两个第一长度不相等；

或者，所述第一调节机构还包括旋转连接件，所述旋转连接件被配置为使所述第一连接件绕所述旋转轴旋转，且限定所述第一连接件与所述第二连接件之间的平移。

4.根据权利要求2所述的探测装置，其特征在于，所述第一调节组件的个数为多个，多个所述第一调节组件的第一方向不共面或共面。

5.根据权利要求3所述的探测装置，其特征在于，所述调节部件还包括第二调节机构，所述第二调节机构包括第二调节组件；

所述第二调节组件被配置为调节位于所述第一连接件与所述第二连接件之间的第二调节组件在第二方向上的第二长度；

所述第二方向与所述旋转轴垂直或具有锐角夹角，所述第一方向与第二方向垂直或具有锐角夹角。

6.根据权利要求5所述的探测装置，其特征在于，所述第二调节组件的个数为至少三个，所述至少三个第二调节组件的第二方向不共线；所述至少三个第二调节组件用于使至少两个第二长度不相等；

或者，所述第二调节机构还包括旋转连接件，所述旋转连接件被配置为使所述第一连接件绕所述旋转轴旋转，且限定所述第一连接件与所述第二连接件之间的平移。

7.根据权利要求5所述的探测装置，其特征在于，所述第一方向平行于所述镜头光轴；所述第二方向垂直于所述镜头光轴。

8.根据权利要求4所述的探测装置，其特征在于，所述第一调节组件的个数为多个，多个所述第一调节组件的第一方向不共面；

所述调节部件还包括第二调节机构，所述第二调节机构包括第二调节组件，所述第二调节组件的个数为多个；

多个所述第二调节组件的第二方向共面或不共面；或者，多个所述第二调节组件至少包括两组，至少两组第二调节组件包括第一组调节结构和第二组调节结构，所述第一组调节结构中第二调节组件的第二方向共面，所述第二组调节结构中第二调节组件的第二方向不共面。

9.根据权利要求2所述的探测装置，其特征在于，还包括第三连接件；

当所述探测装置包括安装台，所述调节部件被配置为使所述探测器和/或所述镜头绕旋转轴相对于所述安装台旋转时，所述第一连接件与所述第三连接件分别连接所述镜头和所述探测器；

所述探测装置还包括多个第一固定件，所述第一固定件限定所述第一连接件和所述第三连接件之间的相对位置。

10.根据权利要求5所述的探测装置，其特征在于，当所述调节部件被配置为调节使所述探测器绕旋转轴相对所述镜头旋转，或者使所述镜头绕旋转轴相对所述探测器旋转时，所述探测器还包括第三连接件，所述第一连接件通过所述第三连接件与所述第二连接件连接；

所述第一连接件通过所述第一调节组件与所述第三连接件连接，所述第三连接件通过所述第二调节组件与所述第二连接件连接。

11.根据权利要求4所述的探测装置，其特征在于，所述第一调节组件包括多个第一调节杆和多个第二固定件，所述第一调节杆的两端分别插装于所述第一连接件和所述第二连接件，或者，所述第一调节杆的一端与所述第一连接件和所述第二连接件中的一者抵顶，另一端插装于所述第一连接件和所述第二连接件中的另一者；所述第一调节杆的轴线平行于所述第一方向，所述第一连接件与所述第二连接件被配置为沿所述第一调节杆轴线相对移动且绕垂直于所述第一调节杆轴线的方向相对旋转；所述第二固定件用于限定所述第一连接件和所述第二连接件之间的相对位置。

12.根据权利要求5所述的探测装置，其特征在于，所述第二调节组件包括多个第二调节杆，所述第二调节杆的两端分别插装于所述第二连接件和所述第一连接件，或者，所述第二调节杆的一端与所述第一连接件和所述第二连接件中的一者抵顶，另一端插装于所述第一连接件和所述第二连接件中的另一者；所述第二调节杆的轴线平行于所述第二方向，所述第一连接件与所述第二连接件被配置为沿所述第二调节杆轴线相对移动且绕垂直于所述第二调节杆轴线的方向相对旋转。

13.根据权利要求2或5所述的探测装置，其特征在于，所述调节部件还包括：位于所述第二连接件和所述第一连接件之间的弹性组件。

14.根据权利要求12所述的探测装置，其特征在于，所述第一调节组件包括多个第一调节杆，所述第一调节杆与所述第二连接件和所述第一连接件通过螺纹连接；所述第二调节杆与所述第二连接件和所述第一连接件通过螺纹连接；还包括弹性组件和第二固定件，所述弹性组件为弹簧，套设于所述第二连接件和第一连接件之间的第一调节杆外侧；所述第二固定件为与所述第一调节杆和/或所述第二调节杆配合的螺母。

15.根据权利要求11所述的探测装置，其特征在于，所述第二固定件被配置为两端分别与所述第一连接件和所述第二连接件螺纹连接；或，所述第二固定件包括螺纹杆和固定于所述螺纹杆第一端的钉帽，所述螺纹杆第二端侧壁具有螺纹，所述第一端和第二端相对，所述第一连接件和所述第二连接件分别具有螺纹孔和开孔，所述螺纹杆穿过所述开孔与所述螺纹孔螺纹连接，所述钉帽抵顶于所述开孔外侧。

16.根据权利要求1所述的探测装置，其特征在于，所述探测器为线阵探测器。

17.一种光学检测仪器，包括探测装置，其特征在于，所述探测装置为权利要求1-16任一项所述的探测装置。

18.根据权利要求17所述的光学检测仪器，其特征在于，还包括承载台，用于承载待探测物，所述探测装置包括安装台，所述安装台与所述承载台固定连接。

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