CN109097797A - 基于激光局部电镀的金属增材制造装置及方法 - Google Patents
基于激光局部电镀的金属增材制造装置及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109097797A CN109097797A CN201811206841.2A CN201811206841A CN109097797A CN 109097797 A CN109097797 A CN 109097797A CN 201811206841 A CN201811206841 A CN 201811206841A CN 109097797 A CN109097797 A CN 109097797A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- laser
- electrolytic cell
- metal
- material manufacturing
- increasing material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D1/00—Electroforming
- C25D1/003—3D structures, e.g. superposed patterned layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y10/00—Processes of additive manufacturing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B33—ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY
- B33Y—ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OF THREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVE AGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING, STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING
- B33Y30/00—Apparatus for additive manufacturing; Details thereof or accessories therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
本发明提供一种基于激光局部电镀的金属增材制造装置,装置底板上依次放置激光发生装置、激光处理装置,激光处理装置上方为电解池,电解池内放置有可延z轴上下移动的阴极基板,电源及开断控制器一端通过导线连接阴极基板,另一端通过导线连接有电源阳极,电源阳极置于所述电解池内,形成闭合回路。本发明解决现有技术精度差、表面粗糙的问题,同时满足微型部件的打印的需求。本发明另外提供一种基于激光局部电镀的金属增材制造方法。
Description
技术领域
本发明属于金属增材制造领域,特别涉及一种基于激光局部电镀的金属增材制造装置及方法。
背景技术
增材制造技术(又称3D打印技术),在近几年获得越来越多的关注,增材制造依据三维CAD设计数据,采用离散材料(液体、粉末、丝、片、板、块等)逐层累加原理制造实体零件,是一种集合了机、光、电、计算机、控制等技术的多学科交叉的先进制造技术。相比于传统制造工艺,增材制造技术可以直接利用CAD数据,无需模具、刀具直接制造出空间形状任意复杂结构,并且成形材料广泛,可以迅速地将设计转化为高性能的制件。增材制造可在航天航空、武器装备、汽车、模具及生物医疗等高端制造领域获得应用,直接成形复杂和高性能金属零部件,解决传统制造工艺难以加工甚至无法加工的制造难题。金属增材制造经过发展,逐渐形成了激光选区熔化、电子束选区熔化、激光立体成形等多种技术。但是,目前的金属3D打印技术都面临表面粗糙,精度差的问题,而且往往都需要二次加工才能满足使用。以激光选区熔化技术为例,成形精度为0.1mm,表面粗糙度通常大于6.4μm,难以满足高精度的要求。这些问题最主要是由于目前的金属3D打印技术多数基于粉末成形,粉末的颗粒大小受成形工艺等限制,在最终零部件表面存在一层金属粉末,严重影响了最终制件的精度和粗糙度。同时,随着技术的进步,对精密、微型部件的加工需求也越来越多,传统的金属增材制造技术无法满足要求。
发明内容
本发明所解决的技术问题是提供一种新的金属增材制造装置及方法,解决现有技术精度差、表面粗糙的问题,同时满足微型部件的打印的需求。
本发明采用的技术方案是:一种基于激光局部电镀的金属增材制造装置,装置底板上依次放置激光发生装置、激光处理装置,激光处理装置上方为电解池,电解池内放置有可延z轴上下移动的阴极基板,电源及开断控制器一端通过导线连接阴极基板,另一端通过导线连接有电源阳极,电源阳极置于所述电解池内,形成闭合回路。
激光发生装置可以是激光器、激光处理装置可以是扩束器、光学振镜及有聚焦物镜组合,扩束器位于所述激光器与所述光学振镜之间,光学振镜上方连接有所述聚焦物镜。
