CN211490109U - 一种激光三维蚀刻系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种激光三维蚀刻系统，包括计算机，用于控制光纤激光器、电控扩束镜、激光测距系统、同轴合束器、X‑Y振镜系统，同时用于蚀刻图形的处理。能自动生成蚀刻轨迹的三维数据，并完成三维蚀刻，能极大降低工件摆放时的精度要求，能极大降低对蚀刻目标的一致性要求。
Description
技术领域
本实用新型属于激光蚀刻领域，尤其涉及一种激光三维蚀刻系统。
背景技术
现有的激光三维蚀刻系统需要对工件的三维数字化模型进行处理，并且对工件摆放位置、工件一致性有很高精度的要求。而在工件摆放位置稍微移动或工件稍有不一致后，蚀刻效果就不好。
发明内容
为了克服上述现有技术的不足之处，本实用新型提供一种激光三维蚀刻系统，能自动生成蚀刻轨迹的三维数据，并完成三维蚀刻，能极大降低工件摆放时的精度要求，能极大降低对蚀刻目标的一致性要求。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种激光三维蚀刻系统，包括：
计算机，用于控制光纤激光器、电控扩束镜、激光测距系统、同轴合束器、X-Y振镜系统，同时用于蚀刻图形的处理；
光纤激光器，用于激光蚀刻的激光器，与电控扩束镜固定连接；
电控扩束镜，用于控制蚀刻激光焦距，与同轴合束器固定连接；
激光测距系统，用于测量工件与该系统的距离；
同轴合束器，用于将蚀刻激光和测距激光同轴合束，与X-Y振镜系统固定连接；
X-Y振镜系统，由上至下，呈90°依次布置的激光反射镜片；
其中，计算机分别与光纤激光器、电控扩束镜、激光测距系统、X-Y振镜系统连接。
本实用新型的有益效果是：该系统不需要三维蚀刻中对工件三维数据，极大降低工件摆放位置的精度要求；极大降低三维激光蚀刻对工件一致性的要求。
附图说明
图1为本实用新型的结构框图。
图2为本实用新型的结构示意图。
图3为本实用新型中数据采集的示意图。
图4为本实用新型激光蚀刻时的示意图。
其中：1、光纤激光器，2、电控扩束镜，3激光测距系统，4、同轴合束器，5、X-Y振镜系统(X)，6、X-Y振镜系统(Y)，7、工件。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明。
如图1、2所示的一种激光三维蚀刻系统，包括：
计算机，用于控制光纤激光器1、电控扩束镜2、激光测距系统3、同轴合束器4、X-Y振镜系统，同时用于蚀刻图形的处理；
光纤激光器1，用于激光蚀刻的激光器，与电控扩束镜2固定连接；
电控扩束镜2，用于控制蚀刻激光焦距，与同轴合束器固定连接；
激光测距系统3，用于测量工件7与该系统的距离；
同轴合束器4，用于将蚀刻激光和测距激光同轴合束，与X-Y振镜系统固定连接；
X-Y振镜系统，由上至下，呈90°依次布置的激光反射镜片，即X-Y振镜系统(X)5和X-Y振镜系统(Y)6；
其中，计算机分别与光纤激光器1、电控扩束镜2、激光测距系统3、X-Y振镜系统连接。
如图3、4所示的一种激光三维蚀刻方法，包括以下步骤：
1)通过计算机对蚀刻图形进行计算处理，并获得蚀刻平面的轨迹数据；
2)通过计算机确定X-Y振镜系统的运动控制程序；
3)通过计算机控制X-Y振镜系统完成平面轨迹运动，并启动高速激光测距系统开始采集轨迹上的距离数据；
4)通过计算机采集蚀刻二维轨迹上的实际距离数据；
5)通过计算机转换轨迹上的距离数据为高度数据并融合蚀刻二维轨迹和生成三维蚀刻轨迹并进行显示；
6)得到三维蚀刻轨迹后，通过计算机确定电控扩束镜的运动程序；
7)通过计算机确定X-Y振镜系统的运动控制程序；
8)通过计算机确定光纤激光器在蚀刻轨迹中的出光程序；
9)通过计算机控制光纤激光器、电控扩束镜、X-Y振镜系统完成对工件7三维蚀刻任务。
在上述技术方案中，步骤1、2中蚀刻图形处理为计算蚀刻轨迹的二维数据，确定X-Y振镜系统的运动控制程序。
在上述技术方案中，步骤3、4中对二维蚀刻轨迹进行距离数据的采集。
在上述技术方案中，步骤5中数据处理转换距离数据为高度数据并融合二维轨迹，确定三维蚀刻轨迹。
在上述技术方案中，步骤6、7、8、9中，通过计算机确定电控扩束镜的运动程序；确定X-Y振镜系统的运动控制程序；计算机控制光纤激光器、电控扩束镜、X-Y振镜系统完成对工件三维蚀刻任务。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (1)
1.一种激光三维蚀刻系统，其特征是：包括：
计算机，用于控制光纤激光器、电控扩束镜、激光测距系统、同轴合束器、X-Y振镜系统，同时用于蚀刻图形的处理；
光纤激光器，用于激光蚀刻的激光器，与电控扩束镜固定连接；
电控扩束镜，用于控制蚀刻激光焦距，与同轴合束器固定连接；
激光测距系统，用于测量工件与该系统的距离；
同轴合束器，用于将蚀刻激光和测距激光同轴合束，与X-Y振镜系统固定连接；
X-Y振镜系统，由上至下，呈90°依次布置的激光反射镜片；
其中，计算机分别与光纤激光器、电控扩束镜、激光测距系统、X-Y振镜系统连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201922347753.0U CN211490109U (zh) | 2019-12-24 | 2019-12-24 | 一种激光三维蚀刻系统 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201922347753.0U CN211490109U (zh) | 2019-12-24 | 2019-12-24 | 一种激光三维蚀刻系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN211490109U true CN211490109U (zh) | 2020-09-15 |
Family
ID=72418976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201922347753.0U Active CN211490109U (zh) | 2019-12-24 | 2019-12-24 | 一种激光三维蚀刻系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN211490109U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111098035A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-05-05 | 武汉嘉铭激光股份有限公司 | 一种激光三维蚀刻系统及蚀刻方法 |
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2019
- 2019-12-24 CN CN201922347753.0U patent/CN211490109U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN111098035A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-05-05 | 武汉嘉铭激光股份有限公司 | 一种激光三维蚀刻系统及蚀刻方法 |
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