阴极基板通过z轴移动平台移动,z轴移动平台一端连接阴极基板,另一端连接在装置侧面上并可以延z轴方向运动。
电解池可以由透光玻璃面板固定在装置侧面上或者由电解池架固定在装置侧面上,使得电解池位于聚焦物镜上方,电解池底面材质为透光玻璃。
激光器的波长范围可以为100nm-2μm,激光发生频率为1Hz-100MHz,工作模式为脉冲工作或连续工作。
光学振镜控制激光扫描速度为100nm/s-10cm/s连续可调,使激光光束在100nm-10cm的范围内移动,z轴移动平台最小分辨率1μm,运动速度10nm/s-10cm/s连续可调,电源及开断控制器中电源的工作电压为0.1V-1kV,电流密度为1uA/cm2-100A/cm2。
阴极基板材质可以为不锈钢、钛合金、镍基合金、铝合金。
电解池中放置的电解液包含所要打印的金属材料经过电镀处理的金属离子溶液,金属材质为纯金属或合金。
一种基于激光局部电镀的金属增材制造方法,包括以下步骤:
1)将需要打印的零件获得三维模型,将三维模型导入计算机切片及路径规划软件中,选择需要打印的层厚及材料参数,计算机软件按照指定的参数生成打印路径文件;
2)将需要打印的材料配置成溶液,并且控制溶液的浓度至所需要的比例,将溶液加入电解池中,开启电源及开断控制器;
3)设定打印层厚,开启激光器电源及光学振镜电源;
4)激光从激光器发出后,进入扩束器中,将光斑直径放大,进入光学振镜的入射光孔内,在光学振镜的引导下,激光按照计算机设定的路线运动,并经过聚焦物镜将光斑聚焦在阴极基板上,被激光照射的部位因为局部温度升高,发生剧烈的电镀效应,电解液中金属原子析出,金属在该部位发生沉积形成激光运行路径图形,该层沉积完成;
5)z轴运动平台向上移动一个切片层厚的距离,在液体的流动作用下,电解液重新填充中间部位,重复步骤4)进行下一层的打印,直到整个打印过程完成。
本发明的有益效果是,随着技术的进步,对精密、微型部件的加工需求也越来越多,传统的金属增材制造技术无法满足要求,本发明解决现有技术精度差、表面粗糙的问题,同时满足微型部件的打印的需求,提高了打印精度,提高了工作效率,降低了材料的浪费。
附图说明
附图1为基于激光局部电镀的金属增材制造装置示意图
附图2为装置另一种电解池固定形式示意图
附图标记:1-激光器 2-电源及开断控制器 3-扩束器 4-光学振镜 5-聚焦物镜6-电解池 7-阴极基板 8-z轴运动平台 9-透光玻璃面板 10-电源阳极 11-装置侧板 12-装置底板 13-电解池架
具体实施方式
激光是能量密度很高的热源,而且具有很好的方向性、单色性和相干性。其基本原理,激光器输出的激光束经透镜聚焦后投射到阴极表面,在阴极附近的微小区域里形成极高的光功率密度。受光照的阴极材料吸收激光能量后,使电解液—阴极界面附近的局部微小区域里的温度骤然升高,产生陡峭的温度梯度并在电解液中引起强烈对流,从而搅拌了溶液。温升和搅拌造成局部区域里离子迁移率增加,阴极还原反应增强和平衡电位正向漂移,最后导致电镀速率的增加。激光电镀使电化学反应大大增强,电镀速率提高二至三个数量级,空间分辨率可以达到微米量级。而且可用计算机控制激光束的运动轨迹而得到预期的复杂几何图形的镀层。
本发明提出的金属增材制造技术基于激光电镀效应,将要沉积的金属做成电解液或牺牲阳极,成形基板作为阴极,依据数字三维模型分层切片数据,通过计算器控制激光束的运动轨迹。激光照射部位发生迅速电镀,金属原子从电解液中析出,沉积成激光运行路径图形。非照射部位不发生电镀或者以极其缓慢速度进行。当该层沉积完成后,阴极基板7延Z轴运动指定的层厚,激光再运行下一层切片路径,完成新的镀层,如此往复,直到全部打印完成。
下面结合附图对本发明作进一步解释。
如图1,本发明为一种基于激光局部电镀的金属增材制造装置,装置底板12上依次放置激光器1用于提供激光电镀用的高能激光、扩束器3用于扩展激光束的直径,减小激光束的发散角及光学振镜4用于控制激光束的扫描速度,光学振镜4上方连接有聚焦物镜5用于将激光束聚焦在待处理样品基底表面,透光玻璃面板9固定在装置侧面11上,激光可以透过,并且无衰减,位于所述聚焦物镜5上方,透光玻璃面板9上放置有电解池6用于放置电解液,z轴移动平台8一端连接阴极基板7,另一端连接在装置侧面11上并可以延z轴方向运动,该运动平台的导轨部分固定的装置侧面11上,在电机或其他运动执行机构作用下实现Z轴的上下运动,阴极基板7作为打印平台位于电解池6内,一端通过导线连接在电源及开断控制器2,电源及开断控制器2另一端通过导线连接有电源阳极10,电源阳极10置于电解池内,形成闭合回路。电源及开断控制器2采用调制方式保持与激光的开断一致,激光开启时接通电源,激光关闭时,关闭电源,控制频率可以为1Hz-100MHz。
如图1,电解池6放置在透光玻璃面板9上,透光玻璃面板9固定在装置侧面11上或者如图2,电解池6放置在电解池架13上,电解池架13固定在装置侧面11上,使得所述电解池6位于所述聚焦物镜5上方,电解池6底面材质为透光玻璃,透光玻璃材质满足激光可以透过,并且无衰减。
激光器1的工作模式为脉冲工作或连续工作,同时激光输出功率可调,将焦点处的峰值功率控制在105W/cm2到109W/cm2,使激光能量小于材料的损伤阈值和电解液的汽化阈值。
光学振镜4控制激光扫描速度为100nm/s-10cm/s连续可调,使激光光束在100nm-10cm的范围内移动。扫描速度与电解液浓度有关,例如,当打印溶液浓度较低时,需要吸收较多能量才可以发生电解沉积,此时选用较慢的扫描速度,反之,电解液浓度较高时,吸收少量能量就可以完成电解沉积,此时选用较快的扫描速度。
z轴移动平台8移动高度可以根据零件进行调整,最小分辨率1μm,运动速度10nm/s-10cm/s连续可调。根据具体打印离子的直径与打印速度设置与之相适应的的z轴移动速度,以满足刚好一层电解沉积完成后,z轴移动一个打印层厚的高度。
阴极基板7材质可以为不锈钢、钛合金、镍基合金、铝合金。
电源及开断控制器2中电源的工作电压为0.1V-1kV,电流密度为1uA/cm2-100A/cm2。
电解池6中放置的电解液包含所要打印的金属材料经过电镀处理的金属离子溶液,金属材质为纯金属或合金。
另外,本发明还提供一种基于激光局部电镀的金属增材制造方法,包括以下步骤:
1)将需要打印的零件获得三维模型,将三维模型导入计算机切片及路径规划软件中,选择需要打印的层厚及材料参数,计算机软件按照指定的参数生成打印路径文件;
2)将需要打印的材料配置成溶液,并且控制溶液的浓度至所需要的比例,将溶液加入电解池6中,开启电源及开断控制器2;
3)设定打印层厚,开启激光器1电源及光学振镜4电源;
4)激光从激光器1发出后,进入扩束器3中,将光斑直径放大,进入光学振镜4的入射光孔内,在光学振镜4的引导下,激光按照计算机设定的路线运动,并经过聚焦物镜5将光斑聚焦在阴极基板7上,被激光照射的部位因为局部温度升高,发生剧烈的电镀效应,电解液中金属原子析出,金属在该部位发生沉积形成激光运行路径图形,该层沉积完成;
5)z轴运动平台8向上移动一个切片层厚的距离,在液体的流动作用下,电解液重新填充中间部位,重复步骤4)进行下一层的打印,直到整个打印过程完成。
Claims (9)
1.一种基于激光局部电镀的金属增材制造装置,其特征在于:装置底板(12)上依次放置激光发生装置、激光处理装置,所述激光处理装置上方为电解池(6),所述电解池(6)内放置有可延z轴上下移动的阴极基板(7),电源及开断控制器(2)一端通过导线连接所述阴极基板(7)另一端通过导线连接有电源阳极(10),所述电源阳极(10)置于所述电解池(6)内,形成闭合回路。
2.根据权利要求1所述基于激光局部电镀的金属增材制造装置,其特征在于:所述激光发生装置可以是激光器(1)、所述激光处理装置可以是扩束器(3)、光学振镜(4)及有聚焦物镜(5)组合,所述扩束器(3)位于所述激光器(1)与所述光学振镜(4)之间,所述光学振镜(4)上方连接有所述聚焦物镜(5)。
3.根据权利要求1所述基于激光局部电镀的金属增材制造装置,其特征在于:所述阴极基板(7)通过z轴移动平台(8)移动,所述z轴移动平台(8)一端连接阴极基板(7),另一端连接在装置侧面(11)上并可以延z轴方向运动。
4.根据权利要求1所述基于激光局部电镀的金属增材制造装置,其特征在于:所述电解池(6)可以由透光玻璃面板(9)固定在装置侧面(11)上或者由电解池架(13)固定在装置侧面(11)上,使得所述电解池(6)位于所述聚焦物镜(5)上方,所述电解池(6)底面材质为透光玻璃。
5.根据权利要求2所述基于激光局部电镀的金属增材制造装置,其特征在于:所述激光器(1)的波长范围可以为100nm-2μm,激光发生频率为1Hz-100MHz,工作模式为脉冲工作或连续工作。
6.根据权利要求2所述基于激光局部电镀的金属增材制造装置,其特征在于:所述光学振镜(4)控制激光扫描速度为100nm/s-10cm/s连续可调,使激光光束在100nm-10cm的范围内移动,所述z轴移动平台(8)最小分辨率1μm,运动速度10nm/s-10cm/s连续可调,所述电源及开断控制器(2)中电源的工作电压为0.1V-1kV,电流密度为1uA/cm2-100A/cm2。
7.根据权利要求1-6任意一项所述基于激光局部电镀的金属增材制造装置,其特征在于:所述阴极基板(7)材质可以为不锈钢、钛合金、镍基合金、铝合金。
8.根据权利要求1-6任意一项所述基于激光局部电镀的金属增材制造装置,其特征在于:所述电解池(6)中放置的电解液包含所要打印的金属材料经过电镀处理的金属离子溶液,金属材质为纯金属或合金。
9.一种基于激光局部电镀的金属增材制造方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)将需要打印的零件获得三维模型,将三维模型导入计算机切片及路径规划软件中,选择需要打印的层厚及材料参数,计算机软件按照指定的参数生成打印路径文件;
2)将需要打印的材料配置成溶液,并且控制溶液的浓度至所需要的比例,将溶液加入电解池(6)中,开启电源及开断控制器(2);
3)设定打印层厚,开启激光器(1)电源及光学振镜(4)电源;
4)激光从激光器(1)发出后,进入扩束器(3)中,将光斑直径放大,进入光学振镜(4)的入射光孔内,在光学振镜(4)的引导下,激光按照计算机设定的路线运动,并经过聚焦物镜(5)将光斑聚焦在阴极基板(7)上,被激光照射的部位因为局部温度升高,发生剧烈的电镀效应,电解液中金属原子析出,金属在该部位发生沉积形成激光运行路径图形,该层沉积完成;
5)z轴运动平台(8)向上移动一个切片层厚的距离,在液体的流动作用下,电解液重新填充中间部位,重复步骤4)进行下一层的打印,直到整个打印过程完成。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811206841.2A CN109097797A (zh) | 2018-10-17 | 2018-10-17 | 基于激光局部电镀的金属增材制造装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811206841.2A CN109097797A (zh) | 2018-10-17 | 2018-10-17 | 基于激光局部电镀的金属增材制造装置及方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109097797A true CN109097797A (zh) | 2018-12-28 |
Family
ID=64868915
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201811206841.2A Pending CN109097797A (zh) | 2018-10-17 | 2018-10-17 | 基于激光局部电镀的金属增材制造装置及方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109097797A (zh) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110284160A (zh) * | 2019-08-14 | 2019-09-27 | 吉林大学 | 一种光诱导金属电化学3d打印装置及方法 |
CN110565130A (zh) * | 2019-09-11 | 2019-12-13 | 张家港博发纳米材料科技有限公司 | 一种激光增强三维微区电沉积方法及其对应的装置 |
CN112176383A (zh) * | 2020-08-18 | 2021-01-05 | 江苏大学 | 一种利用激光电沉积复合加工的装置及方法 |
CN112317766A (zh) * | 2020-11-06 | 2021-02-05 | 合肥新杉宇航三维科技有限公司 | 一种亚微米级打印设备及其打印方法 |
CN112813465A (zh) * | 2019-11-15 | 2021-05-18 | 源秩科技(上海)有限公司 | 基于电沉积的3d打印装置和方法 |
CN114875470A (zh) * | 2022-05-24 | 2022-08-09 | 深圳大学 | 一种自动循环电解液浓度补偿装置及方法 |
CN114990640A (zh) * | 2022-05-24 | 2022-09-02 | 深圳大学 | 一种激光引导电化学沉积3d打印装置与方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102925938A (zh) * | 2012-09-14 | 2013-02-13 | 中国科学院半导体研究所 | 一种对激光镀层进行处理的系统 |
CN103590076A (zh) * | 2013-11-28 | 2014-02-19 | 铜陵学院 | 一种激光强化电沉积快速成形加工装置及方法 |
CN107723752A (zh) * | 2017-08-24 | 2018-02-23 | 江苏大学 | 一种激光刻蚀玻璃模具分层微细电铸的装置及方法 |
CN107937939A (zh) * | 2017-11-16 | 2018-04-20 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 三维微细金属结构增材的制造方法及其制造装置 |
CN209162216U (zh) * | 2018-10-17 | 2019-07-26 | 大连美光速造科技有限公司 | 基于激光局部电镀的金属增材制造装置 |
-
2018
- 2018-10-17 CN CN201811206841.2A patent/CN109097797A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102925938A (zh) * | 2012-09-14 | 2013-02-13 | 中国科学院半导体研究所 | 一种对激光镀层进行处理的系统 |
CN103590076A (zh) * | 2013-11-28 | 2014-02-19 | 铜陵学院 | 一种激光强化电沉积快速成形加工装置及方法 |
CN107723752A (zh) * | 2017-08-24 | 2018-02-23 | 江苏大学 | 一种激光刻蚀玻璃模具分层微细电铸的装置及方法 |
CN107937939A (zh) * | 2017-11-16 | 2018-04-20 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 三维微细金属结构增材的制造方法及其制造装置 |
CN209162216U (zh) * | 2018-10-17 | 2019-07-26 | 大连美光速造科技有限公司 | 基于激光局部电镀的金属增材制造装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
史玉升: "3D打印技术概论", vol. 1, 湖北科学技术出版社, pages: 42 - 44 * |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110284160A (zh) * | 2019-08-14 | 2019-09-27 | 吉林大学 | 一种光诱导金属电化学3d打印装置及方法 |
CN110565130A (zh) * | 2019-09-11 | 2019-12-13 | 张家港博发纳米材料科技有限公司 | 一种激光增强三维微区电沉积方法及其对应的装置 |
CN112813465A (zh) * | 2019-11-15 | 2021-05-18 | 源秩科技(上海)有限公司 | 基于电沉积的3d打印装置和方法 |
CN112813465B (zh) * | 2019-11-15 | 2022-08-26 | 源秩科技(上海)有限公司 | 基于电沉积的3d打印装置和方法 |
CN112176383A (zh) * | 2020-08-18 | 2021-01-05 | 江苏大学 | 一种利用激光电沉积复合加工的装置及方法 |
CN112176383B (zh) * | 2020-08-18 | 2022-01-11 | 江苏大学 | 一种利用激光电沉积复合加工的装置及方法 |
CN112317766A (zh) * | 2020-11-06 | 2021-02-05 | 合肥新杉宇航三维科技有限公司 | 一种亚微米级打印设备及其打印方法 |
CN114875470A (zh) * | 2022-05-24 | 2022-08-09 | 深圳大学 | 一种自动循环电解液浓度补偿装置及方法 |
CN114990640A (zh) * | 2022-05-24 | 2022-09-02 | 深圳大学 | 一种激光引导电化学沉积3d打印装置与方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN109097797A (zh) | 基于激光局部电镀的金属增材制造装置及方法 | |
CN107937939B (zh) | 三维微细金属结构增材的制造方法及其制造装置 | |
CN102925938B (zh) | 一种对激光镀层进行处理的系统 | |
CN105458530B (zh) | 一种飞秒激光加工航空发动机叶片气膜孔的装置及方法 | |
CN109732199B (zh) | 一种半导体材料激光电化学背向协同微加工方法及装置 | |
CN205309586U (zh) | 一种飞秒激光加工航空发动机叶片气膜孔的装置 | |
CN105081586A (zh) | 一种激光加工方法和装置 | |
CN103590076A (zh) | 一种激光强化电沉积快速成形加工装置及方法 | |
CN103769754B (zh) | 基于温升调控的靶丸微孔激光加工方法与装置 | |
CN111360345B (zh) | 一种在工件表面形成微结构的加工方法及控制系统 | |
CN209162216U (zh) | 基于激光局部电镀的金属增材制造装置 | |
CN107030403B (zh) | 纯金属或合金产品微孔加工系统 | |
CN103394807A (zh) | 利用激光边缘切割提高金属熔覆沉积增材制造精度的方法及装置 | |
CN112372144A (zh) | 一种激光透明材料镀层/刻蚀的方法及装置 | |
CN112823993B (zh) | 一种激光与电液束复合加工装置 | |
CN109702326A (zh) | 一种提高激光打孔深度的装置及其方法 | |
CN108213957B (zh) | 微细电解激光复合线切割加工方法及装置 | |
CN202438789U (zh) | 一种振镜式三维激光模具型腔曲面蚀纹机 | |
Poprawe et al. | Digital photonic production along the lines of industry 4.0 | |
Wang et al. | Introductions | |
US11565349B2 (en) | Composite device for high-precision laser additive/subtractive manufacturing | |
CN102817051B (zh) | 一种激光脉冲电镀系统 | |
CN203593801U (zh) | 一种激光强化电沉积快速成形加工装置 | |
CN110202266A (zh) | 一种飞秒激光加工金刚石微槽截面形状的调控方法 | |
CN210703091U (zh) | 一种密集孔激光精密加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |